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表1國內(nèi)外超凈高純電子級氫氟酸產(chǎn)能調(diào)研表〔2023-7〕序號生產(chǎn)廠家產(chǎn)能〔萬噸/年〕產(chǎn)品等級技術(shù)來源備注合計已建在建擬建ELUPUPS浙江巨化集團凱圣氟化學(xué)凱恒電子材料公司30.71.50.8●●●自創(chuàng)2023年6月已進行年產(chǎn)3萬噸電子級氫氟酸擴建工程環(huán)境影響報告書審批前公示。在現(xiàn)有0.7萬噸/年的電子級氫氟酸根底上,再新建2.3萬噸/年電子級氫氟酸裝置。方案于2023年新建一套1.5萬噸/年電子級HF生產(chǎn)裝置,配套建設(shè)2萬噸/年的無水氟化氫裝置;2023年新建一套0.8萬噸/年UP-S級HF生產(chǎn)裝置。2023年初已發(fā)布了巨化股份關(guān)于凱圣公司年產(chǎn)6000噸ppt電子級氫氟酸固定資產(chǎn)投資工程的投資公告。工程采用引進技術(shù),包括原料供給系統(tǒng)、HF純化系統(tǒng)、稀釋循環(huán)過濾系統(tǒng)、成品過濾系統(tǒng)和成品貯槽系統(tǒng)等內(nèi)容。工程固定資產(chǎn)投資8300萬元,預(yù)計2023年10月建成投產(chǎn)?!沧ⅲ?0%的ppt電子級氫氟酸主要用于LED晶圓生產(chǎn),目前ppt級產(chǎn)品國內(nèi)根本靠進口?!痴憬{蘇氟化0.5●●●蘇威浙江藍蘇氟化由浙江藍天環(huán)保高科技股份、蘇威氟控股(亞太)合資建立的中外合資企業(yè),注冊資金4000萬元。公司于2006年11月19日開工建設(shè)2萬噸/年無水氟化氫工程,2007年9月16日投產(chǎn)。選址在衢州高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)華陽路39號。電子級氫氟酸工程引進蘇威公司的先進生產(chǎn)技術(shù),總投資3500萬元,其中環(huán)保投資170萬元。公司于2023年4月開工建設(shè),2023年12月投入試運行。產(chǎn)品用于太陽能行業(yè)。蘇威Solvay在華氫氟酸企業(yè)。根據(jù)2023年浙江省工業(yè)轉(zhuǎn)型升級財政專項資金工程匯總表〔衢州市區(qū)〕列,工程總投資2838萬元,審計后投資額1106萬元,2023年正在申請省工業(yè)轉(zhuǎn)型升級財政專項資金工程補助資金64萬元。工程為年產(chǎn)5000噸電子級氫氟酸工程,可生產(chǎn)UP級、UPS級電子級氫氟酸?,F(xiàn)有電子級氫氟酸等級有四級〔從低到高分別為AR級、EL級、UP級、UPS級〕,現(xiàn)國內(nèi)自有技術(shù)為AR級和EL級,藍蘇公司生產(chǎn)的電子級氫氟酸為UP級和UPS級。工程各項配套條件均落實,并已完工投產(chǎn),質(zhì)量已到達設(shè)計標準。浙江瑞星氟化工業(yè)日本Stella在華氫氟酸企業(yè)。浙江森美化工●●●2003年11月成立〔金華市武義縣青年胡處工業(yè)區(qū)〕,日本森田化學(xué)工業(yè)株式會社〔MoritaChemical〕在華氫氟酸企業(yè)。無水氟化氫產(chǎn)能15000噸。并于2004年12月取得ISO19001-2000、于2005年1月取得ISO14001認證。2023年2月森田化學(xué)半導(dǎo)體級氫氟酸增產(chǎn)設(shè)備完成。森田化學(xué)還與住友合資在張家港建有800噸/年的六氟磷酸鋰廠。江蘇蘇州晶瑞化學(xué)公司0.70.7●●●蘇威位于蘇州市吳中經(jīng)濟開發(fā)區(qū)澄湖東路,是一家生產(chǎn)銷售微電子業(yè)用超純化學(xué)材料和其他精細化工產(chǎn)品的中港合資企業(yè)。品種包括氫氟酸、過氧化氫、異丙醇、氨水、硝酸、氟化銨等。目前主要量產(chǎn)品種的純度為單項金屬雜質(zhì)含量小于1ppb。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于超大規(guī)模集成電路和TFT-LCD面板制造過程中的蝕刻與清洗??