干凈廠房設(shè)計規(guī)范條文說明

1總則

本規(guī)范是全國通用的干凈廠房設(shè)計的國家標準，適用于各種類型工業(yè)企業(yè)新建、擴建和改

建的干凈廠房設(shè)計。由于各類工業(yè)企業(yè)的干凈廠房內(nèi)生產(chǎn)的產(chǎn)品與其生產(chǎn)工藝各不相同，

它們對生產(chǎn)環(huán)境限制會有一些特殊要求，本規(guī)范不行能將這些要求逐一地進行規(guī)定，因此

各行業(yè)可依據(jù)本規(guī)范，按各自的特點制定必要的本行業(yè)的標準、規(guī)定，以利于精確、完整

地執(zhí)行干凈廠房設(shè)計規(guī)范的各項規(guī)定。

3空氣干凈度等級

本規(guī)范修訂過程中，涉與干凈技術(shù)的各有關(guān)單位、科技人員和專家們都劇烈希望“規(guī)范應

與國際接軌”，為此，本規(guī)范修訂稿的第3章“空氣干凈度等級”擬等效采納國際標準ISO

14644-1一一“干凈室與相關(guān)被控環(huán)境一一第一部分，空氣干凈度的分級”，現(xiàn)將該標準

中的有關(guān)部分摘錄如下：

3.2等級級別

空氣中懸浮粒子干凈度以等級序數(shù)N命名。每一被考慮的粒徑D的最大允許粒子濃度按下

式確定：

嚴（1）

式中G-被考慮粒徑的空氣懸浮粒子最大允許濃度（pc.n??空氣）。g是以四舍五

入至相近的整數(shù)，通常有效位數(shù)不超過三位數(shù)。

N—ISO等級級別，數(shù)字不超過9,ISO等級級別N之間的中間數(shù)可以按0.1

為最小允許增敏進行規(guī)定。

。一被考慮的粒徑（Um）」

0.1一常數(shù)，其量綱為um。

表1列出的空氣中懸浮粒子干凈度等級與其相應的大于或等于被考慮的粒徑的粒子濃度。

在有爭議的情形下，從公式（1）得出的濃度Cn可作為標準值。

表1潔凈室及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度等級

大于或等于表中粒徑的最大濃度限值（pcin?—空氣

ISO等級序數(shù)

濃度限值按公式（1）計算）

（N）

0.1um0.2Pm0.3um0.5um1um5um

ISOClass1102

ISOClass210024104

ISOClass31000237102358

ISOClass4100002370102035283

ISOClass51000002370010200352083229

ISOClass61000000237000102000352008320293

ISOClass7352000832002930

ISOClass8352000083200029300

ISOClass9352000008320000293000

注：由「涉及測員過程的不確定性，故要求用：個有效的數(shù)據(jù)來確定濃度等級水平。

3.3命名

對干凈室或干凈區(qū)空氣懸浮粒子干凈度的命名應包括：

a等級級別，以“ISOClassN"表示；

b分級時占用狀態(tài)；

c由分級公式（1）確定的，被考慮的粒徑（含多種尺寸）與相應濃度，被考慮的各粒徑在

0.1?5um范圍內(nèi)。

如進行一個以上被考慮粒徑的測量時，其較大的粒徑（如D2）至少1.5倍于下一較小粒徑

（如D）。

即:D2J1.5D1”

4總體設(shè)計

4.1干凈廠房位置選擇和總平面布置

4.1.1干凈廠房與其它工業(yè)廠房的區(qū)分在于干凈廠房內(nèi)的生產(chǎn)工藝有空氣干凈度要求。因

此，設(shè)有干凈廠房的工廠廠址宜選在大氣含塵濃度較低的地區(qū)，如農(nóng)村、城市遠郊、水域

之濱等，不宜選擇在氣候干旱、多風沙地區(qū)或有嚴峻空氣污染的城市工業(yè)區(qū)。

依據(jù)國內(nèi)外測試資料，農(nóng)村空氣污染程度較低，其含塵濃度一般只相當于城市含塵濃度的

幾分之一，甚至低一個數(shù)量級。而城市工業(yè)區(qū)的含塵濃度又遠高于城市市區(qū)與市郊。不同

地區(qū)含塵濃度也不同，如表1?表3所示。不同季節(jié)的含塵濃度也不相同，表4所列是天

津市某地段不同季節(jié)室外含塵濃度的實測值。

表1大氣中含塵濃度

場所計重濃度(mgm‘)>0.5口mi［數(shù)濃度(pc'm')

市中心0.1-0.355.3X1O7-2.5X1O8

市郊0.05-0.33.5X1O7-1.1X1O8

田野0.01-0.11.1X107-3.5X107

大洋1.1X1O5-2.5X1O6

表2天津地區(qū)的大氣含塵計重濃度

大氣計重濃度(mgn?)

