建設(shè)項(xiàng)目竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收監(jiān)測報(bào)告環(huán)監(jiān)字（2015）第（033）號項(xiàng)目名稱：第8.5代薄膜晶體管液晶顯示器件（TFT-LCD）項(xiàng)目第二階段(55k/月生產(chǎn)線)委托單位：蘇州三星電子液晶顯示科技有限公司江蘇省環(huán)境監(jiān)測中心2015年7月目錄1.前言 頁共57頁1.前言2009年，三星電子株式會社、三星（中國）投資有限公司、蘇州工業(yè)園區(qū)國有資產(chǎn)控股發(fā)展有限公司和TCL集團(tuán)股份有限公司合資成立了蘇州三星電子液晶顯示科技有限公司，投資30億美元在蘇州工業(yè)園區(qū)新建一條第7.5代薄膜晶體管液晶顯示器件生產(chǎn)線，生產(chǎn)規(guī)模為投入月玻璃基板10萬片，年產(chǎn)864萬塊7.5代液晶顯示模組。項(xiàng)目于2009年9月由環(huán)境保護(hù)部南京環(huán)境科學(xué)研究所完成環(huán)評報(bào)告書，2009年9月江蘇省環(huán)保廳以蘇環(huán)審〔2009〕161號文批復(fù)。項(xiàng)目實(shí)施過程中由于市場因素對產(chǎn)品升級，生產(chǎn)工藝引入Cu排線工程，產(chǎn)品由7.5代提升到8.5代，同時為使原設(shè)計(jì)生產(chǎn)設(shè)備的正常使用并確保污染物外排環(huán)境量不增加，調(diào)整產(chǎn)品產(chǎn)能由月產(chǎn)100K片降至75K片。針對以上變化，環(huán)境保護(hù)部南京環(huán)境科學(xué)研究所于2011年6月和11月進(jìn)行了兩次環(huán)評變更，江蘇省環(huán)保廳分別以蘇環(huán)便管〔2011〕51號文、蘇環(huán)便管〔2011〕93號文予以批復(fù)。該項(xiàng)目于2012年4月開工建設(shè)，2013年11月建成第一階段17K片/月，經(jīng)江蘇省環(huán)保廳同意投入試生產(chǎn)。受蘇州三星電子液晶顯示科技有限公司委托，我中心技術(shù)人員于2013年12月對該項(xiàng)目進(jìn)行現(xiàn)場踏勘后，發(fā)現(xiàn)該項(xiàng)目存在廢氣處理設(shè)施與環(huán)評不一致、事故應(yīng)急池未建設(shè)等批建不符問題，出具了尚不具備驗(yàn)收監(jiān)測條件的通知書。該公司針對存在問題進(jìn)行了相應(yīng)整改，并委托南京國環(huán)環(huán)境科技發(fā)展股份有限公司重新修編環(huán)評，江蘇省環(huán)保廳于2015年1月以蘇環(huán)便管[2015]14號文對該修編環(huán)評予以批復(fù)。目前項(xiàng)目產(chǎn)能已達(dá)55K片/月，由于其第一階段17K片/月為過渡產(chǎn)能，與目前55K片/月共用一套環(huán)保設(shè)施，經(jīng)省廳同意，直接進(jìn)入第二階段55K片/月試運(yùn)行。根據(jù)分期建設(shè)分期驗(yàn)收原則，本次驗(yàn)收規(guī)模為第8.5代薄膜晶體管液晶顯示器件（TFT-LCD）項(xiàng)目第二階段（55K片/月）。根據(jù)原國家環(huán)?？偩值?3號令《建設(shè)項(xiàng)目竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收管理辦法》和38號文《關(guān)于建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)設(shè)施竣工驗(yàn)收監(jiān)測管理有關(guān)問題的通知》等文件的要求，受蘇州三星電子液晶顯示科技有限公司委托，江蘇省環(huán)境監(jiān)測中心于2015年5月19日～5月22日對該項(xiàng)目中廢水、廢氣、噪聲、固體廢棄物等污染源排放現(xiàn)狀和各類環(huán)保治理設(shè)施的處理能力進(jìn)行了現(xiàn)場監(jiān)測和檢查，根據(jù)監(jiān)測結(jié)果及現(xiàn)場環(huán)境管理檢查情況，編制了本項(xiàng)目竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收監(jiān)測報(bào)告，為該項(xiàng)目的驗(yàn)收及環(huán)境管理提供科學(xué)依據(jù)。2.驗(yàn)收監(jiān)測依據(jù)2.1《建設(shè)項(xiàng)目竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收管理辦法》（國家環(huán)?？偩值?3號令，2001年12月）；2.2《關(guān)于建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)設(shè)施竣工驗(yàn)收監(jiān)測管理有關(guān)問題的通知》（國家環(huán)?？偩汁h(huán)發(fā)[2000]38號文）；2.3《江蘇省排污口設(shè)置及規(guī)范化整治管理辦法》（江蘇省環(huán)境保護(hù)局，蘇環(huán)控[97]122號）；2.4《江蘇省排放污染物總量控制暫行規(guī)定》（江蘇省人民政府[1993]第38號令）；2.5《蘇州三星電子液晶顯示科技有限公司第7.5代薄膜晶體管液晶顯示器件（TFT-LCD）項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告書》（環(huán)境保護(hù)部南京環(huán)境科學(xué)研究所，2009年9月）；2.6《關(guān)于對蘇州三星電子液晶顯示科技有限公司第7.5代薄膜晶體管液晶顯示器件（TFT-LCD）項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告書的批復(fù)》（江蘇省環(huán)境保護(hù)廳，蘇環(huán)審〔2009〕161號，2009年9月）；2.7《蘇州三星電子液晶顯示科技有限公司第7.5代薄膜晶體管液晶顯示器件（TFT-LCD）項(xiàng)目排線工藝變更環(huán)境影響補(bǔ)充說明》（環(huán)境保護(hù)部南京環(huán)境科學(xué)研究所，2011年5月）；2.8《關(guān)于對蘇州三星電子液晶顯示科技有限公司第7.5代薄膜晶體管液晶顯示器件（TFT-LCD）項(xiàng)目排線工藝變更環(huán)境影響補(bǔ)充說明的復(fù)函》（江蘇省環(huán)境保護(hù)廳，蘇環(huán)便管〔2011〕51號，2011年6月）；2.9《蘇州三星電子液晶顯示科技有限公司第7.5代薄膜晶體管液晶顯示器件（TFT-LCD）項(xiàng)目產(chǎn)品方案變更環(huán)境影響補(bǔ)充說明》（環(huán)境保護(hù)部南京環(huán)境科學(xué)研究所，2011年11月）；2.10《關(guān)于對蘇州三星電子液晶顯示科技有限公司第7.5代薄膜晶體管液晶顯示器件（TFT-LCD）項(xiàng)目調(diào)整環(huán)境影響補(bǔ)充說明的復(fù)函》（江蘇省環(huán)境保護(hù)廳，蘇環(huán)便管〔2011〕93號，2011年11月）；2.11《蘇州三星電子液晶顯示科技有限公司第8.5代薄膜晶體管液晶顯示器件（TFT-LCD）項(xiàng)目變更環(huán)境影響修編報(bào)告》（南京國環(huán)環(huán)境科技發(fā)展股份有限公司，2014年12月）；2.12《關(guān)于對蘇州三星電子液晶顯示科技有限公司第8.5代薄膜晶體管液晶顯示器件（TFT-LCD）項(xiàng)目環(huán)境影響修編報(bào)告的復(fù)函》（江蘇省環(huán)境保護(hù)廳，蘇環(huán)便管〔2015〕14 號，2015年1月）；2.13《建設(shè)項(xiàng)目試生產(chǎn)（運(yùn)行）環(huán)境保護(hù)核準(zhǔn)通知》（江蘇省環(huán)境保護(hù)廳，NO.156，2013年11月）；2.14《建設(shè)項(xiàng)目試生產(chǎn)（運(yùn)行）環(huán)境保護(hù)核準(zhǔn)通知》（江蘇省環(huán)境保護(hù)廳，NO.26，2015年2月）。3.建設(shè)項(xiàng)目工程概況3.1工程基本情況蘇州三星電子液晶顯示科技有限公司第8.5代薄膜晶體管液晶顯示器件（TFT-LCD）項(xiàng)目位于蘇州工業(yè)園區(qū)方洲路338號，投資總額30億美元，占地面積572,032平方米。項(xiàng)目地理位置、廠區(qū)平面布置見圖3-1、圖3-2。具體建設(shè)情況及建設(shè)內(nèi)容見表3-1、表3-2，建設(shè)內(nèi)容變化情況見表3-3，主要生產(chǎn)設(shè)備見表3-4。表3-1項(xiàng)目建設(shè)情況表序號項(xiàng)目執(zhí)行情況1核準(zhǔn)2010年10月由國家發(fā)改委以發(fā)改高技[2010]2796號文予以核準(zhǔn)。2環(huán)評2009年9月環(huán)境保護(hù)部南京環(huán)境科學(xué)研究所完成環(huán)評，2011年5月環(huán)境保護(hù)部南京環(huán)境科學(xué)研究所完成工藝變更環(huán)境影響補(bǔ)充說明，2011年11月環(huán)境保護(hù)部南京環(huán)境科學(xué)研究所完成產(chǎn)品方案變更環(huán)境影響補(bǔ)充說明，2015年1月南京國環(huán)環(huán)境科技發(fā)展股份有限公司完成項(xiàng)目環(huán)境影響修編報(bào)告。3環(huán)評批復(fù)2009年9月江蘇省環(huán)保廳以蘇環(huán)審[2009]161號文，2011年6月以蘇環(huán)便管[2011]51號，2011年11月以蘇環(huán)便管[2011]93號，2015年1月以蘇環(huán)便管[2015]14號予以批復(fù)。4驗(yàn)收項(xiàng)目建設(shè)規(guī)模月加工陣列玻璃基板7.5萬（75K）片(尺寸為2200mm×2500mm)、彩膜玻璃基板7.5萬片(尺寸為2200mm×2500mm)，最終產(chǎn)品為年產(chǎn)23～55英寸的液晶面板612萬塊，本次驗(yàn)收規(guī)模為55K片/月。5項(xiàng)目破土動工及竣工時間2012月年4月開工建設(shè)，2013年10月工程基本竣工。6試生產(chǎn)批準(zhǔn)及試生產(chǎn)時間經(jīng)江蘇省環(huán)保廳批準(zhǔn)于2015年2月11日投入試運(yùn)行，試運(yùn)行期3個月。經(jīng)江蘇省環(huán)保廳批準(zhǔn)，試運(yùn)行延期至2016年2月。7工程實(shí)際建設(shè)情況項(xiàng)目主體工程及環(huán)保治理設(shè)施已投入運(yùn)行，目前項(xiàng)目實(shí)際生產(chǎn)能力已達(dá)到本次驗(yàn)收規(guī)模設(shè)計(jì)生產(chǎn)能力的75%以上。表3-2驗(yàn)收項(xiàng)目建設(shè)內(nèi)容表序號類型環(huán)評/修編環(huán)評內(nèi)容實(shí)際建設(shè)情況1建設(shè)規(guī)模第8.5代薄膜晶體管液晶顯示器件（TFT-LCD）項(xiàng)目75K片/月55K片/月2產(chǎn)品類型陣列玻璃基板(尺寸為2200mm×2500mm)、彩膜玻璃基板(尺寸為2200mm×2500mm)，最終產(chǎn)品為23～55英寸的液晶面板同環(huán)評3主體設(shè)備陳列設(shè)備、成盒設(shè)備、彩膜設(shè)備和其他設(shè)備同環(huán)評4輔助設(shè)施氣體站、動力站、化學(xué)品庫、空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)、固廢堆場、廢水破氰裝置、廢氣洗滌塔等同環(huán)評表3-3項(xiàng)目建設(shè)內(nèi)容變化情況一覽表類別序號工程項(xiàng)目原環(huán)評建設(shè)內(nèi)容修編及實(shí)際建設(shè)內(nèi)容75K75K主體工程(一)生產(chǎn)工廠1.1主廠房(A)建筑面積306306m2建筑面積307,662.87m2(二)生產(chǎn)設(shè)施生產(chǎn)廠房：陣列、彩膜、成盒工程生產(chǎn)線生產(chǎn)廠房：陣列、彩膜、成盒工程生產(chǎn)線輔助工程2.1大宗氣體站建筑面積30400m2建筑面積30,400m22.2特氣儲藏站1454m21,454m2公用工程(一)公用工程3.1綜合動力站面積8782m2面積17,959m23.2變電所面積2756m2面積5,512m23.3超純水站面積8473m2面積8,473m23.4化學(xué)品配送間面積983m2面積983m23.5特氣間面積585m2面積1329.43m23.6化學(xué)品庫面積357m2面積357m23.7氣體儲藏間面積418m2面積418.15m23.8廢玻璃庫面積647m2-3.9背光源分揀間3.10貴重物品保管所面積688m2-(二)動力設(shè)施給排水、采暖通風(fēng)、氣體動力、電力工程設(shè)施給排水、采暖通風(fēng)、氣體動力、電力工程設(shè)施3.11供水系統(tǒng)自來水19249m3/d，中水3000m3/d自來水86,814m3/d中水3000m3/d3.12純水系統(tǒng)30000m3/d50,000m3/d3.13循環(huán)冷卻水系統(tǒng)規(guī)模：17700m3/h實(shí)際用量：14750m3/h規(guī)模：27,000m3/h冷卻塔：2730m3/h,共6個冷卻塔：2700m3/h,共10個3.14化學(xué)藥品貯存系統(tǒng)剝離液、顯影液、光刻膠、稀釋液、ITO刻蝕液、清洗液等剝離液、顯影液、光刻膠、稀釋液、ITO刻蝕液、清洗液等3.15空氣處理系統(tǒng)空調(diào)、凈化空調(diào)、凈化3.16冷凍水系統(tǒng)系統(tǒng)能力：2500*12=30000USRT2,500*19=47,500USRT冷凍機(jī)容量:2500USRT，5臺；2500USRT，7臺冷凍機(jī)容量

