防靜電技術(shù)要求主題內(nèi)容及適用范圍本標準規(guī)定了電子設(shè)備研制生產(chǎn)全過程中，對靜電放電危害的防護技術(shù)基本要求，靜電敏感器件的采購、檢測、儲存、運輸、裝配過程中的防靜電操作要求，對防靜電工作區(qū)的管理以及人員教育培訓等內(nèi)容。本標準適用于研制、生產(chǎn)、維修電子設(shè)備的部門及采購、儲運、檢測電子元器件，也適用于其它任何涉及靜電敏感元器件的部門。術(shù)語靜電：物體表面過?；虿蛔愕撵o止電荷。靜電放電： 靜電電場的能量達到一定程度后， 擊穿其間介質(zhì)而進行放電的現(xiàn)象。 英文縮寫 ESD靜電敏感度：元器件所能承受的靜電放電電壓值。靜電放電敏感（的）英文縮寫 ESDS。靜電敏感器件：（承受靜電放電電壓較低的器件）對靜電放電敏感的器件。泄放：將靜電荷安全傳導到地。中和：利用導性電荷（異性離子）使靜電消失。靜電導體：表面電阻率在105~108Q范圍內(nèi)的物體。接地：電氣連接到能提供或接受大量電荷物體上。（如大地、艦船或運載工具金屬外殼。）接地連接點英文縮寫： EBP。防靜電工作區(qū)：用各種防靜電設(shè)施、器件及明確區(qū)域的界限形成的工作場地。（用必要的防靜電防護材料和設(shè)備建立和裝備起來有明顯標志的區(qū)域能防護靜電損害。）英文縮寫： EPA。靜電放電保護材料具備以下特征：防止產(chǎn)生摩擦起電。免受靜電場的影響。防止與帶電人體或帶電物體接觸而產(chǎn)生直接放電。靜電放電損傷：由靜電放電造成的電子元器件性能退化或功能失效。靜電耗散材料：其表面電阻率等于或大于 1*105?1012Q或體積電阻104?1011Q的材料。靜電放電造成電子元器件失效及對靜電放電敏感性分類靜電放電造成電子元器件失效：靜電放電對電子元器件的損傷可造成功能失效和損傷。失效的主要機理有： a 熱二次擊穿b 金屬鍍層融熔c 介質(zhì)擊穿d 氣弧放電e 表面擊穿f體擊穿電子元器件易遭受靜電放電損傷的敏感結(jié)構(gòu)見附錄 A（參考件）附錄A對ESD敏感的元器件組成部分元器件組成部分元器件類別失效機理失效標志MOS結(jié)構(gòu)MOSFET（分力的）MOS集成電路有金屬跨接的半導體器件數(shù)字集成電路（雙極和 MOS）線性集成電路（雙極和 MOS）MOS阻容器混合電路線性集成電路電壓引起的介質(zhì)擊穿和接著發(fā)生的大電流現(xiàn)象短路（漏電大）半導體二極管（PN、PIN、肖特基）雙極晶體管結(jié)型場效應晶體管可控硅數(shù)字、線性雙極集成電路、 輸入保護電路：用于分力MOS場效應管和MOS集成電路由過剩能量和過熱引起的微等離子體二次擊穿的微擴散由SI和AL的擴散引起電流束的增大（電熱遷移）薄膜電阻器混合集成電路：厚膜電阻薄膜電阻單片集成電路：薄膜電阻器密封薄膜電阻器介質(zhì)擊穿、與電壓有關(guān)的電流通路，與焦耳能量有關(guān)的微電流通路的破壞電阻漂移金屬化條混合集成電路單片集成電路梳狀覆蓋式晶體管與焦耳熱能量有關(guān)的金屬燒毀開路場效應結(jié)構(gòu)和非導電性蓋板采用非導電石英或陶瓷封蓋板的集成電路和存儲器，特別是EPROM由于ESD使正離子在表面積壘。引起表面反型或柵閥值電壓漂移工作性能退化