場所

測值范圍平均值

校園、住宅區(qū)0.18-0.320.206

商業(yè)街區(qū)0.23-0.410.291

工業(yè)區(qū)0.27-0.590.437

從表1、表2中可以看出，各地區(qū)、場所大氣環(huán)境質(zhì)量差別較大，若在環(huán)境質(zhì)量較差的地

區(qū)建廠，設(shè)計中應實行有效的技術(shù)措施，以確保干凈廠房的技術(shù)要求。

表3大氣含塵濃度平均值（大于或等于0.5um,pc/L）

地區(qū)年平均月平均最大值月平均最小值

北京（市區(qū)）1909562934819274

北京（昌平農(nóng)村）356431566204591

上海（市區(qū)）12805236510334327

西安（市區(qū)）13164431756129738

表4不同季節(jié)室外大氣含塵濃度的實測值

環(huán)境溫濕度含塵濃度（pen?）

夕丫：時間

cb(%)20.5um25.0um

9:0026.1898.20X1073.23X105

10:0027.0868.35X1073.58X105

11:0027.4828.35X1074.20X105

12:0028.8797.25X1072.95X105

13:0029.8737.21X1072.81X105

南7.42X1073.36X105

后14:0029.673

7

15:0030.6707.60X1074.82X105

16:0030.2706.81xio74.81X1O5

17:0030.2768.30X1075.50X105

8:0014.0641.21X1082.21X106

1.32X1082.03X106

秋9:0016.254

(10:0019.0421.31X1081.80X106

晴

1.23X1082.01X106

、11:0021.139

無12:0022.4341.43X1081.83X10。

風

75

》13:0023.0297.94X108.70X10

14:0024.2371.03X1081.04X105

15:0023.5391.12X1082.01X105

8:0061515.4X1073.9X105

9:0045446.6X1074.0X105

10:00-2.8407.5X1077.7X105

11:00-0.8285.9X1074.1X105

12:001.2243.7X1074.1X105

13:002.3162.4X1074.3X105

14:003.6142.9X1074.6X105

15:003.6142.7X1075.1X105

16:003.5223.2X1079.3X105

17:003.0255.3X10712.4X105

4.1.2干凈廠房內(nèi)當布置有精密設(shè)備和精密儀表，若它們有防微振要求時，為解決防微振

問題，在廠址選擇或已建工廠內(nèi)的干凈廠房場地選擇過程中，須要對四周振源的振動影響

作出評價，以確定該廠址或場地是否相宜建設(shè)。

四周振源對精密設(shè)備、精密儀器儀表的振動影響，是若十單個振源振動的疊加結(jié)果。這種

疊加，目前還沒有系統(tǒng)的參考數(shù)據(jù)與好用的計算方法。因此，應立足于實測。過去有的工

r,由于建廠前沒有對四周各類振源的振動影響進行實測，建成后發(fā)覺對精密設(shè)備、精密

儀器儀表影響很大，有的甚至難以工作，給生產(chǎn)、試驗帶來很大困難，這說明實測振源振

動影響是特別必要的。

4.1.3本條規(guī)定仍以規(guī)范編制組的科研成果報告《環(huán)境塵源影響范圍探討》為依據(jù)。依據(jù)

上述報告，道路灰塵“嚴峻污染區(qū)”位于道路下風側(cè)50m范圍之內(nèi)，100m以外為“輕污染

區(qū)”。干凈廠房最好離開車輛常見的干道100m以外，但考慮到廠區(qū)總平面布置的可能性

以與廠區(qū)圍墻或廠內(nèi)路沿綠化的阻塵作用等因素，本條規(guī)定干凈廠房與車輛常見的干道之

間的距離宜大于50m。

4.1.6綠化有良好的吸塵、阻塵作用。干凈廠房四周場地綠化應以種植草坪為主，小灌木

為輔，不宜種植欣賞花卉與高大喬木。因為欣賞花卉多為季節(jié)性一年生植物，需常常翻土、

播種、移植，從而破壞植被，使塵土飛揚；而高大喬木樹冠覆蓋面積大，其下部難以植被,

亦易產(chǎn)生揚塵。

干凈廠房外圍宜種植枝葉茂密的常綠樹種。干凈廠房四周綠化樹種應選用不產(chǎn)生花絮、絨

毛、粉塵等對大氣有不良影響的樹種。

4.2工藝平面布置和設(shè)計綜合協(xié)調(diào)