傮w產(chǎn)能2萬噸,公司產(chǎn)品包括光刻膠和超凈試劑,高純氫氟酸產(chǎn)能7000多噸,占其利潤一半,產(chǎn)品處于中高端水平,在行業(yè)中有較好口碑。其產(chǎn)品80%用于太陽能領(lǐng)域,20%用于半導(dǎo)體、TFT-LCD領(lǐng)域。2023年在建1萬噸氫氟酸生產(chǎn)線,還方案在蘇北建立1條8.3萬噸級的生產(chǎn)線,開拓北方市場。UP-S級微電子用高純度氫氟酸2023年獲獎2007年中國半導(dǎo)體創(chuàng)新產(chǎn)品和技術(shù)工程。2023年度蘇州市科技開展方案各類工程,經(jīng)專家評審,公告確定了該公司UP-SS級微電子用超純氫氟酸獲得蘇州市科技型企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新資金專項工程。江蘇江陰市潤瑪電子材料0.10.1●●總產(chǎn)能約2500噸,產(chǎn)品包括硫酸、氨水、氫氟酸等,產(chǎn)品95%針對太陽能市場,僅5%針對半導(dǎo)體市場,公司總體路線是低價路線。江蘇江陰江化微電子材料股份0.10.1●●生產(chǎn)微電子化學(xué)品——紫外負性光刻膠及其紫外正、負性光刻膠配套試劑、超凈高純試劑、通用化學(xué)試劑系列以及其它專用電子化學(xué)品5000噸能力,產(chǎn)品類型與晶瑞相似,但技術(shù)水平低于晶瑞。江蘇江陰化學(xué)品總體產(chǎn)能3000噸,主要產(chǎn)品是CMOS級、MOS級和低顆粒高純試劑。江蘇昆山金城試劑即金城試劑廠,還包括金城精細化工廠、精細化工二廠和金城公司昆山分公司等,是江蘇最大的專業(yè)生產(chǎn)化學(xué)試劑產(chǎn)品的企業(yè)之一。高純試劑:包括高純無機酸類〔鹽酸、硫酸、硝酸、氫氟酸等〕及局部有機溶劑〔醇、酮、酯及苯類〕,純度為4N、5N〔99.99%、99.999%〕的金屬氧化物〔鉍、鉛、碲、鎢、鉬、鋯〕。江蘇蘇州旭昌化學(xué)科技〔昆山〕0.80.8●蘇州市開展和改革委員會2012-1-30發(fā)布新建工程核準的批復(fù),該工程位于昆山市千燈鎮(zhèn)精細化工區(qū),其中電子級氫氟酸清洗劑8000噸。江蘇昆山市富樂化工專業(yè)生產(chǎn)工業(yè)級氫氟酸、電子級、分析純、超高純氫氟酸、氟硼酸、氟硼酸亞錫、氟硼酸鉛、氟化銨、氟化氫銨等氟化物產(chǎn)品及硝酸、鹽酸、硫酸、無水乙醇、氫氧化鈉、雙氧水、丙酮等。年總產(chǎn)量到達10000多余噸,年產(chǎn)氫氟酸為5000噸、氟硼酸為1000噸、雙氧水為800噸硝酸為3000噸,鹽酸為1500噸等。氫氟酸產(chǎn)品為試劑級、電子級、mos級。江蘇三美化工股份1●●江蘇南通2023-07對江蘇三美化工〔在如東洋口化學(xué)工業(yè)園如東〕年產(chǎn)6萬噸ODS替代品(包括年產(chǎn)1萬噸二氟甲烷、1萬噸五氟乙烷、1萬噸三氟乙烷、2萬噸四氟乙烷及1萬噸五氟丙烷)、5萬噸無水氟化氫、1萬噸高純電子級氫氟酸、3萬噸偏二氯乙烯、3萬噸三氯乙烯、0.5萬噸聚偏二氟乙烯樹脂;聯(lián)產(chǎn)19萬噸石膏、17萬噸鹽酸、0.55萬噸40%氫氟酸、0.6萬噸氟硅酸、0.1萬噸四氯乙烯及850噸六氟丙烯工程進行了審批公示。江蘇海安南通明鑫化工最專業(yè)的高活性氟化鉀設(shè)計制造商:南通市明鑫化工專業(yè)生產(chǎn)結(jié)晶氟化鉀、無水氯化鈣。生產(chǎn)氫氟酸、氯化鉀、氯化鈣、鈍化液,同時經(jīng)營硫酸、硝酸、鹽酸、氟化氫銨、氟化氫鉀等。江蘇南京蘇純化工科技南京蘇純化工科技是一家領(lǐng)先的超凈高純電子化學(xué)品與水處理化學(xué)品提供商。其超凈高純-氫氟酸〔40%/49%〕純度規(guī)格EL級/UP級/UP-S級,江蘇阿科瑪〔常熟〕氟化工道達爾集團阿科瑪Arkema在華氫氟酸企業(yè)。1996年6月成立的中國第一家致力于拓銷無水氫氟酸及氟利昂替代品的外商投資企業(yè)。目前擁有三個工程:分別為生產(chǎn)銷售HF及F22的氟化工工程,生產(chǎn)共聚酰胺類的熱熔膠工程,以及有機過氧化物工程,總投資超過六千萬美元。公司于2000年5月正式投產(chǎn),目前生產(chǎn)無水氫氟酸20000噸、FORANE22達35000噸,并正在為增產(chǎn)建設(shè)。