壓電晶體晶體振蕩器聲表曲波器件當所加電壓過大時由于機械力使晶體破裂工作性能退化電極間的間距較小部位聲表面波器件無鈍化層覆蓋的薄膜金屬無保護的半導體器件和微電路電弧放電使電極材料熔融工作性能退化靜電放電敏感器件的分類：按敏感度電壓被分級為： 1級：損壞敏感的放電電壓從 0V?1999V。2級：損壞敏感的放電電壓從 2000V?3999V見附錄B（參考件）附錄B靜電放電敏感電子元器件分類（參考件）I級靜電敏感度的元器件（17999V）序號元器件類別條件及說明1微波器件包括肖特基二極管、 點接觸二極管、工作頻率大于1GHZ的檢測二極管2分力MOS場效應晶體管包括VMOS及VDMOS管等3表面聲波（SAW）器件4結(jié)型場效應晶體管5電荷藕合器件6精密穩(wěn)壓二極管7運算放大器包括雙極型工藝及 MOS工藝8超高速集成電路包括ECL、HCMOS、FAST等工藝9其他集成電路包括CMOS、PMOS、NMOS、TTL等10薄膜電阻器11混合電路使用I級靜電敏感元器件組裝的混合電路12可控硅Ta=1000C Io<0.175AII級靜電敏感度的元器件（ 2000—3999V）序號元器件類別條件及說明1分力MOS場效應晶體管包括VMOS,VDMOS等2結(jié)型場效應晶體管3運算放大器包括雙極工藝和 MOS工藝4超高速集成電路5其他集成電路包括CMOS、PMOS、NMOS、TTL等6精密電阻網(wǎng)絡(luò)包括ECL、HCMOS、FAST等工藝7混合電路使用II極靜電敏感元器件組裝的8低功率雙極工藝晶體管PT<100mW,Ic<100100mA基本要求靜電防護的基本原則 ：抑制靜電荷的積聚迅速、安全有效地消除已經(jīng)產(chǎn)生的靜電荷。對靜電放電進行有效地控制，以使電子元器件免受靜電放電的危害。防止靜電放電造成電子元器件、電子整機等產(chǎn)品功能失效與可靠性 下降。具體要求如下：防靜電工作區(qū)場地：禁止直接使用木質(zhì)地板或鋪設(shè)毛、麻、化纖地毯及普通地板等。選用靜電導體材料構(gòu)成的地面。如防靜電活動地板或在普通地面鋪設(shè)防靜地墊，并有效接地。允許使用經(jīng)特殊處理過的水磨石地面。如事先敷設(shè)地線網(wǎng)，滲碳或在地面噴抗靜電劑等。接地：防靜電系統(tǒng)必須有獨立可靠的接地裝置，接地電阻一般應小于 10Q,埋設(shè)與檢測方法符合SJ/T10694-1996的要求。防靜電地線不得接在電源零線上，不得與防雷地線共用。使用三相五線制供電，其地線可以作為防靜電地線。（但零線，地線不得混接）防靜電接地分系統(tǒng)也可利用故障保護地線或信號參考地線（直流工作地線）作為接地母線。不允許交流線路的走線與直流地線緊貼或平行鋪設(shè)，以防對直流信號造成干擾各接地分系統(tǒng)的連線之間應相互隔離，使用帶絕緣外皮的導線。接地主干線截面積應不小于 100mm2,支干線截面積不小于 6mm2,設(shè)備和工作臺的接地線應采用截面積不小于 1.25mm2的多股塑料導線，接地線顏色以黃綠色為宜。接地點符號如圖1所示，其尺寸大小應在普通照明條件下用肉眼清楚辨認，標記顏色為黃底黑色，避免使用紅色。圖1 接地連接點符號式樣接地主干線的連接方式應采用釬焊、熔焊或壓接連接件、卡箍等進行搭接連接。防靜電設(shè)備接地端子應用易裝拆的各種夾式連接器，如鱷魚夾、插頭座等，但應確保電氣連接可靠。濕度、溫度控制：防靜電工作區(qū)的環(huán)境相對濕度在 45%?75%（或30%?75%）范圍內(nèi)。防靜電工作區(qū)的環(huán)境溫度在 15c?35c范圍內(nèi)。在不對產(chǎn)品造成有害影響前提下允許使用增濕設(shè)備噴灑制劑或水，以增加環(huán)境濕度。區(qū)域界限：防靜電工作區(qū)應標明區(qū)域界限，并在明顯處懸掛警示標志。警示標志應符合 GJB3007-97規(guī)定,EPA標記符號式樣如圖 2所示，其最小尺寸為 300mm*150mm，標記顏色一般采用黃底黑色。一般可配置手模式靜電泄放球（應可靠接地）。