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關(guān)于非平衡載流子的擴(kuò)散運動第1頁,共28頁,2023年,2月20日,星期日Dn---電子擴(kuò)散系數(shù)(electrondiffusioncoefficients)---單位時間在小體積Δx·1中積累的電子數(shù)擴(kuò)散定律第2頁,共28頁,2023年,2月20日,星期日----在x附近,單位時間、單位體積中積累的電子數(shù)穩(wěn)態(tài)時,積累=損失穩(wěn)態(tài)擴(kuò)散方程第3頁,共28頁,2023年,2月20日,星期日三維球坐標(biāo)第4頁,共28頁,2023年,2月20日,星期日第5頁,共28頁,2023年,2月20日,星期日若樣品足夠厚第6頁,共28頁,2023年,2月20日,星期日若樣品厚為W(W∞)并設(shè)非平衡少子被全部引出則邊界條件為:?n(W)=0?n(0)=(?n)0得第7頁,共28頁,2023年,2月20日,星期日當(dāng)W<<Ln時,相應(yīng)的Sn=常數(shù)第8頁,共28頁,2023年,2月20日,星期日空穴的擴(kuò)散電流密度電子的擴(kuò)散電流密度
擴(kuò)散電流密度第9頁,共28頁,2023年,2月20日,星期日第10頁,共28頁,2023年,2月20日,星期日
在光照和外場同時存在的情況下:(2)總電流密度第11頁,共28頁,2023年,2月20日,星期日(3)EinsteinRelationship(愛因斯坦關(guān)系)平衡條件下:第12頁,共28頁,2023年,2月20日,星期日最后得同理第13頁,共28頁,2023年,2月20日,星期日5.6連續(xù)性方程指擴(kuò)散和漂移運動同時存在時,少數(shù)載流子所遵守的運動方程以一維n型為例來討論:光照ε
在外加條件下,載流子未達(dá)到穩(wěn)態(tài)時,少子濃度不僅是x的函數(shù),而且隨時間t變化:*空穴積累率:空穴的擴(kuò)散和漂移流密度第14頁,共28頁,2023年,2月20日,星期日空穴積累率復(fù)合率其它產(chǎn)生率------連續(xù)性方程討論(1)光照恒定(2)材料摻雜均勻(3)外加電場均勻第15頁,共28頁,2023年,2月20日,星期日(4)光照恒定,且被半導(dǎo)體均勻吸收對于p型半導(dǎo)體:第16頁,共28頁,2023年,2月20日,星期日應(yīng)用舉例1用光照射n型半導(dǎo)體,并被表面均勻吸收,且gp=0
。假定材料是均勻的,且無外場作用,試寫出少數(shù)載流子滿足的運動方程。——非平衡少數(shù)載流子的擴(kuò)散方程第17頁,共28頁,2023年,2月20日,星期日恒定光照下——穩(wěn)態(tài)擴(kuò)散方程第18頁,共28頁,2023年,2月20日,星期日2用恒定光照射n型半導(dǎo)體,并被表面均勻吸收,且gp=0。假定材料是均勻的,且外場均勻,試寫出少數(shù)載流子滿足的運動方程,并求解。解此時連續(xù)性方程變?yōu)榉匠痰耐ń鉃椋旱?9頁,共28頁,2023年,2月20日,星期日考慮到非平衡載流子是隨x衰減的又其中——空穴的牽引長度空穴在壽命時間內(nèi)所漂移的距離第20頁,共28頁,2023年,2月20日,星期日最后得:其中第21頁,共28頁,2023年,2月20日,星期日電場很強(qiáng)電場很弱結(jié)論:由表面注入的非平衡載流子深入樣品的平均距離,在電場很強(qiáng)時為牽引長度,而電場很弱時為擴(kuò)散長度。第22頁,共28頁,2023年,2月20日,星期日3在一塊均勻的半導(dǎo)體材料中,用適當(dāng)頻率的光脈沖照射其局部區(qū)域,請分別寫出沒有外場和加外場時,非平衡載流子在光脈沖停止后的運動方程。沒有外場:0x?pt=0t=t1t=t2第23頁,共28頁,2023年,2月20日,星期日有外場:0x?pt=0t=t1At=t2第24頁,共28頁,2023年,2月20日,星期日4穩(wěn)態(tài)下的表面復(fù)合
穩(wěn)定光照射在一塊均勻摻雜的n型半導(dǎo)體中均勻產(chǎn)生非平衡載流子,產(chǎn)生率為gp。如果在半導(dǎo)體一側(cè)存在表面復(fù)合(如圖所示),試寫出非平衡載流子的表達(dá)式。體內(nèi)產(chǎn)生的非子為表面復(fù)合x0第25頁,共28頁,2023年,2月20日,星期日空穴向表面擴(kuò)散,滿足的擴(kuò)散方程邊界條件為第26頁,共28頁,2023年,2月20日,星期日例今有一塊均勻的n型硅材料,用適當(dāng)?shù)念l率、穩(wěn)定的光照射樣品的左半邊(如下圖),產(chǎn)生電子-空穴對,其產(chǎn)生率為g
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