19臺(2,500

USRT)3.17熱水系統(tǒng)正常園區(qū)供熱；備用蒸汽鍋爐10T/h，2臺藍(lán)天熱電；備用蒸汽鍋爐4T/h，8臺3.18大宗氣體系統(tǒng)GN2,PN2,PO2,PH2,PAr,PHeGN2,PN2,PO2,PAr,PHe3.19特氣系統(tǒng)SiH4、NH3、PH3＋H2、NF3、SF6、Cl2、He共7種SiH4、NH3、CO2、PH3/H2、NF3、SF6、Cl2、H2共8種3.20工業(yè)壓縮空氣系統(tǒng)委托廠區(qū)外第三方企業(yè)供應(yīng)，使用量：53,625m3/h委托廠區(qū)外第三方企業(yè)供應(yīng)，使用量：267,000m3/h3.21工業(yè)真空系統(tǒng)系統(tǒng)能力6600Nm3/h系統(tǒng)能力16,200Nm3/h真空泵容量：2,760Nm3/h，5臺真空泵容量：2,700Nm3/h，6臺3.24清潔真空系統(tǒng)系統(tǒng)能力184Nm3/min系統(tǒng)能力210Nm3/min46Nm3/min，4臺60Nm3/min，2臺90Nm3/min，1臺3.25天然氣系統(tǒng)備用鍋爐用氣量：1604Nm3/h備用鍋爐用氣量：640Nm3/h廚房用氣：30Nm3/h廚房用氣：100Nm3/hVOC廢氣處理用氣量：381Nm3/hVOC廢氣處理用氣量：381Nm3/h3.26供電系統(tǒng)用電設(shè)備容量225000kVA用電設(shè)備容量225000kVA(三)環(huán)保設(shè)施3.27生產(chǎn)廢水處理系統(tǒng)及收集管網(wǎng)（由園區(qū)代建）廢水處理設(shè)施總能力：18000m3/d，其中需處理無機(jī)廢水（4500m3/d）、酸堿廢水（5100m3/d）、

有機(jī)廢水（8400m3/d）；污水收集管網(wǎng)系統(tǒng)3套：分無機(jī)廢水、酸堿廢水、

有機(jī)廢水收集管網(wǎng)各1套。廢水處理設(shè)施總能力24000m3/d，其中需處理無機(jī)廢水（6000m3/d）、酸堿廢水（6800m3/d）、有機(jī)廢水（11200m3/d）；污水收集管網(wǎng)系統(tǒng)5套：分無機(jī)廢水、酸堿廢水、

有機(jī)廢水、緊急廢水及備用管道收集管網(wǎng)各1套。3.28工業(yè)廢氣排放系統(tǒng)一般排氣（78000m3/h風(fēng)機(jī)，60臺*1300)無變化酸排氣（51060m3/h洗滌塔4臺)，4個排氣筒酸堿排氣（156682m3/h，洗滌塔5臺）(3用2備)，5個排氣筒堿排氣（120120m3/h洗滌塔4臺)，4個排氣筒有毒排氣（69660m3/h洗滌塔4臺)，4個排氣筒有毒排氣（40500m3/h，洗滌塔3臺)（2用1備），3個排氣筒有機(jī)排氣（175380m3/h沸石轉(zhuǎn)輪裝置3臺)，4個排氣筒中、高濃度有機(jī)排氣（137864m3/h，RTO焚燒裝置3臺）（2用1備），2個排氣筒低濃度有機(jī)排氣（1096118m3/h，濃縮機(jī)8臺），2個排氣筒低濃度有機(jī)排氣（70281m3/hRTO焚燒裝置4臺)（2用2備），2個排氣筒熱排氣（72000m3/h風(fēng)機(jī)12臺)熱排氣（78000m3/h風(fēng)機(jī)29臺)3.29廢液收集儲存系統(tǒng)薄膜稀釋劑30m3，彩膜稀釋劑30m3，剝離液30m3，混和溶劑30m3Cu廢液收集系統(tǒng)：①CuS廢液

:60m3,40m3,30m3(共

130m3)②CuG廢液

:60m3,40m3,30m3(共130m3)有機(jī)廢液：①有機(jī)綜合廢液

:40m3

*2ea②冷凝廢液

:40m3

*1ea③剝離廢液

:50m3

*4ea④

TF稀釋廢液

:40m3

*1ea⑤CF稀釋廢液

:40m3

*1ea(四)職業(yè)安全衛(wèi)生和勞動保護(hù)設(shè)施有害氣體和廢熱排放系統(tǒng)、新風(fēng)補(bǔ)給系統(tǒng)、防靜電設(shè)施、安全接地系統(tǒng)、防噪音設(shè)施無變化化學(xué)品防護(hù)設(shè)施（緊急噴淋及沖眼器）、氫氣管道泄漏探測和報(bào)警、有毒（害）氣體無變化探測報(bào)警器、防雷接地系統(tǒng)、應(yīng)急照明疏散指示、事故排風(fēng)、盥洗和飲水無變化婦女衛(wèi)生和職工醫(yī)療無變化(五)消防設(shè)施建筑物防火設(shè)施、室內(nèi)消火栓滅火系統(tǒng)、室內(nèi)自動噴淋系統(tǒng)、室外消火栓滅火系統(tǒng)無變化潔凈室內(nèi)排煙系統(tǒng)、滅火警報(bào)系統(tǒng)、聲光應(yīng)急疏散指示、消防電話系統(tǒng)等無變化(六)室外工程廠區(qū)道路、照明、圍墻大門、室外管道、綠化等無變化辦公及生活設(shè)施(一)生產(chǎn)管理設(shè)施工廠辦公樓(A-1)：5層，總面積13394m2。無變化門衛(wèi)：2處，總面積1166m2門衛(wèi):2處,總面積1479.71

