特氣系統(tǒng)培訓(xùn)

特氣系統(tǒng)培訓(xùn)資料全文共29頁，當(dāng)前為第1頁。特氣系統(tǒng)培訓(xùn)GasCabinet的用途實現(xiàn)安全的連續(xù)的供應(yīng)某種特殊氣體,供機(jī)臺制程使用,滿足生產(chǎn)用氣要求.為保證供氣的聯(lián)系性,一般左右盤面均為獨立的操作執(zhí)行體.能夠在保證一邊供氣的前提下,另外一邊實現(xiàn)Purge,更換鋼瓶,并直至到Standby.等待被自動切換當(dāng)另外一邊氣體被用完后.可以實現(xiàn)跟VMB,Scrubber等設(shè)備的聯(lián)動根據(jù)客戶的要求.特氣系統(tǒng)培訓(xùn)資料全文共29頁，當(dāng)前為第2頁。NH3&SiH4

Psi---poundspersquareinch磅/平方英寸（1Mpa=145psi=10.2kg）

·無水氨氣是一種刺激性、無色儲存于鋼瓶的液化壓縮氣體。其存儲壓力為其蒸汽壓114psi

·需避免的情況：高溫(大于426℃)，鋼瓶儲存溫度不可高于52℃·比重：(空氣＝1)0.59·不可燃?xì)怏w!但當(dāng)它在空氣中的濃度超過15%時有立即造成火災(zāi)及爆炸的危險·可自燃?xì)怏w!硅烷是一種無色、與空氣反應(yīng)并會引起窒息的氣體。該氣體通常與空氣接觸會引起燃燒并放出很濃的白色的無定型二氧化硅煙霧。其存儲壓力為其蒸汽壓900~1100psi。·如果泄放硅烷時壓力過高或速度過快會引起滯后性的爆炸。泄漏的硅烷如沒有自燃會非常危險，不要靠近?！け戎兀海諝猓?)1.2·不要用鹵化物類滅火器。從最遠(yuǎn)的距離用水冷卻暴露在火焰中的鋼瓶。特氣系統(tǒng)培訓(xùn)資料全文共29頁，當(dāng)前為第3頁。特氣系統(tǒng)培訓(xùn)硅烷和氨氣主要在太陽能生產(chǎn)上用于等離子化學(xué)氣相沉積(PEVCD)之中.等離子化學(xué)氣相沉積(PEVCD)：PEVCD被使用來在硅片上沉積氮化硅材料，是在300-900℃的溫度下通過化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)生Si3N4的過程。典型的化學(xué)反應(yīng)為：SiH4+NH3→Si3N4+NH3+N2特氣系統(tǒng)培訓(xùn)資料全文共29頁，當(dāng)前為第4頁。全自動氣柜安全配置FireSensor(火焰?zhèn)蓽y)HighTempSensor(高溫傳感器)AutoGuard(鋼瓶接口處的安全裝置)Sprinkler(噴淋裝置)SeismicDetector(防震探測器)GasLeakDetector(毒氣偵測器)特氣系統(tǒng)培訓(xùn)資料全文共29頁，當(dāng)前為第5頁。FireSensor(火焰?zhèn)蓽y)定義:此設(shè)備是針對一些易燃?xì)怏w,易爆氣體或因為其他原因而設(shè)工作原理:當(dāng)氣柜里面有火焰時氣柜內(nèi)部會有個超聲波檢測模塊(UV-TRON)探測到一個特殊的頻段,產(chǎn)生報警信號特氣系統(tǒng)培訓(xùn)資料全文共29頁，當(dāng)前為第6頁。HighTempSensor(高溫傳感器)定義:此設(shè)備的目的是為了防止氣柜內(nèi)部溫度過高而導(dǎo)致危險工作原理:這是一個雙金屬開關(guān),它由兩個受熱膨脹綠不同的金屬片組成,從而控制電信號開關(guān).規(guī)格:工作溫度是72℃,超過72度便產(chǎn)生報警信號.特氣系統(tǒng)培訓(xùn)資料全文共29頁，當(dāng)前為第7頁。AutoGuard(鋼瓶接口處的安全裝置)定義:這個裝置的目的是為了保證換鋼瓶的安全.為了防止在沒有進(jìn)行換瓶前吹掃便把鋼瓶卸下從而導(dǎo)致毒氣泄漏.工作原理:這是一個氣動裝置.裝置內(nèi)部有一個控制開關(guān)的電磁閥.這個裝置保證了鋼瓶接口處的安全,操作者無法輕易卸下鋼瓶接口,除非是在安全流程下才會打開此裝置,允許操作者卸下接口特氣系統(tǒng)培訓(xùn)資料全文共29頁，當(dāng)前為第8頁。Sprinkler(噴淋裝置)定義:當(dāng)氣柜內(nèi)部由于火焰或其他原因?qū)е聝?nèi)部溫度超過72℃時噴淋啟動工作原理:當(dāng)氣柜內(nèi)部溫度上升到一定極限(72℃)時消防水便會被開啟特氣系統(tǒng)培訓(xùn)資料全文共29頁，當(dāng)前為第9頁。GasLeakDetector(毒氣偵測器)定義:此設(shè)備是偵測大氣中毒氣含量的裝置,根據(jù)所設(shè)定值來產(chǎn)生報警工作原理:公司常用的是電化學(xué)式的偵測器,通過采樣管從氣柜風(fēng)管里抽取少量氣體從如偵測器分析毒氣含量,之后排出大氣.(采樣管必須接在排氣管的下面)安裝:可以采集氣柜內(nèi)部的氣體進(jìn)行分析,也可以采集環(huán)境中的氣體進(jìn)行分析特氣系統(tǒng)培訓(xùn)資料全文共29頁，當(dāng)前為第10頁。