-1-我國(guó)真空鍍膜設(shè)備行業(yè)將迎來(lái)快速發(fā)展機(jī)遇-市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)或?qū)⒓ち?、真空鍍膜的基本原理真空鍍膜是指在高真空條件下，利用各種物理或化學(xué)方法將靶材表面氣化或電離，再沉積到基底表面形成薄膜。真空鍍膜技術(shù)分為物理氣相沉積（PVD）和化學(xué)氣相沉積（CVD）。物理氣相沉積法主要分為真空蒸發(fā)鍍膜、真空濺射鍍膜、真空離子鍍膜。在鈣鈦礦層制備中，主流使用方法為蒸發(fā)鍍膜，簡(jiǎn)稱蒸鍍法。真空鍍膜技術(shù)對(duì)比比項(xiàng)蒸發(fā)鍍膜濺射鍍膜離子鍍膜優(yōu)勢(shì)設(shè)備簡(jiǎn)單，易于操作。成膜速率快，效率高。大面積均勻性好，膜層密度、純度較高，針孔少，膜厚可控性強(qiáng)，工藝重復(fù)性好?？慑兏膊牧蠌V泛。薄膜損傷小，鍍層附著力強(qiáng)，繞度性好，能在形狀復(fù)雜的零件表面鍍膜。沉積速率高，成膜速度快。劣勢(shì)真空度要求高，薄膜附著力較弱，工藝重復(fù)性一般，容器內(nèi)壁易受污染荷能粒子能量高，轟擊力度大，造成薄膜損傷。設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜，靶材利用率低。設(shè)備成本高。膜厚精確控制難，膜與集體間存在較寬過渡界面。較易形成空穴和空核?；灞仨毷菍?dǎo)電材料。適用場(chǎng)景對(duì)生產(chǎn)速度、設(shè)備成本要求高，但不太追求膜密度、附著力、基板面積的場(chǎng)景。靶材蒸發(fā)溫度通常低于2000°C，沸點(diǎn)太高不適合蒸鍍。靶材化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，受熱不易分解。對(duì)薄膜面積、平整度、純度、附著力要求高，注重工藝重復(fù)性，但不太追求靶材利用率的場(chǎng)景。對(duì)膜密度、附著力、晶粒大小要求高，待鍍器件表面復(fù)雜（存在凹槽、窄縫或內(nèi)孔），能承受較高設(shè)備成本的場(chǎng)景。工藝難點(diǎn)蒸發(fā)源的加熱性能、對(duì)蒸發(fā)速率的控制能力對(duì)薄膜厚度、均勻度影響大。對(duì)基底造成損傷。靶材利用率低。難以處理多材料組分精密可控濺射。電弧離子鍍的可鍍區(qū)域相對(duì)較??；磁控濺射離子鍍的偏流密度有待提高。2、真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的商業(yè)化進(jìn)程蒸發(fā)鍍膜設(shè)備由真空抽氣系統(tǒng)、真空腔體及其他外圍設(shè)備組成，主要應(yīng)用于光學(xué)薄膜、光伏電池、集成電路、信息顯示、建筑玻璃等眾多領(lǐng)域。蒸鍍?cè)O(shè)備相關(guān)應(yīng)用領(lǐng)域應(yīng)用領(lǐng)域具體應(yīng)用電子元器件蒸發(fā)鍍膜設(shè)備在電子管以及傳感器領(lǐng)域的應(yīng)用：電子管的光電導(dǎo)面、導(dǎo)電膜和電極，用于超算的約瑟夫器件的約瑟夫組合、絕緣膜和電極，計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)器中的磁泡傳感器、磁盤傳感器等均可采用蒸發(fā)工藝成膜。光學(xué)元器件蒸發(fā)鍍膜通常用于鍍膜光學(xué)元件和眼科鏡片。蒸鍍多層以改善鏡片的性能。其中包括抗反射層、硬涂層、紅外線或紫外線防護(hù)、防曬和鏡面涂層。真空蒸鍍?cè)诠馔ㄐ拧⒓す馄骷?、光學(xué)傳感、車載鏡頭、智能手機(jī)、安防監(jiān)控等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。平板顯示蒸鍍法在平板顯示領(lǐng)域的應(yīng)用主要是液晶顯示器（LCD）、等離子顯示器（PDP）、有機(jī)發(fā)光二極管顯示器（OLED）、觸控（TP）顯示等器件的各類功能薄膜的制備。集成電路真空蒸鍍方法可實(shí)現(xiàn)在大規(guī)模集成電路快速金屬薄膜沉積，常用于制備金屬導(dǎo)線、金屬化合物薄膜、籽晶層、阻擋層、硬掩模、焊盤等結(jié)構(gòu)。光伏發(fā)電蒸鍍法廣泛應(yīng)用于光伏電池的薄膜制備。