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軌道交通行業(yè)發(fā)展概況軌道交通行業(yè)發(fā)展概況碳化硅器件應(yīng)用于軌道交通牽引變流器,能極大發(fā)揮自身高溫、高頻和低損耗特性,提高牽引變流器裝置效率,符合軌道交通大容量、輕量化和節(jié)能型牽引變流裝置的應(yīng)用需求,從而提升系統(tǒng)的整體效能,未來將在軌道交通領(lǐng)域發(fā)揮重要作用。電子特氣:半導(dǎo)體制造的血液電子特種氣體又稱電子特氣,是電子氣體的一個(gè)分支,相較于傳統(tǒng)工業(yè)氣體,純度更高,其中一些具有特殊用途。電子特氣下游應(yīng)用廣泛,是集成電路、顯示面板、太陽能電池等行業(yè)不可或缺的支撐性材料。在半導(dǎo)體領(lǐng)域,電子特氣的純度直接影響IC芯片的集成度、性能和良品率,在清洗、氣相沉積成膜(CVD)、光刻、刻蝕、離子注入等半導(dǎo)體工藝環(huán)節(jié)中都扮演著重要的角色。(一)電子特氣種類較多,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝電子特氣可以根據(jù)其化學(xué)成分本身和用途的不同進(jìn)行分類。根據(jù)化學(xué)成分的不同,電子特氣可分為氟系、硅系、硼系、鍺系氧化物和氫化物等幾大類別。(二)電子特氣占比僅次于硅片,國內(nèi)市場規(guī)??焖僭鲩L半導(dǎo)體市場發(fā)展迅速,為上游電子特氣市場打開成長空間。根據(jù)SEMI數(shù)據(jù),在晶圓材料328億美元的市場份額中,電子特氣占比達(dá)13%,43億美元,是僅次于硅片的第二大材料領(lǐng)域。近年來,伴隨下游晶圓廠的加速擴(kuò)張,特氣市場景氣度向好,需求量有望持續(xù)擴(kuò)容。根據(jù)SEMI數(shù)據(jù),2020年全球晶圓制造電子氣體市場規(guī)模為43.7億美元。在全球產(chǎn)業(yè)鏈向國內(nèi)轉(zhuǎn)移的趨勢下,中國電子特氣市場規(guī)模在過去十年快速增長,2020年達(dá)到了173.6億元。特氣市場毛利率高、盈利能力強(qiáng)。在各半導(dǎo)體材料領(lǐng)域中,電子特氣公司的平均毛利率處于較高水平。對比半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈來看,晶圓廠的盈利能力最強(qiáng),例如世界最大晶圓代工廠臺積電的毛利率為51.6%,國內(nèi)晶圓廠龍頭中芯國際的毛利率約為30%。而對于特種氣體公司來說,電子特氣平均毛利率能達(dá)到近50%。世界第二的法國液化空氣集團(tuán),2010年-2019年的毛利率穩(wěn)定在60%-65%,而一般化工氣體或大宗氣體的毛利率僅在20-30%水平。國內(nèi)企業(yè)電子特氣毛利率相對較低,約為30%-40%,相較國際巨頭有一定差距,未來成長空間廣闊。伴隨技術(shù)研發(fā)的進(jìn)步和需求量的增長,電子特氣廠商盈利能力有望持續(xù)升級。(三)純度為特種氣體重要指標(biāo),提純?yōu)楹诵募夹g(shù)瓶頸特種氣體純度提升為核心技術(shù)瓶頸。集成電路對電子特氣的純度有著苛刻的要求,因?yàn)樵谛酒庸み^程中,極微量的雜質(zhì)也可能導(dǎo)致產(chǎn)品重大缺陷,特種氣體純度越高,產(chǎn)品的良率越高、性能越優(yōu)。伴隨IC芯片制程技術(shù)的不斷發(fā)展,產(chǎn)品的生產(chǎn)精度越來越高,用于集成電路制造的電子特氣亦提出了更高的純度要求。電子特氣的純度主要受三個(gè)因素影響:一是提純技術(shù)。電子特氣的分離和提純原理上可分為精餾分離、分子篩吸附分離以及膜分離三大類。