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光伏設(shè)備行業(yè)專題報告低氧型單晶爐迎新一輪技術(shù)迭代(報告出品方/作者:東吳證券,周爾雙、劉曉旭)N型硅片存同心圓痛點,低氧型單晶爐助力降本增效新款單晶爐為何在2023年面世?隨著N型電池片,尤其就是TOPCon快速回調(diào),N型硅片市場需求大幅提高。TOPCon2022年實際復(fù)產(chǎn)約110GW,2023年1-4月新增產(chǎn)能約400GW,助推N型硅片市場需求快速提升,而N型硅片對晶體品質(zhì)和氧碳含量建議很高,建議更高的少子壽命和更高的氧含量。N型硅片容易產(chǎn)生由原生氧引致同心圓、黑芯片問題。主要系則高溫的硅溶液在坩堝里進行相對高速的對流,因為外面熱中間熱,底部熱上面熱,硅溶液在坩堝內(nèi)會形成相近“上加鍋”現(xiàn)象,引致硅溶液內(nèi)部出現(xiàn)流動,不停沖刷石英坩堝,而石英就是二氧化硅,其中氧可以在沖刷過程中帶進硅溶液,引致晶體里所不含較多的氧。TOPCon更容易發(fā)生同心圓問題。TOPCon在時程的高溫工藝(如B擴散)下,氧難結(jié)晶形成氧環(huán)即為同心圓,影響效率和良率,所以TOPCon對硅片氧含量更虛弱;而HJT為低溫工藝,出現(xiàn)同心圓概率不高,可以挑選出低氧含量硅片。P型和N型的區(qū)別,為何PERC對雜質(zhì)建議不高?N型電池對硅料建議比P型高。(1)轉(zhuǎn)換效率上,N型電池(TOPCon、xBC、HJT)均高于P型電池(BSF、PERC)。(2)電特性及純度上,N型表金屬、體金屬、山吉雜質(zhì)和信士雜質(zhì)含量比P型太太少50%,少子壽命也提高了。(3)含氧量上,現(xiàn)有的單晶爐技術(shù)可以同時同時實現(xiàn)12.5ppma左右的含氧量,再往之下,良率就很低,比如果增加至10ppma,良率可能將將沒有10%。當下TOPCon一體化企業(yè)的痛點:同心圓和黑芯片問題TOPCon高溫過程比較多(SE仍須兩次擴硼,溫度在1050攝氏度以上,擴磷850攝氏度,LPCVD也就是高溫過程),高溫過程可以喚醒硅片內(nèi)的氧原子形成同心圓,并使效率下降。瑕疵分為空位瑕疵和點缺陷,空位瑕疵就是原子顧不上排序,所以中間出現(xiàn)了孔洞。高拉速情況下孔洞可以多,摻雜磷之后孔洞瑕疵可以更多,過了7ppm之后,瑕疵可以急速上升。Topcon里的高溫制程就可以導(dǎo)致氧涌向形成瑕疵,400度以上氧可以在硅片里活動,800~900度以上氧可以游動,一旦冷了凝固就一動了。氧喜歡CUP區(qū)域,氧原子沉積在一起,漏電大,一的定就是無法發(fā)電的,如果氧和過渡階段金屬無機之后,可以引起局部的勢能。從邏輯上,氧和雜質(zhì)就是N型硅片的敵人,雜質(zhì)可以無機掉少子,氧會涌向形成瑕疵。TOPCon白芯片問題放大了HJT硅棒利用率優(yōu)勢:目前TOPCon存黑芯片的問題,硅片氧含量高且在高溫下氧換行了硅,造成了電池片或組件在EL檢測時中心變白的現(xiàn)象。目前TOPcon白芯片占比4-5%,在企業(yè)的可以拒絕接受范圍內(nèi),但隨著未來TOPCon對良率的建議越來越低,黑芯片可以并使TOPCon比HJT硅棒利用率低3%。單晶爐發(fā)展趨勢:平均值3-4年再加一代,從尺寸變大至質(zhì)量升級之前單晶爐的發(fā)展思路就是:在所有變動成本一致的情況下,硅片尺寸越大,成本越高。當下的G10硅片,從尺寸角度,已經(jīng)就是瓶頸,210就是最符合集裝箱尺寸的大小,自210面世后,硅片環(huán)節(jié)再并無代萊技術(shù)運算。晶盛機電持續(xù)推出單晶爐新品,由注重尺寸到注重質(zhì)量。