圖2EPA標記符號式樣電荷源在防靜電工作區(qū)內(nèi)禁止使用及接觸易產(chǎn)生靜電荷的電荷源 （見表1）表1電荷源類別電 荷 源工作臺表面油漆或浸漆表面，普通表白塑料貼面，普通乙烯及樹脂表卸。工作服、鞋、帽普通滌綸、合成纖維及尼龍面料、塑料及普通膠底鞋。地板塑料及普通地板革、拋光打蠟地板、普通乙烯樹脂。操作工具及設(shè)備普通塑料盒、架、瓶、盤用品及紙制品，普通泡沫及一般電動工具、壓縮機、噴射設(shè)備、蒸發(fā)設(shè)備等。3.4防靜電設(shè)施靜電安全工作臺靜電安全工作臺是防靜電工作區(qū)的基本組成部分，所有裝配調(diào)試人員，材料處理人員和接觸靜電敏感器件的檢驗人員、技術(shù)人員都必須在靜電安全工作臺上操作。靜電安全工作臺由工作臺、防靜電桌墊和大地線等組成。接地線應與大地有可靠連接。以保證靜電荷安全泄放到地。防靜電工作臺地線應采用最小截面積不小于 1.25mm2的多股塑料導線，外皮顏色為黃綠色。防靜電工作臺面的表面電阻為106?109Q2條的規(guī)定。靜電安全工作臺上不允許 堆放塑料盒（片）、橡皮、紙板、玻璃等易產(chǎn)生靜電的雜物。圖紙資料等應裝入防靜電文件袋內(nèi)。防靜電腕帶直接接觸靜電敏感器件的人均應戴防靜電腕帶，腕帶應與人體皮膚有良好的接觸，腕帶必須對人體皮膚無刺激，無過敏影響。腕帶系統(tǒng)對地電阻應在 106~108Q范圍內(nèi)。測試方法見第10.5.2.3條的規(guī)定。防靜電容器在電子設(shè)備研制生產(chǎn)過程中一切儲存、周轉(zhuǎn)靜電敏感器件的容器（元件袋、周轉(zhuǎn)箱、印制板架、元器件存放盒等）應具備靜電防護性能，不允許使用普通塑料容器。存放部件用的周轉(zhuǎn)箱必要時應加裝接地線。（見附錄 C）防靜電工作服進入防靜電工作區(qū)或接觸靜電敏感器件的人員應穿防靜電工作服，防靜電服面料應符合GB12014《防靜電工作服》規(guī)定。在相對濕度大于 50%的環(huán)境中防靜電工作服允許選用純棉制品。防靜電烙鐵防靜電烙鐵臺應可靠接地，焊頭部位應用多股銅芯線（ 1mm2）直接接地，從焊頭到接地系統(tǒng)的電阻應不大于 2Q。防靜電手套、手指應用靜電耗散材料制作，電阻值在 105?1010Q。防靜電器材基本配制：各種防靜電器件基本配置見表 2。表2防靜電器件基本配置表

配置立R位器、項〉材 目名於、、元器件待驗元器件庫房元器件預處理夕設(shè)計工藝實驗室裝配調(diào)試維修外場維修運輸防靜電元件存放架?????靜電識別標簽???????防靜電元件盒（袋）????????防靜電桌墊???????防靜電周轉(zhuǎn)箱?0?0?0?防靜電工作服???????0?防靜電腕帶????????防靜電工作手套????????0防靜電烙鐵?????防靜電吸錫器?????防靜電印制板架????0?防靜電海綿泡沫?0?000?防靜電接大地線（帶）????????防靜電工作區(qū)標志牌??00???防靜電文件袋??????0注：?表示必須配置項目。表示需要時配置項目或局部區(qū)域配置項目操作規(guī)范：人員培訓凡與防靜電工作區(qū)（EPA）的人員，均需經(jīng)過基本防靜電知識的培訓，操作人員應掌握各種器具的使用技能和操作規(guī)則與方法。靜電防護操作的基本原則：所有靜電敏感器件及其部件的操作都必須在靜電安全工作臺上進行。進入防靜電工作區(qū)的所有電子元器件都必須視為靜電敏感器件對待。儲存、運輸靜電敏感器件及其部件時，應妥善進行防靜電包裝。靜電源控制凡易產(chǎn)生摩擦靜電的材料，例如普通塑料、橡膠、合成纖維等，在防靜電工作區(qū)內(nèi)不準使用。人體防護凡進入防靜電工作 區(qū)的人員必須穿戴防靜電工作服、防靜電工作帽。