在實(shí)際提純分離過程中,為提升效率和良品率,會利用多種方法進(jìn)行組合,配置工藝更為復(fù)雜,還需保證產(chǎn)品配比精度,因此抬高了研發(fā)壁壘。二是氣體檢測技術(shù)。隨著電子特氣的純度越來越高,對分析檢測方法和儀器提出了更高的要求。目前國外電子氣體的分析己經(jīng)經(jīng)歷了離線分析、在線分析、原位分析等幾個(gè)階段,對于高純度電子特氣的分析已開發(fā)出完整的測試體系。而由于我國電子特氣行業(yè)重生產(chǎn)而輕檢測,因此分析方法和儀器同國外廠商都有一定差距。三是氣體的儲存和運(yùn)輸。高純電子特氣運(yùn)輸為一大難關(guān),在儲存和運(yùn)輸過程中要求使用高質(zhì)量的氣體包裝儲運(yùn)容器、以及相應(yīng)的氣體輸送管線、閥門和接口,以防止氣體二次污染。我國加工工藝整體落后以及不符合國際規(guī)范,大部分市場被國外公司占據(jù)。專業(yè)人才缺乏,技術(shù)人員培養(yǎng)目前面臨較大困局。電子氣體生產(chǎn)環(huán)節(jié)較多、操作復(fù)雜,因此企業(yè)除了研發(fā)人才,還需要大量掌握生產(chǎn)技術(shù)、具有實(shí)際操作經(jīng)驗(yàn)的技術(shù)人員。據(jù)統(tǒng)計(jì),培養(yǎng)一名合格的生產(chǎn)技術(shù)工人至少需要2年時(shí)間,但目前國內(nèi)各大院?;疚丛O(shè)立工業(yè)氣體學(xué)科,因此企業(yè)需要花費(fèi)大量時(shí)間和資金成本對新進(jìn)人員進(jìn)行深度培養(yǎng),制約了我國企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新水平的提升速度。(四)外企壟斷電子特氣市場,國內(nèi)企業(yè)本土化優(yōu)勢顯著電子特氣市場正處于穩(wěn)定增長階段,從地理位置上看,亞太地區(qū)是電子特氣的最大消費(fèi)市場。國內(nèi)電子特氣相關(guān)需求一直依賴進(jìn)口,主要市場由空氣化工、德國林德集團(tuán)、液化空氣和太陽日酸等國外廠商占據(jù),CR4約88%,形成寡頭壟斷的局面。國際局勢疊加國內(nèi)新興產(chǎn)業(yè)迅速發(fā)展,本土化優(yōu)勢顯著。新興終端市場加速成長,國內(nèi)企業(yè)經(jīng)過多年技術(shù)積累有望迎來國產(chǎn)化全面開花。伴隨俄烏戰(zhàn)爭、經(jīng)濟(jì)制裁等事件的頻繁發(fā)生,國際局勢變得更加復(fù)雜動蕩。在此背景下,進(jìn)口產(chǎn)品價(jià)格昂貴、運(yùn)輸不便,本土化產(chǎn)品供應(yīng)穩(wěn)定、性價(jià)比高等特點(diǎn)更為顯著,國內(nèi)下游企業(yè)逐步轉(zhuǎn)向國產(chǎn)供應(yīng)。電子特氣國產(chǎn)化是必然趨勢,將在市場化因素主導(dǎo)下全面加速。截至2022年Q1,我國擁有眾多生產(chǎn)工業(yè)氣體的企業(yè),其中約一半位于華東地區(qū)。由于行業(yè)技術(shù)壁壘高且客戶粘性大,短期內(nèi)行業(yè)的馬太效應(yīng)將繼續(xù)延續(xù),但近些年國家推出的相關(guān)支持政策及法律法規(guī)有望在往來助力相關(guān)細(xì)分行業(yè)的內(nèi)資企業(yè)大力發(fā)展。半導(dǎo)體材料景氣持續(xù),市場空間廣闊半導(dǎo)體是指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料。無論從科技或經(jīng)濟(jì)發(fā)展的角度來看,半導(dǎo)體都至關(guān)重要。