福建邵武永飛化工1.50.31.2●●●2023-9月下旬,工程破土開工,2023-5月底完成。生產(chǎn)廠房采用鋼架結(jié)構(gòu)以及采用普通優(yōu)等品AHF為生產(chǎn)原料。9月15日公司順利完成“15000噸/年高純超凈氫氟酸〔電子級氫氟酸〕工程〞福建省外經(jīng)貿(mào)區(qū)域協(xié)調(diào)開展促進資金的申報工作。福建順昌富寶騰達化工10.20.8●福建南平市順昌縣埔上鎮(zhèn),無水氟化氫3萬噸/年,氟化鹽系列產(chǎn)品8千噸/年、氟外表活性劑20噸/年。擬投資6億以上,開發(fā)電子級氫氟酸、電子級雙氧水等7個以精細化工產(chǎn)品為主的工程。2023年已環(huán)評公示。方案2023年建成投產(chǎn)。超純電子級氫氟酸工藝流程簡述:經(jīng)計量的氫氟酸及電子級純水進入蒸發(fā)器,加熱汽化,然后進入精餾塔,塔頂汽體經(jīng)冷凝器冷凝成超純氫氟酸,放至超純氫氟酸貯槽。未冷凝氣體再經(jīng)尾氣吸收塔吸收處理。超純有水氫氟酸的制備:超純氫氟酸儲槽為高濃度超純氫氟酸,需經(jīng)稀釋到不同要求濃度的超純有水氫氟酸,稀釋用水必須是電子級用純水,稀釋后的超純有水氫氟酸必須經(jīng)過嚴格的質(zhì)量檢測,其陽性金屬離子含量,陰性離子含量,塵粒直徑及顆粒數(shù),需用先進的分析儀器,作超痕量檢測,合格后在潔凈環(huán)境下進行包裝〔1萬級潔凈區(qū)〕。電子級純水制備:原水經(jīng)初級物理性去雜質(zhì)過濾,再經(jīng)RO逆滲透膜去除陰陽離子,得到初級純水,再經(jīng)最先進的EDI膜去除痕量的陰陽離子,得到電子級純水。福建邵武華新化工11●●公司成立于2004年,是一家外商獨資企業(yè),公司總占地面積約240畝,擁有員工超過400多人,其中技術(shù)人員100余名。下屬有邵武華新化工、廈門美迪化工、光澤美迪化工、邵武華孚新材料開展四家公司。公司生產(chǎn)基地地處福建北部,有豐富而優(yōu)質(zhì)的螢石資源,成立以來致力于氟化工系列產(chǎn)品的研發(fā)和生產(chǎn)銷售。目前已建成無水氟化氫4.5萬砘、氟化氫銨〔氟化銨〕10000噸、干法氟化鋁3萬噸、氟碳外表活性劑系列80噸、優(yōu)級純氫氟酸6000噸的生產(chǎn)線。2023年5月電子氫氟酸工程環(huán)評,廠址定在金塘氟化學(xué)分公司現(xiàn)有廠區(qū)內(nèi)邵武金塘工業(yè)園區(qū)。擴建1套10000t/a超純電子級氫氟酸生產(chǎn)線和1套電子級純水制備裝置,新增一座成品倉庫及罐區(qū)。主要生產(chǎn)工藝:〔1〕純潔水制備工藝:原水經(jīng)初級物理性去雜質(zhì)過濾,再經(jīng)RO逆滲透膜去除陰陽離子,得到初級純水,再經(jīng)最先進的EDI膜去除痕量的陰陽離子,得到電子級純水?!?〕高純氫氟酸制備工藝:氫氟酸與電子級純水進入蒸發(fā)器加熱氣化后,以蒸汽形式進入精餾塔,釜底主要為少量的殘渣;塔頂生成為低沸點的HF,經(jīng)過冷凝后局部回流到精餾塔內(nèi),局部做為產(chǎn)品,保存到成品儲罐內(nèi)。冷凝器內(nèi)少量的HF氣體揮發(fā)到尾氣吸收塔,用電子級水吸收生成高純有水氫氟酸,再少量的HF氣體經(jīng)過二級水吸收和堿液吸收生產(chǎn)氟化鈣石膏。建設(shè)期2023-2023年。福建省建陽山水化工公司主要化工產(chǎn)品有:工業(yè)氫氟酸、無水氟化氫、化學(xué)試劑氫氟酸、電子級氫氟酸、氟化氫銨、氟化銨、氟硼酸、氟硅酸、氟硼酸鈉、氟硅酸鉀、氟化氫鉀、氟硅酸鈉、氟硼酸鉀、氟化鈉等,公司主要礦產(chǎn)品有:酸級螢石精粉、冶金級螢塊礦、粒礦、螢石烘干粉等。河南多氟多化工股份0.50.5●●2011-2-2-11河南省環(huán)境保護廳對鋰離子電池用電解液及六氟磷酸鋰、電池級氟化鋰、電子級氫氟酸工程環(huán)境影響報告書進行了批復(fù)[豫環(huán)審〔2023〕35號]。多氟多擬投資3.44億元實施2萬噸鋰離子電池用電解液及2000噸六氟磷酸鋰、400噸電池級氟化鋰、5000噸電子級氫氟酸的新建工程。