檢測設(shè)備行業(yè)面臨的機(jī)遇分析檢測設(shè)備行業(yè)面臨的機(jī)遇（一）檢測設(shè)備行業(yè)下游需求穩(wěn)定增加，設(shè)備投資規(guī)模進(jìn)一步增長隨著制造技術(shù)和成本的變化，新型顯示器件和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)需求中心和產(chǎn)能中心逐步向中國大陸轉(zhuǎn)移，中國已經(jīng)成為全球最大的新型顯示器件市場和半導(dǎo)體市場。持續(xù)的產(chǎn)能轉(zhuǎn)移帶動了國內(nèi)新型顯示器件和半導(dǎo)體整體產(chǎn)業(yè)規(guī)模和技術(shù)水平的提高，促進(jìn)了產(chǎn)業(yè)專業(yè)人才的培養(yǎng)及配套行業(yè)的發(fā)展，為專用設(shè)備制造業(yè)提供了巨大的市場空間，檢測設(shè)備投資規(guī)模進(jìn)一步增長。（二）技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品創(chuàng)新雙重驅(qū)動，帶動檢測設(shè)備更新升級主流技術(shù)不斷迭代演進(jìn)，新興電子產(chǎn)品需求持續(xù)拉動。通過LTPO（低溫多晶氧化物）、TDDI（觸控與顯示驅(qū)動器集成）、CFOT（偏光片取代）等技術(shù)，新型顯示器件有效提升刷新率、降低屏幕功耗，拓展應(yīng)用范圍；通過3D堆疊等技術(shù)，半導(dǎo)體存儲器件向著高速、低功耗、大容量的方向持續(xù)發(fā)展。在技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品創(chuàng)新的雙重驅(qū)動下，新型顯示器件檢測設(shè)備和半導(dǎo)體測試設(shè)備不斷更新升級。（三）檢測設(shè)備行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈安全需求持續(xù)增強(qiáng)，國產(chǎn)設(shè)備加速替代由于全球供應(yīng)鏈的緊張和國際貿(mào)易摩擦，新型顯示器件和半導(dǎo)體供應(yīng)鏈安全日益受到重視，國家政策大力支持設(shè)備國產(chǎn)化提升，產(chǎn)業(yè)鏈上下游的協(xié)同發(fā)展更加緊密，為國內(nèi)設(shè)備廠商提供很好的縮小差距和齊頭并進(jìn)的時間條件和機(jī)遇，遵循先易后難的邏輯，國產(chǎn)檢測/測試設(shè)備有望在新型顯示器件/半導(dǎo)體設(shè)備中率先崛起，憑借區(qū)位、技術(shù)支持以及供應(yīng)穩(wěn)定性等優(yōu)勢，加速實現(xiàn)全面。檢測和量測設(shè)備競爭格局全球半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備市場呈現(xiàn)國外設(shè)備巨頭壟斷格局。根據(jù)數(shù)據(jù)，全球市場中，2020年科磊半導(dǎo)體市占率超過50%，應(yīng)用材料、日立、雷泰光電、創(chuàng)新科技等前五大公司合計市場份額占比超過了82．4%，市場集中度較高。中國市場中，科磊半導(dǎo)體達(dá)到58．4%，呈一家獨大格局，前五大公司合計市場份額占比達(dá)到78．1%。本土企業(yè)市場份額較低，其中中科飛測產(chǎn)品主要包括無圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備系列、圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備系列、三維形貌測量設(shè)備系列和薄膜膜厚量測設(shè)備系列等產(chǎn)品，已應(yīng)用于國內(nèi)28nm及以上制程的集成電路制造產(chǎn)線。上海睿勵致力于集成電路生產(chǎn)前道工藝檢測領(lǐng)域設(shè)備研發(fā)和生產(chǎn)，產(chǎn)品主要為光學(xué)膜厚測量設(shè)備和光學(xué)缺陷檢測設(shè)備，以及硅片厚度及翹曲測量設(shè)備等。上海精測半導(dǎo)體前道檢測設(shè)備領(lǐng)域，以橢圓偏振技術(shù)為核心開發(fā)了適用于半導(dǎo)體工業(yè)應(yīng)用的膜厚測量以及光學(xué)關(guān)鍵尺寸量測系統(tǒng)的產(chǎn)品，目前中科飛測、精測電子、上海睿勵2021年在國內(nèi)檢測量測設(shè)備市場份額僅1．9%、0．7%、0．2%。KLAInstruments和TencorInstruments相繼成立于1976年和1977年，并于1997年合并成立科磊半導(dǎo)體，總部位于美國硅谷。