2010年以來,全球半導(dǎo)體行業(yè)從PC時(shí)代進(jìn)入智能手機(jī)時(shí)代,成為全球創(chuàng)新最為活躍的領(lǐng)域,廣泛應(yīng)用于計(jì)算機(jī)、消費(fèi)類電子、網(wǎng)絡(luò)通信和汽車電子等核心領(lǐng)域。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)主要由集成電路、光電子、分立器件和傳感器組成,據(jù)WSTS世界半導(dǎo)體貿(mào)易統(tǒng)計(jì)組織預(yù)測,到2022年全球集成電路占比84.22%,光電子器件、分立器件、傳感器占比分別為7.41%、5.10%和3.26%。半導(dǎo)體工藝復(fù)雜,技術(shù)壁壘極高。芯片生產(chǎn)大體可分為硅片制造、芯片制造和封裝測試三個(gè)流程。其中硅片制造包括提純、拉單晶、磨外圓、切片、倒角、磨削、CMP、外延生長等工藝,芯片制造包括清洗、沉積、氧化、光刻、刻蝕、摻雜、CMP、金屬化等工藝,封裝測試包括減薄、切割、貼片、引線鍵合、模塑、電鍍、切筋成型、終測等工藝。整體而言,硅片制造和芯片制造兩個(gè)環(huán)節(jié)技術(shù)壁壘極高。目前多晶硅廠商多采用三氯氫硅改良西門子法進(jìn)行多晶硅生產(chǎn)。具體工藝是將氯化氫和工業(yè)硅粉在沸騰爐內(nèi)合成三氯氫硅,通過精餾進(jìn)一步提純高純?nèi)葰涔?,后?100℃左右用高純氫還原高純?nèi)葰涔?,生成多晶硅沉積在硅芯上,進(jìn)而得到電子級多晶硅。目前8寸和12寸硅片大多通過直拉法制備,部分6寸和8寸硅片則通過區(qū)熔法制得。直拉法是將高純多晶硅放入石英坩堝內(nèi),通過外圍的石墨加熱器加熱至1400℃,隨后坩堝帶著多晶硅融化物旋轉(zhuǎn),將一顆籽晶浸入其中后,由控制棒帶著籽晶作反方向旋轉(zhuǎn),同時(shí)慢慢地、垂直地由硅融化物中向上拉出,并在拉出后和冷卻后生長成了與籽晶內(nèi)部晶格方向相同的單晶硅棒。區(qū)熔法利用高頻線圈在多晶硅棒靠近籽晶一端形成熔化區(qū),移動硅棒或線圈使熔化區(qū)超晶體生長方向不斷移動,向下拉出得到單晶硅棒。單晶硅棒研磨成相同直徑,然后根據(jù)客戶要求的電阻率,多采用線切割將晶棒切成約1mm厚的晶圓薄片。用具備特定形狀的砂輪磨去硅片邊緣鋒利的崩邊、棱角和裂縫等,可防止晶圓邊緣碎裂,增加外延層和光刻膠層在晶圓邊緣的平坦度。在研磨機(jī)上用磨料將切片拋光到所需的厚度,同時(shí)提高表面平整度。其目的在于去除切片工序中硅片表面因切割產(chǎn)生的機(jī)械應(yīng)力損傷層和各種金屬離子等雜質(zhì)污染。清洗:為了解決硅片表面的沾污問題,實(shí)現(xiàn)工藝潔凈表面,多采用強(qiáng)氧化劑、強(qiáng)酸和去離子水進(jìn)行清洗。薄膜沉積按照原理可分為物理工藝(PVD)和化學(xué)工藝(CVD)。集成電路制造中使用最廣泛的PVD技術(shù)是濺射鍍膜,其基本原理是在反應(yīng)腔高真空度背景下帶正電的氬離子在電場作用下,轟擊到靶材的表面,撞擊出靶材的原子或分子,沉積在硅片表面?;瘜W(xué)氣相沉積技術(shù)主要是利用含有薄膜元素的一種或幾種氣相化合物或單質(zhì)、在襯底表面上進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)生成薄膜。清潔完成后將晶圓置于800-1200℃的高溫環(huán)境下,通過氧氣或蒸氣在晶圓表面形成二氧化硅層,以保護(hù)晶圓不受化學(xué)雜質(zhì)影響、避免漏電流進(jìn)入電路、預(yù)防離子植入過程中的擴(kuò)散以及防止晶圓在刻蝕時(shí)滑落。