特氣系統(tǒng)培訓(xùn)特氣系統(tǒng)培訓(xùn)資料全文共29頁，當(dāng)前為第11頁。各零部件的簡圖及名稱特氣系統(tǒng)培訓(xùn)資料全文共29頁，當(dāng)前為第12頁。氣柜閥門及零件概述AV1低壓吹掃閥AV9氮氣吹掃微漏閥PT1高壓供氣閥REG調(diào)壓閥PT3低壓供氣閥CV單向閥AV4低壓端抽空閥GF墊片式過濾器AV5高壓端抽空閥MV供氣確認(rèn)手動閥AV6高壓保壓閥AV7氮氣吹掃閥AV8抽空微漏閥特氣系統(tǒng)培訓(xùn)資料全文共29頁，當(dāng)前為第13頁。氣柜運作流程圖供電↓參數(shù)設(shè)定↓傳感器校零END↓↑泄壓吹掃PT1<設(shè)定值↓↑負(fù)壓保壓供氣↓↑前吹掃后吹掃↓↑換瓶→正壓保壓特氣系統(tǒng)培訓(xùn)資料全文共29頁，當(dāng)前為第14頁。系統(tǒng)參數(shù)含義及作用(1)NOITEMDESCRIPTION1Pre-purge1`sttime(允許參數(shù):10~9999)這三次吹掃的目的都是在換鋼瓶前將管道內(nèi)殘留的有毒氣體排出管道以外.根據(jù)氣體的屬性來決定,將這三個吹掃的總和設(shè)在不低于150次較合理2Pre-2`stLPTPurge(10~9999)3Pre-purge2`sttime(10~9999)4post-purge1`sttime(10~9999)此兩種是發(fā)生在換鋼瓶以后的吹掃,目的是將管道中可能存在的顆粒進(jìn)行吹掃以達(dá)到去除這些顆粒的目的5postpurge2`sttime(10~9999)6PositiveL/CLowlimit(15~9999)正壓保壓最低底線值.檢查鋼瓶與豬尾巴有沒有完全被密封.若保壓失敗一般都是鋼瓶接頭沒有旋緊.但也有特殊情況,比如SIH4可能會受溫度的影響特氣系統(tǒng)培訓(xùn)資料全文共29頁，當(dāng)前為第15頁。系統(tǒng)參數(shù)含義及作用(2)7Vacuumlowlimit(-15~9999Psi)吹掃時真空端的壓力底線,低于此設(shè)定值便產(chǎn)生報警.8PositveL/CTime(0~9999)正壓保壓時間,檢查鋼瓶與連接頭有沒有完全被密封.若保壓失敗一般都是鋼瓶接頭沒有旋緊.但也有特殊情況,比如SIH4保高壓可能會受溫度的影響9NegativeL/CTime(0~9999)負(fù)壓保壓時間.檢查鋼瓶閥門是否關(guān)緊,若保壓失敗一般情況下可以確認(rèn)是鋼瓶閥沒有關(guān)緊10P-N2LowLimit(-15~9999)高純氮吹掃最低壓力值,低于此設(shè)定值產(chǎn)生報警11LeakCheckstabletime(0~9999)保壓穩(wěn)壓時間.經(jīng)過穩(wěn)壓可以讓PTSENSOR保持穩(wěn)定,待數(shù)分鐘穩(wěn)定后方開始保壓,高壓時建議穩(wěn)壓30分鐘以上12Leakchangepressure(0~9999)保壓時允許降低/升高的壓力值.超過此設(shè)定值保壓失敗,須重新走保壓流程13Torquewrenchpressure力矩扳手提示壓力,只供操作者參考特氣系統(tǒng)培訓(xùn)資料全文共29頁，當(dāng)前為第16頁。系統(tǒng)參數(shù)含義及作用(3)14PT11`stLowlimit(-15~9999)當(dāng)PT1的顯示值低于這個參數(shù)時,屏幕會出現(xiàn)字幕提醒用戶做好換鋼瓶的準(zhǔn)備15PT12`ndLowlimit(-15~9999)當(dāng)PT1的顯示值低于這個參數(shù)時并且滿足切換條件時.系統(tǒng)會進(jìn)行鋼瓶的切換,報警消失16PT11`stHighlimit(-15~9999)此參數(shù)是為了防止一些受加熱的氣體由于溫度太高導(dǎo)致壓力過高(如NH3)設(shè)定的報警點17PT31`stLowlimit(-15~9999)供氣調(diào)壓之后PT3端的壓力1段報警,這時請調(diào)節(jié)調(diào)壓閥增大壓力18PT32`stLowlimit(-15~9999)供氣調(diào)壓之后PT3端的壓力2段報警,這時請調(diào)節(jié)調(diào)壓閥增大壓力特氣系統(tǒng)培訓(xùn)資料全文共29頁，當(dāng)前為第17頁。系統(tǒng)參數(shù)含義及作用(4)19PT31`stHighlimit(-15~999)PT3低壓端壓力過高產(chǎn)生的一段報警.此時屏幕會指示操作者調(diào)節(jié)調(diào)壓閥來解決此問題20PT32`stHighlimit(-15~999)PT3低壓端壓力過高產(chǎn)生的二段報警.此時供氣將被臨時停止,系統(tǒng)會進(jìn)行短暫的泄壓步驟.待壓力正常后才恢復(fù)工作21W/S1`stLowlimit(0~999.9)此參數(shù)多用于以重量來切換的氣體如NH3,當(dāng)達(dá)到此設(shè)定值時系統(tǒng)報警提示即將切換鋼瓶22W/S2`stLowlimit(0~999.9)此參數(shù)為重量切換的臨界值參數(shù).