VAS維護保養(yǎng)作業(yè)指導(dǎo)書NO版次修訂內(nèi)容生效日期修訂人11.0首次發(fā)行。2014-11-王曉玲擬制/面板廠王曉玲審核批準會簽1目的指導(dǎo)VAS設(shè)備正確保養(yǎng)，規(guī)范員工正確維修保養(yǎng)設(shè)備行為，確保設(shè)備正常運轉(zhuǎn)及人員安全事故，有效降低其故障率，提高生產(chǎn)機械效率。2適用范圍適用于上海天馬制造中心面板廠ODF工程師和技術(shù)員3職責(zé)按照保養(yǎng)SOP對機臺進行保養(yǎng)，使機臺處于良好的作業(yè)狀態(tài)。4定義4.1PM：PreventMaintenance預(yù)防保養(yǎng)4.2Utility：廠務(wù)端提供的水、電、氣之通稱4.3TMP：分子泵.將腔體有低真空度抽到高真空度的泵4.4Chamber：腔體4.5Table基板搭載平臺；4.6Nozzle噴嘴；4.7MANUL手動模式；4.8AUTO自動模式；4.9Pin：受取基板的裝置，可以擎住基板并與基板一同上升或下降。4.10CDA：即CleanDryAir，指潔凈的干燥空氣，用于驅(qū)動氣動馬達，或破真空。4.11VAC：即Vacuum，指真空。4.12PCW：即ProcessCoolingWater，指制程冷卻水，用于對管路進行冷卻。4.13Drain：即無壓排水。4.14Mainbody:機臺主體部分。4.15DryPump:抽真空用干泵，用于將腔體由大氣狀態(tài)抽到低真空度。4.16輕故障：只需要進行故障排除就能夠馬上重新工作的故障。4.17重故障：在故障排除后必須進行重新啟動才能重新工作的故障5.維護保養(yǎng)內(nèi)容維護/保養(yǎng)步驟注意事項一、真空貼合機臺開機步驟1、開機前確認檢查操作1.1確認電源連接正常，電源指示燈為ON.1.2確認其它各Utility連接正常。2、開啟設(shè)備電源及程序2.1按下PowerOn按鈕，至TouchPanel亮，出現(xiàn)下圖TouchPanel的根目錄界面。圖1-1此時會出現(xiàn)報警PCCommunityError，原因是PLC與PC尚未建立通訊。2.2長按UPS開關(guān)，將UPS打開2.3將PC電源打開，雙擊桌面上的軟件圖標。此時T/P與PC間信號連接。將報警PCCommunityErrorReset掉。3、Pump開啟3.1點擊主界面的“Run”后，選擇“Init”選項。點擊界面的“DP1”、“DP2”、“TMP”，此時DP1、DP2、TMP的電源被打開。如下圖圖1-23.2點擊“Servoready”、“Pumpready”。待兩個按鍵變?yōu)榫G色不再閃爍時，說明Pump已開啟完畢，Pump開啟1小時后，工作狀態(tài)穩(wěn)定時，才可以將設(shè)備用于生產(chǎn)。圖1-34、開機點檢：4.1根據(jù)真空貼合機《設(shè)備一級維護保養(yǎng)記錄表》的內(nèi)容進行點檢。二、真空貼全機臺關(guān)機步驟1、關(guān)機前確認檢查操作1.1確認上游無待投入在制品。1.2確認自動運轉(zhuǎn)已經(jīng)終止。1.3確認Robot和機臺沒有干涉，機臺內(nèi)無基板。2Pump關(guān)閉2.1點擊“Servoready”、“Pumpready”。至該兩個按鈕處于灰色狀態(tài)。此時Pump關(guān)機2.2點擊主界面的“Run”后，選擇“Init”選項。點擊界面的“DP1”、“DP2”、“TMP”，此時這三個按鈕將處于灰色狀態(tài)，下圖為設(shè)備所有按鈕均處于灰色狀態(tài)。圖2-13關(guān)閉設(shè)備電源及程序3.1長按PowerOff按鈕三秒，機臺電源關(guān)閉。3.2關(guān)閉PC程序及PC電源。3.3長按UPSpoweroff按鈕，關(guān)機動作完成三、維護保養(yǎng)3.1一級維護保養(yǎng)見《真空貼合機臺作業(yè)指導(dǎo)書》3.2二、三級維護保養(yǎng)3.2.1保養(yǎng)前準備3.2.1.1保養(yǎng)使用工具超細無塵布，酒精（濃度99.9%），潤滑油，氣槍，Cleaning棒，扳手3.2.2設(shè)備狀態(tài)確認將設(shè)備模式切為Maintenance模式，將千斤頂放到指點位置,如圖4-1所示：圖3-13.2.3具體保養(yǎng)內(nèi)容周期保養(yǎng)機構(gòu)名稱項目內(nèi)容耗時/分