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高等職業(yè)教育數(shù)字化學(xué)習(xí)中心連鑄自動(dòng)化崗位培訓(xùn)壓力檢測(cè)及儀表壓力變送器壓力傳感器:能夠感受壓力(壓差)并能按一定規(guī)律將壓力(壓差)轉(zhuǎn)換成同種或別種性質(zhì)輸出量的儀表。彈性元件檢測(cè)壓力的輸出只是機(jī)械位移信號(hào),該信號(hào)可以就地顯示,也可以變換為電信號(hào)以供遠(yuǎn)傳。這種變換一般稱為電變送。其方法很多,如電阻式、電感式、電容式、應(yīng)變式、力平衡式、霍爾式、振弦式、光纖式等。目前工業(yè)生產(chǎn)使用的電變送后的壓力信號(hào)都是標(biāo)準(zhǔn)化的電流或電壓信號(hào),其變送器都是定型的產(chǎn)品。一、電容式壓力變送器1、工作原理:以彈性元件膜片為電容器的可動(dòng)極板,它與固定極板之間形成一可變電容。隨被測(cè)壓力的變化,膜片產(chǎn)生位移,使電容器的可動(dòng)極板與固定極板之間的距離改變,從而改變了電容器的電容量,完成壓力信號(hào)與電容量之間的變化。將激勵(lì)電壓加于電容器,產(chǎn)生交變電流,經(jīng)整流、控制、放大,輸出4~20mA標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)。電容器的電容量由它的兩個(gè)極板的大小、形狀、相對(duì)位置和電介質(zhì)的介電常數(shù)決定.2、組成:變送器由兩部分組成:差動(dòng)式壓力(差壓)—電容轉(zhuǎn)換和測(cè)量電路。差動(dòng)式壓力(差壓)—電容轉(zhuǎn)換是將被測(cè)壓力(差壓)轉(zhuǎn)換成差動(dòng)變化的電容CL、CH,其結(jié)構(gòu)如圖所示。P1P2
感壓元件是膜片,兩電容的固定極板為球面形結(jié)構(gòu)。測(cè)量膜片位于兩固定極板的中央,它與固定極板構(gòu)成兩個(gè)小室,兩室結(jié)構(gòu)對(duì)稱。固定極板是將玻璃絕緣體磨成球形凹面,并在該表面鍍上一層金屬薄膜而成。金屬薄膜和彈性膜片都接有輸出引線。測(cè)量膜片與固定極板形成的電容在30~150pf范圍內(nèi)。室通孔與自己一側(cè)隔離膜片腔室連通,室和隔離腔室內(nèi)充有硅油。
被測(cè)壓力作用于隔離膜片,通過(guò)硅油使測(cè)量膜片產(chǎn)生與壓力成正比的位移,從而改變了可動(dòng)極板與固定極板間的距離,引起電容的變化,此電容變化通過(guò)引線傳給測(cè)量顯示電路。工作原理差壓位移電容電流放大輸出傳感部分Δp~C?顯示電路部分線性關(guān)系(1)差壓-位移轉(zhuǎn)換Δd=K1Δp線性關(guān)系(2)位移-電容轉(zhuǎn)換線性關(guān)系Δp=0時(shí),有初始電容3差壓轉(zhuǎn)換成電容為提高靈敏度和改善非線性,采用差動(dòng)形式(3)當(dāng)Δp=0(p1>p2)時(shí),C2增加,C1減少為什么采用電容之差與電容之和的比值:4轉(zhuǎn)換放大部分為方便得到電流與差壓的關(guān)系,使K△P比值C2-C1/C2+C1與壓力成正比。比值C2-C1/C2+C1介電常數(shù)ε無(wú)關(guān),如與ε有關(guān)就會(huì)產(chǎn)生很大誤差,如ε是溫度的函數(shù)。如果差動(dòng)電容的結(jié)構(gòu)完全對(duì)稱,則可得到良好的穩(wěn)定性。二、應(yīng)變式壓力變送器應(yīng)變式壓力傳感器利用金屬應(yīng)變片或半導(dǎo)體應(yīng)變片將測(cè)壓彈性元件的應(yīng)變轉(zhuǎn)換成電阻變化。