m2包括生產(chǎn)管理設(shè)施，服務(wù)設(shè)施、門衛(wèi)及保安等無變化(二)生活設(shè)施餐廳(F)：2層，占地2778.92m2。無變化表3-4主要生產(chǎn)設(shè)備表單位：臺套工藝8.5G（75K片/月基準(zhǔn)）主要設(shè)備環(huán)評（75k片/月）實(shí)際（55k片/月）待建陣列設(shè)備清洗設(shè)備45338涂布設(shè)備25162光刻設(shè)備862PECVD設(shè)備1073(包括GATE和S/D1次、2次)554010干刻設(shè)備1183測試設(shè)備24516085Rework設(shè)備443012sputter濺射設(shè)備1566其他設(shè)備695459205合計(jì)1153765336成盒設(shè)備（Cell設(shè)備）清洗設(shè)備23175PI設(shè)備752Short設(shè)備15105液晶分配設(shè)備642組裝設(shè)備743印刷設(shè)備743摩擦設(shè)備1495其他設(shè)備657497150合計(jì)750560179彩膜設(shè)備（CF設(shè)備）涂布設(shè)備963光刻設(shè)備330清洗設(shè)備17125濺射設(shè)備312測試設(shè)備15311435其他設(shè)備490359125合計(jì)675495170其他設(shè)備自動化設(shè)備13610222合計(jì)27141922707圖3-1項(xiàng)目地理位置圖▲Z1Q25○○▲Z1Q25○○Q24▲Z2Z8▲Z8▲新加坡國際學(xué)校新加坡國際學(xué)校Q26Q26○▲Z3▲Z3Z7Z7▲▲Z▲Z4○○為無組織監(jiān)測點(diǎn)位▲為噪聲監(jiān)測點(diǎn)○Q23▲Z○Q23▲Z6▲Z5圖3-2項(xiàng)目平面布置及噪聲、無組織測點(diǎn)示意圖3.2生產(chǎn)工藝介紹第8.5代薄膜晶體管液晶顯示屏是兩塊帶有電極的玻璃板之間夾層間由液晶分子填充組成四周密封形成的盒子，其上層玻璃板為公共電極，下層為TFT陣列電路而構(gòu)成盒子，在光源設(shè)計(jì)上，TFT的顯示采用“背透式”照射方式，在液晶的背部設(shè)置類似日光燈的光管，在光源照射下先通過偏光板向上透出，再借助液晶分子發(fā)生改變的排列狀態(tài)來傳導(dǎo)光線，并通過遮光和不透光來達(dá)到顯示的目的。具體顯示屏結(jié)構(gòu)包括玻璃基板、ITO膜、配向膜、偏光板等。涉及的生產(chǎn)工藝分為陣列工程（Array）、彩膜工程（CF）和成盒工程（Cell），這些工藝設(shè)施均布置在主廠房二樓。1）陣列工藝：薄膜晶體管液晶玻璃投入至原料運(yùn)輸設(shè)備進(jìn)入初期清洗器（DI/BRUSH/超音波)進(jìn)行玻璃基板的清洗工作，清洗后的玻璃基板運(yùn)送至濺射工作臺進(jìn)行蒸著濺射，以及化學(xué)氣相沉積程序，后進(jìn)入漏光器進(jìn)行曝光，曝光后進(jìn)行刻蝕去除蒸著膜，然后進(jìn)行顯影工作，然后是剝離，剝離后進(jìn)行退火工藝，最后使用CCD相機(jī)等設(shè)備進(jìn)行成品檢查，合格品從薄膜晶體管液晶玻璃出口送出。2）彩膜工程：玻璃基板由原料運(yùn)輸設(shè)備輸送至初期清洗器（DI/BRUSH/超音波)進(jìn)行有機(jī)物的去除清洗，進(jìn)行BM膜的涂膠曝光顯影程序，經(jīng)顯影的基板分別使用RED漏光器、GREEN漏光器、BLUE漏光器進(jìn)行RGB膜的涂膠曝光顯影，后進(jìn)行涂膠剝離，剝離后的玻璃板進(jìn)入到SPUTTER(ITOTarget)設(shè)備進(jìn)行金屬氧化膜的濺射沉積，最后進(jìn)行MVA和PS膜的涂膠曝光顯影即可獲得成品，成品檢查后合格品從彩膜玻璃出口送出。3）成盒工程：陣列工藝和彩膜工程的成品在涂膜設(shè)備（PIPRINTER）中進(jìn)行配向膜工序，然后封裝、注入液晶，真空粘貼后進(jìn)行分割，最后貼偏光板即可獲得成品，成品進(jìn)行檢查，合格品出庫。生產(chǎn)工藝流程見圖3-3至圖3-5。清洗清洗濺射光刻濕刻干刻化學(xué)氣相沉積CVD清洗剝離初始清洗濺射掩模光刻濕法刻蝕剝離陣列工程柵電極工序源漏工序SiH4,PH3,NF3,NH3,Ar,He,H2有毒廢氣Gg1含氟廢水Wf3Cu,Ti,ArCu,Ti,Ar清洗液(TMAH)超純水光刻膠,稀釋劑,清洗液(TMAH),顯影液,超純水Cu刻蝕液超純水剝離液超純水有機(jī)廢水Wy1堿性廢氣Gj1有機(jī)廢水Wy1,Wy2有機(jī)廢液Ls2有機(jī)廢氣Gy2堿性廢氣Gj1清洗液(TMAH)超純水有機(jī)廢水Wy1堿性廢氣Gj1清洗液(TMAH)超純水光刻膠,稀釋劑,清洗液(TMAH)顯影液,超純水Cu刻蝕液超純水SF6,Cl2,O2,He剝離液超純水有機(jī)廢水Wy1堿性廢氣Gj1含磷廢水Wf4酸性廢液Ls1酸性廢氣Gs1有毒廢氣Gg2含氟廢水Wf3有機(jī)廢水Wy3剝離廢液Ls3有機(jī)廢氣Gy1有機(jī)廢水Wy1,Wy2有機(jī)廢液Ls2有機(jī)廢氣Gy2堿性廢氣Gj1含磷廢水Wf4酸性廢液Ls1酸性廢氣Gs1有機(jī)廢水Wy3剝離廢液Ls3有機(jī)廢氣Gy1含銅廢水銅刻蝕廢液含銅廢水銅刻蝕廢液圖3-3陣列工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)圖彩膜工程彩膜工程黑矩陣工序清洗光阻涂布曝光顯影烘干平坦化工序清洗光阻涂布ITO工序清洗濺射烘干PS膜工序清洗光阻涂布曝光顯影烘干TMAH清洗液PCW,N2,超純水有機(jī)PR,稀釋劑,N2PCWN2,超純水有機(jī)顯影液,PCWAirLGL清洗液PCW,N2,超純水有機(jī)PR,稀釋劑,N2ITO,O2,ArLGL清洗液PCW,N2,超純水AirLGL清洗液PCW,N2,超純水有機(jī)PR,稀釋劑,N2PCWN2,超純水有機(jī)顯影液,PCWAir堿性廢氣Gj3含磷廢水Wf1有機(jī)廢液Ls4有機(jī)廢氣Gy3堿性廢氣Gj3含磷廢水Wf2有機(jī)廢水Wy1,堿性廢氣Gj1有機(jī)廢液Ls4有機(jī)廢氣Gy3堿性廢氣Gj3含磷廢水Wf2堿性廢氣Gj3含磷廢水Wf1有機(jī)廢液Ls4有機(jī)廢氣Gy3堿性廢氣Gj3含磷廢水Wf1圖3-4彩膜工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)圖有機(jī)有機(jī)廢液,Ls5有機(jī)廢水Wy4,有機(jī)廢氣Gy4陣列工程成盒工程彩膜工程清洗PI涂布固化封框膠檢查PI廢液Ls5有機(jī)廢氣Gy6有機(jī)廢氣Gy6超純水,清洗液配向膜密封膠、玻璃纖維液晶滴下液晶真空貼合紫外固化本固化切割裂片磨邊清洗超純水檢驗(yàn)出廠清洗有機(jī)廢液Ls5有機(jī)廢水Wy5有機(jī)廢氣Gy5超純水,清洗液清洗超純水密封膠堿性廢氣Gj3堿性廢氣Gj3清洗排水去清洗水回收系統(tǒng)清洗排水去清洗水回收系統(tǒng)圖3-5成盒工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)圖項(xiàng)目主要原輔材料耗用情況見表3-5。表3-5主要原輔材料及能源消耗情況表編號材料名稱年使用量單位環(huán)評(8.5G75K)實(shí)際(8.5G55K)1)陣列工藝1清洗液9,0006,600t2玻璃基板(Array)900,000660,000SH3剝離液(Stripper)62504,120t4顯像液1,5841,161t5光刻膠504213t6稀釋液620340t7CuMetal刻蝕液(Gate)7,1004,500t8CuMetal刻蝕液(SD)22,00014,995t9CO26637t10IZO刻蝕液2,300602t11NF326219212SF66331t13SiH43324t14NH39465t15PH30.5540.2t16Cl22814t17IZO靶材3.983t18Ti靶材2.011.5t19Cu靶材66.0949t2)彩膜工藝661玻璃基板900,000660,000SH2顯像液1,8201,025t3稀釋劑34034060300t4Detergent清洗液6044t5Detergent清洗液109.580t6CFPR(R)144106t7CFPR(G)147108t8CFPR(B)142104t9CFPR(BM)9973t10CFPR(OC)13095t11CFPR(CS)10174t12ITOetchant417.1306t13CFReprocess藥液400293t14ITO靶材7.125t3)成盒工藝1液晶材料16.0512t2玻璃纖維0.0340.02t3配向材料(PI)69.2251t4PIRework液625.9459t5封框膠2.441.8t6丙酮30.3122.23t7NMP1511t8PI前清洗1074.1788t9組裝前清洗1095803t4）能源等1總用電量160,000120,000KVA2總用水量23,4149,516m3/d3純水用量36,75720,304m3/d4天然氣630364Nm3/h5水蒸氣102.4t/h6壓縮空氣53,62550,000Nm3/h7真空19,48314,000Nm3/h8N2Gas21,1759,432Nm3/h9制程用冷卻水3,9801,802m3/h10PN2(氮?dú)?17294Nm3/h11PO2(氧氣)579425Nm3/h12PH2(氫氣)273200Nm3/h13Par(氬氣)31.6Nm3/h14PHe(氦氣)94.1Nm3/h3.3環(huán)評結(jié)論及環(huán)評批復(fù)的要求3.3.1環(huán)評結(jié)論：⑴原環(huán)評本項(xiàng)目采用了先進(jìn)的工藝技術(shù)和設(shè)備，符合清潔生產(chǎn)要求，各項(xiàng)污染物能夠穩(wěn)定達(dá)標(biāo)排放，對環(huán)境影響較小，環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)可以接受。在嚴(yán)格執(zhí)行“三同時”制度、落實(shí)本報(bào)告書提出的各項(xiàng)環(huán)保措施的前提下，從環(huán)境保護(hù)角度分析，擬建項(xiàng)目建設(shè)是可行的。本項(xiàng)目擬建地為蘇州工業(yè)園區(qū)，選址符合地方規(guī)劃，產(chǎn)品和生產(chǎn)工藝為國家鼓勵的高新技術(shù)，符合國家產(chǎn)業(yè)政策要求；項(xiàng)目生產(chǎn)采取先進(jìn)設(shè)備和先進(jìn)生產(chǎn)技術(shù)，做到節(jié)能降耗，可符合清潔生產(chǎn)要求；項(xiàng)目產(chǎn)生的廢氣、廢水、噪聲、固廢（液）經(jīng)過合理有效的處理措施，做到達(dá)標(biāo)排放，排放總量可以在蘇州工業(yè)園區(qū)范圍內(nèi)平衡；項(xiàng)目擬建地大氣、噪聲環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀符合質(zhì)量功能要求，本項(xiàng)目不排放含N和P的廢水，園區(qū)第一污水污水處理廠處理能力能滿足本項(xiàng)目要求，因此從環(huán)境保護(hù)的角度來看，在落實(shí)環(huán)評提出相關(guān)措施的情況下，本項(xiàng)目建設(shè)是可行的。