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科研思維方法課件第一頁(yè),共二十九頁(yè),編輯于2023年,星期一只有躺在墓地的人才沒(méi)有任何問(wèn)題,所以沒(méi)有問(wèn)題往往就是最大的問(wèn)題。如果你某一天發(fā)現(xiàn)自己沒(méi)有任何問(wèn)題了,那也就說(shuō)明你真的離墓地不遠(yuǎn)了。有問(wèn)題并不可怕,可怕的是沒(méi)有解決問(wèn)題的信心和勇氣??蒲械哪繕?biāo)正是要解決人類(lèi)在認(rèn)識(shí)和改造自然的過(guò)程中所遇到的問(wèn)題。第二頁(yè),共二十九頁(yè),編輯于2023年,星期一

超高致密度ZAO陶瓷靶材

的制備與研究第三頁(yè),共二十九頁(yè),編輯于2023年,星期一課題相關(guān)背景介紹ZAO(ZnO摻雜Al2O3)是一種透明導(dǎo)電氧化物材料(簡(jiǎn)稱(chēng)TCO:TransparentconductiveOxide)目前TCO薄膜材料的主流產(chǎn)品是ITO(氧化銦摻雜氧化錫)第四頁(yè),共二十九頁(yè),編輯于2023年,星期一TCO薄膜廣闊的市場(chǎng)前景透明電極1)平面顯示器。(LCD、ELD、ECD)

2)攝像元件。3)太陽(yáng)能電池的窗電極。4)圖象傳感器。5)利用液晶的遮光玻璃。6)輸入畫(huà)面用開(kāi)關(guān):接觸式畫(huà)屏。防靜電膜儀表的窗口。面發(fā)熱膜1)防霧防霜用玻璃。2)取暖用嵌板散熱器。紅外線反射膜1)節(jié)能用紅外線遮斷膜。2)電爐、干燥箱的觀測(cè)孔。選擇透射膜太陽(yáng)光聚熱器。電磁波屏避第五頁(yè),共二十九頁(yè),編輯于2023年,星期一ZAO薄膜的優(yōu)勢(shì)(相對(duì)于ITO)透明導(dǎo)電薄膜市場(chǎng)巨大,ITO(銦錫氧化物)獨(dú)霸天下,但有致命弱點(diǎn):成本高

銦是稀有金屬;靶材難以燒結(jié),制靶成本高。與ITO相比,ZAO具有明顯的優(yōu)點(diǎn):

1)低廉成本;

2)無(wú)毒;

3)在氫等離子環(huán)境中有更好的穩(wěn)定性;

4)在室溫制備薄膜條件下,薄膜性能比

ITO優(yōu)異。ZAO是ITO的理想替代品。第六頁(yè),共二十九頁(yè),編輯于2023年,星期一TCO薄膜的制備工藝流程薄膜的制備方法有很多種,對(duì)于導(dǎo)電薄膜常用磁控濺射的方法。原料粉體->壓制成型->燒結(jié)成靶材->磁控濺射成膜第七頁(yè),共二十九頁(yè),編輯于2023年,星期一工藝路線的選擇ITO靶材的工藝路線:

粉體->冷等靜壓->熱等靜壓從盡量降低成本,提高ZAO競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)的角度出發(fā),成型工藝選擇單向冷壓工藝,燒結(jié)工藝選擇無(wú)壓燒結(jié)。在降低成本的同時(shí),也加大了課題的難度第八頁(yè),共二十九頁(yè),編輯于2023年,星期一問(wèn)題的轉(zhuǎn)換大問(wèn)題轉(zhuǎn)化為小問(wèn)題復(fù)雜的問(wèn)題轉(zhuǎn)化為關(guān)鍵性的問(wèn)題(在復(fù)雜多變的因素中找到關(guān)鍵因素)功能性的問(wèn)題轉(zhuǎn)化為結(jié)構(gòu)性的問(wèn)題(結(jié)構(gòu)決定功能)抽象的問(wèn)題轉(zhuǎn)化為具體的問(wèn)題(安排實(shí)驗(yàn)的方法)具體的問(wèn)題轉(zhuǎn)化為抽象的問(wèn)題(理論升華的方法,寫(xiě)論文的方法)第九頁(yè),共二十九頁(yè),編輯于2023年,星期一本課題問(wèn)題的轉(zhuǎn)化ZAO薄膜功能上的關(guān)鍵要素?

1)導(dǎo)電性能2)透光性能這些性能和靶材的哪些結(jié)構(gòu)參數(shù)有關(guān)?

1)摻雜比

2)燒成靶材的致密度第十頁(yè),共二十九頁(yè),編輯于2023年,星期一問(wèn)題聚焦聚焦于關(guān)鍵問(wèn)題,聚焦是突破的前提。對(duì)于ZAO靶材,摻雜比的問(wèn)題已經(jīng)基本上解決(前面研究生的工作),目前存在的問(wèn)題就是如何提高靶材的致密度。所以問(wèn)題轉(zhuǎn)化為如何通過(guò)無(wú)壓燒結(jié)工藝獲得高致密度或超高致密度ZAO陶瓷靶材?第十一頁(yè),共二十九頁(yè),編輯于2023年,星期一燒結(jié)的幾個(gè)基本過(guò)程燒結(jié)過(guò)程的劃分和各個(gè)階段的燒結(jié)行為燒結(jié)初期顆粒間形成接觸;燒結(jié)頸長(zhǎng)大(頸長(zhǎng))

燒結(jié)中期連通孔洞閉合;孔洞圓化;孔洞收縮;致密化

燒結(jié)后期孔洞粗化;晶粒長(zhǎng)大

第十二頁(yè),共二十九頁(yè),編輯于2023年,星期一ZAO燒結(jié)過(guò)程及其特征700度SEM第十三頁(yè),共二十九頁(yè),編輯于2023年,星期一