2007年晶盛機電推出第一代全自動單晶爐;2011年首推水冷套裝置,實現(xiàn)高拉速第二代單晶爐;2015年首推復(fù)投器+大熱場,開創(chuàng)第三代RCZ高產(chǎn)單晶爐;2020年首推基于工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)的第四代智能化單晶爐。2023年晶盛推出第五代新型單晶爐,最大的亮點在于改變了傳統(tǒng)的封閉控制系統(tǒng)模式,配置了基于開放架構(gòu)的用戶可編程的軟件定義工藝平臺。增加磁場為有效率解決方案之一,具備一定經(jīng)濟性硅料降價+硅片10%~12%合理利潤率,單晶爐回來本周期沒有2年硅料降價+硅片10%~12%合理利潤率下,行業(yè)整體利潤仍然較低,單晶爐回來本周期沒有2年,其中N型設(shè)備回來本周期比P型更長。(1)單晶爐價格約140萬/臺,理論產(chǎn)值14MV/臺,N型硅片利潤率12%,P型硅片利潤率10%。(2)進口高純石英砂短缺,坩堝修改頻繁,單晶爐待機時間變大長,間接引致追加新增產(chǎn)能損耗,其中N型單晶爐追加新增產(chǎn)能損耗約20%,P型單晶爐追加新增產(chǎn)能損耗約10%。(3)N型每GW所需單晶爐約90臺,設(shè)備價值量1.3億元,P型每GW所需單晶爐80臺,設(shè)備價值量1.1億元。以硅片價格0.6元/W測算,設(shè)備回來本周期沒有2年,其中N型設(shè)備回來本周期更長。硅料降價+N型12%利潤率,單晶爐+超導(dǎo)磁場回來本周期約3年N型硅片對含氧量和純度建議比P型高,只有磁場就可以將含氧量增加至7ppma(N型行業(yè)標準),在硅料降價+N型12%合理利潤率下,行業(yè)整體利潤仍然較低,單晶爐回來本周期約3年。(1)2023年晶盛超導(dǎo)磁場約150萬元/臺,2024年料降到100萬元/臺(增加30%)。(2)單晶爐+磁場可以有效率提高硅片拉晶的良率、成晶率,提高10%單產(chǎn)。(3)磁場可以減緩硅溶液對坩堝的沖刷,延長坩堝使用壽命,N型單晶爐追加新增產(chǎn)能損耗增加至15%。(4)N型每GW所需單晶爐+超導(dǎo)磁場76臺,設(shè)備價值量2.2億元,以硅片價格0.6元/W測算,成立備回本周期約3年,當超導(dǎo)磁場增加至100萬元/臺,回來本周期約2.5年。硅片存追加新增產(chǎn)能緊缺風險,硅片質(zhì)量為時程競爭的關(guān)鍵要素從供給與市場需求角度來看,硅片追加新增產(chǎn)能未來存緊缺風險。供給端的2022年底硅片名義追加新增產(chǎn)能少于600GW+,考慮到落后追加新增產(chǎn)能出局、追加新增產(chǎn)能利用率等,我們測算實際有效率追加新增產(chǎn)能約260GW+;市場需求端的2022年全球新增裝機量約230GW,考量至孟韌度等,我們測算硅片市場需求約290GW+,硅片供需處于很很緊平衡狀態(tài)。未來隨著硅片技術(shù)變革減少、落后產(chǎn)能淘汰率下降,硅料等瓶頸因素消失、追加新增產(chǎn)能利用率提升,硅片名義追加新增產(chǎn)能存緊缺風險。硅片質(zhì)量為時程競爭的關(guān)鍵要素。硅片追加新增產(chǎn)能緊缺將放大硅片質(zhì)量的重要性,下游對質(zhì)量優(yōu)秀硅片的傾向性凸顯。超導(dǎo)磁場提質(zhì)降本,0.3%效率提升+非硅降本貢獻2000-3000萬/GW提質(zhì)角度:以182尺寸72片組件、轉(zhuǎn)換效率24.3%為基準,單晶爐+超導(dǎo)磁場可以有效率的提高電池轉(zhuǎn)換效率0.1~0.5%,進而提高組件功率。按照電池效率提升0.3%、組件1.6元/W估算,550W的組件溢價10.8元,每GW多盈利約1900萬元。降本角度:單晶爐+超導(dǎo)磁場可以多利用5%的頭尾料,頭尾料再次投料,相等于節(jié)省5%的電費。目前非硅成本就是0.1元/W,其中電費約0.08元/W,則可以節(jié)省電費0.004元/W,每GW節(jié)省電費成本約400萬元。