⑵第一次修編本項(xiàng)目采用了先進(jìn)的工藝技術(shù)和設(shè)備，符合清潔生產(chǎn)要求，各項(xiàng)污染物能夠穩(wěn)定達(dá)標(biāo)排放，對環(huán)境影響較小，環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)可以接受。在嚴(yán)格執(zhí)行“三同時”制度、落實(shí)本報(bào)告書提出的各項(xiàng)環(huán)保措施的前提下，從環(huán)境保護(hù)角度分析，擬建項(xiàng)目建設(shè)是可行的。本項(xiàng)目擬建地為蘇州工業(yè)園區(qū)，選址符合地方規(guī)劃，產(chǎn)品和生產(chǎn)工藝為國家鼓勵的高新技術(shù)，符合國家產(chǎn)業(yè)政策要求；項(xiàng)目生產(chǎn)采取先進(jìn)設(shè)備和先進(jìn)生產(chǎn)技術(shù)，做到節(jié)能降耗，可符合清潔生產(chǎn)要求；項(xiàng)目產(chǎn)生的廢氣、廢水、噪聲、固廢（液）經(jīng)過合理有效的處理措施，做到達(dá)標(biāo)排放，排放總量可以在蘇州工業(yè)園區(qū)范圍內(nèi)平衡；項(xiàng)目擬建地大氣、噪聲環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀符合質(zhì)量功能要求，本項(xiàng)目不排放含N和P的廢水，園區(qū)第一污水污水處理廠處理能力能滿足本項(xiàng)目要求，因此從環(huán)境保護(hù)的角度來看，在落實(shí)環(huán)評提出相關(guān)措施的情況下，本項(xiàng)目建設(shè)是可行的。⑶第二次修編環(huán)評單位對建設(shè)單位所提供的技術(shù)資料進(jìn)行客觀分析后認(rèn)為：本次項(xiàng)目變更后，項(xiàng)目污染物排放量均有所下降，項(xiàng)目外排環(huán)境污染物量可以控制在原環(huán)評核定指標(biāo)內(nèi)。項(xiàng)目變更后，不新增污染物外排環(huán)境量，不會產(chǎn)生新的環(huán)境影響。在切實(shí)采取原環(huán)評批復(fù)提出的各項(xiàng)要求的前提下，從環(huán)境保護(hù)角度論證，項(xiàng)目變更是環(huán)?？尚械?。⑷第三次修編環(huán)評單位對建設(shè)單位所提供的技術(shù)資料進(jìn)行客觀分析后認(rèn)為：本項(xiàng)目建成55K規(guī)模并進(jìn)行試生產(chǎn)，根據(jù)目前55k運(yùn)行情況，進(jìn)行多次采樣監(jiān)測分析，污染物排放情況有所變化，分析原因主要是由于2011年本項(xiàng)目7.5代變更為8.5代生產(chǎn)線時，項(xiàng)目建設(shè)方未有實(shí)際的8.5代線生產(chǎn)情況進(jìn)行類比參考，未考慮由于面板尺寸增大，而造成的原輔料用量和污染物排放量的變化；在實(shí)際建設(shè)過程中，部分公用工程建設(shè)規(guī)模發(fā)生了變化；在運(yùn)行過程中，有協(xié)助廠商的人員在廠區(qū)內(nèi)工作，實(shí)際在廠人數(shù)由1419人增加至2600人，增加了1181人，生活污水增加140t/d；在實(shí)際建設(shè)過程中，廢氣處理設(shè)施數(shù)量和工藝發(fā)生了變化。總體而言，本次項(xiàng)目實(shí)際污染物排放量和原環(huán)評相比有所變化，部分項(xiàng)目外排環(huán)境污染物量超過了原環(huán)評核定指標(biāo)。但項(xiàng)目變更后，污染物均能達(dá)標(biāo)排放，不會對環(huán)境產(chǎn)生大的不良環(huán)境影響。在切實(shí)采取原環(huán)評批復(fù)提出的各項(xiàng)要求的前提下，從環(huán)境保護(hù)角度論證，項(xiàng)目調(diào)整從環(huán)保上是可行的。3.3.2環(huán)評批復(fù)的要求環(huán)評報(bào)告書和修編報(bào)告的批復(fù)意見見附件。4.污染物的排放及防治措施4.1廢水排放及防治措施該項(xiàng)目廢水主要有酸堿廢水、含氰廢水、無機(jī)廢水、有機(jī)廢水和生活污水等。酸堿廢水經(jīng)過中和處理后，排入蘇州工業(yè)園區(qū)第一污水處理廠；含氰廢水采用破氰處理后與無機(jī)廢水合并，后經(jīng)化學(xué)沉淀后，與有機(jī)廢水一同進(jìn)入蘇州工業(yè)園區(qū)中水回用工程；生活污水中的餐廳廢水經(jīng)過隔油處理后連同其他生活污水一并進(jìn)入蘇州工業(yè)園區(qū)第一污水處理廠。雨水通過廠區(qū)周邊11個雨水排口排入園區(qū)雨水管網(wǎng)。廢水處理設(shè)施總能力24000m3/d，其中需處理無機(jī)廢水（6000m3/d）、酸堿廢水（6800m3/d）、有機(jī)廢水（11200m3/d）；污水收集管網(wǎng)系統(tǒng)5套：分無機(jī)廢水、酸堿廢水、有機(jī)廢水、緊急廢水及備用管道收集管網(wǎng)各1套。具體廢水排放及防治措施見表4-1，項(xiàng)目廢水處理工藝流程及監(jiān)測點(diǎn)位見圖4-1。表4-1廢水排放及防治措施生產(chǎn)設(shè)施/排放源排放方式環(huán)評廢水量（75K片/月，t/d）主要污染物處理設(shè)施環(huán)評/初步設(shè)計(jì)的要求實(shí)際建設(shè)有機(jī)廢水連續(xù)8400pH、化學(xué)需氧量、五日生化需氧量、懸浮物、氨氮、總氮送蘇州工業(yè)園區(qū)市政公用發(fā)展集團(tuán)代建的廢水預(yù)處理設(shè)施生化處理后進(jìn)入園區(qū)配套中水廠同環(huán)評無機(jī)廢水連續(xù)4500pH、化學(xué)需氧量、懸浮物、氨氮、總氮、總磷、銅、鈦、錫、氟化物、氰化物含氰廢水經(jīng)車間破氰處理后與無機(jī)廢水混合后排入代建的廢水預(yù)處理設(shè)施絮凝沉淀+生化處理后排入中水廠同環(huán)評含氰廢水連續(xù)酸堿廢水連續(xù)5100pH、化學(xué)需氧量、懸浮物送園區(qū)廢水處理廠中和處置后排出至園區(qū)污水處理廠同環(huán)評生活污水間歇390pH、化學(xué)需氧量、懸浮物、五日生化需氧量、氨氮、總氮、總磷經(jīng)化糞池、隔油池后接管園區(qū)污水處理廠食堂含油廢水經(jīng)隔油池后與其他生活污水送園區(qū)污水處理廠集中處理蘇州工業(yè)園區(qū)第一污水處理廠物化沉淀有機(jī)廢水生化處理無機(jī)廢水化學(xué)沉淀含氰廢水破氰裝置酸堿廢水中和處理中新環(huán)技廠內(nèi)園區(qū)代建預(yù)處理設(shè)施中水廠注：-廢氣處理設(shè)施、藥劑儲罐初期雨水通過地溝、管道收集至廢水處理系統(tǒng)；-空調(diào)冷凝水接入冷卻塔回用，冷卻塔產(chǎn)生少量廢水排放至酸堿廢水處理系統(tǒng)。圖4-1該項(xiàng)目廢水處理工藝流程及監(jiān)測點(diǎn)位示意圖PAGE4.2廢氣排放及防治措施本項(xiàng)目排放的廢氣主要為酸性廢氣、堿性廢氣、有毒廢氣和有機(jī)廢氣等。項(xiàng)目鍋爐為備用鍋爐，采用天然氣作為燃料，鍋爐廢氣僅在備用情況下產(chǎn)生。廢氣排放及處理措施見表4-2。表4-2廢氣排放及處理措施生產(chǎn)設(shè)施/排放源“環(huán)評”廢氣量（m3/h）污染物處理設(shè)施環(huán)評修編前環(huán)評修編后實(shí)際建設(shè)酸堿廢氣156682氮氧化物、氟化物、硫酸霧、氨酸性廢氣、堿性廢氣單獨(dú)處理，各4根46米高排氣筒酸性和堿性廢氣合并，經(jīng)5套（25%NaOH）濕式洗滌塔處理后，通過5根46米高排氣筒排放（3用2備））同環(huán)評修編有毒廢氣40500磷烷、硅烷、氟化物、氨氣、氯氣、氯化氫、氮氧化物、磷酸、TVOCPOU+濕式洗滌塔處理后，4根46米高排氣筒3套POU+濕式洗滌塔（30%NaOH）處理后，經(jīng)3根46米高排氣筒排放（2用1備）同環(huán)評修編中高濃度有機(jī)廢氣137864非甲烷總烴、丙酮、TVOC沸石轉(zhuǎn)輪+RTO焚燒，4個排氣筒3臺RTO焚燒（2用1備）處理后，經(jīng)2根46米高排氣筒排放同環(huán)評修編低濃度有機(jī)廢氣（濃縮機(jī)）1096118非甲烷總烴、丙酮、TVOC無沸石轉(zhuǎn)輪濃縮機(jī)吸附后經(jīng)2跟46米高排氣筒排放同環(huán)評修編低濃度有機(jī)廢氣（RTO）70281非甲烷總烴、丙酮、TVOC無沸石轉(zhuǎn)輪加熱解離廢氣送RTO（2用2備）焚燒處理后，經(jīng)2根46米高排氣筒排放同環(huán)評修編熱排氣78000/12臺風(fēng)機(jī)29臺風(fēng)機(jī)同環(huán)評修編鍋爐煙氣煙塵、二氧化硫、氮氧化物天然氣作為燃料，直排同環(huán)評修編無組織/氨、氟化物、氯氣///4.3噪聲及防治措施該項(xiàng)目噪聲源主要有柴油發(fā)電機(jī)房、冷凍機(jī)房、廢氣處理裝置以及冷卻塔內(nèi)的輔助動力設(shè)備等。主要防治措施包括選用低噪聲設(shè)備，合理布局廠區(qū)等。該項(xiàng)目噪聲的產(chǎn)生和治理情況見表4-3。表4-3噪聲產(chǎn)生及治理情況噪聲源數(shù)量（臺/套）聲級值dB(A)治理措施冷凍機(jī)組1285選用低噪聲設(shè)備，采用減振臺基礎(chǔ)、設(shè)消聲器、加柔性軟接頭、安裝隔聲門、隔聲窗、鋪設(shè)吸聲材料等冷水泵1280冷卻塔680冷凍水泵1780真空泵485風(fēng)機(jī)53<804.4固體廢物及其處置該項(xiàng)目固體廢棄物的產(chǎn)生和處置情況見表4-4。表4-4固體廢棄物產(chǎn)生及處置情況序號固廢名稱類別危廢編號環(huán)評產(chǎn)量（t/a）實(shí)際產(chǎn)量（t/a）環(huán)評要求實(shí)際去向及處置方式1Cu刻蝕廢液危險(xiǎn)廢物HW22類22,79018,000委托有資質(zhì)單位進(jìn)行合理處置蘇州華鋒化學(xué)有限公司昆山市大洋環(huán)境凈化有限公司昆山市亞盛環(huán)?