友達(dá)光電(昆山)有限公司ALOCONFIDENTIALKL6KSOZHIYUANMANGZhiyuanWang王志遠(yuǎn)2017-02-0809:03:59項(xiàng)目名稱：第6代LTPSTFT-LCD生產(chǎn)線項(xiàng)目建設(shè)地點(diǎn)：昆山經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)龍騰路6號(hào)開(kāi)工日期：2015年8月建成日期：2016年11月職工人數(shù)：3000人12小時(shí)，年工作天數(shù)360天，年工作小時(shí)數(shù)8640小時(shí)。(二)建設(shè)項(xiàng)目主體工程及產(chǎn)品方案、公用及輔助工程詳細(xì)情況。第6代LTPSTFT-LCD生產(chǎn)線項(xiàng)目主體工程包括：陣列工程(鋁制程)、1.1陣列工程友達(dá)光電(昆山)有限公司2AUOCONFIDENTIALKL6KSOZHIYUANWANGZhiyuanWang王志遠(yuǎn)2017-02-0809:03:59陣列工程生產(chǎn)工藝流程見(jiàn)圖1.1-1友達(dá)光電(昆山)有限公司3AUOCONFIDENTIALKL6KSOZHIYUANWANGZhiyuanWang王志遠(yuǎn)2017-02-0809:03:59DI純水Mo/Al靶材DI純水N?O,SiH?,NHMo/Al靶材44N?,H?,SiH?,NH?DI純水5次掩膜光刻圖1.1-1-2陣列工程工藝流程圖友達(dá)光電(昆山)有限公司5AUOCONFIDENTIALKL6KSOZHIYUANWANGZhiyuanWang王志遠(yuǎn)2017-02-0809:03:59ITO像素濺射沉積N?,H?,SiH?,NH?DI純水友達(dá)光電(昆山)有限公司6圖1.1-1-3陣列工程工藝流程圖1.2彩膜工程序包括玻璃基板清洗、黑色矩陣膜(BM)形成、彩色濾光膜(紅綠藍(lán)R彩色濾光片ColorFilter的基本結(jié)構(gòu)見(jiàn)圖1.2-1所示，從圖中可見(jiàn)，其結(jié)構(gòu)由下而上分別是：玻璃基板/黑色矩陣層(BM層)/彩色矩陣層(RGB層)/保護(hù)層(0C層)/導(dǎo)電層(ITO層)。圖1.2-1彩色濾光片ColorFilter基本結(jié)構(gòu)圖③RGB層(紅色/綠色/藍(lán)色層):LCD之所以會(huì)有顏色，是因?yàn)楸彻夤庥堰_(dá)光電(昆山)有限公司7ALOCONFIDENTIALKL6KSOZHIYUANWANCZhiyuanWang王志遠(yuǎn)2017-02-0809:03:59陣(紅色、綠色、藍(lán)色三色),保護(hù)層(OC)與濺射ITO膜。PS層(PhotoSpacer層):傳統(tǒng)TFT-LCD面板工程成盒工序中，在陣列玻璃與彩膜玻璃(彩色濾光片)之間由隨機(jī)灑布的間隔球(spacerbead) PS結(jié)構(gòu)見(jiàn)圖1.2-2。圖1.2-2PS結(jié)構(gòu)示意圖友達(dá)光電(昆山)有限公司8ALOCONFIDENTIALKL6KSOZHIYUANWANGZhiyuanWang王志遠(yuǎn)2017-02-0809:03:591.3成盒工程友達(dá)光電(昆山)有限公司9AUOCONFIDENTIALKL6KSOZHIYUANWANCZhiyuanWang王志遠(yuǎn)2017-02-0809:03:59摩擦配向處理，在陣列基板涂布封框膠及進(jìn)行液晶注入，兩基板在真空中粘合、固化，即成盒。再根據(jù)下游廠家的需求進(jìn)行盒分割，再貼上偏光片，加入電信號(hào)作圖像檢查后即成為L(zhǎng)CD面板。成盒工程工藝流程圖見(jiàn)圖1.3-1。涂P1及固化光照取向摩擦取向涂P1及固化圖1.3-1成盒工藝流程圖友達(dá)光電(昆山)有限公司AUOCONFIDENTIALKL6KSOZHIYUANWANGZhiyuanWang王志遠(yuǎn)2017-02-0809:03:591.4薄化工藝查、研磨、清洗和質(zhì)量檢查。薄化工程的工藝流程圖見(jiàn)DI純水圖1.4-1薄化工程工藝流程圖ALOCONFIDENTIALKL6KSOZHIYUANWANGZhiyuanWang王志遠(yuǎn)2017-02-0809:03:59圖1.5-1。