1個月Utility檢查Utility連接部有無松動確認Utility連接部有無松動201個月Air，N2冷卻水管道Air，N2冷卻水有無泄露查看Air，N2冷卻水有無泄露301個月camera鏡頭camera鏡頭檢查查看camera鏡頭無臟污201個月配管、氣管配線，氣管檢查有無磨損或摩擦痕跡501個月Chamber及上下定盤Chamber及上下定盤清掃各部清洗干凈無異物1201個月離子除電棒針頭離子除電棒針頭清掃使用酒精擦拭金屬針頭，再用氣槍吹干451個月Pump油液Pump油液液面檢查在標線范圍為內(nèi)201個月VAS的Z軸Z軸Sensor動作狀態(tài)原點overrunsenser動作確認301個月PC散熱風(fēng)扇PC散熱風(fēng)扇檢查有無異音，轉(zhuǎn)動是否順暢303個月EZ，LZ傳動皮帶EZ，LZ傳動皮帶確認有無磨損，松動506個月絲杠各絲杠注油注潤滑油1206個月VAS機導(dǎo)軌各導(dǎo)軌注油注潤滑油1001年TMPDrainTMPDrain清掃TMP排氣部分解洗凈1201年filterFilter更換更換Filter1003.2.4具體保養(yǎng)操作步驟及方法3.2.4.1確認Utility連接部有無松動。查看各線和接口連接部，并用手輕輕搖動看是否松動。3.2.4.2確認Air，N2冷卻水有無泄露。目視Air，N2冷卻水有無泄露，哥管道狀態(tài)是否良好。3.2.4.3camera鏡頭檢查。用強光手電筒照射camera看有無臟污。3.2.4.4配線，氣管檢查。觀察各線和氣管的狀態(tài)，并用耳聽各氣管是否漏氣。3.2.4.5Chamber內(nèi)及上下定盤清掃3.2.4.5.1定盤清掃和異物檢查的方法3.2.4.5.1.1將上定盤Z軸上升至“Mainte位置”。3.2.4.5.1.2用強光手電筒照射上下定盤表面，確認定盤表面沒有異物、玻璃碎片、凸起再進行下一步的清掃。如果有異物、玻璃碎片、凸起，如果有先用吸塵器將大的異物吸走,嚴禁強行用Cleaning棒進行擦拭，以免劃傷定盤表面3.2.4.5.1.3將超細無塵布固定在Cleaning棒上，并用酒精將潔凈無塵布充分浸潤。在固定無塵布時，要保證和定盤接觸的表面部分沒有皺褶，另外Cleaning棒的端部不外露。確認無塵布上無異物，邊上的纖維無脫落。3.2.4.5.1.4先清掃上定盤。由于上定盤中有Pin突出,因此Cleaning棒清掃時要格外的小心，一定要讓Cleaning棒輕輕的接觸上定盤,并要小心地避開Pin，從中央到外側(cè)單向擦拭。3.2.4.5.1.5然后清掃下定盤。如下圖的箭頭所示方向均勻的擦拭上定盤表面。定盤清掃是從中央到外側(cè)單向擦拭，一定要讓Cleaning棒輕輕的接觸下定盤。另外,由于LiftBar在下定盤的邊緣,因此清掃時要注意不要碰到了LiftBar,以免LiftBar位置發(fā)生偏移.圖3-23.2.4.5.1.6清掃的時候時常對無塵布上是否沾有大的顆粒垃圾或臟東西進行小心確認，一旦發(fā)現(xiàn)要更換新的無塵布并確認異物成分及來源，如不能判斷可將舊的無塵布保留，交由工程師分析。3.2.4.5.1.7清掃完后，用強光燈照射定盤，確認定盤上無異物。注意：在整個清掃過程中及確認時，都不要把頭或手伸進室腔或過分靠近室腔，以免污染清掃后的定盤或受傷。3.2.4.5.2ChamberCleaning3.2.4.5.2.1在“StepMode”下進入RUN界面中的第三頁“StepMonitor”,按下“VacuumCleaning”,就進入了清潔專用界面。圖3-33.2.4.5.2.2下圖即為清潔專用界面，從上到下按照界面指示完成清掃工作。圖3-43.2.4.5.2.3ChamberCleaning完成后要確認Chamber已經(jīng)恢復(fù)至大氣狀態(tài)。3.2.4.6離子除電棒針頭清掃見《Cell設(shè)備通用維護保養(yǎng)作業(yè)指導(dǎo)書》3.2.4.7Pump油液液面檢查去一樓的FAB中觀察VASPump油的情況，確認液面在標線范圍為內(nèi)。3.2.4.8Z軸Senser動作狀態(tài)確認在如圖4-8中操作，使Chamber做開關(guān)動作，讓Z軸上下運動，觀察Z軸Sensor的指示燈是否紅綠切換，以判斷其狀態(tài)是否OK。圖3-83.2.4.9PC散熱風(fēng)扇檢查目視觀察下圖中PC散熱風(fēng)扇的運動狀態(tài)，擦拭動作如圖4-9所示：圖3-93.2.4.10EZ，LZ傳動皮帶確認在圖4-10中運轉(zhuǎn)LZ到不同位置，觀察運動狀況。