鈣鈦礦層、HTL空穴傳輸層、電極層均能使用蒸鍍法生產(chǎn)。建筑玻璃建筑玻璃領(lǐng)域，low-e玻璃、陽(yáng)光控制膜、低輻射玻璃、防霧防露自清潔玻璃的功能薄膜均可使用蒸鍍法生產(chǎn)。3、真空鍍膜設(shè)備行業(yè)快速發(fā)展，PVD鍍膜設(shè)備市場(chǎng)份額占比超50%真空鍍膜設(shè)備行業(yè)作為高端制造的基石，隨著半導(dǎo)體、新能源、電子元器件等產(chǎn)業(yè)崛起，將迎來(lái)快速發(fā)展機(jī)遇。根據(jù)數(shù)據(jù)，2021年中國(guó)真空鍍膜設(shè)備行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模486億元，同比增長(zhǎng)9.13%，預(yù)計(jì)2022年中國(guó)真空鍍膜設(shè)備行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到592億元。真空鍍膜設(shè)備行業(yè)作為高端制造的基石，隨著半導(dǎo)體、新能源、電子元器件等產(chǎn)業(yè)崛起，將迎來(lái)快速發(fā)展機(jī)遇。根據(jù)數(shù)據(jù)，2021年中國(guó)真空鍍膜設(shè)備行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模486億元，同比增長(zhǎng)9.13%，預(yù)計(jì)2022年中國(guó)真空鍍膜設(shè)備行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到592億元。具體從細(xì)分市場(chǎng)結(jié)構(gòu)來(lái)看，PVD鍍膜設(shè)備占真空鍍膜設(shè)備行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模的55.32%，占比位居首位；其次是CVD鈹膜設(shè)備，占真空鍍膜設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模的36.67%。具體從細(xì)分市場(chǎng)結(jié)構(gòu)來(lái)看，PVD鍍膜設(shè)備占真空鍍膜設(shè)備行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模的55.32%，占比位居首位；其次是CVD鈹膜設(shè)備，占真空鍍膜設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模的36.67%。4、高端真空鍍膜設(shè)備市場(chǎng)主要被愛發(fā)科、德國(guó)萊寶等企業(yè)所占領(lǐng)，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)參與者增多在市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)方面，由于國(guó)外真空鍍膜設(shè)備行業(yè)起步時(shí)間較早，應(yīng)用材料、愛發(fā)科、德國(guó)萊寶等先進(jìn)企業(yè)憑借著自身的先發(fā)優(yōu)勢(shì)與大量投入的研發(fā)資金，處于全球真空鍍膜設(shè)備行業(yè)領(lǐng)先地位，尤其是高端真空鍍膜設(shè)備市場(chǎng)占領(lǐng)這絕大部分的市場(chǎng)份額。不過，隨著國(guó)內(nèi)下游市場(chǎng)需求持續(xù)旺盛、政策支持及鍍膜設(shè)備制造行業(yè)上下游相關(guān)行業(yè)不斷發(fā)展壯大，越來(lái)越多具有技術(shù)先進(jìn)的本土企業(yè)進(jìn)入真空鍍膜行業(yè)，市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)將進(jìn)一步變得激烈。國(guó)內(nèi)外部分真空鍍膜設(shè)備廠商公司名稱設(shè)備類型應(yīng)用場(chǎng)景相關(guān)業(yè)務(wù)應(yīng)用材料真空鍍膜設(shè)備半導(dǎo)體、顯示器主要向半導(dǎo)體、顯示器及相關(guān)行業(yè)提供制造設(shè)備、服務(wù)和軟件，在半導(dǎo)體領(lǐng)域的主要產(chǎn)品為芯片制造領(lǐng)域的各種制造設(shè)備。