1000度SEM第十四頁(yè),共二十九頁(yè),編輯于2023年,星期一1200度SEM第十五頁(yè),共二十九頁(yè),編輯于2023年,星期一1300度SEM第十六頁(yè),共二十九頁(yè),編輯于2023年,星期一對(duì)比中發(fā)現(xiàn)問(wèn)題ZnO斷面SEM圖ZAO斷面SEM圖ZnO:晶粒形狀較為規(guī)則,晶界也較為明顯

ZAO:晶粒形狀不太明顯且不規(guī)則,晶界較窄而不明顯,孔洞分布不均

如何解釋這一差異?第十七頁(yè),共二十九頁(yè),編輯于2023年,星期一努力去解釋這些問(wèn)題查閱現(xiàn)有的資料,發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有燒結(jié)理論的整個(gè)理論框架是建立在單相粉體燒結(jié)的基礎(chǔ)上的,其典型的模型是雙球燒結(jié)模型。

(見(jiàn)下一頁(yè))第十八頁(yè),共二十九頁(yè),編輯于2023年,星期一雙球頸長(zhǎng)模型球-球頸長(zhǎng)模型

第十九頁(yè),共二十九頁(yè),編輯于2023年,星期一發(fā)現(xiàn)傳統(tǒng)燒結(jié)理論的缺陷適合解釋單相粉體的燒結(jié)過(guò)程:同步均勻的頸長(zhǎng),從而產(chǎn)生相對(duì)均勻微觀結(jié)構(gòu)。無(wú)法解釋多相粉體的燒結(jié)過(guò)程:無(wú)法解釋摻雜材料在燒結(jié)過(guò)程中的作用。第二十頁(yè),共二十九頁(yè),編輯于2023年,星期一提出新模型的必要性對(duì)于多相粉體,是否也像單相粉體一樣,各個(gè)顆粒之間幾乎同時(shí)頸長(zhǎng),同時(shí)長(zhǎng)大?

從上面給出的兩張SEM照片里面,我們不難得出答案。第二十一頁(yè),共二十九頁(yè),編輯于2023年,星期一試圖用去解決這些問(wèn)題abcd

球-橋-球模型第二十二頁(yè),共二十九頁(yè),編輯于2023年,星期一運(yùn)用模型對(duì)現(xiàn)象的解釋對(duì)ZAO和ZnO微觀形貌差異的解釋?zhuān)?)ZAO晶粒形狀不規(guī)則:富Al2O3區(qū)快速頸長(zhǎng)造成ZAO坯體各個(gè)部分頸長(zhǎng)不均勻。2)ZAO孔洞分布不均勻,大小不均勻:富Al2O3區(qū)孔洞迅速消除;缺Al2O3區(qū)氣孔不易消除。第二十三頁(yè),共二十九頁(yè),編輯于2023年,星期一升華自己提出的問(wèn)題對(duì)于實(shí)驗(yàn)過(guò)程中發(fā)現(xiàn)的問(wèn)題不要輕易的丟棄,有些看似與你目前從事的課題無(wú)關(guān)的一些問(wèn)題,可能蘊(yùn)藏著更大的價(jià)值。如果對(duì)這個(gè)燒結(jié)模型深入的研究下去(比如進(jìn)行燒結(jié)動(dòng)力學(xué)的研究),很可能在此基礎(chǔ)上建立多相粉體燒結(jié)理論(這也是理論上的創(chuàng)新)第二十四頁(yè),共二十九頁(yè),編輯于2023年,星期一對(duì)于新模型的運(yùn)用運(yùn)用新發(fā)現(xiàn)的模型,重新審查ZAO的燒結(jié)過(guò)程,就會(huì)發(fā)現(xiàn)靶材致密度不高的根本原因在于:

Al2O3顆粒在微觀上的不均勻分布<-

Al2O3和ZnO的百分含量懸殊,而顆粒粒徑差不多,這樣就造成它們?cè)跀?shù)量上的巨大差異。新的思路:改變Al2O3的粒徑,采用納米粉體摻雜。第二十五頁(yè),共二十九頁(yè),編輯于2023年,星期一納米摻雜后的頸長(zhǎng)模型a氧化鋁顆粒在坯體中的

均勻分布

b整個(gè)坯體同步均勻

的燒結(jié)第二十六頁(yè),共二十九頁(yè),編輯于2023年,星期一良好的實(shí)驗(yàn)結(jié)果

設(shè)計(jì)前所得靶材SEM圖設(shè)計(jì)后所得靶材SEM圖

設(shè)計(jì)前,靶材的相對(duì)密度最高能到94.8%左右;

設(shè)計(jì)后,所得靶材的相對(duì)密度能達(dá)到99.8%。第二十七頁(yè),共二十九頁(yè),編輯于2023年,星期一總結(jié)及體會(huì)努力的發(fā)現(xiàn)問(wèn)題

對(duì)比和比較的思維方法往往是發(fā)現(xiàn)問(wèn)題的利器

如何發(fā)現(xiàn)具有創(chuàng)新價(jià)值的問(wèn)題

1)努力尋找實(shí)驗(yàn)現(xiàn)象和現(xiàn)有理論之間的

矛盾點(diǎn)。

2)注意舊有理論的假設(shè)條件。

3)擺脫“目標(biāo)”定勢(shì),要注意看似與目標(biāo)

不相干的問(wèn)題。第二十八頁(yè),共二十九頁(yè),編輯于2023年,星期一如何解決問(wèn)題

想方設(shè)法的轉(zhuǎn)化問(wèn)題;

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