當(dāng)重量低于此值時,并且滿足切換條件,系統(tǒng)正常切換左右鋼瓶特氣系統(tǒng)培訓(xùn)資料全文共29頁，當(dāng)前為第18頁。氣柜的安全性能(1)各類安全裝置(切斷氣柜)供氣狀態(tài)系統(tǒng)執(zhí)行的命令UVIR（光感應(yīng)器）任何供氣狀態(tài)所有氣動閥關(guān)閉/氣柜頂部紅色指示燈閃爍/蜂鳴器持續(xù)報警/屏幕上出現(xiàn)報警字幕且無法被消除(重啟電源并排除故障后方能開機(jī))EmergencyStopHi-temperaturesensorPT32`stHighLimit特氣系統(tǒng)培訓(xùn)資料全文共29頁，當(dāng)前為第19頁。氣柜安全性能(2)各類安全裝置(提示報警)供氣狀態(tài)系統(tǒng)執(zhí)行的命令所有供氣狀態(tài)氣柜頂燈:橙色指示燈亮/蜂鳴器間歇性報警/屏幕上出現(xiàn)報警提示(待問題解決后可消除報警字幕)ExhaustFail（抽風(fēng)失敗）L/D1`stalarmL/D2`stalarmPLCCPUmemoryerrorPLCbatterylowerror特氣系統(tǒng)培訓(xùn)資料全文共29頁，當(dāng)前為第20頁。常見的故障及處理方法(1)NO狀況原因措施12`st壓力高于設(shè)定值由于顆粒導(dǎo)致調(diào)壓閥內(nèi)漏PT不穩(wěn)定或損壞氣柜內(nèi)部溫度突然變化更換調(diào)壓閥進(jìn)行PT校準(zhǔn)或更換調(diào)整氣柜內(nèi)部溫度2在供氣之前(備用狀態(tài))PT1壓力下降由于顆粒導(dǎo)致氣動閥門內(nèi)漏PT不穩(wěn)定或損壞氣柜內(nèi)部溫度突然變化更換調(diào)壓閥進(jìn)行PT校準(zhǔn)或更換調(diào)整氣柜內(nèi)部溫度3在1`st調(diào)壓時壓力達(dá)不到設(shè)定值鋼瓶內(nèi)壓力過低PT不穩(wěn)定或損壞報警設(shè)定的值有問題更換鋼瓶進(jìn)行PT校準(zhǔn)或更換重新調(diào)整設(shè)定值4排風(fēng)負(fù)壓表沒有讀數(shù)主排風(fēng)的負(fù)壓力過低排風(fēng)閥被關(guān)閉負(fù)壓表損壞調(diào)排風(fēng)的壓力值打開排風(fēng)閥更換負(fù)壓表5設(shè)備運行壓力過低調(diào)壓閥沒調(diào)整到正常壓力過濾器被堵塞在2`st減壓時有泄漏調(diào)整調(diào)壓閥壓力更換過濾器進(jìn)行保壓確認(rèn)2`st是否存在問題特氣系統(tǒng)培訓(xùn)資料全文共29頁，當(dāng)前為第21頁。NO狀況原因措施6在通電運行的狀態(tài)輸送壓力沒有變化沒有氣供給氣動閥驅(qū)動供給氣動閥驅(qū)動的壓力過低由于電磁閥損壞導(dǎo)致沒有氣體檢查供給氣動閥的氣源是否充足調(diào)整供給氣動閥驅(qū)動的壓力值檢查電磁閥,并更換7在吹掃的時候低壓報警發(fā)生氮氣吹掃的閥沒打開特氣室內(nèi)氮氣吹掃端壓力過低打開氮氣吹掃的閥調(diào)整氮氣吹掃壓力8管道內(nèi)有發(fā)生泄露當(dāng)你沒有為管道做保壓測試時可能會由于某些原因?qū)е滦孤┐藭r高溫,煙霧,火焰?zhèn)蓽y會啟動當(dāng)更換零件,鋼瓶后未做壓力測試如果是毒性氣體必須裝備偵測器9在鋼瓶接口處發(fā)生泄漏火焰,高溫報警探測到高溫后產(chǎn)生報警.鋼瓶接口處沒有安裝墊片或沒有密封將鋼瓶接口處加入新墊片在操作時裝備PPE等安全裝備10在更換零件的時候發(fā)生泄漏當(dāng)更換零件時沒有經(jīng)過置換管路直接拆卸裝置時會發(fā)生泄漏在操作時必須兩人同時在場,并裝備PPE常見的故障及處理方法(2)特氣系統(tǒng)培訓(xùn)資料全文共29頁，當(dāng)前為第22頁。常見電信號故障及處理方法NO狀況原因措施1電源出現(xiàn)錯誤主電源被打斷電路保護(hù)跳確認(rèn)主電源工作狀態(tài)（AC100-24050/60Hz）重新打開空氣開關(guān)電源2觸摸屏電源被停止主電源出現(xiàn)問題線路出線問題檢查電源和線路的狀態(tài)3零點值顯示不正確電源錯誤磅秤損壞信號連接出錯零度值出錯檢查是否輸入24V輸出4-20MA重新調(diào)整零點值檢查信號線連接處磅秤顯示值不對電源錯誤磅秤損壞信號連接出錯輸出范圍錯誤檢查是否輸入24V輸出4-20MA重新調(diào)整零點值檢查信號線連接處4氣動閥錯誤N2輸送問題電磁閥出現(xiàn)問題檢查N2驅(qū)動的壓力時5-7公斤檢查是否24V輸入特氣系統(tǒng)培訓(xùn)資料全文共29頁，當(dāng)前為第23頁。報警提示及相應(yīng)設(shè)備的狀態(tài)(1)報警提示信息狀態(tài)參數(shù)EMSEmergencyStopShut-down設(shè)備出場已設(shè)定

