JJG2022—20091真空計量器具檢定系統(tǒng)表1范圍本檢定系統(tǒng)表適用于(1×10-4~1×105)Pa壓力范圍內(nèi)真空計量器具的量值傳遞,它包括真空計量基準(zhǔn)器具、真空計量標(biāo)準(zhǔn)器具、真空工作計量器具,及其之間的量值傳遞關(guān)系和量值傳遞方法。2術(shù)語及定義2.1標(biāo)準(zhǔn)真空計standardgauges用來作量值傳遞或量值參考的真空計。2.2真空標(biāo)準(zhǔn)裝置standardvacuumapparatus用來復(fù)現(xiàn)真空量值的真空裝置。2.3間接比較法indirectcomparativemethod通過傳遞標(biāo)準(zhǔn)來進(jìn)行裝置之間量值比較的方法。2.4直接比較法directcomparativemethod通過直接比較來傳遞量值的量值傳遞方法。2.5膨脹法expansionmethod在等溫條件下,將已知體積和壓力的小容器中的非可凝性氣體膨脹到已知體積的高真空大容器中,根據(jù)波義耳定律得到膨脹后的氣體壓力的方法。2.6非可凝性氣體non-condensablegas在臨界溫度以上的氣體,即單純增加壓力不能使其液化的氣體。3計量基準(zhǔn)器具國家真空計量基準(zhǔn)器具由靜態(tài)膨脹法真空基準(zhǔn)裝置和活塞式壓力計組成。3.1計量基準(zhǔn)器具的范圍、不確定度和組成3.1.1靜態(tài)膨脹法真空基準(zhǔn)裝置壓力范圍:(1×10-4~1×102)Par不確定)的是壓力范圍的下限和上限。由抽氣系統(tǒng)、閥門、膨脹室、小體積、氣源室、烘箱和控制系統(tǒng)等組成。3.1.2活塞式壓力計壓力范圍:(1×102~5×103)Pa.0分子抽泵等組成。3.2國家真空基準(zhǔn)裝置的溯源和量值的保證(1)靜態(tài)膨脹法真空基準(zhǔn)裝置2靜態(tài)膨脹法原理是基于理想氣體狀態(tài)方程。前級壓力可由數(shù)字壓力計測量得到,體積比是通過稱重法測量得到,故靜態(tài)膨脹法真空基準(zhǔn)裝置是通過向長度、質(zhì)量、溫度這三個基本量溯源,得到量值。(2)活塞式壓力計活塞式壓力計是通過測量活塞有效面積、砝碼質(zhì)量、重力加速度得到量值,可溯源至長度、質(zhì)量、時間、溫度這四個基本量。3.3國家真空基準(zhǔn)裝置的量值傳遞國家真空基準(zhǔn)裝置通過間接比較法對靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置進(jìn)行量值核查。由磁懸浮真空計和穩(wěn)定性優(yōu)于0.1%的薄膜真空計作為核查使用的傳遞標(biāo)準(zhǔn)器。國家真空基準(zhǔn)裝置通過直接比較法對比較法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置所使用的標(biāo)準(zhǔn)真空計進(jìn)行量值傳遞。4計量標(biāo)準(zhǔn)器具真空計量標(biāo)準(zhǔn)器具由靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置、比較法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置和壓縮式真空計標(biāo)準(zhǔn)裝置組成。4.1靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置的量值由長度、質(zhì)量、時間、溫度溯源而來,并由傳遞標(biāo)準(zhǔn)器通過間接比較法與國家真空計量基準(zhǔn)器具相聯(lián)系。壓力范圍:(1×10-4~1×102)Pa空計進(jìn)行量值傳遞。4.2比較法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置比較法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置的量值由國家真空基準(zhǔn)器具或國家真空標(biāo)準(zhǔn)器具通過直接比較法傳遞而來。壓力范圍:(1×10-4~1×105)Pa或工空計進(jìn)行量值傳遞。比較法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置由標(biāo)準(zhǔn)真空計、校準(zhǔn)室、可調(diào)壓力真空系統(tǒng)等幾部分組成,其中標(biāo)準(zhǔn)真空計包括以下幾種:(1)電離真空計測量范圍:(1×10-4~1×10-2)Pa最大允差:±10%(2)磁懸浮真空計測量范圍:(1×10-4~1)Pa最大允差:±1%(3)薄膜真空計測量范圍:(1×102~1×105)Pa最大允差:±0.1%JJG2022—20093(4)薄膜真空計測量范圍:(1×10-2~1×105)Pa最大允差:±0.5%4.3壓縮式真空計標(biāo)準(zhǔn)裝置壓縮式真空計標(biāo)準(zhǔn)裝置的量值由長度、質(zhì)量、時間、溫度溯源而來。壓力范圍:(1×10-2~1×103)Pa行量值傳遞。5工作用計量器具真空工作用計量器具主要有:電離真空計、熱導(dǎo)式(電阻/熱偶)真空計、壓阻真空計、電容薄膜真空計、壓縮式真空計等。其量值由靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置、比較法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置和壓縮式真空計標(biāo)準(zhǔn)裝置傳遞而來。附加說明:工作計量器具可能會有新的產(chǎn)品或不同的名稱,在檢定系統(tǒng)表中不可能全部列出。對未列入檢定系統(tǒng)表的工作計量器具,必要時可根據(jù)其被測量、測量范圍和工作原理,參考相應(yīng)檢定系統(tǒng)表中列出的工作計量器具的測量范圍和工作原理,確定適合的量值傳遞途徑。6檢定系統(tǒng)表框圖(見下圖)JJG2022—20094說明:工作用計量器具沒有規(guī)