第第頁(yè)四甲基氫氧化銨(TMAH)職業(yè)中毒事故案例分析本文出自臺(tái)+灣+鐘順輝助理研究，TMAH其實(shí)在大陸也有應(yīng)用，據(jù)我所知在江蘇也有專門生產(chǎn)TMAH的化工廠，按照一般思路這個(gè)物質(zhì)無(wú)職業(yè)接觸限值，往往容易讓專業(yè)人員忽視它的潛在危險(xiǎn)，轉(zhuǎn)載此文的目的也是希望有網(wǎng)友碰到tmah引起足夠重視。

96年2月中旬，臺(tái)+灣+南部某電子化學(xué)品製造廠勞工在從事25%氫氧化四甲基銨溶液(tetramethylammoniumhydroxide，簡(jiǎn)稱TMAH)輸送系統(tǒng)之故障排除工作時(shí)，輸送管線之由令(union)突然爆裂造成兩名勞工身體多處被TMAH溶液噴濺(如圖1、圖2)，兩名勞工立即使用大量清水緊急沖淋，經(jīng)過(guò)二十分鐘左右后，兩名勞工即呈現(xiàn)昏迷現(xiàn)象，廠方人員即刻對(duì)兩員施以心肺救甦術(shù)(CPR)，并且送醫(yī)急救，經(jīng)醫(yī)院搶救無(wú)效，兩名員工當(dāng)日逝世于某醫(yī)學(xué)院燒燙傷緊急救護(hù)中心。

據(jù)了解當(dāng)時(shí)兩名勞工遭TMAH噴濺后，送醫(yī)前已到院前死亡(Deathonarrival)，雖經(jīng)院方搶救后恢復(fù)心跳及血壓，但仍不幸陸續(xù)于當(dāng)日不治。經(jīng)醫(yī)師檢視當(dāng)時(shí)兩人傷勢(shì)僅頭、頸部各約百分之五至七的二至叁度化學(xué)性灼傷，受傷面積不大，然卻在短時(shí)間內(nèi)不治身亡。故此重大工安事件當(dāng)時(shí)引起報(bào)章媒體及社會(huì)大眾極大震驚與關(guān)注。

近年來(lái)，TMAH大量地使用在半導(dǎo)體與光電等電子高科技產(chǎn)業(yè)中，其主要用途是在黃光製程中當(dāng)作顯影劑(Developer)使用，而以往其危害認(rèn)知上，僅當(dāng)成強(qiáng)鹼性與腐蝕性化學(xué)物質(zhì)處置，故其物質(zhì)安全資料表各廠商可謂莫衷一是。直到最近二、叁年陸續(xù)有勞工被噴濺致死案例發(fā)生，并引起工業(yè)界及醫(yī)界對(duì)此化學(xué)物質(zhì)危害性與處置重新探討研究。綜合各家廠商提供TMAH物質(zhì)安全資料表及相關(guān)研究報(bào)告記載此物質(zhì)為一無(wú)色至微黃液體、具有類似胺類(amine)氣味;極易溶于水中;比重為1.02g/cm3(20℃);沸點(diǎn)為102-110℃(依濃度變化，1atm);蒸氣壓為17.5-18mmHg(20℃);蒸氣密度為3.4(air=1);pH值大于13。而其主要的健康危害分成兩部份，第一部份是OHˉ基，其特性為強(qiáng)鹼與腐蝕性，健康危害效應(yīng)為造成皮膚及黏膜組織灼傷;第二部份是TMA+基，其特性為類似毒螺類神經(jīng)毒素，健康危害效應(yīng)為抑制唿吸肌肉群，造成唿吸肌肉停止，心跳減緩，嚴(yán)重者導(dǎo)致腦部缺氧死亡。故吸入、食入或皮膚大面積與TMAH接觸時(shí)，在15-30分鐘內(nèi)產(chǎn)生急性中毒，甚至唿吸停止死亡;人類口服可能致死劑量：25%TMAH0.8-4cc，2.38%TMAH8.4-42cc。其急救措施：如與皮膚接觸時(shí)，立即以大量清水持續(xù)沖洗接觸面20分鐘以上并同時(shí)脫去受污染衣物，且立即送醫(yī)急救，在過(guò)程中尤應(yīng)小心防護(hù)避免二次污染;如不慎吸入時(shí)，若患者唿吸困難時(shí)，立即供應(yīng)氧氣;如患者停止唿吸時(shí)，立即施予人工唿吸并立即送醫(yī)急救。至于目前并無(wú)其解毒劑記載。由于人體接觸到TMAH有極大致死風(fēng)險(xiǎn)存在，有關(guān)TMAH系統(tǒng)現(xiàn)場(chǎng)作業(yè)人員之個(gè)人防護(hù)具(PPE)選擇，建議從叁個(gè)風(fēng)險(xiǎn)等級(jí)進(jìn)行管理。第一級(jí)風(fēng)險(xiǎn)管理為TMAH系統(tǒng)無(wú)蓄壓狀況下，人員可能有機(jī)會(huì)碰觸此物質(zhì)，在此狀況個(gè)人防護(hù)具應(yīng)著用C級(jí)化學(xué)防護(hù)衣、面罩、安全眼鏡、防酸鹼靴及防酸鹼手套。第二級(jí)風(fēng)險(xiǎn)管理為TMAH系統(tǒng)有潛在蓄壓狀況下，人員極有可能被含有壓力存在之TMAH液體噴濺及吸入TMAH霧氣，故此狀況個(gè)人防護(hù)具應(yīng)著用C級(jí)化學(xué)防護(hù)衣(全身式)、面罩、安全眼鏡、鹼性濾毒罐唿吸防護(hù)具、防酸鹼靴及防酸鹼手套。第叁級(jí)風(fēng)險(xiǎn)管理為緊急應(yīng)變處理，系統(tǒng)之TMAH溶液持續(xù)大洩漏或發(fā)生火災(zāi)情形，此狀況個(gè)人防護(hù)具應(yīng)著用B級(jí)化學(xué)防護(hù)衣、供氣式唿吸防護(hù)具(SCBA)、防酸鹼靴及防酸鹼手套。

總之，為避免此類工安事件一再發(fā)生，除了廠方重新檢視TMAH危害性外，相關(guān)系統(tǒng)硬體設(shè)備之本質(zhì)安全