彈性元件的應(yīng)變轉(zhuǎn)換成電阻值的大小是由金屬或半導(dǎo)體材料制成的電阻體(即應(yīng)變片)完成。常用的金屬應(yīng)變片:金屬絲式、箔式、薄膜式,基于金屬絲的應(yīng)變效應(yīng)工作,半導(dǎo)體應(yīng)變片:體式、薄膜式、擴(kuò)散式,基于半導(dǎo)體壓阻效應(yīng)工作1.金屬電阻應(yīng)變片:絲式、箔式、薄膜式。(1)金屬絲式應(yīng)變片:將金屬電阻絲(一般是合金,電阻率較高,電阻約為120Ω,直徑約0.025mm)粘貼在絕緣基片上,上面覆蓋一層薄膜,使它們變成一個(gè)整體。(2)金屬箔式應(yīng)變片利用光刻、腐蝕等工藝制成一種很薄的金屬箔柵,厚度一般在0.003~0.010mm,粘貼在基片上,上面再覆蓋一層薄膜而制成。其優(yōu)點(diǎn)是表面積和截面積比大,散熱條件好,允許通過(guò)的電流較大,可制成各種需要的形狀,便于批量生產(chǎn)。電阻應(yīng)變片的分類金屬電阻應(yīng)變片半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片
箔式應(yīng)變片(3)金屬薄膜應(yīng)變片金屬薄膜應(yīng)變片是采用真空蒸鍍或?yàn)R射等方法,在薄的基底材料上制成一層金屬電阻材料薄膜以形成應(yīng)變片。厚度在0.1mm以下。將產(chǎn)生應(yīng)變的金屬或合金直接沉淀在彈性元件上而不用粘合劑,應(yīng)變片的滯后和蠕變都很小,靈敏度高。
(4)半導(dǎo)體應(yīng)變片
半導(dǎo)體應(yīng)變片的工作原理是基于半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)而制成的一種純電阻性元件。當(dāng)半導(dǎo)體材料某一軸向受外力作用時(shí),其電阻率會(huì)發(fā)生變化。半導(dǎo)體應(yīng)變片比金屬應(yīng)變片靈敏度大50~100倍,但電阻溫度系數(shù)大,非線性也大。常用應(yīng)變片的形式1原理:利用金屬應(yīng)變片或半導(dǎo)體應(yīng)變片將測(cè)壓彈性元件的應(yīng)變轉(zhuǎn)換成電阻變化。2應(yīng)變式壓力變送器1)組成:兩部分,感壓彈性元件,應(yīng)變片。也可將二者結(jié)合成一體。2)測(cè)量電路的工作:將應(yīng)變片電阻的變化轉(zhuǎn)換成電流或電壓輸出是由測(cè)量電路完成的。電橋分類(補(bǔ)充)應(yīng)變式傳感器應(yīng)用舉例(補(bǔ)充)
力(荷重)傳感器柱式力傳感器柱式力傳感器FF面積S-ε1+ε2-ε2+ε1截面積SF(a)實(shí)心圓柱(b)空心圓柱F軸向布置一個(gè)或幾個(gè)應(yīng)變片,在圓周方向布置同樣數(shù)目的應(yīng)變片,后者取符號(hào)相反的應(yīng)變,以構(gòu)成差動(dòng)對(duì)。
彈性元件上應(yīng)變片的粘貼和電橋連接,應(yīng)盡可能消除偏心和彎矩的影響,一般將應(yīng)變片對(duì)稱地貼在應(yīng)力均勻的圓柱表面中部,構(gòu)成差動(dòng)對(duì),且處于對(duì)臂位置,以減小彎矩的影響。u0U0R1R3R5R7R6R8R2R4R6R7R8R2R3R4R5柱式力傳感器應(yīng)變片的粘貼與橋路連接R1(a)圓柱面展開(kāi)圖(b)橋路連接r=0,εr、εt達(dá)最大值r=0.58r0,
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