方案2023-2023年首先一期建設(shè)2500噸/年電子級氫氟酸線,產(chǎn)能預(yù)測2000噸/2023年,2500噸/2023年,4500/2023年,5000噸/2023年。河南焦作市氟源化工0.40.4●即原焦作市氟化鹽廠,又名焦作市晟鋁氟化鹽有限責任公司。公司于2006年改制為股份制企業(yè),為使公司快速開展先后建成年產(chǎn)冰晶石10000噸,氟化鋁30000噸,氫氟酸24000噸的先進生產(chǎn)線。電子氫氟酸工程于2023年2月焦作市企業(yè)投資工程備案〔豫焦沁北工[2023]00003〕,總投資9609.2萬元。2023年8月16日,在沁北產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)簽曙年產(chǎn)4千噸電子氫氟酸工程入駐。河南焦作市增氟科技年產(chǎn)5萬噸無水氫氟酸,河南省企業(yè)投資工程備案情況已公示。建設(shè)地點:博愛縣柏山鎮(zhèn)焦克路北??偼顿Y:10000萬元。方案建設(shè)起止年限:2023-6~2023-12。年產(chǎn)5萬噸無水氫氟酸,共兩條生產(chǎn)線〔單條2.5萬噸〕,分二期建設(shè),一期2.5萬噸工程方案2023年5月完工,二期方案2023年底完工投產(chǎn)。采用國內(nèi)先進技術(shù),以硫酸、螢石為原料,通過反響爐加熱-吸收-冷凝-精餾的工藝進行生產(chǎn),主要裝備有反響爐、冷凍機、吸收塔、冷卻器等。產(chǎn)品用于清洗不銹鋼、氟化鹽行業(yè)、玻璃行業(yè)等。河南焦作市冰晶科技公司年產(chǎn)3萬噸氫氟酸工程,目前已投資3000萬元,開始生產(chǎn)。安徽宣城〔鷹鵬〕亨泰化工科技2.41.21.2●●●1.2萬噸/年工程2023年11月環(huán)評首次公示。宣城市環(huán)保局2011-9-8再次公示,選址變更在亨元化工科技預(yù)留場地內(nèi)進行建設(shè)。2023年5月可研評審宣州通過。投資1.4億元,工程采用工業(yè)無水氟化氫為原料,經(jīng)過氧化、蒸餾、別離等工藝過程生產(chǎn)電子級氫氟酸產(chǎn)品。第一期已建成了電子級氫氟酸生產(chǎn)線,年產(chǎn)電子級氫氟酸1.2萬噸,各項指標均已到達設(shè)計水平。擁有二套年產(chǎn)6000噸高純電子級氫氟酸生產(chǎn)裝置。產(chǎn)品技術(shù)指標已到達單個金屬離子含量≤1ppb,具有自主研發(fā)的知識產(chǎn)權(quán)優(yōu)勢。一期工程預(yù)計九月份就能建成,預(yù)計一期工程6000噸電子級氫氟酸,2023年7月正在招聘員工。鷹鵬集團公司擁有年產(chǎn)能12萬噸工業(yè)無水氟化氫生產(chǎn)線,確保電子級氫氟酸和工業(yè)氫氟酸原料優(yōu)質(zhì)穩(wěn)定供給。江西贛州華星氟材料0.50.5●中國華星氟化學(xué)投資集團〔以下簡稱中氟公司〕全資子公司。成立于2023年3月31日,注冊資本5000萬元人民幣,注冊地為江西省贛州開發(fā)區(qū)。2011-10-10公司對年產(chǎn)5萬噸無水氟化氫、年產(chǎn)2萬噸氟化氫銨、年產(chǎn)5000噸電子級氫氟酸建設(shè)工程環(huán)境信息進行了公告。工程環(huán)評報告于2023年3月16日通過市環(huán)保局審批〔贛市環(huán)審字【2023】36號。工程建設(shè)地點:贛州開發(fā)區(qū)香港工業(yè)園北區(qū)。5000t/a電子級氫氟酸工程2023年6月核準批復(fù)。工程主要建設(shè)內(nèi)容及規(guī)模:新建電子級氫氟酸車間、原料綜合倉庫、成品倉庫、變配電間、冷凍空壓站、鍋爐房、循環(huán)水池、消防池、事故池、污水處理系統(tǒng)、辦公樓、研發(fā)樓、倒班宿舍、食堂、門衛(wèi)及道路、綠化等配套設(shè)施,總建筑面積25780m2;購置預(yù)處理槽、精餾塔、吸收塔、蒸餾塔、冷凝器、自動包裝機等設(shè)備;形成年產(chǎn)5000噸電子級氫氟酸的生產(chǎn)能力??偼顿Y12000萬元,其中固定資產(chǎn)投資8000萬元,流動資金4000萬元。工程裝置工藝系統(tǒng)招標于已2023年6月5日開標。江西英騰化工年產(chǎn)4萬噸高純無水氫氟酸。2023年底建成投產(chǎn),產(chǎn)品50%出口。