4.2.2隨生產(chǎn)工藝的不同，干凈廠房內(nèi)常有多種氣體、液體供應管道，如氫、氧、氮、氨、

壓縮空氣和純水、上水等管道，以與電氣管線、凈化空調(diào)系統(tǒng)的送回風管和局部排風管等,

管線交叉困難。因此，在進行管線綜合布置時，必需在平面和標高上親密協(xié)作，綜合考慮,

才能做到安裝、調(diào)試、清掃、運用和修理的便利與整齊美觀。

對國內(nèi)已建成的干凈廠房調(diào)研中了解到為布置各種管道和高效過濾器等，一般均設(shè)置了技

術(shù)夾層或技術(shù)夾道，大多運用效果良好，但有的新建工程把技術(shù)夾層設(shè)計得過高是不經(jīng)濟

的。改建工程由于空間較小，管線布置比較緊湊，但布置得合理，效果也是不錯的。因此,

在進行管線綜合布置設(shè)計和確定技術(shù)夾層層高時，應進行技術(shù)經(jīng)濟比較，做到技術(shù)上牢靠,

經(jīng)濟上合理。

4.2.3隨著工藝生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展，生產(chǎn)自動化程度的提高和改進，近年來干凈廠房建設(shè)中

大都采納大開間，以滿意生產(chǎn)工藝要求。

干凈廠房內(nèi)除去考慮生產(chǎn)平安性需增設(shè)隔斷外，一般不設(shè)隔斷。因此，本次規(guī)范修訂中僅

作兩款的規(guī)定。

4.3人員凈化和物料凈化

4.3.1.4.3.2人員與物料進入干凈室會把外部污染物帶入室內(nèi)，特殊是人員本身就是一

個重要的污染源，不同衣著、不同動作時人體產(chǎn)塵量見表5,從表中數(shù)據(jù)可見身著一般服

裝的人走動時的產(chǎn)塵量可達約（20.5um）近300X104pc/min-P。國外有關(guān)資料報導，干

凈室中的灰塵來源分析見表6,來源于人員因素的占35%。對干凈室空氣抽樣分析也發(fā)覺,

主要的污染物有人的皮膚微屑、衣服織物的纖維與室外大氣中同樣性質(zhì)的微粒。由此可見,

要獲得生產(chǎn)環(huán)境所須要的空氣干凈度，人員與物料的凈化是特別必要的。

雨具存放、換鞋、管理、存外衣、更干凈工作服是人員凈化用室的基本組成部分，也是人

員凈化必需的。生活用室與其它用室應視車間所在地區(qū)的自然條件、車間規(guī)模與工藝特征

等詳細狀況，依據(jù)實際須要設(shè)置。例如:車間規(guī)模較大、人員集中或工藝為暗室操作的干

凈室應設(shè)必要的休息室。

表5不同衣著、不同動作時的人體產(chǎn)塵

20.5pm顆粒數(shù)(pcmm'P)

\衣著--

狀態(tài)、、一般工作朋白色無菌工作服全包式潔凈工作服

靜站339X103113X1O55.6X103

靜坐302X103U2X1057.45X103

腕上下運動2980X103300X10318.7X103

上身前屈2240X103540X10524.2X103

腕h由運動2240X103289X10320.5X103

脫相131OX1O3——

頭上下左右631X103151X10311.2X103

上身扭動85OX1O3267X105149X1()3

屈身312OX1O3605X105373X1()3

踏步2300X103860X10344.8X103

步行2920X1031010X10356X103

表6潔凈室內(nèi)粒子來源分析

發(fā)生源占百分比(%)發(fā)生源占百分比(%)