光刻技術(shù)用于電路圖形生成和復(fù)制,是半導(dǎo)體制造最為關(guān)鍵的技術(shù),耗時(shí)占IC制造50%,成本占IC制造1/3。其主要流程包括清洗、涂膠、前烘、對準(zhǔn)、曝光、后烘、顯影、刻蝕、光刻膠剝離等,在光刻過程中,需在硅片上涂一層光刻膠,經(jīng)紫外線曝光后,光刻膠發(fā)生變化,顯影后被曝光的光刻膠可以被去除,電路圖形由掩模版轉(zhuǎn)移到光刻膠上,在經(jīng)過刻蝕后電路圖形即由掩模版轉(zhuǎn)移到硅片上。是半導(dǎo)體制造工藝中的關(guān)鍵步驟,對于器件的電學(xué)性能十分重要。利用化學(xué)或物理方法有選擇地從硅片表面去除不需要的材料,目標(biāo)是在涂膠的硅片上正確地復(fù)制掩模版圖形。按照刻蝕工藝劃分,刻蝕主要分為干法刻蝕和濕法刻蝕,目前干法刻蝕在半導(dǎo)體刻蝕中占比約90%,而干法刻蝕又可分為化學(xué)去除、物理去除及化學(xué)物理混合去除三種方式,性能各有優(yōu)劣。在半導(dǎo)體晶圓制造中,由于純凈硅的導(dǎo)電性能很差,需要加入少量雜質(zhì)使其結(jié)構(gòu)和電導(dǎo)率發(fā)生變化,從而變成一種有用的半導(dǎo)體,即為摻雜。目前可通過高溫?zé)釘U(kuò)散法和離子注入法進(jìn)行摻雜,其中離子注入法具備精確控制能量和劑量、摻雜均勻性好、純度高、低溫?fù)诫s等優(yōu)點(diǎn),目前已成為0.25微米特征尺寸以下和大直徑硅片制造的標(biāo)準(zhǔn)工藝。CMP是集成電路制造過程中實(shí)現(xiàn)晶圓表面平坦化的關(guān)鍵工藝,其主要工作原理是在一定壓力及拋光液的存在下,被拋光的晶圓對拋光墊做相對運(yùn)動,借助納米磨料的機(jī)械研磨作用與各類化學(xué)試劑的化學(xué)作用之間的高度有機(jī)結(jié)合,使被拋光的晶圓表面達(dá)到高度平坦化、低表面粗糙度和低缺陷的要求。在制備好的元器件表面沉積金屬薄膜,并進(jìn)行微細(xì)加工,利用光刻和刻蝕工藝刻出金屬互連線,然后把硅片上的各個(gè)元器件連接起來形成一個(gè)完整的電路系統(tǒng),并提供與外電路連接點(diǎn)的工藝過程。CMP:半導(dǎo)體平坦化核心技術(shù),國內(nèi)龍頭放量在即CMP,又名化學(xué)機(jī)械拋光,是半導(dǎo)體硅片表面加工的關(guān)鍵技術(shù)之一。CMP是半導(dǎo)體先進(jìn)制程中的關(guān)鍵技術(shù),伴隨制程節(jié)點(diǎn)的不斷突破,CMP已成為0.35μm及以下制程不可或缺的平坦化工藝,關(guān)乎著后續(xù)工藝良率。CMP采用機(jī)械摩擦和化學(xué)腐蝕相結(jié)合的工藝,與普通的機(jī)械拋光相比,具有加工成本低、方法簡單、良率高、可同時(shí)兼顧全局和局部平坦化等特點(diǎn)。其中化學(xué)腐蝕的主要耗材為拋光液,機(jī)械摩擦的主要耗材為拋光墊,兩者共同決定了CMP工藝的性能及良率。(一)CMP系統(tǒng)復(fù)雜,拋光液和拋光墊為核心CMP系統(tǒng)主要耗材可分為拋光液和拋光墊,分別占據(jù)拋光材料成本的49%和33%。其他拋光材料還包括拋光頭、研磨盤、檢測設(shè)備、清洗設(shè)備等。拋光液是一種由去離子水、磨料、PH值調(diào)節(jié)劑、氧化劑以及分散劑等添加劑組成的水溶性試劑。在拋光的過程中,拋光液中的氧化劑等成分與硅片表面材料產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng),在表面產(chǎn)生一層化學(xué)反應(yīng)薄膜,后由拋光液中的磨粒在壓力和摩擦的作用下將其去除,最終實(shí)現(xiàn)拋光。拋光液可根據(jù)應(yīng)用工藝環(huán)節(jié)、配方中磨粒、PH值的不同進(jìn)行分類。