該公司聚焦于檢測設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，其產(chǎn)品線涵蓋了質(zhì)量控制全系列設(shè)備。根據(jù)科磊半導(dǎo)體2022年年報披露顯示，其檢測和量測設(shè)備實現(xiàn)營業(yè)收入79．25億美元，占比企業(yè)整體營收86%左右?？堤乜萍汲闪⒂?987牛，總部位寸以色列米格達(dá)勒埃姆克。該公司是半導(dǎo)體行業(yè)高端檢測和量測設(shè)備的制造商，其產(chǎn)品應(yīng)用于前道、先進(jìn)封裝等領(lǐng)域，為眾多行業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的全球IDM、OSAT和代工廠提供服務(wù)。根據(jù)康特科技2021年年報披露顯示，其全年實現(xiàn)營業(yè)收入2．70億美元，其中檢測和量測設(shè)備營收2．59億美元，占比96．2%。阿斯麥（荷蘭）量測業(yè)務(wù)優(yōu)勢領(lǐng)域在套刻誤差測量、電子束檢測，應(yīng)用材料（美國）優(yōu)勢領(lǐng)域也在電子束檢測，新星測量儀器（以色列）優(yōu)勢領(lǐng)域在膜厚檢測設(shè)備，日立（日本）則主要是CD-SEM（關(guān)鍵尺寸量測-電子束）處于行業(yè)領(lǐng)先地位，雷泰光電（日本）則聚焦EUV掩模版檢測，創(chuàng)新科技（美國）優(yōu)勢在于關(guān)鍵尺寸測量和缺陷檢測。中國檢測和量測設(shè)備現(xiàn)狀就國內(nèi)檢測和量測設(shè)備現(xiàn)狀而言，目前國內(nèi)整體半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備市場規(guī)模占比全球市場25%左右且保持持續(xù)提升趨勢，數(shù)據(jù)顯示，2021年我國檢測和量測設(shè)備規(guī)模為29億美元，同比2020年增長61．1%，增速遠(yuǎn)高于全球規(guī)模，占比全球份額持續(xù)提升，但目前國內(nèi)市場仍主要被國際企業(yè)占據(jù)主要市場，技術(shù)和企業(yè)之間適配性待提升。檢測和量測技術(shù)背景在檢測環(huán)節(jié)，光學(xué)檢測技術(shù)可進(jìn)一步分為無圖形晶圓激光掃描檢測技術(shù)、圖形晶圓成像檢測技術(shù)和光刻掩膜板成像檢測技術(shù)。在量測環(huán)節(jié)，光學(xué)檢測技術(shù)基于光的波動性和相干性實現(xiàn)測量遠(yuǎn)小于波長的光學(xué)尺度，集成電路制造和先進(jìn)封裝環(huán)節(jié)中的量測主要包括三維形貌量測、薄膜膜厚量測、套刻精度量測、關(guān)鍵尺寸量測等。發(fā)展趨勢隨著集成電路器件物理尺度的縮小同時逐漸向三維結(jié)構(gòu)發(fā)展，需要檢測的缺陷尺度和測量的物理尺度也在不斷縮小的同時三維空間的檢測業(yè)在持續(xù)滲透。為滿足檢測和量測技術(shù)向高速度、高靈敏度、高準(zhǔn)確度、高重復(fù)性、高性價比的發(fā)展趨勢和要求，行業(yè)內(nèi)進(jìn)行了許多技術(shù)改進(jìn)，例如增強(qiáng)照明的光強(qiáng)、光譜范圍延展至DUV波段、提高光學(xué)系統(tǒng)的數(shù)值孔徑、增加照明和采集的光學(xué)模式、擴(kuò)大光學(xué)算法和光學(xué)仿真在檢測和量測領(lǐng)域的應(yīng)用等，未來隨著集成電路制造技術(shù)的不斷提升，相應(yīng)的檢測和量測技術(shù)水平也將持續(xù)提高。智能檢測及自動化設(shè)備行業(yè)概況智能測試及自動化設(shè)備行業(yè)主要應(yīng)用于消費電子、平板顯示工業(yè)、汽車電子、醫(yī)療電子及相關(guān)電子零部件產(chǎn)品的外觀、性能、功能等多方面檢測。該行業(yè)具備較強(qiáng)的定制化特征，融合光、機(jī)、電、算、軟等多學(xué)科發(fā)展，技術(shù)含量較高。電子產(chǎn)品功能多樣化和設(shè)計復(fù)雜化導(dǎo)致產(chǎn)品檢測種類繁多、精度要求高，檢測范圍囊括PCB、PCBA、芯片電路、功能性模組等諸多領(lǐng)域。在PCBA檢測領(lǐng)域，ICT測試及FCT測試是廣泛應(yīng)用的、現(xiàn)代電子企業(yè)必備的生產(chǎn)測試工序。ICT測試的原理是通過探針接觸測試點后通電，來檢測成品線路板所有零件的焊接情況，可以有效檢測漏裝、錯裝、參數(shù)值偏差等問題。FCT測試系通過模擬的成品線路板的運行環(huán)境，使其工作于各種設(shè)計狀態(tài)，從而獲取到各個狀態(tài)的參數(shù)來驗證測試目標(biāo)板的功能好壞。