；厥绽糜邢薰咎K州市康潔物資再生有限公司方式：安全處置、水處理2廢TFT稀釋液HW42類900-499-42835300蘇州瑞環(huán)化工有限公司方式：回收再利用3剝離廢液HW42類900-499-425,0003,6004廢CF稀釋液HW42類900-499-425003005廢有機(jī)溶劑HW42類900-499-4220103506冷凝廢液HW42類900-499-425703007固體有機(jī)廢物HW49類900-041-496060吳江市綠怡固廢回收處置有限公司方式：焚燒8有機(jī)廢水處理污泥HW42類900-499-4245002500蘇州新區(qū)環(huán)保服務(wù)中心有限公司江蘇康博工業(yè)固體廢棄物處置有限公司方式：焚燒9無機(jī)廢水處理污泥一般工業(yè)固廢56、57170003,500衛(wèi)生填埋蘇州東吳熱電有限公司方式：焚燒10廢玻璃783,4001,320綜合利用蘇州市新旗再生資源回收有限公司方式：填埋11廢塑料類61300250蘇州吳城環(huán)保開發(fā)有限公司方式：綜合利用12廢木材802,1002,100蘇州吳城環(huán)保開發(fā)有限公司方式：綜合利用13廢紙類79500500蘇州吳城環(huán)保開發(fā)有限公司方式：綜合利用14生產(chǎn)廢料86250250蘇州市蘇發(fā)物資再生有限公司方式：綜合利用15廢鐵類86300200蘇州吳城環(huán)保開發(fā)有限公司方式：綜合利用16廢金屬82125125蘇州市蘇發(fā)物資再生有限公司方式：綜合利用17廢泡沫塑料617510蘇州市蘇發(fā)物資再生有限公司方式：綜合利用18廢PCB61501.5蘇州市新旗再生資源回收有限公司方式：綜合利用19化學(xué)藥品容器61、7815040吳江市綠怡固廢回收處置有限公司方式：焚燒20辦公及生活垃圾991,600400衛(wèi)生填埋蘇州工業(yè)園區(qū)蔞環(huán)清潔服務(wù)有限公司方式：焚燒填埋固廢產(chǎn)生量由建設(shè)單位提供，由環(huán)保主管部門進(jìn)一步核實(shí)。5.驗(yàn)收監(jiān)測評價標(biāo)準(zhǔn)5.1廢水排放標(biāo)準(zhǔn)本項(xiàng)目破氰裝置出口總氰化物排放執(zhí)行環(huán)評標(biāo)準(zhǔn)要求；生活污水、酸堿廢水接管口污染物排放執(zhí)行蘇州工業(yè)園區(qū)第一污水處理廠接管標(biāo)準(zhǔn)和《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB8978-1996）三級標(biāo)準(zhǔn)，預(yù)處理設(shè)施出口污染物排放執(zhí)行蘇州工業(yè)園區(qū)中水廠接管標(biāo)準(zhǔn)和批復(fù)要求，具體標(biāo)準(zhǔn)限值見表5-1。表5-1廢水排放標(biāo)準(zhǔn)單位：mg/L排口污染物標(biāo)準(zhǔn)限值依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)接管口（生活污水南排口、生活污水北排口、中新環(huán)技接管口）pH6~9（無量綱）蘇州工業(yè)園區(qū)第一污水處理廠接管標(biāo)準(zhǔn)SS400COD500BOD5300氨氮35磷酸鹽（以P計(jì)）8色度200（稀釋倍數(shù)）氟化物20《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB8978-1996）三級標(biāo)準(zhǔn)動植物油100廢水預(yù)處理設(shè)施出口（生化設(shè)施后）pH6~9蘇州工業(yè)園區(qū)中水廠接管標(biāo)準(zhǔn)（環(huán)評修編報(bào)告）SS30COD100氨氮6磷酸鹽（以P計(jì)）5氟化物10總氰化物0.2總氮8環(huán)評批復(fù)要求（蘇環(huán)便管〔2011〕51號）破氰裝置出口總氰化物0.2環(huán)評批復(fù)要求（蘇環(huán)便管〔2011〕51號）98%（去除效率）5.2廢氣排放標(biāo)準(zhǔn)項(xiàng)目工藝廢氣污染物排放執(zhí)行《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB16297-1996）中的表2二級標(biāo)準(zhǔn)要求，氨執(zhí)行《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB14554-93）中二級標(biāo)準(zhǔn)，磷酸霧、丙酮、TVOC、磷烷、硅烷執(zhí)行環(huán)評標(biāo)準(zhǔn)要求。詳見表5-2。表5-2工藝廢氣排放評價標(biāo)準(zhǔn)污染物最高允許排放度（mg/m3）最高允許排放速率（kg/h）無組織排放監(jiān)控濃度限值（mg/m3）標(biāo)準(zhǔn)來源排氣筒高度（46m）氮氧化物24010.2*/《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB16297-96）表2二級標(biāo)準(zhǔn)及無組織排放監(jiān)控濃度限值顆粒物6026.4*/氟化物9.01.3*20（μg/m3）氯化氫1003.3*/硫酸霧4519.8*/氯氣654.16*0.40非甲烷總烴120128*/磷酸霧5.06.98/環(huán)評標(biāo)準(zhǔn)（《北京市大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（DB11/501-2007）氨/35**1.5《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB14554-93）表1二級新擴(kuò)改建標(biāo)準(zhǔn)及表2標(biāo)準(zhǔn)磷烷1.00.010/環(huán)評標(biāo)準(zhǔn)（《荷蘭排放導(dǎo)則》（NER））硅烷5.00.050/丙酮40030.88/環(huán)評標(biāo)準(zhǔn)（確定地方大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)的技術(shù)方法核算）TVOC/排放速率＜0.6kg/h或去除效率＞90％/環(huán)評標(biāo)準(zhǔn)（臺灣地區(qū)《半導(dǎo)體制造業(yè)空氣污染管制及排放標(biāo)準(zhǔn)》）注：“*”依據(jù)《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB16297-1996）規(guī)定使用內(nèi)插法計(jì)算得出，“**”依據(jù)《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB14554-93）規(guī)定四舍五入法推算得出。5.3廠界噪聲標(biāo)準(zhǔn)該項(xiàng)目廠界噪聲執(zhí)行《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB12348-2008）3類標(biāo)準(zhǔn)。有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)限值見表5-3。表5-3噪聲標(biāo)準(zhǔn)限值單位：LeqdB(A)時段標(biāo)準(zhǔn)限值排放標(biāo)準(zhǔn)晝間65《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB12348-2008）3類標(biāo)準(zhǔn)夜間555.4總量控制指標(biāo)根據(jù)江蘇省環(huán)境保護(hù)廳對該項(xiàng)目環(huán)評及修編環(huán)評的復(fù)函，該項(xiàng)目建成后公司污染物年排放總量見表5-4。表5-4全公司總量控制指標(biāo)類別指標(biāo)≤標(biāo)準(zhǔn)值（噸/年）大氣污染物（廢氣）氮氧化物26.28磷酸1.752氯2.251氟化物4.091氯化氫0.981氨2.19硫酸霧2.137硅烷0.28磷烷0.088非甲烷總烴23.81丙酮1.515TVOC57.247水污染物（接管考核量）接入蘇州工業(yè)園區(qū)中水廠無機(jī)、有機(jī)廢水廢水量464.4萬COD（化學(xué)需氧量）464.4SS（懸浮物）92.88氨氮23.22氟化物16.2Cu（銅）0.81Ti（鈦）0.188Sn（錫）0.117CN（總氰化物）0.324TN（總氮）37.152TP（總磷）4.644接入蘇州工業(yè)園區(qū)第一污水處理廠酸堿廢水廢水量183.6萬COD275.4SS275.4生活污水廢水量14.04萬COD49.14SS21.06氨氮4.91TN4.91TP0.7固廢零排放（委托外部有資質(zhì)單位處理）6.驗(yàn)收監(jiān)測內(nèi)容6.1廢水監(jiān)測本項(xiàng)目廢水監(jiān)測點(diǎn)位、項(xiàng)目及頻次見表6-1。監(jiān)測點(diǎn)位見圖4-1。表6-1廢水監(jiān)測內(nèi)容、項(xiàng)目和頻次分類監(jiān)測點(diǎn)位及編號監(jiān)測項(xiàng)目監(jiān)測頻次生活污水南接管口（S1）pH、懸浮物、化學(xué)需氧量、BOD5、氨氮、總磷、總氮、動植物油4次/周期，連續(xù)2周期北接管口（S2）酸堿廢水接管口(S3)pH、懸浮物、化學(xué)需氧量、氟化物、色度含氰廢水進(jìn)口（S4）總氰化物濃度及處理效率出口(S5)廢水預(yù)處理設(shè)施排口（S6）pH、懸浮物、化學(xué)需氧量、氨氮、總磷、總氮、銅、鈦、錫、氟化物、總氰化物雨排口（有流動水時采樣）11個雨水排口（S7~S17）pH、懸浮物、化學(xué)需氧量、總氰化物6.2廢氣監(jiān)測本項(xiàng)目廢氣監(jiān)測點(diǎn)位、項(xiàng)目和頻次見表6-2。