根據(jù)配方中磨粒的不同,可分為二氧化硅、氧化鈰、氧化鋁磨粒等三大類。二氧化硅磨?;钚詮?qiáng)、易于清洗且分散性及選擇性好,多用于硅、SiO2層間介電層的拋光。缺點(diǎn)是硬度大,容易對硅片表面造成損傷,且拋光效率較低。氧化鋁磨粒拋光效率高,但硬度強(qiáng)、選擇性低且團(tuán)聚嚴(yán)重,因此拋光液中常需加入各類穩(wěn)定劑和分散劑,導(dǎo)致成本相對較高。氧化鈰磨粒硬度低,拋光效率高,平坦度高,清潔無污染,但團(tuán)聚嚴(yán)重,也需加入各類穩(wěn)定劑和分散劑,且鈰屬于稀有金屬,成本較高。根據(jù)PH值的不同,可分為酸性拋光液和堿性拋光液。酸性拋光液具有拋光效率高、可溶性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn),多用于對銅、鎢、鋁、鈦等金屬材料進(jìn)行拋光。其缺點(diǎn)是腐蝕性較大,對拋光設(shè)備要求高,所以常選擇向拋光液中添加抗蝕劑(BTA)提高選擇性,但BTA的添加容易降低拋光液的穩(wěn)定性。不同于酸性拋光液,堿性拋光液具有腐蝕性小、選擇性高等優(yōu)點(diǎn),多數(shù)用于拋光硅、氧化物及光阻材料等非金屬材料。堿性拋光液的缺點(diǎn)也較為明顯,因?yàn)椴蝗菀渍业皆谌鯄A性中氧化勢高的氧化劑,所以拋光效率較低。拋光墊是負(fù)責(zé)輸送和容納拋光液的關(guān)鍵部件。在拋光的過程中,拋光墊具有把拋光液有效均勻地輸送到拋光墊的不同區(qū)域、清除拋光后的反應(yīng)物、碎屑等、維持拋光墊表面的拋光液薄膜,以便化學(xué)反應(yīng)充分進(jìn)行、保持拋光過程的平穩(wěn)、和晶圓片表面不變形等功能。(二)工藝制程持續(xù)升級,CMP市場穩(wěn)定增長半導(dǎo)體行業(yè)高景氣帶動CMP市場穩(wěn)定增長。伴隨半導(dǎo)體材料行業(yè)景氣度向上,CMP材料市場有望受下游市場驅(qū)動,保持穩(wěn)健增速。2020年全球拋光液和拋光墊全球市場規(guī)模分別為13.4和8.2億美元。中國CMP材料市場漲幅趨勢與國際一致,2021年拋光液和拋光墊市場規(guī)模分別為22和13億元。中國正全面發(fā)展半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè),CMP拋光產(chǎn)業(yè)未來增長空間廣闊。先進(jìn)制程為CMP材料市場擴(kuò)容提供動力。隨著芯片制程不斷微型化,IC芯片互聯(lián)結(jié)構(gòu)變得更加復(fù)雜,所需拋光次數(shù)和拋光材料的種類也逐漸變多。在芯片制造過程中,需要將電路以堆疊的方式組合起來,制程越精細(xì),所堆疊的層數(shù)就越多。在堆疊的過程中,需要使用到氧化層、介質(zhì)層、阻擋層、互連層等多個(gè)薄膜層交錯(cuò)排列,且每個(gè)薄膜層所用到的拋光材料也不相同。此外,隨著D存儲芯片結(jié)構(gòu)逐漸由2D轉(zhuǎn)向3D,CMP拋光層數(shù)和所用到的拋光材料種類也在不斷增加。根據(jù)美國陶氏杜邦公司公開數(shù)據(jù),5nm制程中拋光次數(shù)將達(dá)25-34次,64層3DD芯片中的拋光次數(shù)將達(dá)到17-32次,拋光次數(shù)均較前一代制程大幅增加。伴隨制程工藝的發(fā)展,CMP材料市場有望不斷擴(kuò)容,成長空間較大。先進(jìn)制程持續(xù)升級,半導(dǎo)體材料同步提升進(jìn)入21世紀(jì)以來,5G、人工智能、自動駕駛等新應(yīng)用的興起,對芯片性能提出了更高的要求,同時(shí)也推動了半導(dǎo)體制造工藝和新材料不斷創(chuàng)新,國內(nèi)外晶圓廠加緊對于半導(dǎo)體新制程的研發(fā),臺積電已于2020年開啟了5nm工藝的量產(chǎn),并于2021年年底實(shí)現(xiàn)3nm制程的試產(chǎn),預(yù)計(jì)2022年開啟量產(chǎn)。