日本光馳株式會(huì)社真空鍍膜設(shè)備半導(dǎo)體、顯示器、光通信主要從事光學(xué)薄膜設(shè)備及其相關(guān)零部件的制造和銷售，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于LED顯示、光通信、半導(dǎo)體、消費(fèi)電子等領(lǐng)域。德國(guó)萊寶真空鍍膜設(shè)備半導(dǎo)體、光伏、醫(yī)療器械主要從事真空泵、真空系統(tǒng)、以及包括真空鍍膜設(shè)備在內(nèi)的真空應(yīng)用設(shè)備的制造和銷售，該公司產(chǎn)品目前主要為光學(xué)、光伏、半導(dǎo)體、醫(yī)療器械等。馮·阿登納真空鍍膜設(shè)備光伏、顯示屏主要產(chǎn)品為玻璃、晶片、金屬帶和聚合物薄膜等材料上的真空鍍膜開發(fā)和生產(chǎn)工業(yè)設(shè)備，應(yīng)用于太陽(yáng)能熱電站建筑玻璃，智能手機(jī)和觸摸屏的顯示屏等領(lǐng)域。愛發(fā)科真空鍍膜設(shè)備半導(dǎo)體、顯示器、光伏主要從事真空機(jī)械業(yè)務(wù)、真空應(yīng)用等業(yè)務(wù)等立品主要應(yīng)用在能源、環(huán)保、運(yùn)輸、醫(yī)藥、食品、化工、生物工程等領(lǐng)域。晟成光電團(tuán)簇型多腔式蒸鍍?cè)O(shè)備光伏晟成光伏的團(tuán)簇型多腔式蒸鍍?cè)O(shè)備，具備完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，設(shè)備整體配置上料腔、傳輸腔及工藝腔，傳輸腔內(nèi)配置有自主開發(fā)的真空機(jī)械手臂，用于實(shí)現(xiàn)各腔室間的基材傳輸，工藝腔可蒸鍍多樣性的鈣鈦礦材料。目前PVD鍍膜設(shè)備占鈣鈦礦整線的價(jià)值比例大概在50%左右。目前主要開發(fā)的設(shè)備還有真空干燥設(shè)備和前段的清洗設(shè)備。捷佳偉創(chuàng)立式反應(yīng)式等離子體鍍膜設(shè)備光伏捷佳偉創(chuàng)在獲得某央企研究院的鈣鈦礦低溫低損薄膜真空沉積設(shè)備訂單，以及某國(guó)家科學(xué)院的反應(yīng)式等離子鍍膜設(shè)備訂單后，自主研發(fā)的鈣鈦礦共蒸法真空鍍膜設(shè)備也順利的再次取得訂單，公司成功中標(biāo)了某全球頭部光伏企業(yè)的鈣鈦礦電池蒸鍍?cè)O(shè)備項(xiàng)目。欣奕華Inline鈣鈦礦真空鍍膜機(jī)光伏合肥欣奕華研發(fā)鈣鈦礦太陽(yáng)能電池生產(chǎn)的關(guān)鍵量產(chǎn)設(shè)備Inline鈣鈦礦真空鍍膜機(jī)已交付國(guó)內(nèi)鈣鈦礦產(chǎn)業(yè)知名公司投入生產(chǎn)。奧來(lái)德線蒸鍍?cè)丛O(shè)備鈣鈦礦蒸鍍?cè)O(shè)備光伏、顯示器OLED有機(jī)材料與應(yīng)用部件龍頭奧來(lái)德公告使用超募資金投資建設(shè)鈣鈦礦結(jié)構(gòu)型太陽(yáng)能電池蒸鍍?cè)O(shè)備的開發(fā)項(xiàng)目，投資額2900萬(wàn)元。泰科諾真空鍍膜設(shè)備光通信、光伏主要研發(fā)設(shè)計(jì)生產(chǎn)蒸發(fā)鍍膜機(jī)、磁控濺射鍍膜機(jī)、多功能復(fù)合鍍膜機(jī)、粉體鍍膜設(shè)備、高真空應(yīng)用爐等設(shè)備。四盛科技真空鍍膜設(shè)備半導(dǎo)體、光學(xué)器件四盛科技有限公司是一家國(guó)內(nèi)集真空設(shè)備研發(fā)、銷售、生產(chǎn)和服務(wù)于一體的較大型專業(yè)化公司。公司在行業(yè)內(nèi)具有多年真空專用設(shè)備的技術(shù)和生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，特別是光學(xué)鍍膜機(jī)、卷繞鍍膜機(jī)、磁控濺射鍍膜機(jī)等產(chǎn)品深受國(guó)內(nèi)外用戶的好評(píng)。匯成真空真空鍍膜設(shè)備半導(dǎo)體、光伏研發(fā)、生產(chǎn)和銷售各類光學(xué)鍍膜設(shè)備、功能性薄膜涂層設(shè)備、裝飾涂層設(shè)備、卷繞鍍膜設(shè)