表6-2廢氣監(jiān)測點(diǎn)位、項(xiàng)目和頻次工段SSL設(shè)施內(nèi)部名稱監(jiān)測點(diǎn)位煙道尺寸（mm）監(jiān)測項(xiàng)目監(jiān)測頻次酸堿廢氣處理設(shè)施500CMM酸堿廢氣2#進(jìn)口（Q1）、出口（Q2）進(jìn)口：φ1130出口：φ1100廢氣參數(shù)，氮氧化物、氟化物、硫酸霧、氨排放濃度和排放速率3次/周期，2周期800CMM酸堿廢氣3#進(jìn)口（Q3）、出口（Q5）進(jìn)口：φ1230出口：φ1400酸堿廢氣4#進(jìn)口（Q4）、出口（Q6）有毒廢氣處理設(shè)施400CMM有毒廢氣1#進(jìn)口（Q7）、出口（Q9）進(jìn)口：φ1030出口：φ1400廢氣參數(shù)，磷烷②、硅烷②、氟化物、氨、氯氣、氯化氫、氮氧化物、磷酸②、TVOC②排放濃度和排放速率有毒廢氣2#進(jìn)口（Q8）、出口（Q10）中高濃度有機(jī)廢氣處理設(shè)施1200CMM有機(jī)廢氣1#進(jìn)口（Q11①）、出口（Q13）進(jìn)口：φ2300出口：φ2300廢氣參數(shù)，非甲烷總烴、丙酮、TVOC②排放濃度和排放速率有機(jī)廢氣2#進(jìn)口（Q12①）、出口（Q14）低濃度有機(jī)廢氣濃縮機(jī)處理設(shè)施2500CMM低濃度有機(jī)廢氣濃縮機(jī)1-1#進(jìn)口（Q15）、出口（Q17）進(jìn)口：2700*3400出口：φ3900廢氣參數(shù)，非甲烷總烴、丙酮、TVOC②排放濃度和排放速率低濃度有機(jī)廢氣濃縮機(jī)2-1#進(jìn)口（Q16）、出口（Q18）低濃度有機(jī)廢氣RTO700CMM低濃度有機(jī)廢氣RTO1-2#進(jìn)口（Q19）、出口（Q21）進(jìn)口：φ1500出口：φ1900廢氣參數(shù)，非甲烷總烴、丙酮、TVOC②排放濃度和排放速率低濃度有機(jī)廢氣RTO2-2#進(jìn)口（Q20）、出口（Q22）無組織排放廠周界上風(fēng)向1個對照點(diǎn)（Q23），下風(fēng)向設(shè)3個監(jiān)控點(diǎn)（Q24～Q26）/氣象參數(shù)，氨、氟化物、氯氣濃度注：①Q(mào)11和Q12點(diǎn)為同一點(diǎn)，是有機(jī)廢氣1#和2#處理設(shè)施的合并進(jìn)口；②為本實(shí)驗(yàn)室無此項(xiàng)目監(jiān)測能力，企業(yè)委托有資質(zhì)的檢測機(jī)構(gòu)監(jiān)測；③鍋爐作為外部蒸汽供應(yīng)異常時的備用設(shè)備，正常情況下不使用，本次監(jiān)測不對鍋爐煙氣進(jìn)行監(jiān)測；④內(nèi)部編號酸堿廢氣1#、4#和有毒廢氣3#三套設(shè)備屬于備用，未啟動，不在本次監(jiān)測范圍內(nèi)。6.3廠界噪聲監(jiān)測本次驗(yàn)收監(jiān)測期間沿廠界布設(shè)8個噪聲監(jiān)測點(diǎn)。具體噪聲監(jiān)測點(diǎn)位、項(xiàng)目和頻次見表6-3、圖3-2。表6-3噪聲監(jiān)測點(diǎn)位、項(xiàng)目和頻次監(jiān)測點(diǎn)位監(jiān)測項(xiàng)目監(jiān)測頻次在廠界四周布設(shè)8個測點(diǎn)(Z1～Z8)廠界噪聲連續(xù)2天，每天晝、夜各1次7.監(jiān)測質(zhì)量保證及分析方法本次監(jiān)測的質(zhì)量保證嚴(yán)格按照江蘇省環(huán)境監(jiān)測中心編制的《質(zhì)量手冊》的要求，實(shí)施全過程質(zhì)量控制，按質(zhì)控要求廢水增加平行樣和加標(biāo)回收樣或標(biāo)樣。監(jiān)測人員經(jīng)過考核并持有合格證書；所有監(jiān)測儀器經(jīng)過計(jì)量部門檢定并在有效期內(nèi)；現(xiàn)場監(jiān)測儀器使用前經(jīng)過校準(zhǔn)。監(jiān)測數(shù)據(jù)實(shí)行三級審核。監(jiān)測分析方法見表7-1，廢水監(jiān)測質(zhì)量控制情況見表7-2。表7-1廢水、廢氣、噪聲監(jiān)測分析方法類型項(xiàng)目名稱分析方法及依據(jù)廢水pH水質(zhì)pH值的測定玻璃電極法GB/T6920-1986化學(xué)需氧量水質(zhì)化學(xué)需氧量的測定重鉻酸鹽法GB/T11914-1989懸浮物水質(zhì)懸浮物的測定重量法GB/T11901-1989五日生化需氧量水質(zhì)五日生化需氧量(BOD5)的測定稀釋與接種法HJ505-2009動植物油水質(zhì)石油類和動植物油類的測定紅外分光光度法HJ637-2012氨氮水質(zhì)氨氮的測定納氏試劑分光光度法HJ535-2009總磷水質(zhì)總磷的測定鉬酸銨分光光度法GB/T11893-1989總氮水質(zhì)總氮的測定堿性過硫酸鉀消解-紫外分光光度法HJ636-2012氟化物水質(zhì)氟化物的測定離子選擇電極法GB/T7484-1987銅銅電感耦合等離子發(fā)射光譜法《水和廢水監(jiān)測分析方法》(第四版)國家環(huán)境保護(hù)總局(2002年)鈦鈦等離子發(fā)射光譜法《水和廢水監(jiān)測分析方法》(第四版)國家環(huán)境保護(hù)總局(2002年)錫大氣固定污染源錫的測定石墨爐原子吸收分光光度法HJ/T65-2001總氰化物水質(zhì)氰化物的測定容量法和分光光度法(異煙酸-吡唑啉酮分光光度法)HJ484-2009色度水質(zhì)色度的測定稀釋倍數(shù)法GB/T11903-1989有組織廢氣廢氣參數(shù)(氧、溫度、流速)固定污染源排氣中顆粒物測定與氣態(tài)污染物采樣方法GB/T16157-1996氮氧化物固定污染源排氣中氮氧化物的測定鹽酸萘乙二胺光度法HJ/T43-1999氟化物大氣固定污染源氟化物的測定離子選擇電極法HJ/T67-2001硫酸霧固定污染源廢氣硫酸霧的測定離子色譜法(暫行)HJ544-2009氨環(huán)境空氣和廢氣氨的測定納氏試劑分光光度法HJ533-2009氯氣固定污染源排氣中氯氣的測定甲基橙分光光度法HJ/T30-1999氯化氫環(huán)境空氣和廢氣氯化氫的測定離子色譜法(暫行)HJ549-2009丙酮環(huán)境空氣和污染源廢氣丙酮?dú)庀嗌V法《空氣和廢氣監(jiān)測分析方法》(第四版)國家環(huán)境保護(hù)總局(2003年)非甲烷總烴固定污染源排氣中非甲烷總烴的測定氣相色譜法HJ/T38-1999無組織廢氣氨環(huán)境空氣和廢氣氨的測定納氏試劑分光光度法HJ533-2009氟化物環(huán)境空氣氟化物的測定濾膜采樣氟離子選擇電極法HJ480-2009氯氣固定污染源排氣中氯氣的測定甲基橙分光光度法HJ/T30-1999噪聲廠界噪聲工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)GB12348-2008表7-2廢水監(jiān)測質(zhì)量控制情況表分析項(xiàng)目樣品數(shù)（個）現(xiàn)場平行樣加標(biāo)回收標(biāo)樣檢查數(shù)（個）檢查率（%）合格率（%）檢查數(shù)（個）檢查率（%）合格率（%）檢查數(shù)（個）合格率（%）氨氮24729.210040.17100//動植物油16//////1100氟化物16425.010020.13100化學(xué)需氧量32928.1100/////鈦8225.010010.13100//銅8225.010010.13100//五日生化需氧量16425.0100/////錫8225.010010.13100//總氮24625.010030.13100//總磷24729.210040.17100//總氰化物24833.310040.17100//8.監(jiān)測結(jié)果與評價8.1監(jiān)測期間工況江蘇省環(huán)境監(jiān)測中心于2015年5月19日至5月22日對蘇州三星電子液晶顯示科技有限公司第8.5代薄膜晶體管液晶顯示器件（TFT-LCD）項(xiàng)目第二階段(55k/月生產(chǎn)線)污染源排放現(xiàn)狀和各類環(huán)保治理設(shè)施處理能力等進(jìn)行了現(xiàn)場的監(jiān)測和檢查。驗(yàn)收監(jiān)測期間，生產(chǎn)正常、穩(wěn)定，各項(xiàng)環(huán)保治理設(shè)施均正常運(yùn)行，滿足竣工驗(yàn)收監(jiān)測工況條件的要求，監(jiān)測期間生產(chǎn)工況見表8-1。表8-1監(jiān)測期間工況監(jiān)測日期產(chǎn)品環(huán)評設(shè)計(jì)生產(chǎn)能力實(shí)際生產(chǎn)能力運(yùn)轉(zhuǎn)負(fù)荷2015.5.19第8.5代薄膜晶體管液晶顯示器件（TFT-LCD）55K片/月（1833片/日）1804片/日98.4%2015.5.201799片/日98.1%2015.5.211817片/日99.1%2015.5.221825片/日99.6%注：表中數(shù)據(jù)由建設(shè)單位提供。8.2廢水監(jiān)測結(jié)果與評價監(jiān)測結(jié)果表明：驗(yàn)收監(jiān)測期間，⑴生活污水南接管口（S1）、生活污水北接管口（S2）廢水的pH值范圍及懸浮物、化學(xué)需氧量、五日生化需氧量、氨氮、總磷日均排放濃度均符合蘇州工業(yè)園區(qū)第一污水處理廠接管標(biāo)準(zhǔn)。動植物油日均排放濃度符合《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB8978-1996）三級標(biāo)準(zhǔn)。⑵酸堿廢水接管口（S3）廢水的pH值范圍及懸浮物、色度、化學(xué)需氧量日均排放濃度均符合蘇州工業(yè)園區(qū)第一污水處理廠接管標(biāo)準(zhǔn)。氟化物日均排放濃度符合《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB8978-1996）三級標(biāo)準(zhǔn)。⑶廢水預(yù)處理設(shè)施排口（S6）廢水的pH值范圍及懸浮物、化學(xué)需氧量、氨氮、總磷、氟化物、總氰化物日均排放濃度均符合蘇州工業(yè)園區(qū)中水廠接管標(biāo)準(zhǔn)，總氮日均排放濃度符合環(huán)評批復(fù)要求（蘇環(huán)便管〔2011〕51號）。監(jiān)測結(jié)果統(tǒng)計(jì)與評價情況詳見表8-2至表8-6。監(jiān)測期間，雨水排口無流動水，故未進(jìn)行監(jiān)測。表8-2生活污水南接管口（S1）監(jiān)測結(jié)果統(tǒng)計(jì)單位：mg/L，pH為無量綱監(jiān)測因子生活污水南接管口S1標(biāo)準(zhǔn)限值達(dá)標(biāo)情況2015.5.202015.5.21pH7.00~7.097.11~7.146~9達(dá)標(biāo)懸浮物2433400達(dá)標(biāo)化學(xué)需氧量55.8194500達(dá)標(biāo)五日生化需氧量29.667.9300達(dá)標(biāo)氨氮4.7420.035達(dá)標(biāo)總磷0.542.798達(dá)標(biāo)總氮6.1424.0//動植物油2.222.01100達(dá)標(biāo)表8-3生活污水北接管口（S2）監(jiān)測結(jié)果統(tǒng)計(jì)單位：mg/L，pH為無量綱監(jiān)測因子生活污水北接管口S2標(biāo)準(zhǔn)限值達(dá)標(biāo)情況2015.5.202015.5.21pH7.65~7.707.77~7.816~9達(dá)標(biāo)懸浮物6376400達(dá)標(biāo)化學(xué)需氧量131172500達(dá)標(biāo)五日生化需氧量51.348.6300達(dá)標(biāo)氨氮33.129.235達(dá)標(biāo)總磷3.313.948達(dá)標(biāo)總氮42.542.6/達(dá)標(biāo)動植物油1.321.03100達(dá)標(biāo)表8-4酸堿廢水接管口（S3）監(jiān)測結(jié)果統(tǒng)計(jì)單位：mg/L，pH為無量綱監(jiān)測因子酸堿廢水接管口S3標(biāo)準(zhǔn)限值達(dá)標(biāo)情況2015.5.202015.5.21pH7.75~7.807.77~7.826~9達(dá)標(biāo)懸浮物2132400達(dá)標(biāo)化學(xué)需氧量49.264.6500達(dá)標(biāo)氟化物4.085.6020達(dá)標(biāo)色度44200達(dá)標(biāo)表8-5含氰廢水（S4、S5）監(jiān)測結(jié)果統(tǒng)計(jì)單位：mg/L，pH為無量綱監(jiān)測因子進(jìn)口S4出口S52015.5.202015.5.212015.5.202015.5.21總氰化物NDNDNDND注：濃度低于檢出限以“ND”表示，下同?？