江蘇省地方計量校準(zhǔn)規(guī)范JJF(蘇)276—2024接觸(觸針)式表面輪廓測量儀校準(zhǔn)規(guī)范2024-09-26發(fā)布JJF（蘇）276－2024JJF（蘇）276－2024 (2) (2) (4) (5) (6) (11) JJF（蘇）276－2024范（GPS）表面結(jié)構(gòu)輪廓法接觸（觸針）式儀器的校準(zhǔn)》以及GB/T6062-2009/ISO1接觸(觸針)式表面輪廓測量儀校準(zhǔn)規(guī)范本規(guī)范適用于接觸(觸針)式表面輪廓測量儀的校準(zhǔn)。JJF1059.1-2012測量不確定度評定與表示GB/T19600-2004產(chǎn)品幾何量技術(shù)規(guī)范(GPS)表面結(jié)構(gòu)輪廓法接觸(觸針)式GB/T6062-2009產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)表面結(jié)構(gòu)輪廓法接觸(觸針)式儀器JB/T11271-2012接觸(觸針)式表面輪廓測量儀凡是注明日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本規(guī)范；凡不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修訂單)適用于本規(guī)范。。圖1接觸(觸針)式表面輪廓測量儀接觸(觸針)式表面輪廓測量儀(以下簡稱輪廓儀)是測量各種機械零件形狀和截JJF（蘇）276－20242序號校準(zhǔn)項目測量標(biāo)準(zhǔn)及其他設(shè)備1X軸導(dǎo)軌直線度平面平晶：1級2輪廓水平分量（X軸）示值誤差激光干涉儀：MPE:±（0.03μm+1.5×10?6輪廓標(biāo)準(zhǔn)器：≤1/4MPEX（示例見附錄A）3輪廓垂直分量（Z軸）示值誤差量塊：3等；平面平晶：一級4角度測量示值誤差角度塊：2級或輪廓標(biāo)準(zhǔn)器：≤1/4MPEθ5圓弧半徑測量示值誤差標(biāo)準(zhǔn)球或標(biāo)準(zhǔn)半球或輪廓標(biāo)準(zhǔn)器：直徑：≤1/3MPER，圓度：≤1/10MPER(Φ5mm~Φ20mm和Φ40mm~Φ80mm各一個）JJF（蘇）276－202436重復(fù)性角度塊：2級注：可采用滿足測量不確定度要求的其他測量設(shè)備進行校準(zhǔn)。在平面平晶工作面上掃描滑行，從輪廓曲線圖上確定校準(zhǔn)范圍準(zhǔn)器基面處開始測量，在X軸測量范圍內(nèi)選擇3～5個長度段進行校準(zhǔn)，最大長度段不在輪廓曲線中擬合各齒側(cè)邊延長線的交點，評價長度段交點間的距離，與輪廓標(biāo)—第i段間距的輪廓儀測量值，mm；—第i段間距的樣塊標(biāo)準(zhǔn)值，mm。行程量程范圍的4/5，分別選取對應(yīng)尺寸的三等量塊作為各校準(zhǔn)點的標(biāo)準(zhǔn)器。JJF（蘇）276－20244—選擇2～3個不同的角度值進行校準(zhǔn)。將角度塊固定在平口鉗中，調(diào)整角度塊側(cè)邊—角度實際值。與標(biāo)準(zhǔn)球（半球）半徑實際值之差，作為該標(biāo)準(zhǔn)球（半球）下測得的示值誤差?1，如JJF（蘇）276－20245—半徑實際值。經(jīng)校準(zhǔn)的接觸（觸針）式表面輪廓測量儀出具校準(zhǔn)6輪廓標(biāo)準(zhǔn)器各齒側(cè)邊延長線的交點距離l校準(zhǔn)結(jié)果的擴展不確定度，應(yīng)不大于1)輪廓標(biāo)準(zhǔn)器的長度L應(yīng)大于等于輪廓儀X軸測量行程的66%;4)圓弧輪廓圓弧角大于等于120°,且R?、R?為兩個直徑5)基面直線度應(yīng)小于等于5μm;6)輪廓標(biāo)準(zhǔn)器寬度小于等于10mm;JJF（蘇）276－20247—第i段間距的輪廓儀測量值，mm；—第i段間距的樣塊實際值，mm；JJF（蘇）276－20248表B.1次數(shù)123456789測得值（20）(200)B.4.2輪廓標(biāo)準(zhǔn)器校準(zhǔn)結(jié)果引入的不?7℃?1JJF（蘇）276－20249 3= 3被測輪廓儀溫度與標(biāo)準(zhǔn)溫度20℃偏差不超過3℃。11?5mm?℃?111?4mm?℃?1==JJF（蘇）276－202400式中：?—輪廓垂直分量各校準(zhǔn)點示值誤差—輪廓儀垂直分量示值，mm；—第i塊量塊實際值，mm；00?/(0)=1JJF（蘇）276－20241234567899.00199.00229.00219.00119.00129.00149.00169.00179.00189.0015?7℃?1 3= 3JJF（蘇）276－20241101==JJF（蘇）276－2024—輪廓儀半徑測量示值，mm；—標(biāo)準(zhǔn)半球?qū)嶋H值，mm；—輪廓儀的線膨脹系數(shù)；—標(biāo)準(zhǔn)半球的線膨脹系數(shù)；JJF（蘇）276－2024表D.112345678922.496622.497422.497622.497822.497722.497722.498222.497622.497622.4972輪廓儀與標(biāo)準(zhǔn)半球線膨脹系數(shù)差估算產(chǎn)生的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量()較小，可忽略輪廓儀線膨脹系數(shù)應(yīng)為（11.5±1）×10?6℃?1，標(biāo)準(zhǔn)半球線膨脹系數(shù)為（5.5±11JJF（蘇）276－2024JJF（蘇）276－2024