DI純水DI純水ALOCONFIDENTIALKL6KSOZHIYUANMANGZhiyuanWang王志遠(yuǎn)2017-02-0809:03:59友達(dá)光電(昆山)有限公司第一階段建設(shè)項(xiàng)目環(huán)?！叭瑫r(shí)”執(zhí)行情況報(bào)告1.6模塊工程模塊工程是向LCD面板連接驅(qū)動(dòng)芯片和信號(hào)基板，組裝背光源和防護(hù)罩，在加溫狀態(tài)下作老練處理，再作最后電氣特性檢查后即成為L(zhǎng)CD模塊。此模塊可提供給下游廠家使用。模塊工程工藝流程圖見(jiàn)圖1.6-1。TFTTFT顯示屏FPC軟板壓合圖1.6-1模塊車(chē)間制作工藝流程圖1.7產(chǎn)品方案：陣列玻璃72萬(wàn)片/年，彩膜工程72萬(wàn)片/年，液晶面板屏1998000m2/年。2.公用及輔助工程設(shè)施2.1主要能耗及設(shè)備本項(xiàng)目主要能源及動(dòng)力消耗情況見(jiàn)表2.1-1。表2.1-1主要能源及動(dòng)力消耗情況表序號(hào)消耗量備注1城市電網(wǎng)(220kv鹿成變電234天然氣用量開(kāi)發(fā)區(qū)5壓縮空氣6真空78蒸汽表2.1-2公用工程設(shè)備表一覽表規(guī)格型號(hào)臺(tái)備注1鍋爐CZI-1700GS(BM)然氣型227310m3,臥式24電梯5空壓機(jī)13用2備62備用7空氣儲(chǔ)氣罐2879LPG罐3AUOCONFIDENTIAIKL6KSOZHIYUANWANGZhiyuanWang王志遠(yuǎn)2017-02-0809:03:5916242.2供電系統(tǒng)1)供電電源容量為20MVA的油浸式主變壓器1臺(tái)，500kVA干式變壓器2臺(tái)，1500kVA干式變壓器32臺(tái)，2500kVA干式變壓器47臺(tái)，7500kVA干式變壓器6臺(tái)，2)自動(dòng)控制2.3給排水系統(tǒng)1)給水系統(tǒng)AUOCONPIDENTIALKL6KSOZHIYUANANCZhiyuanWang王志遠(yuǎn)2017-02-0809:03:592)排水系統(tǒng)2.4氣體動(dòng)力系統(tǒng)1)冷熱水系統(tǒng)根據(jù)低溫冷負(fù)荷情況，設(shè)置2750RT低溫冷水機(jī)組3臺(tái)，并預(yù)留2臺(tái)三根據(jù)中溫冷負(fù)荷情況，設(shè)置3000RT中溫冷水機(jī)組6臺(tái)(1臺(tái)備用),并燃?xì)庹婵諢崴仩t組成。設(shè)置燃?xì)鉄崴仩t3000KW3臺(tái)(2用1備)。熱水2)壓縮空氣ALOCONFIDENTLALKL6KSOZHIYUANWANGZzhiyuanWang王志遠(yuǎn)2017-02-0809:03:59擬設(shè)置19200Nm3/h空壓機(jī)15臺(tái)(13用2備),9600Nm3/h空壓機(jī)2臺(tái)(備3)供熱、供蒸汽本項(xiàng)目擬設(shè)置3臺(tái)熱水鍋爐(2用1備)和3臺(tái)蒸氣鍋爐(2用1備)。4)大宗氣體其是氧為50m2儲(chǔ)罐1只，氮為150m儲(chǔ)罐2只，氬為15m3儲(chǔ)罐1只，氦為集裝格(12瓶，計(jì)800L)。氫氣和二氧化碳供氣站產(chǎn)權(quán)為友達(dá)光電(昆山)有限公司所有，其中氫氣為長(zhǎng)拖管車(chē)(計(jì)3000Nm3),二氧化碳為10m3儲(chǔ)罐1只。5)特氣系統(tǒng)N?O、CF?、Xe、Ne+H?、H?+Ar、CHF?、HCl+H?+Ne、BF?共16種，鋼瓶存儲(chǔ)。除硅烷外以上特種氣體均存放在G棟綜合動(dòng)力站二(特種氣體間)內(nèi)，硅烷存在槽車(chē)區(qū)二(硅烷站)內(nèi)，通過(guò)管道輸送到生產(chǎn)車(chē)間。5)工藝真空系統(tǒng)系統(tǒng)能力27,600Nm/h,用量23,400Nm3/h,本項(xiàng)目擬采用1350Nm3/h真AUOCONFIDENTIALKL6KSOZHIYUANWANGZhiyuanWang王志遠(yuǎn)2017-02-0809:03:59空泵機(jī)16臺(tái)，14用2備，1500Nm3/h真空泵機(jī)4臺(tái)，3用1備。6)柴油供應(yīng)系統(tǒng)2.5純水系統(tǒng)2.7采暖、通風(fēng)、空調(diào)、凈化1)熱媒冬季)及非潔凈區(qū)空調(diào)(冬季)提供加熱熱源。