偳杌锏臋z出限為0.004mg/L。表8-6廢水預(yù)處理設(shè)施排口（S6）監(jiān)測結(jié)果統(tǒng)計(jì)單位：mg/L，pH為無量綱監(jiān)測因子廢水預(yù)處理設(shè)施S6標(biāo)準(zhǔn)限值達(dá)標(biāo)情況2015.5.202015.5.21pH7.91~7.957.91~7.976~9達(dá)標(biāo)懸浮物191630達(dá)標(biāo)化學(xué)需氧量37.340.0100達(dá)標(biāo)氨氮0.740.286達(dá)標(biāo)總磷0.240.295達(dá)標(biāo)總氮4.875.018達(dá)標(biāo)銅NDND//鈦NDND//錫NDND//氟化物3.213.3510達(dá)標(biāo)總氰化物0.0050.0050.2達(dá)標(biāo)注：鈦的檢出限為0.02mg/L，銅的檢出限為0.003mg/L，錫的檢出限為5.0μg/L。8.3廢氣監(jiān)測結(jié)果與評價廢氣監(jiān)測結(jié)果統(tǒng)計(jì)與評價見表8-7至表8-16。無組織監(jiān)測氣象參數(shù)見表8-17，無組織排放監(jiān)測結(jié)果與評價詳見表8-18，監(jiān)測點(diǎn)位見圖3-2。監(jiān)測結(jié)果表明，驗(yàn)收監(jiān)測期間：⑴酸堿廢氣處理設(shè)施500CMM（酸堿廢氣2#）出口Q2、酸堿廢氣處理設(shè)施800CMM（酸堿廢氣3#）出口Q5、酸堿廢氣處理設(shè)施800CMM（酸堿廢氣4#）出口Q6的氮氧化物、氟化物、硫酸霧的排放濃度和排放速率均符合《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB16297-1996）表2二級標(biāo)準(zhǔn)的要求，氨的排放速率均滿足《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB14554-93）表2標(biāo)準(zhǔn)的要求。⑵有毒廢氣處理設(shè)施400CMM（有毒廢氣1#）出口Q9、（有毒廢氣1#）出口Q10的氮氧化物、氟化物、氯氣、氯化氫的排放濃度和排放速率均符合《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB16297-1996）表2二級標(biāo)準(zhǔn)的要求，氨的排放速率均滿足《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB14554-93）表2標(biāo)準(zhǔn)的要求。⑶中高濃度有機(jī)廢氣處理設(shè)施1200CMM(有機(jī)廢氣1#)出口Q13、（有機(jī)廢氣2#)出口Q14的非甲烷總烴的排放濃度和排放速率均符合《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB16297-1996）表2二級標(biāo)準(zhǔn)的要求，丙酮的排放濃度和排放速率均符合環(huán)評標(biāo)準(zhǔn)（確定地方大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)的技術(shù)方法核算）。⑷低濃度有機(jī)廢氣濃縮機(jī)處理設(shè)施2500CMM（低濃度有機(jī)廢氣濃縮機(jī)1-1#）出口Q17、（低濃度有機(jī)廢氣濃縮機(jī)2-1#）出口Q18的非甲烷總烴的排放濃度和排放速率均符合《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB16297-1996）表2二級標(biāo)準(zhǔn)的要求，丙酮的排放濃度和排放速率均符合環(huán)評標(biāo)準(zhǔn)（確定地方大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)的技術(shù)方法核算）。⑸低濃度有機(jī)廢氣濃縮機(jī)處理設(shè)RTO700CMM（低濃度有機(jī)廢氣RTO1-2#）出口Q21、（低濃度有機(jī)廢氣RTO2-2#）Q22的非甲烷總烴的排放濃度和排放速率均符合《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB16297-1996）表2二級標(biāo)準(zhǔn)的要求，丙酮的排放濃度和排放速率均符合環(huán)評標(biāo)準(zhǔn)（確定地方大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)的技術(shù)方法核算）。⑹廠界下風(fēng)向無組織排放氟化物、氯氣濃度均符合《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB16297-1996）表2無組織排放監(jiān)控濃度限值要求，氨濃度符合《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB14554-93）表1二級新擴(kuò)改建標(biāo)準(zhǔn)。表8-7酸堿廢氣處理設(shè)施500CMM（酸堿廢氣2#）（Q1、Q2）監(jiān)測結(jié)果與評價點(diǎn)位日期標(biāo)態(tài)氣量氮氧化物排放濃度氮氧化物排放速率氟化物排放濃度氟化物排放速率硫酸霧排放濃度硫酸霧排放速率×103m3/hmg/m3kg/hmg/m3kg/hmg/m3kg/hmg/m3kg/h酸堿廢氣處理設(shè)施500CMM（酸堿廢氣2#）進(jìn)口Q15.19第一次6.660.510.0030.320.002ND未檢出0.110.001第二次6.980.690.0050.380.003ND未檢出0.120.001第三次7.290.360.0030.280.002ND未檢出0.150.0015.20第一次7.000.100.0010.180.001ND未檢出0.240.002第二次7.31ND未檢出0.160.001ND未檢出0.180.001第三次6.680.210.0010.170.001ND未檢出0.130.001酸堿廢氣處理設(shè)施500CMM（酸堿廢氣2#）出口Q25.19第一次7.380.070.0010.240.002ND未檢出0.930.007第二次7.02ND未檢出0.290.002ND未檢出0.110.001第三次7.020.080.0010.250.002ND未檢出0.100.0015.20第一次7.690.170.0010.160.001ND未檢出0.150.001第二次8.040.210.0020.120.001ND未檢出0.150.001第三次7.690.200.0020.150.001ND未檢出0.160.001標(biāo)準(zhǔn)限值/24010.29.01.35.06.98/35達(dá)標(biāo)情況/達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)/達(dá)標(biāo)注：排放濃度低于檢出限以“ND”表示，排放速率用“未檢出”表示，下同。氮氧化物的檢出限為0.08mg/m3，硫酸霧的檢出限為0.08mg/m3。表8-8酸堿廢氣處理設(shè)施800CMM（酸堿廢氣3#）（Q3、Q5）監(jiān)測結(jié)果與評價點(diǎn)位日期標(biāo)態(tài)氣量氮氧化物排放濃度氮氧化物排放速率氟化物排放濃度氟化物排放速率硫酸霧排放濃度硫酸霧排放速率×104m3/hmg/m3kg/hmg/m3kg/hmg/m3kg/hmg/m3kg/h酸堿廢氣處理設(shè)施800CMM（酸堿廢氣3#）進(jìn)口Q35.19第一次3.340.130.0040.220.007ND未檢出0.130.004第二次3.350.120.0040.220.007ND未檢出0.540.018第三次3.370.380.0130.320.011ND未檢出0.260.0095.20第一次3.400.200.0070.140.005ND未檢出0.110.004第二次3.430.110.0040.170.006ND未檢出0.090.003第三次3.400.160.0050.150.005ND未檢出0.130.004酸堿廢氣處理設(shè)施800CMM（酸堿廢氣3#）出口Q55.19第一次3.920.250.010.210.008ND未檢出0.090.004第二次3.830.180.0070.140.005ND未檢出0.400.015第三次3.781.050.040.140.005ND未檢出1.410.0535.20第一次3.83ND未檢出0.320.012ND未檢出0.170.007第二次3.960.150.0060.160.006ND未檢出0.210.008第三次3.740.140.0050.140.005ND未檢出0.140.005標(biāo)準(zhǔn)限值/24010.29.01.35.06.98/35達(dá)標(biāo)情況/達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)/達(dá)標(biāo)注：氮氧化物的檢出限為0.08mg/m3，硫酸霧的檢出限為0.08mg/m3。表8-9酸堿廢氣處理設(shè)施800CMM（酸堿廢氣4#）（Q4、Q6）監(jiān)測結(jié)果與評價點(diǎn)位日期標(biāo)態(tài)氣量氮氧化物排放濃度氮氧化物排放速率氟化物排放濃度氟化物排放速率硫酸霧排放濃度硫酸霧排放速率×104m3/hmg/m3kg/hmg/m3kg/hmg/m3kg/hmg/m3kg/h酸堿廢氣處理設(shè)施800CMM（酸堿廢氣4#）進(jìn)口Q45.19第一次3.380.200.0070.210.007ND未檢出0.200.007第二次3.390.230.0080.260.009ND未檢出0.330.011第三次3.350.130.0040.240.008ND未檢出0.110.0045.20第一次3.350.160.0050.120.004ND未檢出0.160.005第二次3.440.100.0030.120.004ND未檢出0.120.004第三次3.410.090.0030.120.004ND未檢出0.120.004酸堿廢氣處理設(shè)施800CMM（酸堿廢氣4#）出口Q65.19第一次3.800.240.0090.190.007ND未檢出0.380.014第二次3.580.160.0060.210.008ND未檢出0.390.014第三次3.630.130.0050.170.006ND未檢出0.220.0085.20第一次3.550.120.0040.230.008ND未檢出0.090.003第二次3.700.080.0030.280.010ND未檢出0.230.009第三次3.63ND未檢出0.260.009ND未檢出ND未檢出標(biāo)準(zhǔn)限值/24010.29.01.35.06.98/35達(dá)標(biāo)情況/達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)/達(dá)標(biāo)注：氮氧化物的檢出限為0.08mg/m3，硫酸霧的檢出限為0.08mg/m3，氨的檢出限為0.08mg/m3。