從空氣蟲漏入一從生產(chǎn)過程中產(chǎn)生25

從原料中帶入8由人員因素造成35

從設(shè)備運轉(zhuǎn)中產(chǎn)生25

4.3.3

1凈鞋的目的在于愛護人員凈化用室入口處不致受到嚴峻污染。國內(nèi)多數(shù)干凈廠房人員入

口前設(shè)有擦鞋、水洗凈鞋、粘鞋墊、換鞋、套鞋等凈鞋措施。

為了愛護人員凈化用室的清潔，最徹底的方法是在更衣前將外出鞋脫去，換上清潔鞋或鞋

套?，F(xiàn)有干凈廠房工作人員都執(zhí)行更衣前換鞋的制度，其中不少干凈廠房對換鞋方式作了

周密考慮，換鞋設(shè)施的布置考慮了外出鞋與清潔鞋接觸的地面有明確的區(qū)分，避開了清潔

鞋被外出鞋污染，例如跨越鞋柜式換鞋，清潔平臺上換鞋等都有很好的效果。

2外出服在家庭生活與戶外活動中積有大量微塵和不潔物，服裝本身也會散發(fā)纖維屑，更

衣室將外出服與隨身攜帶的其它物品存放于專用的存衣柜內(nèi)，避開外出服污染干凈工作

服。

關(guān)于衣柜的數(shù)量，考慮到國內(nèi)干凈廠房當前的管理方式和習慣，外出服一般由個人閉鎖運

用，按在冊人數(shù)每人一柜計算是必要的；干凈工作服柜一般也可按每人一柜設(shè)計，但也有

集中將干凈工作服存放于干凈柜中的，置于干凈柜中更為志向，條文中按置于干凈柜中規(guī)

定。

3手是交叉污染的媒介，人員在接觸工作服之前洗手特別必要。操作中干脆用手接觸干凈

零件、材料的人員可以戴干凈手套或在干凈室內(nèi)洗手。

洗凈的手不行用一般毛巾擦抹，因為一般毛巾易產(chǎn)生纖維塵，最好的方法是熱風吹干，電

熱自動烘手器就是一種較好的選擇。

考慮到進入干凈室的人員，要在較短的時間內(nèi)完成一系列人凈程序，每道程序耗費的時間

必需加以限制。因此，對于每個設(shè)備運用人數(shù)，在參考《工業(yè)企業(yè)設(shè)計衛(wèi)生標準》（TJ36）

中有關(guān)規(guī)定的基礎(chǔ)上，依據(jù)干凈廠房上述運用特點，適當提高了標準。

4干凈區(qū)內(nèi)設(shè)置廁所不僅簡潔使干凈室受到污染，還會影響干凈區(qū)的壓力限制。條文中規(guī)

定干凈區(qū)內(nèi)不宜設(shè)廁所。

人員凈化用室內(nèi)的廁所應設(shè)在盥洗室之前，廁所設(shè)前室作為緩沖，前室還應放置供人員入

廁穿用的套鞋。

5工業(yè)干凈室設(shè)置空氣吹淋室的理由是：

1）在肯定風速、肯定吹淋時間的條件下，空氣吹淋室對清除人員身上的灰塵有明顯效果。

規(guī)范編制組關(guān)于“吹淋室效果的測定”科研成果，對于經(jīng)吹淋與不經(jīng)吹淋兩種狀況的人員

散塵量作了大量的測試對比。結(jié)果表明吹淋室的吹淋效果，對于大于等于0.5um的塵粒

約為10%?30%,對于大于等于5Hm的塵粒約為15%?35%。

2）吹淋室具有氣閘的作用，能防止外部空氣進入干凈室，并使干凈室維持正壓狀態(tài)。

3）吹淋室除了有肯定凈化效果外，它作為人員進入干凈區(qū)的一個分界，還具有警示性的心

理作用，有利于規(guī)范干凈室人員在干凈室內(nèi)的活動。

4）國內(nèi)干凈廠房的現(xiàn)狀是:在統(tǒng)計的38個干凈廠房中，約80%設(shè)有空氣吹淋室。

關(guān)于吹淋室的運用人數(shù)，主要取決于每人吹淋所需時間和上班前人凈的總時間。參考計算

方法:假定十凈室自凈時間為30min,換鞋、更衣占去lOmin,上班人員總吹淋時間為20min。

設(shè)每人吹淋30s,另加打算時間10s,則一個單人吹淋室可供30人運用。

當最大班運用人數(shù)超過30人時，可將2個或多個單人吹淋室并聯(lián)布置。

垂直層流干凈室由于自凈實力強，無紊流影響，人員散塵能快速被回風帶走而不致污染產(chǎn)