圖3-103.2.4.11各絲杠注油見《Cell設(shè)備通用維護保養(yǎng)作業(yè)指導(dǎo)書》3.2.4.12各導(dǎo)軌注油見《Cell設(shè)備通用維護保養(yǎng)作業(yè)指導(dǎo)書》3.2.4.13TMPDrain清掃3.2.4.13.1關(guān)閉TMPgatevalve，停止TMP的運轉(zhuǎn)。3.2.4.13.2關(guān)閉Butterflyvalve，停止Drypump的運轉(zhuǎn)。3.2.4.13.3打開TMP-L型valve。3.2.4.13.4確認TMP，Drypump全部停止后，打開安全cover右部的門。3.2.4.13.5確認Handvalve是否關(guān)閉后取下Handvalve下部的blockflange。flange，clamp，centerring會再度進行安裝，請注意不要全部分裝下來。3.2.4.13.6Handvalve慢慢的向打開的方向轉(zhuǎn)動，向配管內(nèi)導(dǎo)入大氣。直到Handvalve全部打開為止。3.2.4.13.7為了防止配管內(nèi)的液晶散落的情況，請在TMP液晶drain的下面準備接收的東西。3.2.4.13.8緩緩的移動連接TMP液晶drain的clamp，取下TMP液晶drain。這時一定要注意不要散落液晶而造成周圍的污染。3.2.4.13.9TMP液晶drain內(nèi)殘留的液晶請進行適當(dāng)?shù)奶幚怼?.2.4.13.10液晶處理后，把液晶drain按照原樣安裝到上面。因為會成為真空遺漏的原因，請安裝時一定要注意不要夾雜異物。3.2.4.13.11關(guān)閉Handvalve，按照原樣安裝Handvalve下部的blockflange。請和液晶drain的安裝一樣進行仔細的安裝。3.2.4.14Filter更換3.2.4.14.1按Stop停機,當(dāng)stop鍵不閃爍時表示機臺正常停止；3.2.4.14.2關(guān)閉出入口的閥，拆下FilterCup，更換Filter并裝回FilterCup；3.2.4.14.3緩慢開啟出入口閥，觀察Filter是否漏液；3.2.4.14.4填寫更換記錄表單；3.2.5保養(yǎng)完成后將保養(yǎng)過的地方進行清潔，原樣復(fù)原，并清潔地面，然后將用過的無塵布、塑料手套等分類放進垃圾桶中，清點工具并將工具全部放回工具箱，同時運轉(zhuǎn)設(shè)備，確認設(shè)備開啟正常，最后將保養(yǎng)結(jié)果記錄到《設(shè)備維護保養(yǎng)記錄表（長周期）》中。6.維護保養(yǎng)異常處理6.1異常斷電的復(fù)機流程異常斷電后復(fù)機流程圖圖3-1圖6-1注意事項：（1）與廠務(wù)確認斷電原因，及供電恢復(fù)后是否已穩(wěn)定，確認已穩(wěn)定后才可復(fù)機。（2）要注意chamber內(nèi)是否是真空狀態(tài)，如果是，在step運轉(zhuǎn)中讓其恢復(fù)為大氣狀態(tài)。（3）發(fā)生scrap時，設(shè)備端刪除Glass信息后，搬送部也要刪除供給記憶。2長期停機的處理2.1長期停機時設(shè)備的關(guān)機步驟圖6-22.2長期停機時設(shè)備的開機步驟圖6-37.安全及環(huán)境注意事項7.1無特殊情況，Pump應(yīng)始終處于ON的狀態(tài)，設(shè)備出故障需要重新啟動時，要先將Pump關(guān)閉，再切斷電源7.2禁止觸碰帶電元件，否則可能會發(fā)生觸電。7.3安全支柱比較重，在使用時要注意安全，防止在轉(zhuǎn)移時從手脫落對人或?qū)υO(shè)備造成損傷。另外安全支柱是專門用于對真空貼合設(shè)備進行定盤清掃和維護的安全保障工具，不具備任何其他功能，不能在任何其他場合使用。7.4Cleaning棒是專門用于對真空貼合設(shè)備定盤清掃的工具，不具備任何其他功能，不能在任何其他場合使用。7.5設(shè)備的Interlock取消操作非常危險，取消之后設(shè)備本身的安全限制將全部失效，有可能對人員及機臺造成嚴重傷害。只有設(shè)備擔(dān)當(dāng)工程師在有維護保養(yǎng)的時候才能進行此操作，其他任何人員不可進行Interlock取消操作；若有保護作用的Sensor失效、帶電部件損壞或線路老化時及時通知工程師進行更換。7.6禁止酒后上班、疲勞作業(yè)、