江西英騰化工是英國英力士集團氟化工和浙江星騰公司共同投資建立的,公司總投資3.2億人民幣,主要從事綠色制冷劑、含氟高分子材料、含氟精細化學(xué)品的生產(chǎn)、經(jīng)營與研究開發(fā)。該公司將為英力士在日本Mirara的工廠提供原材料,同時也將為星騰化工位于金華的工廠提供生產(chǎn)氟化物所需的原材料。英國英力士Ineos在華氫氟酸企業(yè)。英力士氟化工業(yè)務(wù)已轉(zhuǎn)墨西哥化學(xué)。江西大唐化學(xué)總投資5.5億元人民幣的5萬t/a無水氫氟酸裝置于10月29日在廬山區(qū)姑塘化纖基地開動建設(shè)。大唐氟化工工程是江西省與日本大金株式會社合作的工程。日本大金株式會社在世界500強企業(yè)中列280位,主要從事特種產(chǎn)品制冷制熱、半導(dǎo)體、液壓機械、電子及微米級特殊機械生產(chǎn)加工、氟化工等現(xiàn)代制造業(yè)。由日本大金株式會社和中螢集團聯(lián)合投資的大唐氟化工工程2006年12月簽約,目前啟動的一期工程將新建5條年產(chǎn)1萬噸氫氟酸生產(chǎn)線,2023年1月一期工程將試車投產(chǎn)。工程全部建成后,可年產(chǎn)5萬噸無水氫氟酸,年產(chǎn)值可達7.35億元,年納稅4000萬元。日本大金Daikin在華氫氟酸企業(yè)。江西中氟化工江西中氟化工是中美合資企業(yè),位于江西省玉山縣,該縣境內(nèi)及周邊地區(qū)蘊藏有豐富的瑩石資源,為氟化工的生產(chǎn)提供了充裕的根底原料。有2萬噸/年氫氟酸生產(chǎn)線二條合4萬噸/年。天津科密歐精化學(xué)試劑開發(fā)中心是天津市化學(xué)試劑標準化成員單位,天津市首批科技型中小企業(yè),2023年國家科技部科研用試劑研發(fā)第三大任務(wù)的牽頭單位。目前公司生產(chǎn)卡爾費休、對照品、標準品、色譜純〔含離子對試劑〕、高純MOS級、電子純、低濃殘檢測、環(huán)保、基準、特效、分析純、優(yōu)級純、標準溶液、消毒劑、藥用輔料、等15個系列,3000多個品種。天津市光復(fù)精細化工研究所●電子純氟化氫溶液40%〔50%〕。規(guī)格/包裝單位:MOS/500ml。北京興青紅精細化學(xué)品科技0.02●北京化學(xué)試劑研究所●是中國超凈試劑研究的發(fā)源地,完成了MOS級、BV-Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ級超凈試劑的研究和生產(chǎn),并與上海華誼一起主導(dǎo)的國家863方案ULSI用超凈高純試劑研究。量是近年來在技術(shù)上沒有太大的突破,目前主要生產(chǎn)MOS級超凈高純試劑。山東東營耐爾科技●●東營耐爾科技是一家中外合作的高新技術(shù)公司,研發(fā)生產(chǎn)高純材料,特別是應(yīng)用于電子工業(yè)的高純材料,為集成電路、平板顯示器、光伏電池、制藥、化工、科研等行業(yè)提供各種特種氣體、濕化學(xué)品以及特種氣體包裝輸送柜等產(chǎn)品及效勞。產(chǎn)品有超純Ⅰ〔EL〕、Ⅱ級〔UP〕。FormosaDaikinAdvancedChemicalsCo.,Ltd.〔臺灣臺塑大金精密化學(xué)股份〕1.671.67●●●日本大金Daikin在華氫氟酸企業(yè)。臺塑大金精密化學(xué)股份成立於1999年12月,2002年03月正式量產(chǎn),結(jié)合臺塑公司在氟化學(xué)工業(yè)多年的管理經(jīng)驗以及日本大金工業(yè)的先進精密技術(shù),生產(chǎn)半導(dǎo)體用濕式蝕刻劑,目前年產(chǎn)電子級氫氟酸16,700噸、氟化銨5,200噸、緩衝級氫氟酸1,800噸。地址:(105)臺北市敦化北路201號後棟10樓445室;電話:(02)27122211分機:7404;傳真:(02)27129281;E-mail:fdac-tp@fpg.tw。T.N.C.IndustrialCo.,Ltd.〔臺灣臺硝集團〕●●●IC、TFT級產(chǎn)品:IC半導(dǎo)體與TFT-LCD光電產(chǎn)業(yè)用之清洗劑與蝕刻液49%氫氟酸;EL級產(chǎn)品:4~5”晶圓與FPD光電產(chǎn)業(yè)用之清洗劑與蝕刻液49%氫氟酸。