表8-10有毒廢氣處理設(shè)施400CMM（有毒廢氣1#）（Q7、Q9）監(jiān)測結(jié)果與評價點(diǎn)位日期標(biāo)態(tài)氣量氮氧化物排放濃度氮氧化物排放速率氟化物排放濃度氟化物排放速率氯氣排放濃度氯氣排放速率氯化氫排放濃度氯化氫排放速率氨排放濃度氨排放速率×103m3/hmg/m3kg/hmg/m3kg/hmg/m3kg/hmg/m3kg/hmg/m3kg/h有毒廢氣處理設(shè)施400CMM（有毒廢氣1#）進(jìn)口Q75.19第一次9.500.310.0033.260.0315.800.0559.400.0891.510.014第二次9.061.220.0111.800.0166.940.06310.10.0911.470.013第三次9.511.450.0141.490.0146.780.0643.900.0371.030.0105.20第一次9.410.580.00512.50.1187.460.07034.40.3240.080.001第二次9.512.580.02514.70.1407.350.07062.80.597ND未檢出第三次9.232.150.02011.90.1107.460.06959.70.5510.340.003有毒廢氣處理設(shè)施400CMM（有毒廢氣1#）出口Q95.19第一次9.620.240.0021.080.010.340.0036.80.0650.080.001第二次9.20ND未檢出0.820.0081.180.0113.90.0360.100.001第三次8.69ND未檢出0.400.0031.380.0122.60.0230.110.0015.20第一次8.940.10.0010.830.0070.330.0038.70.0780.190.002第二次8.920.250.0020.880.0080.270.0028.10.072ND未檢出第三次9.620.120.0010.690.0070.310.0037.20.069ND未檢出標(biāo)準(zhǔn)限值/24010.29.01.3654.161003.3/35達(dá)標(biāo)情況/達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)/達(dá)標(biāo)注：氮氧化物的檢出限為0.08mg/m3，氨的檢出限為0.08mg/m3。表8-11有毒廢氣處理設(shè)施400CMM（有毒廢氣2#）（Q8、Q10）監(jiān)測結(jié)果與評價點(diǎn)位日期標(biāo)態(tài)氣量氮氧化物排放濃度氮氧化物排放速率氟化物排放濃度氟化物排放速率氯氣排放濃度氯氣排放速率氯化氫排放濃度氯化氫排放速率氨排放濃度氨排放速率×103m3/hmg/m3kg/hmg/m3kg/hmg/m3kg/hmg/m3kg/hmg/m3kg/h有毒廢氣處理設(shè)施400CMM（有毒廢氣2#）進(jìn)口Q85.19第一次9.310.410.0046.230.0581.670.0166.10.0571.650.015第二次9.171.310.0122.500.0232.180.0209.70.0891.650.015第三次8.981.270.0112.690.0243.450.0316.20.0562.180.0205.20第一次9.190.690.00611.40.1057.240.06727.20.2500.130.001第二次8.211.400.01110.90.0906.050.05051.80.4250.220.002第三次9.471.590.01513.30.1267.370.07043.30.4100.140.001有毒廢氣處理設(shè)施400CMM（有毒廢氣2#）出口Q105.19第一次9.39ND未檢出0.300.0030.300.0034.60.0430.100.001第二次9.800.480.0050.890.0090.980.0103.90.0380.080.001第三次9.090.200.0020.310.0030.480.0043.70.0340.080.0015.20第一次9.390.160.0020.900.0080.240.0027.20.068ND未檢出第二次8.290.140.0010.790.0070.250.0023.70.0310.130.001第三次9.820.120.0010.800.0080.270.0038.30.0820.200.002標(biāo)準(zhǔn)限值/24010.29.01.3654.161003.3/35達(dá)標(biāo)情況/達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)/達(dá)標(biāo)注：氮氧化物的檢出限為0.08mg/m3，氨的檢出限為0.08mg/m3。點(diǎn)位日期標(biāo)態(tài)氣量非甲烷總烴排放濃度非甲烷總烴排放速率丙酮排放濃度丙酮排放速率×104m3/hmg/m3kg/hmg/m3kg/h中高濃度有機(jī)廢氣處理設(shè)施1200CMM(有機(jī)廢氣1#、有機(jī)廢氣2#)合并進(jìn)口Q115.21第一次11.7041.84.89ND未檢出第二次11.8228.63.38ND未檢出第三次11.8458.66.94ND未檢出5.22第一次11.8040.84.81ND未檢出第二次11.7134.84.07ND未檢出第三次11.8336.44.31ND未檢出中高濃度有機(jī)廢氣處理設(shè)施1200CMM(有機(jī)廢氣1#)出口Q135.21第一次5.582.960.165ND未檢出第二次5.391.620.087ND未檢出第三次5.571.160.065ND未檢出5.22第一次5.590.780.044ND未檢出第二次5.400.760.041ND未檢出第三次5.390.780.042ND未檢出標(biāo)準(zhǔn)限值/12012840030.88達(dá)標(biāo)情況/達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)中高濃度有機(jī)廢氣處理設(shè)施1200CMM(有機(jī)廢氣2#)出口Q145.21第一次5.580.860.048ND未檢出第二次5.420.800.043ND未檢出第三次5.580.620.035ND未檢出5.22第一次5.720.780.045ND未檢出第二次5.650.740.042ND未檢出第三次5.570.830.046ND未檢出標(biāo)準(zhǔn)限值/12012840030.88達(dá)標(biāo)情況/達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)注：丙酮的檢出限為0.5mg/m3。點(diǎn)位日期標(biāo)態(tài)氣量非甲烷總烴排放濃度非甲烷總烴排放速率丙酮排放濃度丙酮排放速率×105m3/hmg/m3kg/hmg/m3kg/h低濃度有機(jī)廢氣濃縮機(jī)處理設(shè)施2500CMM（低濃度有機(jī)廢氣濃縮機(jī)1-1#）進(jìn)口Q155.21第一次2.720.870.24ND未檢出第二次2.711.160.31ND未檢出第三次2.670.560.15ND未檢出5.22第一次2.680.760.20ND未檢出第二次2.720.740.20ND未檢出第三次2.670.800.21ND未檢出低濃度有機(jī)廢氣濃縮機(jī)處理設(shè)施2500CMM（低濃度有機(jī)廢氣濃縮機(jī)1-1#）出口Q175.21第一次2.740.680.19ND未檢出第二次2.790.720.20ND未檢出第三次2.710.510.14ND未檢出5.22第一次2.770.980.27ND未檢出第二次2.740.920.25ND未檢出第三次2.740.800.22ND未檢出標(biāo)準(zhǔn)限值/12012840030.88達(dá)標(biāo)情況/達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)注：丙酮的檢出限為0.5mg/m3。點(diǎn)位日期標(biāo)態(tài)氣量非甲烷總烴排放濃度非甲烷總烴排放速率丙酮排放濃度丙酮排放速率×105m3/hmg/m3kg/hmg/m3kg/h低濃度有機(jī)廢氣濃縮機(jī)處理設(shè)施2500CMM（低濃度有機(jī)廢氣濃縮機(jī)2-1#）進(jìn)口Q165.21第一次2.681.070.29ND未檢出第二次2.681.070.29ND未檢出第三次2.661.100.29ND未檢出5.22第一次2.651.370.36ND未檢出第二次2.681.000.27ND未檢出第三次2.640.950.25ND未檢出低濃度有機(jī)廢氣濃縮機(jī)處理設(shè)施2500CMM（低濃度有機(jī)廢氣濃縮機(jī)2-1#）出口Q185.21第一次2.690.710.19ND未檢出第二次2.710.760.21ND未檢出第三次2.750.590.16ND未檢出5.22第一次2.720.820.22ND未檢出第二次2.710.940.26ND未檢出第三次2.680.830.22ND未檢出標(biāo)準(zhǔn)限值/12012840030.88達(dá)標(biāo)情況/達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)注：丙酮的檢出限為0.5mg/m3。點(diǎn)位日期標(biāo)態(tài)氣量非甲烷總烴排放濃度非甲烷總烴排放速率丙酮排放濃度丙酮排放速率×104m3/hmg/m3kg/hmg/m3kg/h低濃度有機(jī)廢氣濃縮機(jī)處理設(shè)RTO700CMM（低濃度有機(jī)廢氣RTO1-2#）進(jìn)口Q195.21第一次3.813.660.140ND未檢出第二次3.868.220.317ND未檢出第三次3.918.080.316ND未檢出5.22第一次3.811.300.050ND未檢出第二次3.873.770.146ND未檢出第三次3.912.980.117ND未檢出低濃度有機(jī)廢氣濃縮機(jī)處理設(shè)RTO700CMM（低濃度有機(jī)廢氣RTO1-2#）出口Q215.21第一次4.042.440.099ND未檢出第二次3.912.360.092ND未檢出第三次4.041.520.061ND未檢出5.