品，鑒于這種有利條件，也可不設(shè)吹淋室而改設(shè)氣閘室。

吹淋室旁設(shè)通道，可使下班人員和衛(wèi)生清掃或檢修人員的進出不必通過吹淋室，起到愛護

吹淋設(shè)備的作用，同時也便利檢修期間設(shè)備、工具等進出。

4.3.4人員凈化應當按部就班，有一個合理的程序，在凈化過程中，避開已清潔部分被臟

的部分所污染。依據(jù)目前國內(nèi)干凈廠房常用的人員凈化程序，本規(guī)范提出了一次更衣(盥

洗前存外衣)、一次吹淋的人凈程序。

4.3.5關(guān)于人凈用室建筑面積限制指標，主要是參考了有關(guān)資料提出的面積指標和部分干

凈廠房實際采納的指標，進行統(tǒng)計后得出的。原規(guī)范提出的人凈用室面積可限制在5?

61n2/P之內(nèi)。規(guī)范修編組通過對主要人員凈化用室、設(shè)施在幾種柱網(wǎng)不同面積房間內(nèi)進行

設(shè)備的排列布置所推算出的面積指標，其上下值大致與上述資料分析所得出的指標相接

近。但依據(jù)近年實踐發(fā)覺原規(guī)范面積指標偏大，本次修訂規(guī)范改為2?4m2/P計算。當人

員較多時，面積指標采納下限；人員較少時，面積指標采納上限。

國內(nèi)現(xiàn)有的干凈廠房，一些干凈工作服更衣室夠不上空氣干凈度等級，也沒有為工作服配

帶干凈送風的衣柜；還有一些干凈廠房雖然沒有對干凈工作服更衣室提出空氣干凈度等級

要求，但室內(nèi)采納空氣高效過濾送風系統(tǒng)，或?qū)⒏蓛羰覂?nèi)的凈化空氣部分地引入更衣室。

本次規(guī)范修訂時對干凈工作服更衣室的空氣干凈度等級提出了“宜低于相鄰干凈區(qū)1?2

級”的要求。

4.3.6鑒于我國當前的實際狀況，本次修訂規(guī)范中明確規(guī)定了干凈工作服洗滌室的室內(nèi)空

氣干凈度等級不宜低于8級。

4.4噪聲限制

4.4.1十凈室的噪聲一般不算高，但調(diào)查數(shù)據(jù)差異較大，相差近10dB(A)。國內(nèi)關(guān)于噪聲

對健康影響的探討表明，低于80dB(A)的一般工業(yè)噪聲，對健康的影響不太大。因此，干

凈室噪聲標準的制訂主要考慮噪聲的苦惱效應、語言通訊干擾和對工作效率的影響。

國外干凈室噪聲標準的探討工作起先于20世紀60年頭。1966年制定的美國聯(lián)邦標準209a

和1974修訂的209b規(guī)定：“干凈室的噪聲限制在可能進行必要的通話，滿意操作或產(chǎn)品

的要求，并使人員保持在舒適和平安的范圍內(nèi)”。

在IS0/DIS14644-4標準(草案)中規(guī)定：“應依據(jù)干凈室內(nèi)人的舒適和平安要求與環(huán)境(如

其它設(shè)備)的背景聲壓級來選擇相宜的聲壓級。干凈室的聲壓級范圍為40?65dB(A)”。

從收集的國內(nèi)外干凈室噪聲標準來看，有以下幾個特點:干凈室的噪聲標準一般均嚴于愛

護健康的標準。在干凈室的環(huán)境下，噪聲條件主要在于保障正常操作運行，滿意必要的談

話聯(lián)系，供應舒適的工作環(huán)境。絕大多數(shù)標準給出的允許值在65?70dB(A)范圍，醫(yī)療行

業(yè)則更低?，F(xiàn)行的大多數(shù)標準均以A聲壓級作為評價指標，也有少數(shù)標準對各頻帶聲壓級

提出了限制。少數(shù)標準按不同的空氣干凈度等級分別給出了噪聲容許值，而大多數(shù)標準對

不同的空氣干凈度等級干凈室提出了一個統(tǒng)一的容許值。

依據(jù)“干凈廠房噪聲評價與標準的探討”所得到的成果，我國59個干凈廠房平均噪聲級

的分布，電子工業(yè)216個干凈室的噪聲分布狀況和不同聲級下各種效應的主觀評價指標如

圖1所示。

100

90

80

70

60

50

40

％(

)

碑

m朱

20

10

505560657075808590

噪齒級dB(A)

圖1潔凈廠房噪聲分布與評價圖

1-59個潔凈廠房超過某一聲級的百分率?