電子化學(xué)品:連絡(luò)人盛副理;電話886-3-3247569;傳真886-3-3246696;E-Mailsams@tnc.tw;桃園廠地址桃園縣蘆竹鄉(xiāng)坑口村3鄰29-25號。TaiwanFertilizerCo.,Ltd.〔臺灣肥料〕投資興建之TFT-LCD用電子級化學(xué)品工廠已于2001年5月正式開工量產(chǎn),第一階段生產(chǎn)剝離液、洗凈液,并于2003年4月完成第一階段擴建工程提高產(chǎn)能,以應(yīng)市場之需,未來尚方案擴建增加蝕刻液及單質(zhì)酸鹼液等產(chǎn)品。Tai-YoungHighTechCorp.(DivisionofWahLeeIndustrialCorp.)〔臺灣臺灣積體電路制造股份〕臺積公司成立于1987年,是全球首創(chuàng)專業(yè)積體電路制造效勞的公司。臺積公司的全球總部位于臺灣新竹科學(xué)園區(qū),在北美、歐洲、日本、中國大陸、南韓、印度等地均設(shè)有子公司或辦事處,提供全球客戶實時的業(yè)務(wù)和技術(shù)效勞。臺積公司是純粹的IC制造(代工)公司,受客戶委托制造IC芯片,臺積公司本身并無自有產(chǎn)品可銷售WorldwideChemicalCo.,Ltd.〔臺灣〕SunlitFluo&ChemicalCo.,Ltd.〔臺灣僑力化工股份〕0.10.1●●1998年鑒於原料導(dǎo)向考量(浙江為全世界氟石主要產(chǎn)地),於中國浙江永康市投資一億新臺幣,成立浙江僑朋化工,生產(chǎn)無水氟化氫銨(二氟化銨)及各種無機氟化物鹽類,為全亞洲唯一乾式二氟化銨製造廠,年產(chǎn)能5000MT。2002年鑒於電子級氫氟酸市場需求大幅成長,決定投入電子級氫氟酸製程研究開發(fā)。在臺灣桃園縣觀音鄉(xiāng)觀音工業(yè)區(qū)的僑力化工生產(chǎn)工業(yè)級氫氟酸(HydrofluoricAcid),49%電子級氫氟酸,氟硼酸(FluoboricAcid),氟硼酸錫(StannousFluoborate),氟硼酸鉛(LeadFluoborate),食品藥品級氟化鈉(SodiumFluorideUSP),工業(yè)級氟化鈉(SodiumFluorideGeneralGrade),工業(yè)級氟氫化鈉(SodiumBifluoride),氯化鋰(LithiumChloride),溴化鋰(LithiumBromide)。2003年電子級氫氟酸正式量產(chǎn),年產(chǎn)能500MT。僑力化工通過DNVISO9001:2000認證。2004年生產(chǎn)設(shè)備投資及流程精進,氟化鈉〔NaF〕及電子級氫氟酸(49%HF)生產(chǎn)線產(chǎn)能提昇。DERIVADOSDELFLUOR〔MineralesProductosDerivados(Minersa)〕〔西班牙美耐莎集團〕11●●主要用戶有中央玻璃和其他公司,主要產(chǎn)品有AHF、電子/太陽能/硅片級氫氟酸、有水氫氟酸及氟化鋁和其他多品種產(chǎn)品。有自己螢石礦。有歐洲其產(chǎn)能最大,AHF為6.5萬噸,占歐洲的四分之一,高純氫氟酸0.75~1萬噸,電子級/太陽能級/硅片級產(chǎn)品,濃度40%-50%-60%,有水氫氟酸1.5萬噸,氟化鋁2萬噸等。StellaChemifaCorporation〔日本〕22●●●StellaChemifa株式會社創(chuàng)業(yè)於1916年,總部設(shè)在日本大阪,為一家化工製造商,公司產(chǎn)品包括電子化工材料(氟化物、蝕刻代理、洗滌劑、電解質(zhì))、醫(yī)療產(chǎn)品和農(nóng)業(yè)化學(xué)製品等。公司並為世界最大的高純度氫氟酸生產(chǎn)商。新加坡獨資分公司〔STELLACHEMIFASINGAPOREPTELTD〕,生產(chǎn)地點在裕廊島,產(chǎn)品包括高純氫氟酸和緩沖氫氟酸。KantoCorporation〔美國〕0.20.2●●●關(guān)東公司生產(chǎn)工廠在美國俄勒岡州的波特蘭。AvantorPerformanceMaterials(原名MallinckrodtBaker)〔美國〕●●●MallinckrodtBaker公司始成立于1995年,為實驗室、生物制藥、微電子和工業(yè)市場提供品牌的高純度產(chǎn)品。