此外臺積電表示已于2021年攻克2nm制程的技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝技術(shù)難題,并預(yù)計(jì)于2023年開始風(fēng)險(xiǎn)試產(chǎn),2024年逐步實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。隨著芯片工藝升級,晶圓廠商對半導(dǎo)體材料要求越來越高。中國為全球最大半導(dǎo)體市場,國產(chǎn)化提升大勢所趨復(fù)盤半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展歷史,共經(jīng)歷三次轉(zhuǎn)移。第一次轉(zhuǎn)移:1973年爆發(fā)石油危機(jī),歐美經(jīng)濟(jì)停滯,日本趁機(jī)大力發(fā)展半導(dǎo)體行業(yè),實(shí)施超大規(guī)模集成電路計(jì)劃。1986年,日本半導(dǎo)體產(chǎn)品已經(jīng)超越美國,成為全球第一大半導(dǎo)體生產(chǎn)大國;第二次轉(zhuǎn)移:20世紀(jì)90年度,日本經(jīng)濟(jì)泡沫破滅,韓國通過技術(shù)引進(jìn)實(shí)現(xiàn)DRAM量產(chǎn)。與此同時(shí),半導(dǎo)體廠商從IDM模式向設(shè)計(jì)+制造+封裝模式轉(zhuǎn)變,催生代工廠商大量興起,以臺積電為首的中國臺灣廠商抓住了半導(dǎo)體行業(yè)垂直分工轉(zhuǎn)型機(jī)遇;第三次轉(zhuǎn)移:2010年后,伴隨國內(nèi)手機(jī)廠商崛起、貿(mào)易摩擦背景下國家將集成電路的發(fā)展上升至國家戰(zhàn)略,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈逐漸向國內(nèi)轉(zhuǎn)移。中國為全球最大半導(dǎo)體市場,占比約1/3。隨著中國經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展,在手機(jī)、PC、可穿戴設(shè)備等消費(fèi)電子,以及新能源、物聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)等新興領(lǐng)域的快速推動下,中國半導(dǎo)體市場快速增長。據(jù)WSTS數(shù)據(jù)顯示,2021年全球半導(dǎo)體銷售達(dá)到5559億美元,而中國仍然為全球最大的半導(dǎo)體市場,2021年銷售額為1925億美元,占比34.6%。國產(chǎn)化率極低,提升自主能力日益緊迫。近年來,隨著產(chǎn)業(yè)分工更加精細(xì)化,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)以市場為導(dǎo)向的發(fā)展態(tài)勢愈發(fā)明顯。從生產(chǎn)環(huán)節(jié)來看,制造基地逐步靠近需求市場,以減少運(yùn)輸成本;從產(chǎn)品研發(fā)來看,廠商可以及時(shí)響應(yīng)用戶需求,加快技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)品迭代。我國作為全球最大的半導(dǎo)
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