2—電子工業(yè)216個潔凈室超過某一聲級的百分率；

3一高煩惱率灑一準施性高影響率;5—工作速度高影響率.

6一集中精神高影響率57一交談及電話通訊高干擾率

由圖1可見，若以65dB(A)作為干凈室噪聲允許值標準，工人感到高苦惱的百分率低于30樂

對集中精神感到有較高影響的百分率不到10%,而對工作速度、動作精確性的影響則可忽

視，從主觀評價調(diào)查看，語言通訊干擾可以屬于稍微的等級。如按這一限值來衡量現(xiàn)有干

凈室的噪聲，則有75%超過標準，就電子工業(yè)而言，也有47%的干凈室超過標準。

近年來我國的干凈室環(huán)境技術(shù)有了肯定的發(fā)展，但對噪聲的限制技術(shù)還相對滯后，從

1996?1997年對國內(nèi)部分行業(yè)的部分干凈室進行的調(diào)研還有相當一部分的干凈室噪聲在

65dB(A)以上，就電子工業(yè)而言，還有約35%的干凈室超過標準。

同樣由圖1得知，若以70dB(A)為咦聲允許值標準，工人感到高苦惱的百分率將達到39%,

對于集中精神感到有較高影響的百分率為12.4%,對工作速度和動作精確性影響仍不顯著,

對語言通訊的干擾則屬于較高的等級。如按70dB(A)的限值來衡量現(xiàn)有干凈廠房的噪聲,

則多數(shù)可以滿意標準。

目前國內(nèi)的相當一部分干凈室的隔墻運用的是進口或國產(chǎn)的金屬壁板，由于壁板的隔聲量

存在著某些薄弱環(huán)節(jié)而造成隔聲不志向，且室內(nèi)的噪聲仍過高，例如上海某公司運用的是

進口壁板，其室內(nèi)噪聲平均值達69dB(A)；上海某公司運用的也是進口壁板光刻間測得其

室內(nèi)平均噪聲值為70dB(A),其它的一些干凈室的生產(chǎn)環(huán)境的噪聲也是偏高，也就是說從

噪聲的效應來看，標準低于65dB(A)為好。

對國內(nèi)幾個行業(yè)不同氣流流型干凈室的靜態(tài)和動態(tài)噪聲所進行的分析表明，不同氣流流型

的靜態(tài)噪聲有較大差異。非單向流干凈室的靜態(tài)噪聲實測值在41?64dB(A)范圍內(nèi)，平均

為54dB(A)；單向流、混合流干凈室的靜態(tài)噪聲實測值在51?75dB(A)范圍內(nèi)，平均為

65dB(A)0非單向流干凈室較之單向流干凈室的靜態(tài)噪聲平均值約低lldB(A)o

非單向流干凈室和單向流、混合流干凈室靜態(tài)噪聲的差異與其送風量(或換氣次數(shù))和凈化

空調(diào)系統(tǒng)的特征有關(guān)。

4.4.4~4.4.6限制設(shè)備噪聲首先應從聲源上著手。設(shè)計時應選用低噪聲設(shè)備。在某些狀

況下，由于技術(shù)或經(jīng)濟上的緣由而難于做到時，則應從噪聲傳播途徑上實行降噪措施，例

如把高噪聲工藝設(shè)備遷出干凈室或隔離布置于隔聲間內(nèi)。有些由于與生產(chǎn)聯(lián)系親密，必需

置于干凈區(qū)內(nèi)的高噪聲設(shè)備，亦可采納隔聲罩隔絕噪聲。

國內(nèi)現(xiàn)有干錚廠房中，不少干凈室將機械泉一類高噪聲設(shè)備置于干凈室外套間或技術(shù)夾道

或服務區(qū)內(nèi)，干凈室內(nèi)噪聲有明顯降低。

干凈室的靜態(tài)噪聲主要來源于凈化空調(diào)系統(tǒng)和局部凈化設(shè)備運行噪聲，靜態(tài)噪聲的大小與

干凈室氣流流型、換氣次數(shù)等因素有關(guān)。但關(guān)鍵在于凈化空調(diào)系統(tǒng)的布置與合理的降噪措

施，不合理的設(shè)計方案必定導致較高的靜態(tài)噪聲。

關(guān)于降低干凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)噪聲的措施，國內(nèi)外有關(guān)資料提出了一些有效的措施：