2)冷媒AUOCONFIDENTIALKL6KSOZHIYUANWANCZhiyuanWang王志遠(yuǎn)2017-02-0809:03:59-潔凈區(qū)內(nèi)干式冷盤(pán)管(DDC)、新風(fēng)機(jī)組一級(jí)冷盤(pán)管、潔凈室循環(huán)機(jī)組的冷盤(pán)管所用冷媒為14～20℃的中溫冷水。配變電間、UPS室、內(nèi)區(qū)等空調(diào)系統(tǒng)的冷盤(pán)管所用冷媒為14～20℃的中一般降溫空調(diào)機(jī)組冷盤(pán)管所用冷媒為14～20℃的中溫冷水。3)空調(diào)與凈化①凈化空調(diào)開(kāi)放式生產(chǎn)車(chē)間內(nèi)的凈化級(jí)別主要包括Class10和Class1000:Class10潔凈區(qū)采用垂直單向流，頂部均布FFU(風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元),FFU的覆蓋率為100%,Class1000潔凈區(qū)FFU的覆蓋率為16%;同時(shí)利用大量循環(huán)風(fēng)，循環(huán)風(fēng) (循環(huán)風(fēng)經(jīng)干表冷盤(pán)管冷卻降溫)與處理后的新風(fēng)混合后，進(jìn)入上部回風(fēng)靜壓箱，經(jīng)FFU加壓、過(guò)濾后送入生產(chǎn)區(qū)?；仫L(fēng)→干表冷盤(pán)管→和新風(fēng)混合→FFU→生產(chǎn)區(qū)→回風(fēng)格柵地板→回根據(jù)工藝房間內(nèi)工藝生產(chǎn)流程及生產(chǎn)采用的化學(xué)品類(lèi)型不同，為了防止化學(xué)污染物在不同的生產(chǎn)區(qū)域之間造成交叉污染，將工藝區(qū)劃分為若干的獨(dú)立回風(fēng)區(qū)域。潔凈生產(chǎn)區(qū)內(nèi)的設(shè)備、人員和照明發(fā)熱以及圍護(hù)結(jié)構(gòu)傳熱等的冷負(fù)荷由干表冷盤(pán)管承擔(dān)。支持區(qū)內(nèi)潔凈服更衣間、玻璃投入間等有潔凈要求的房間，采用組合機(jī)組+高效過(guò)濾器送風(fēng)口的凈化空調(diào)系統(tǒng)：頂部均布高效過(guò)濾器送風(fēng)口，潔凈室兩側(cè)處設(shè)回風(fēng)夾道，回風(fēng)夾道底部布置百葉風(fēng)口，新風(fēng)引自潔凈室新風(fēng)機(jī)組空調(diào)機(jī)組；回風(fēng)與新風(fēng)混合，經(jīng)組合機(jī)組冷卻后，經(jīng)風(fēng)管由高效過(guò)濾器送風(fēng)口過(guò)濾后送入生產(chǎn)區(qū)，即上部送風(fēng)、側(cè)下部回風(fēng)的氣流組織形式。各凈化空調(diào)房間都送有滿足規(guī)范要求的新風(fēng)，新風(fēng)由新風(fēng)處理機(jī)集中處ALOCONFIDENTIALKL6KSOZHIYUANWANGZhiyuanWang王志遠(yuǎn)2017-02-0809:03:59辦公區(qū)等房間采用風(fēng)機(jī)盤(pán)管+新風(fēng)(單獨(dú)處理)機(jī)組的空調(diào)形式。4)通風(fēng)氣次數(shù)為12～15次/h。事故排風(fēng)系統(tǒng)為防爆系統(tǒng)。間設(shè)計(jì)了加壓送風(fēng)系統(tǒng)。人員較多的大于300m2的丙類(lèi)潔凈生產(chǎn)區(qū)AUOCONFIDENTIALKL6KSOZHIYUANWANCZhiyuanWang王志遠(yuǎn)2017-02-0809:03:592.8通信、信息系統(tǒng)1)電話通信系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)2)火災(zāi)報(bào)警和消防聯(lián)動(dòng)控制系統(tǒng)防控制室內(nèi)24小時(shí)設(shè)有專(zhuān)人值班，并設(shè)可直接報(bào)警的外線電話。