光伏磁場先進經(jīng)驗半導(dǎo)體領(lǐng)域經(jīng)驗,有效率遏止對流以增加氧等雜質(zhì)磁控直拉單晶技術(shù)可抑制熔體熱對流,增加晶體的雜質(zhì)含量超導(dǎo)材料就是所指在低于其臨界溫度時,具有直流電阻為零和完全抗磁性(外磁場的磁力線無法散射至內(nèi)部)的材料,而超導(dǎo)磁體則就是利用超導(dǎo)材料的特定性質(zhì)回去產(chǎn)生強磁場的裝置:通常由超導(dǎo)材料制成的超導(dǎo)線圈和冷卻系則為叢蘚科扭口蘚(液態(tài)氦)共同共同組成。超導(dǎo)線圈在超低溫環(huán)境溫度下發(fā)至超導(dǎo)狀態(tài),能夠橫跨比常規(guī)線圈更高的電流,從而產(chǎn)生更高的磁場,具有低功耗、高場強、體積小、體積小等優(yōu)勢特點。基于所產(chǎn)生的強磁場,超導(dǎo)磁體能夠應(yīng)用于人體核磁共振成像儀(MRI)、磁控直拉單晶硅(MCZ)、超導(dǎo)磁體儲能等領(lǐng)域。其中,磁控直拉單晶技術(shù)即為在直拉法(CZ法)單晶生長的基礎(chǔ)上對坩堝內(nèi)熔體施以超導(dǎo)磁場,從而遏止熔體的熱對流:熔體硅具有導(dǎo)電性,在磁場促進作用下,熔體流動必然引起感生電流從而產(chǎn)生洛倫茲力。在洛倫茲力的促進作用下,熔體內(nèi)熱對流贏得遏止,熔體液面處的氧、點缺陷及其他雜質(zhì)贏得遏止。適當原產(chǎn)的磁場能提高單晶的光滑性,減少氧、硼、鋁等雜質(zhì)從石英坩堝步入熔體,從而提升單晶硅品質(zhì)。磁控直拉法中的超導(dǎo)磁體產(chǎn)生的磁場通常分為橫向磁場、縱向磁場、勾形磁場。其中縱向磁場由于遏止熔體熱對流整體整體表現(xiàn)不好,已被橫向磁場和勾形磁場所替代。而橫向和勾形兩種磁場位型各有利弊,最優(yōu)技術(shù)路線仍在揉索中:慧翔電液專利中橫向磁場和勾形磁場均采用過,中國科學院電工研究所專利中采用了橫向磁場。超導(dǎo)磁場優(yōu)勢明顯,助力單晶硅品質(zhì)進一步提高磁場焊接晶體最早可以追溯到1966年,該方法最早由Utech和Fleming及ChedzeyHurle分別獨立明確提出,并第一次把磁場引入水平生長InSb晶體,減小了熱對流和界面溫度波動,功不可沒了遏止生長條紋的促進作用;掌控硅中氧在70年代末至80年代初變成單晶生長技術(shù)中的關(guān)鍵課題,學者已經(jīng)已經(jīng)開始大規(guī)模研究磁場對晶體生長犯罪行為的影響。日本索尼公司于1980年攜手刊載了“優(yōu)質(zhì)硅單晶的新制法”,已經(jīng)已經(jīng)開始將磁場應(yīng)用領(lǐng)域至CZ硅單晶生長中,獲得了適宜VLSI和高湖南金證大功率器件用的高質(zhì)量硅單晶,引起了半導(dǎo)體行業(yè)的著重。1982年初,索尼公司正式宣布正式宣布有償轉(zhuǎn)讓該技術(shù),標志著MCZ步入實用階段。傳統(tǒng)的MCZ方法采用永磁體或銅線圈導(dǎo)流產(chǎn)生背景磁場,但永磁體穩(wěn)定性極差,而銅線圈磁體具有磁場強度低、能耗大的缺點,無法滿足用戶晶棒尺寸持續(xù)增加的市場需求。隨著超導(dǎo)磁體技術(shù)的發(fā)展,超導(dǎo)磁場提供更多更多了更存取悅力的解決方案:可以并使材料凝固液面更均衡,材料純度更高;同常規(guī)磁體較之,超導(dǎo)磁體能夠增加300mm單晶硅生產(chǎn)能耗20%、提高成品率30%。客戶基礎(chǔ)+慧翔電液技術(shù)儲備+盈利模式演化:開拓晶盛機電發(fā)展空間鞏固客戶基礎(chǔ)助推研發(fā)負反饋循環(huán):晶盛機電作為光伏單晶爐龍頭企業(yè),客戶量大且覆蓋面廣,因此存充足的客戶資源可以可供公司進行技術(shù)檢驗,形成客戶端-設(shè)備端正意見反饋循環(huán),助力研發(fā)過程大力大力推進和關(guān)鍵技術(shù)優(yōu)化。