安全裝置SafetyModuleFailShut-down設(shè)備出場已設(shè)定ExhaustFailAlarm設(shè)備出場已設(shè)定HighTempSensorAlarm(UV/IR)Shut-down可自行設(shè)定HighTempSensorAlarmShut-down可自行設(shè)定SmokeSensorAlarmShut-downN/AL/D2`stAlarmAlarm可自行設(shè)定RemoteShutdownOnShut-downN/A特氣系統(tǒng)培訓(xùn)資料全文共29頁，當(dāng)前為第24頁。報警提示及相應(yīng)設(shè)備的狀態(tài)(2)報警提示信息狀態(tài)參數(shù)

報警提示裝置GMSShutdownShut-down設(shè)備出場已設(shè)定CDALowAlarmAlarm設(shè)備出場已設(shè)定Z-purgeFailAlarm設(shè)備出場已設(shè)定HeaterLowTempAlarmAlarm可自行設(shè)定HeaterHighTempAlarmAlarm可自行設(shè)定L/HASensorErrorAlarm可自行設(shè)定L/HBSensorErrorAlarm可自行設(shè)定L/D1`stAlarmAlarm可自行設(shè)定特氣系統(tǒng)培訓(xùn)資料全文共29頁，當(dāng)前為第25頁。報警提示及相應(yīng)設(shè)備的狀態(tài)(3)報警提示信息狀態(tài)參數(shù)

供氣狀態(tài)的報警W/S1`stLowLimitAlarm可自行設(shè)定W/S2`stLowLimitAlarm可自行設(shè)定PT11`stLowAlarmAlarm可自行設(shè)定PT12`stLowAlarmAlarm可自行設(shè)定PT31`stLowAlarmAlarm可自行設(shè)定PT32`stLowAlarmAlarm可自行設(shè)定PT31`stHighAlarmAlarm可自行設(shè)定PT32`stHighAlarmShutdown