1995年Mallinckrodt收購J.T.Baker后成立MallinckrodtBaker,Inc〔MBI〕,2000年Tyco〔泰科集團〕收購MallinckrodtBaker,2005年TycoHealthcare〔泰科醫(yī)療〕變更為Covidien公司,MBI成為Covidien公司的一局部,2023年MallinckrodtBaker成為NewMountainCapital〔新山資本〕的一員。MBI總部位于Phillipsburg,NewJerseyI,擁有在高純化學(xué)品領(lǐng)域享譽全球的兩大知名品牌——J.T.Baker®和Mallinckrodt®,MBI的產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于科研研究及質(zhì)量控制(QC)實驗室,微電子行業(yè),環(huán)境監(jiān)測實驗室,高校,以及制藥行業(yè),生物科技等其他行業(yè)。2023年度,MBI的銷售額到達4.14億美元。J.T.Baker〔杰帝貝柯〕化工產(chǎn)品貿(mào)易〔上?!场睯TBs〕于2023年正式成立,作為美國MallinckrodtBakerInc的全資子公司。AirProducts&Chemicals〔美國〕0.10.1空氣化工產(chǎn)品公司也是中國最大的工業(yè)氣體產(chǎn)品公司之一,通過提供一系列高質(zhì)量的氣體產(chǎn)品包括普通空氣氣體產(chǎn)品如氧氣、氮氣和氬氣,到特種氣體如氦氣、氫氣和電子特氣等,以及各種化學(xué)品。HoneywellSpecialtyChemicals〔德、美國〕0.20.2●●●霍尼韋爾公司總部在美國新澤西州,電子氫氟酸主要在德國的Geismar、美國的路易斯安那Louisianal〔美國南部的一個州〕、加拿大安大概省阿莫斯伯格〔Amherstburg,Ontario〕生產(chǎn)制造。LANXESSDeutschlandGmbH〔德國朗盛公司〕0.10.1德國巴斯夫公司美國霍尼韋爾公司與日本三菱化學(xué)公司在濕電子化學(xué)品業(yè)務(wù)領(lǐng)域建立全球性合作伙伴關(guān)系,近幾年以中國和印度為重點,積極開展電子化學(xué)品業(yè)務(wù),其在亞太地區(qū)電子化學(xué)品業(yè)務(wù)的年銷售額以20%的速度增長;2005年4月,巴斯夫公司收購了德國默克公司全球電子化學(xué)品業(yè)務(wù),此次收購包括在中國、馬來西亞、新加坡等地的生產(chǎn)基地和分銷中心。SolvayFluorGmbH〔德國〕0.10.1德國蘇威公司成立于1863年。德國蘇威氟化物公司(SolvayFluorGmbH)是蘇威集團旗下氟化學(xué)品生產(chǎn)和銷售的專業(yè)公司。該公司從事氟化學(xué)品的生產(chǎn)和銷售超過七十年。目前其無機氟化學(xué)品產(chǎn)銷量位居世界第一,有機氟化學(xué)品位居世界第二位。德國蘇威氟化物的主要產(chǎn)品有:1、有機氟化學(xué)品,如Solkane系列制冷劑,發(fā)泡劑和溶劑;2、無機氟化學(xué)品,如NOCOLOK釬劑等;3、CF3/CF2系列特殊氟化學(xué)品,如三氟乙酸等。ElektrkimyosanoatOJSC〔烏茲別克斯坦〕0.10.1ArkemaFranceS.A.(FormerlyAtofina)阿科瑪公司法國公司(原阿托菲納)0.10.1阿科瑪是一家全球領(lǐng)先的化學(xué)品生產(chǎn)企業(yè),由兩個關(guān)系密切且平衡開展的業(yè)務(wù)部門組成:工業(yè)化學(xué)品和特殊化學(xué)品,全球總部位于法國。2006年5月12日阿科瑪成為一家獨立的化學(xué)品公司〔由道達爾集團資產(chǎn)重組〕,在40多個國家擁有84個生產(chǎn)基地和9家研發(fā)中心,全球擁有13,200名員工,年銷售額達59億歐元。自1984年在中國開展業(yè)務(wù)以來,阿科瑪大中國在其眾多領(lǐng)域占據(jù)領(lǐng)先地位,目前在中國各地擁有七處工業(yè)生產(chǎn)基地。