全資子公司慧翔電液經(jīng)歷多年技術(shù)積累,先發(fā)優(yōu)勢鑄就行業(yè)領(lǐng)先地位:晶盛機電初期超導(dǎo)磁場主要為外采,其2017年研發(fā)的半導(dǎo)體級超導(dǎo)磁場單晶硅生長爐的超導(dǎo)磁場由日本住友提供更多更多,但由于價格較為高昂,晶盛在此之后逐漸由外采變?yōu)樽匝校⑷Y子公司慧翔電液主要大力支持超導(dǎo)磁場的國產(chǎn)化。布局:根據(jù)專利申請時間,慧翔電液對超導(dǎo)磁場的布局可以追溯到2018年:先后研發(fā)了為主動屏蔽漏磁的磁體結(jié)構(gòu),以及能夠增加磁場強度的優(yōu)化線圈結(jié)構(gòu);至2019年,慧翔電液的研發(fā)范圍由局部擴展到整體,提出申請了磁控直拉單晶設(shè)備的專利保護,不斷完善晶盛機電在半導(dǎo)體級超導(dǎo)磁場單晶爐的布局。低氧型單晶爐迎新一輪技術(shù)運算,市場空間寬闊我們預(yù)計至2025年低氧單晶爐市場空間強于200億元模型基本假設(shè):(1)2023-2025年新增追加新增產(chǎn)能中低氧單晶爐滲透率分別為5%/15%/30%;(2)超導(dǎo)磁場的增加能夠提升單晶爐單產(chǎn),2023-2025年單產(chǎn)分別為14/15/15MW;(3)2023-2025年超導(dǎo)磁場價格分別為150/120/100萬元;(4)2023-2025年存量追加新增產(chǎn)能更新為低氧單晶爐的比例分別為4%/10%/15%。重點公司分析晶盛機電:面世第五代單晶爐,重新加入超導(dǎo)磁場2023年5月22日晶盛機電發(fā)布第五代單晶爐,通過引入超導(dǎo)磁場解決TOPCon的同心圓問題。晶盛機電為單晶爐龍頭,市占率為除隆基外的90%,持續(xù)大力大力推進單晶爐優(yōu)化升級,目前晶盛已發(fā)發(fā)推出第五代單晶爐,亮點之一便為額外超導(dǎo)磁場回去解決TOPCon硅片的同心圓問題,其子公司慧翔電液具備磁場供應(yīng)能力,就是國內(nèi)超導(dǎo)磁場市占率最高的玩家,截至目前已經(jīng)備貨強于200個。我們表示晶盛機電作為傳統(tǒng)單晶爐龍頭,在新型低氧單晶爐前瞻性布局,具備領(lǐng)先優(yōu)勢,隨其著N型硅片持續(xù)復(fù)產(chǎn)&低氧單晶爐滲透率提升,晶盛機電訂單料維持高減至。西部超導(dǎo):超導(dǎo)產(chǎn)品領(lǐng)軍者,已向下游相關(guān)客戶銷售MCZ磁體西部超導(dǎo)主業(yè)為司、高端鈦合金、超導(dǎo)產(chǎn)品(超導(dǎo)線材、超導(dǎo)磁場)、高性能高溫合金,公司持續(xù)開發(fā)超導(dǎo)材料和磁體技術(shù)在半導(dǎo)體、光伏、醫(yī)療及電力領(lǐng)域的應(yīng)用,并與相關(guān)單位形成了實質(zhì)性合作。目前公司自主研發(fā)了國內(nèi)第一臺專門用于磁控直拉單晶硅的高磁場強度超導(dǎo)磁體,傳導(dǎo)冷卻類型MCZ,已實現(xiàn)批量出口;滿足面向工程的電磁場設(shè)計需要,開發(fā)了大型超導(dǎo)磁體繞制、固化及低溫杜瓦設(shè)計和制造、制冷機直接冷卻快速降溫等全套超導(dǎo)磁體設(shè)計制造核心技術(shù);公司還研發(fā)出特種磁體制備新技術(shù)并實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化,批量應(yīng)用于國內(nèi)外高能加速器制造領(lǐng)域,實現(xiàn)中國首次向美國能源部稀有同位素加速器項目批量出口超導(dǎo)磁體;公司還具備鞍型和制冷機直冷低溫超導(dǎo)磁體、大型高溫超導(dǎo)磁體關(guān)鍵制備技術(shù),為蘭州重離子加速器、上海光源、廣東電網(wǎng)超導(dǎo)限流器提供了核心的超導(dǎo)磁體,保障
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