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1.外觀異常一黑邊1.1異常描述刻蝕后半成品硅片表現(xiàn)黑灰色邊緣稱為黑邊。1.2多邊黑邊1.典型形貌特征2.原因分析藥液濃度偏高，腐蝕量偏大，導(dǎo)致邊緣黑邊。3.處理辦法適量補(bǔ)加DI降低自補(bǔ)量減小腐蝕度，調(diào)節(jié)過程中注重腐蝕度的變化。1.3單邊黑邊1.典型形貌特征2.原因分析單側(cè)排風(fēng)過大；刻蝕槽滾輪水平較差，硅片在行進(jìn)過程中抖動(dòng)較大。3.處理辦法適當(dāng)降低黑邊背側(cè)排風(fēng)；觀察找出偏高或偏低的滾輪，調(diào)節(jié)滾輪水1.典型形貌特征觀察找出不平的滾輪，調(diào)節(jié)滾輪水平；根據(jù)黑邊出現(xiàn)的方位，1.5黑邊原因分析總結(jié)1.藥液濃度偏高，腐蝕量偏大，導(dǎo)致邊緣黑邊；2.刻蝕槽滾輪水平較差，硅片在行進(jìn)過程中抖動(dòng)較大；3.側(cè)面排風(fēng)過大。1.6黑邊處理辦法總結(jié)1.適量補(bǔ)加DI降低自補(bǔ)量減小腐蝕度，調(diào)節(jié)過程中注重腐蝕度的2.觀察找出偏高或偏低的滾輪，調(diào)節(jié)滾輪水平；3.根據(jù)黑邊出現(xiàn)的方位，調(diào)節(jié)側(cè)排。2.外觀異常一滾輪印2.1異常描述刻蝕后或在EL圖中出現(xiàn)與刻蝕滾輪位置一致的印記稱為滾輪印。2.2典型形貌特征：2.3原因分析1.刻蝕槽流量偏低，背面部分N型硅未被刻蝕掉；2.進(jìn)槽滾輪偏高，硅片接觸藥液時(shí)間偏短；3.上下滾輪臟污，臟污粘在硅片表面。1.如果滾輪印出現(xiàn)在非擴(kuò)散面，能夠適當(dāng)增加刻蝕槽流量來(lái)解2.調(diào)節(jié)進(jìn)槽滾輪高度；3.如果臟污情況較輕，能夠通過跑假片的方法來(lái)去除；如果臟污情況較嚴(yán)重，能夠?qū)⑺胁鬯幰捍蛑罷ank槽，用酒精擦拭除刻蝕槽外所有滾輪，再用DI水擦拭，最后跑假片復(fù)機(jī)即可。3.外觀異常一皮帶印3.1異常描述在EL圖

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