在功能性模組檢測領(lǐng)域，通常有顯示測試、無線射頻測試、音頻測試、傳感器測試等。顯示屏測試主要用于檢測LCD及OLED屏幕的亮度、顏色、對比度、均勻度等。無線射頻測試主要檢測無線電信號帶寬、功率及頻率等指標(biāo)。近年來，機(jī)器視覺技術(shù)快速發(fā)展，基于機(jī)器視覺開發(fā)的自動光學(xué)檢測設(shè)備（AutomatedOpticalInspection，AOI）得到較大范圍應(yīng)用，如在PCB檢測方面，機(jī)器通過攝像頭自動掃描PCB，采集圖像，測試的焊點與數(shù)據(jù)庫中的合格的參數(shù)進(jìn)行比較，經(jīng)過圖像處理，檢查出PCB上缺陷，并通過顯示器或自動標(biāo)志把缺陷顯示/標(biāo)示出來，供維修人員修整。又如在顯示屏檢測領(lǐng)域，AOI可以自動檢測顯示屏的外觀缺陷、顏色、壞點等情況，并通過算法判定是否通過檢測。機(jī)器視覺技術(shù)具備檢測速度快、準(zhǔn)確率較高、可靠性高等優(yōu)點，完全可以輔助甚至代替人工目檢，實現(xiàn)自動檢測。分類狀況從技術(shù)原理上看，檢測和量測包括光學(xué)檢測技術(shù)、電子束檢測技術(shù)和X光量測技術(shù)等。目前，在所有半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備中，應(yīng)用光學(xué)檢測技術(shù)的設(shè)備占多數(shù)。光學(xué)檢測技術(shù)基于光學(xué)原理，通過對光信號進(jìn)行計算分析以獲得檢測結(jié)果。在生產(chǎn)過程中，晶圓表面雜質(zhì)顆粒、圖案缺陷等問題的檢測和晶圓薄膜厚度、關(guān)鍵尺寸、套刻精度、表面形貌的測量均需用到光學(xué)檢測技術(shù)。半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備概述檢測指在晶圓表面上或電路結(jié)構(gòu)中，檢測其是否出現(xiàn)異質(zhì)情況，如顆粒污染、表面劃傷、開短路等對芯片工藝性能具有不良影響的特征性結(jié)構(gòu)缺陷；量測指對被觀測的晶圓電路上的結(jié)構(gòu)尺寸和材料特性做出的量化描述，如薄膜厚度、關(guān)鍵尺寸、刻蝕深度、表面形貌等物理性參數(shù)的量測。智能檢測及自動化設(shè)備的市場規(guī)模智能檢測及自動化行業(yè)發(fā)展與下游市場如消費電子、平板顯示、汽車電子及醫(yī)療電子等呈深度綁定關(guān)系，行業(yè)發(fā)展的核心驅(qū)動力主要源于傳統(tǒng)消費電子產(chǎn)品的升級換代、平板顯示行業(yè)新產(chǎn)能及新技術(shù)路線的投入以及在醫(yī)療電子領(lǐng)域的進(jìn)一步滲透?？傮w來看，市場前景廣闊。消費電子是智能檢測及自動化的第一大應(yīng)用領(lǐng)域，應(yīng)用場景包括智能手機(jī)、可穿戴產(chǎn)品、平板電腦、可穿戴設(shè)備、VR終端及智能家居等。消費電子產(chǎn)品具有加工工藝精細(xì)、技術(shù)要求高、更新速度快、需要持續(xù)創(chuàng)新等特點，使得其生產(chǎn)線亦需要根據(jù)產(chǎn)品升級換代而更新。2020年，消費電子市場已經(jīng)形成近萬億美元的市場規(guī)模。根據(jù)西部證券研究機(jī)構(gòu)的預(yù)測，2021-2025年消費電子市場規(guī)模的復(fù)合年均增長率為2．64%，市場規(guī)模將達(dá)到1．16萬億美元。應(yīng)用于消費電子領(lǐng)域的智能檢測及自動化設(shè)備市場需求將穩(wěn)步增長。全球平板顯示檢測行業(yè)發(fā)展與全球平板顯示產(chǎn)業(yè)具有較強(qiáng)的聯(lián)動性，通常會受下游平板顯示產(chǎn)業(yè)新增產(chǎn)線以及產(chǎn)線升級投資所驅(qū)動。在平板顯示產(chǎn)業(yè)投資方面，中國大陸在2011年以后開始成為全球平板顯示行業(yè)投資的主要地區(qū)，主要包括京東方、天馬、華星光電等中國平板顯示廠商，以及三星、友達(dá)、富士康等韓國和中國臺灣地區(qū)廠商在中國大陸的模組生產(chǎn)線投資。平板顯示行業(yè)新產(chǎn)線的擴(kuò)展為面板顯示檢測產(chǎn)業(yè)提供了基礎(chǔ)需求保障。在新能源汽車和自動駕駛大趨勢下，汽車電動化、網(wǎng)聯(lián)化、智能化方向發(fā)展，芯片、模組等電子器件得到越來越廣泛的應(yīng)用，汽車的屬性逐漸從傳統(tǒng)的機(jī)械硬件轉(zhuǎn)向機(jī)電一體、軟硬結(jié)合的產(chǎn)品，汽車電子成為智能檢測及自動化應(yīng)用的又一重點領(lǐng)域，汽