如《現(xiàn)代干凈室概念》一文中強調(diào)“選擇那種能滿意氣流要求的噪聲最低的風機，還應當

采納彈性減振基礎(chǔ)”。關(guān)于消聲器的運用，文中說：“管道消聲器在中頻和高頻范圍內(nèi)降

低噪聲是有效的，當風管敷設(shè)長度在15m以內(nèi)時，就應考慮采納消聲器”。關(guān)于風管的連

接，文中又說：“通風機和送風管道與回風管道之間，應采納柔性連接管隔開”。還要求

“將通風機外殼、靜壓箱和管道等加上襯里"。如北京某高校微電子探討所回風管道在未

處理前噪聲高達83.5dB(A),經(jīng)過加設(shè)襯墊處理后噪聲降到66.2dB(A),使光刻間的室內(nèi)

環(huán)境噪聲平均下降了7?9dB(A)左右。由此可見，只要對風道系統(tǒng)實行消聲和防止管道固

體傳聲等措施，干凈室噪聲可以大嗝度地降低。

國內(nèi)還有不少干凈室，由于系統(tǒng)設(shè)計合理，并實行了降噪措施，室內(nèi)噪聲得到有效限制。

排風系統(tǒng)噪聲對干凈室影響極大。以集成電路生產(chǎn)為例，在生產(chǎn)過程中，外延、擴散、腐

蝕、清洗等多種工序都需設(shè)排風系統(tǒng)，近年來，對于干凈廠房排風系統(tǒng)噪聲治理日益受到

重視，留意選用低噪聲風機等。

由于干凈室內(nèi)的工作環(huán)境要求比較寧靜。干凈室的密封性能較好，噪聲不易衰減。按規(guī)定

限制風管風速，既減小了凈化空調(diào)系統(tǒng)的阻力，降低風機壓頭和轉(zhuǎn)速，減弱了風機的噪聲,

又防止風速過大而產(chǎn)生附加噪聲。

4.5微振限制

4.5.1有微振限制要求的干凈廠房，設(shè)計應考慮建筑結(jié)構(gòu)的選型與地面(樓面)的構(gòu)造做

法，如增加基礎(chǔ)與上部結(jié)構(gòu)垂直與橫向剛度，增加地面(樓面)剛度，能有效減小振動影響。

此外，還應考慮隔振縫設(shè)置與其有效的構(gòu)造措施，壁板與地面與頂棚采納柔性連接等，均

能減小振動傳遞。即減小了對精密設(shè)備、儀器儀表的振動影響。

在干凈廠房設(shè)計中，應首先考慮對強振源實行隔振措施，以減小強振源對精密設(shè)備、儀器

儀表的振動影響，在此基礎(chǔ)上，精密設(shè)備、儀器儀表再依據(jù)各自的容許振動值實行被動隔

振措施，就比較能夠達到預定目的。

4.5.4精密設(shè)備、儀器儀表的被動隔振措施，由隔振臺座與隔振器(或隔振裝置)組成。依

據(jù)隔振設(shè)計計算須要，設(shè)定隔振臺座為不變形剛體，為此應對隔振臺座的形態(tài)、幾何尺寸

與材質(zhì)選用等方面加以考慮，使之具有足夠的剛度。

某些精密設(shè)備、儀器儀表在運行時，由于移動部件位置變更或加工、測試件的質(zhì)量與質(zhì)心

位置變更，使各隔振器的變形量不相等，隔振臺座發(fā)生傾斜，導致精密設(shè)備、儀器儀表難

以正常工作。為此，應設(shè)置校正傾斜裝置，使隔振臺座保持原有的水平度，以保證精密設(shè)