3)廣播系統(tǒng)4)安防系統(tǒng)ALOCONFIDENTIALKL6KSOZHIYUANWANGZhiyuanWang王志遠(yuǎn)2017-02-0809:03:59一座固廢站(S棟),建筑面積2100m,其中危廢庫(kù)210m2,一般固廢庫(kù)(三)項(xiàng)目變動(dòng)情況，需要明確所列的項(xiàng)目變動(dòng)內(nèi)容是否屬于重大變動(dòng)。無(wú)二、環(huán)?！叭瑫r(shí)”執(zhí)行情況乙酸、硫酸、氫氟酸和氯氣等。本項(xiàng)目共設(shè)置12套酸性廢氣處理系統(tǒng)(8用4備),其中，陣列廠房(A/C棟)有3根酸性廢氣排氣筒，2用1備；薄化工程廠房(B棟)有5根酸性廢氣排氣筒，4用1備；動(dòng)力廠房(G棟)有1根酸性廢氣排氣筒；廠區(qū)污水處理站有2根酸性廢氣排氣筒，1用1備。(2)堿性廢氣處理系統(tǒng)棟)有4根堿性廢氣排氣筒，2用2備；成盒工程廠房(F棟)有2根堿性廢氣排氣筒，1用1備；觸控工程廠房(B棟)有1根堿性廢氣排氣筒；動(dòng)(3)剝離廢氣處理系統(tǒng)變更項(xiàng)目共設(shè)置2套剝離廢氣處理系統(tǒng)(1用1備)。其中，陣列廠房(A/C棟)有2根剝離廢氣排氣筒，1用1備；觸控工程廠房(B棟)有2根剝離AUOCONFIDENTIALKL6KSOZHIYUANWANGzhiyuanWang王志遠(yuǎn)2017-02-0809:03:59廢氣排氣筒，1用1備。剝離廢氣處理系統(tǒng)由剝離廢氣吸收塔、排風(fēng)機(jī)、噴經(jīng)硫酸吸收液噴淋處理，處理效率可達(dá)90%,達(dá)標(biāo)后再排入大氣。序過(guò)程中，會(huì)使用到SiH4NFNHPHSF本項(xiàng)目共設(shè)置3套CVD廢氣處理系統(tǒng)(2用1備)。CVD廢氣處理系統(tǒng)包括區(qū)域處理系統(tǒng)(POU處理設(shè)備)和中央處理系統(tǒng)(集塵設(shè)備及堿液噴淋吸收塔),收集效率可以達(dá)到99%以上，廢氣處理效率可達(dá)80%。(5)有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)6套“沸石轉(zhuǎn)輪+氧化爐”處理系統(tǒng)(3用3備),TVOC收集效率可以達(dá)到99%2)廢水處理(1)根據(jù)生產(chǎn)廢水的種類(lèi)，采取分質(zhì)處理，即將無(wú)機(jī)廢水(含氟廢水(2)含氟廢水在采用石灰沉淀法的同時(shí)，使用高分子絮凝劑，能加速(3)含磷廢水采用化學(xué)沉淀法處理后接入有機(jī)廢水處理系統(tǒng)進(jìn)一步處AUOCONFIDENTIALKL6KSOZHIYUANWANGZhiyuanWang王志遠(yuǎn)2017-02-0809:03:59(4)酸堿廢水經(jīng)中和處理后直接排入城市污水管網(wǎng)，進(jìn)入蓬朗污水處(5)生活污水經(jīng)化糞池和隔油池預(yù)處理后，經(jīng)生活污水排放口排入開(kāi)(6)為了確保各廢水預(yù)處理系統(tǒng)正常運(yùn)行，污水處理系統(tǒng)設(shè)有中央控3)固廢處理(1)一般工業(yè)固廢處理本項(xiàng)目生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的一般工業(yè)固體廢物主要有廢包裝材料、廢手等，收集后暫存于廠區(qū)的S棟倉(cāng)庫(kù)，由廢品回收商收購(gòu)處理，處置周期約3(2)危險(xiǎn)固廢處理4)噪聲處理AUOCONFIDENTIALKL6KSOZHIYUANWANGZhiyuanWang王志遠(yuǎn)2017-02-0809:03:59三、環(huán)境管理情況(一)環(huán)境管理機(jī)構(gòu)情況。(1)機(jī)構(gòu)設(shè)置(2)機(jī)構(gòu)職責(zé)序號(hào)崗位設(shè)置崗位職責(zé)1環(huán)境與衛(wèi)生安全部環(huán)保事項(xiàng)主導(dǎo)部門(mén)，負(fù)責(zé)環(huán)保各項(xiàng)申報(bào)，配合環(huán)保主管機(jī)關(guān)檢查及內(nèi)部環(huán)?；斯芾怼?廠務(wù)空調(diào)課廢氣處理主導(dǎo)部門(mén)，負(fù)責(zé)廢氣處理設(shè)備、管路、煙囪等附屬設(shè)備及其相關(guān)文件維護(hù)管理。3廠務(wù)水務(wù)課