凡與靜電敏感（ ESDS）的器件產(chǎn)品接觸人員，包括操作人員、工程技術(shù)或管理人員、參觀人員等需佩帶防靜電腕帶，并應保持其與人體、與接地系統(tǒng)接觸可靠。必要時，應佩帶防靜電手套或指套進行操作。文件資料的防護在防靜電工作區(qū)內(nèi)使用的圖紙或工藝文件資料，切忌將紙質(zhì)文件資料與靜電敏感（ ESDS）的器件產(chǎn)品放在一起，必要時應將文件資料裝在透明防靜電包裝袋內(nèi)。拒絕接收未包裝在靜電防護容器里的靜電敏感器件及其部件。當需要把靜電敏感器件及其部件從靜 電防護容器或防靜電袋中取出時，必須在靜電安全臺上進行，并遵守以下注意事項：操作人員必須穿防靜電工作服。戴上防靜電腕帶， 腕帶必須與皮膚有良好的接觸并將腕帶接入可靠的防靜電接地系統(tǒng)中。手拿靜電敏感器件時，應避免接觸其引線和接線處。清洗靜電敏感器件時，不得使用塑料刷。不得在任何非防靜電物質(zhì)表面滑 動靜電敏感器件。操作時應盡量減少對靜電敏感器件及其部件的接觸次數(shù)。靜電敏感器件的引腳，印制板插腳需要清洗 時應用浸沾酒精或中性洗凈劑的棉球擦洗。裝聯(lián)電子設(shè)備時，應使用有接地線的低壓直流電動起子。避免使用一般電動起子。在焊接時應采用防靜電低壓恒溫烙鐵， 并接地良好。 非防靜電恒溫電烙鐵頭必須接有地線并接地良好，烙鐵頭到接地的電阻應不大于 2Q。焊接GBJ1649規(guī)定的I類靜電敏感器件（敏感電壓范圍 1-1999V具體見附錄 B）時，還應在拔掉電烙鐵電源插頭后進行。I類靜電敏感元器件類型：（敏感電壓范圍 1-1999V）微波器件（肖特基勢壘二極管，點接觸二極管和其它工作頻率大于 1GHC的檢測二極管）離散型M0S場效應晶體管聲表面波（ SAM）器件結(jié)型場效應晶體管（ JEETS）電荷藕合器件（ CCDS）6.16.1采購、檢驗、入庫f.精密穩(wěn)壓二極管（線或加載電壓穩(wěn)定（ 0.5%））g.運算放大器（OPAMPS0）h.薄膜電阻器、集成電路。i.使用I級元器件的混合電路，超高速集成電路環(huán)境溫度 100C時，I。/0.175A的晶體閘流管（SCRS）o禁止回收利用雙列直插器件包裝管來包裝靜電敏感器件。在任何場合均不允許未采取防靜電措施人員接觸靜電敏感器件及其零部件。生產(chǎn)過程中應使用的成型機、 插件機、波峰焊機、貼片機、清洗機、浸錫機（或錫鍋爐）、計算機等設(shè)備必須具備防靜電性能（必須接地良好）。安全警告在接通電源的電子設(shè)備上工作時，必須遵守有關(guān)安全操彳規(guī)范。如果接觸帶電體，具有 1MQ電阻值腕帶不能提供有效安全保證。包裝及標志電子設(shè)備的防靜電包裝及標志應符合標準 9.3條規(guī)定。防靜電工作區(qū)維護與檢查要求對防靜電工作區(qū)（ EPA）的各項技術(shù)要求，必須經(jīng)常性 地進行檢查、監(jiān)測，以維護其各項性能符合本要求的規(guī)定，檢查頻次如表 3所示，其檢查記錄表見附錄 D。表3EPA性能檢查頻次檢查頻次項 目 名 稱檢查方式每日一次環(huán)境溫度測量相對濕度測量佩戴腕帶情況下人體對地電阻P測量防靜電服裝穿戴情況目視防靜電腕帶佩戴情況目視電烙鐵接地情況目視每周一次防護工作臺面接地情況目視系統(tǒng)接地情況目視每季度一次標記情況工作臺卸表回（點對點）電阻目視測量周轉(zhuǎn)容器表回（點對點）電阻測量存放器表回（點對點）電阻測量系統(tǒng)接地電阻測量關(guān)聯(lián)部門責任采購人員應具備靜電敏感器件一般保護常識。遵守靜電防護操作規(guī)范。拒絕采購未采取防靜電措施生產(chǎn)的及未采用防靜電包裝靜電敏感器件及部件。拒絕接收未包裝在防靜電容器（盒、袋中的敏感器件及其部件）。