墨西哥化學(xué)公司子公司氟化學(xué)公司0.30.32023年英國英力士集團將品業(yè)務(wù)賣給了該墨西哥化學(xué)公司的子公司氟化學(xué)公司,交易完成后墨西哥化學(xué)公司成為全球最大螢石供給商和第二大氫氟酸生產(chǎn)商。墨西哥化學(xué)花費3.5億美元,得到了英力士氟化學(xué)公司在北美、歐洲和亞洲的生產(chǎn)基地、銷售網(wǎng)絡(luò)以及客戶群在內(nèi)的全部業(yè)務(wù)。2011年5月9日,墨西哥化學(xué)發(fā)布消息稱,公司方案在未來12個月在日本和韓國投資1.5億美元用于生產(chǎn)制冷劑和氫氟酸等。墨西哥化學(xué)國內(nèi)外高純氫氟酸產(chǎn)能大于18.49萬噸/年。其中國外大于4.2萬噸/年。其中中國大陸高純氫氟酸產(chǎn)能大于12.52萬噸/年,包括已建大于2.72萬噸/年,在建約5.2萬噸/年,擬建約5.1萬噸/年。其中中國臺灣地區(qū)大于1.77萬噸/年。高純工業(yè)品氫氟酸是微電子技術(shù)加工制作過程中不可缺少的關(guān)鍵性化學(xué)品之一,主要用于太陽能光伏電池、液晶顯示器件、集成電路(IC)和超大規(guī)模集成電路(VLSI)芯片的清洗和腐蝕,是上述各行業(yè)制作過程中的關(guān)鍵性根底化工材料之一。它的純度和潔凈度對集成電路的成品率、電性能及可靠性都有十分重要的影響。它基于微電子技術(shù)開展而開展,同時又制約微電子技術(shù)開展。近年來,全球電子化學(xué)品市場需求增長速度很快,近兩年保持10%以上的增速,因此高純工業(yè)品氫氟酸的開展前景十分廣闊。我國電子化學(xué)品產(chǎn)業(yè)通過近幾年技術(shù)改造和結(jié)構(gòu)調(diào)整,已經(jīng)具備一定根底,氫氟酸在國內(nèi)已有幾家大型企業(yè)在生產(chǎn),產(chǎn)品級別主要是UP級、EL級和UP-S級,產(chǎn)品主要出口美國、德國、日本和臺灣等地。對幾個生產(chǎn)企業(yè)的產(chǎn)品質(zhì)量進行調(diào)查,發(fā)現(xiàn)產(chǎn)品質(zhì)量存在很大差異,良莠不齊的產(chǎn)品質(zhì)量和價格的惡性競爭嚴重影響了該產(chǎn)品的開展,因此當前急需制定高純工業(yè)品氫氟酸國家標準,根據(jù)電子行業(yè)用戶的實際要求確定適宜的質(zhì)量要求。新標準的出臺對推動企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新,標準產(chǎn)品質(zhì)量,指導(dǎo)企業(yè)生產(chǎn)和促進出口具有十分重要的意義。國內(nèi)目前未有統(tǒng)一的電子氫氟酸標準。巨化集團公司正在〔2023-2023〕建議制訂《高純工業(yè)品氫氟酸》行業(yè)標準,范圍和主要技術(shù)內(nèi)容包括:規(guī)定了高純工業(yè)品氫氟酸的分類、要求、試驗方法、檢驗規(guī)那么以及標志、標簽、包裝、運輸、貯存和平安。適用于高純工業(yè)品氫氟酸。該產(chǎn)品主要用于電子行業(yè)的清洗和腐蝕。國內(nèi)外情況簡要說明:1.國外已生產(chǎn)多年,且技術(shù)成熟,品質(zhì)較高。我國首套生產(chǎn)線在2023年7月建成,目前國內(nèi)有一定生產(chǎn)規(guī)模的企業(yè)有5家左右。產(chǎn)品質(zhì)量根本到達UP級和EL級,最高能到達UP-S級,產(chǎn)品已得到國際市場的認可,目前出口美國、德國、日本和臺灣等地。該標準涉及產(chǎn)品的品質(zhì)很高,因此大局部分析工程以儀器檢驗為主,目前國內(nèi)的一些生產(chǎn)企業(yè)已采用先進的儀器分析,到達國外的分析技術(shù)水平。2.目前查閱到的國外標準有國際半導(dǎo)體協(xié)會標準:SEMIC1.8-1990《氫氟酸標準》,SEMIC7.3-1990《二級氫氟酸標準》,SEMIC7.4-1990《49%二級氫氟酸標準》。本標準與以上標準的采用程度為修改采用。3.目前國內(nèi)沒有相關(guān)標準。4.未涉及知識產(chǎn)權(quán)問題。在202
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