檢驗人員應熟悉靜電敏感器件類型、品種及正確試驗檢測常識，并能熟練操作。檢查硬件標記及包裝標志符合本標準第 9.1條的規(guī)定。對靜電敏感器件及其組件計數(shù)時，盡可能不要移出防靜電包裝。某些工作必須將靜電敏感器件及其組件移出包裝時（例如檢測），則必須在防靜電安全工作臺上進行，操作人員應遵守基本操作規(guī)程，工作后應立即將靜電敏感器件、組件裝回防靜電包裝內(nèi)。儲存元器件庫房管理員應掌握靜電敏感器件的一般保護常識。庫房必須是靜電安全工作區(qū)。防靜電基本設(shè)施見表 2。靜電敏感器件入庫、出庫都必須裝在防靜電包裝內(nèi)。并遵守防靜電基本操作規(guī)程。運輸在廠內(nèi)運輸靜電敏感器件及其組件時，應將其放入防靜電包裝內(nèi)進行。轉(zhuǎn)運時應使用防靜電周轉(zhuǎn)箱等，器件應置于防靜電包裝中。調(diào)試調(diào)試部件、整件、整機技術(shù)指標時操作人員應遵守本標準中的有關(guān)規(guī)定。設(shè)計研制應把防靜電意識貫穿于新產(chǎn)品設(shè)計研制全過程中。設(shè)計電路時應盡量選擇不易受到靜電損害的元器件，并把它們安裝在受靜電放電保護的地方或盡可能采用靜電抑制技術(shù)。例如開關(guān)接地、涂導電涂料等。委托研制元器件時，應向承制 方提出元器件防靜電要求。售后維修維修用的靜電敏感器件及其部件應妥善裝在防靜電包裝內(nèi)。維修中應遵守本標準有關(guān)操作規(guī)程。外出維修時，按防靜電要求操作（使用防靜電恒溫烙鐵或普通烙鐵必須接地，手戴防靜電腕帶并接地良好。）進行維修。防靜電標志7.1防靜電標志圖案：見圖3到圖7.1防靜電標志圖案：見圖5-10cmo5-10cmo見圖3防靜電容器、防靜電運輸箱、防靜電元件盒、元件架等 器材上標志見圖 4或圖5，標志應置于明顯且不受到摩擦損害的位置。圖3：防靜電工作區(qū)域標志 圖4、圖 5：防靜電標志防靜電標志應符合 GJB10649的規(guī)定，如圖 4和圖5所示。防靜電系統(tǒng)測試方法測試依據(jù)： ST/T10694-1996電子產(chǎn)品制造防靜電系統(tǒng)測試方法。測試條件：全部測試均在生產(chǎn)場地內(nèi)進行，環(huán)境溫度 20c?25C,相對濕度在40%?60%。測試儀器：非接觸式靜電電壓表、地電阻測量儀、 500VDC兆歐表、萬用表、腕帶測試儀、表面電阻測試儀（ ESD333）、人體符合電阻測試儀（所使用的儀器精度不低于 2.5級，均應在計量檢定有效期內(nèi)）。測試技術(shù)指標見附錄 C。測試方法摩擦起電電壓測試使用非接觸式靜電電壓表測量。測試時手持干燥布料（選用純棉或防靜電面料），以頻數(shù)約 120次/min，手掌適當施加壓力，單向摩擦被測件某一部位 20次，按靜電電壓表使用方法立即接近摩擦部位，觀察儀表顯示數(shù)值。對生產(chǎn)場地防靜電設(shè)施進行摩擦起電電壓總體效果測試，包括：工作臺（臺面、臺墊）、貨架、工位器具、物流傳遞器具、包裝袋（盒）、工作服（工作帽、手套）等。10.5.2電阻測試防靜電地極（1）連接方法按圖 6所示。圖 6：防靜電地極接地電阻測試（2）測試步驟：a、將被測地極用導線接于儀器端子上。b、在相同直線方向 20米、40米潮濕土地處分別插入地位探針及電流探測針，各接于儀器端子P、C上。c、設(shè)置“倍率盤”倍數(shù)。d、自緩至快搖動儀器手柄達到約 120r/min,調(diào)整測量標度盤，指針指于零位時，讀數(shù)乘以倍率標度，即為接地電阻值。e、按測試步驟 c、d反復測3、5次，取平均值。工作臺、臺面（臺墊）按圖9所示方法測試其工作臺、臺面（臺墊）的表面電阻，使其符合