備、儀器儀表的正常運行。

隔振系統(tǒng)阻尼過小，會產(chǎn)生較大的芻振，以與受外界突發(fā)干擾（如對隔振臺座的沖擊、室

內(nèi)氣流的擾動影響等），造成隔振臺座幌動，這種振動值有時會大于精密設(shè)備、儀器儀表

的容許振動值，影響其正常運行。為此應增大隔振系統(tǒng)阻尼值，才能減小此類振動。通過

多項工程實踐，認為隔振系統(tǒng)阻尼比不小于0.15,是比較恰當?shù)摹?/p>

4.5.5空氣彈簧的垂直向、橫向剛度很低，使隔振系統(tǒng)具有很低的固有振動頻率，同時它

具有可調(diào)整阻尼值的特性，隔振系統(tǒng)可獲得須要的阻尼，因此，隔振系統(tǒng)具有良好的隔振

效果。當配用高精度限制閥時，可自動校正隔振臺座的傾斜。由于空氣彈簧具有其它隔振

材料與隔振器不行替代的優(yōu)越性，已被我國與國際工程界普遍采納作為精密設(shè)備、儀器儀

表的隔振元件。

用于被動隔振措施的空氣彈簧隔振裝置由空氣彈簧隔振器、高精度限制閥、儀表箱與氣源

組成。由于空氣彈簧隔振裝置在校正隔振臺座傾斜時，會排出氣體（如壓縮空氣、氮氣等）。

因此對氣源應進行凈化處理，使其達到干凈室的空氣干凈度等級，才能保證排出的氣體不

致對干凈室造成污染。

5建筑

5.1一般規(guī)定

5.1.1干凈廠房的建筑平面和空間布局應具有適當?shù)拿艚菪?，為生產(chǎn)工藝的調(diào)整創(chuàng)建條

件。本條文是指在不增加面積、高度的狀況下，進行局部的工藝和生產(chǎn)設(shè)備調(diào)整，在這種

狀況下，廠房內(nèi)墻的可變性就是一個重要的措施，為此，本條規(guī)定不宜采納內(nèi)墻承重體系。

5.1.3主體結(jié)構(gòu)要具備同建筑處理與其室內(nèi)裝備和裝修水平相適應的等級水平。若室內(nèi)裝

備與裝修水平高，而主體結(jié)構(gòu)為臨時性，就會形成嚴峻的奢侈。本條規(guī)定著重于使十凈1

房在耐久性、裝修與裝備水平、耐火實力等幾個方面相互協(xié)調(diào)，使投資長期發(fā)揮作用。此

外，溫度或沉陷不但可能影響平安，而且還會破壞建筑裝修的完整性與圍護結(jié)構(gòu)的氣密性,

故須對主體結(jié)構(gòu)采納相應措施。

5.1.5對兼有一般生產(chǎn)和干凈生產(chǎn)的綜合性廠房，在考慮其平面布局和構(gòu)造處理時，應合

理組織人流、物流運輸與消防疏散線路，避開一般生產(chǎn)對干凈生產(chǎn)帶來不利的影響。當防

火方面與干凈生產(chǎn)要求有沖突時，應實行措施，在確保消防疏散的前提下，削減對干凈生

產(chǎn)的不利影響。

5.2防火和疏散

干凈廠房雖不同于一般工業(yè)廠房，但在材料與構(gòu)造的耐火性能以與火災的火勢形成、發(fā)展

與擴散等基本特性方面，兩者都基本一樣。所以《建筑設(shè)計防火規(guī)范》(GBJ16)(以下簡

稱防火規(guī)范)中不少條文同樣適用于干凈廠房。本節(jié)主要結(jié)合干凈廠房的下列特點，對于

防火規(guī)范尚未包括或者不全適合的部分作必要的補充：

1空間密閉，火災發(fā)生后，煙量特大，對于疏散和撲救極為不利。同時由于熱量無處泄漏,

火源的熱輻射經(jīng)四壁反射室內(nèi)快速升溫，大大縮短全室各部位材料達到燃點的時間。

當廠房外墻無窗時，室內(nèi)發(fā)生的火災往往一時不簡潔被外界發(fā)覺，發(fā)覺后也不簡潔選定撲

救突破口。

2平面布置曲折，增加了疏散路途上的障礙，延長了平安疏散的距離和時間。

3若干干凈室都通過風管彼此串通，當火災發(fā)生，特殊是火勢初起未被發(fā)覺而又接著送風

的狀況下，風管成為煙、火快速外竄，殃與其余房間的重要通道。

4室內(nèi)裝修運用了一些高分子合成材料，這些材料在燃燒時產(chǎn)生濃煙，散發(fā)毒氣，有的燃

燒速度極快。

5某些生產(chǎn)過程運用易燃易爆物質(zhì)，火災危急性高。例如：甲醇、甲苯、丙酮、丁酮、乙

酸乙脂、乙醇、甲烷、二氯甲烷、桂烷、異丙醇、氫等，都是甲、乙類易燃易爆物質(zhì)，對

十凈廠房構(gòu)成潛在的火災威逼。

此外，干凈廠房內(nèi)往往有不少極為精密、珍貴的設(shè)備，建設(shè)投資特別昂貴，一旦失火，損

失極大。

鑒于以上兒方面的特點，為了保障生命、財產(chǎn)的平安，盡量削減火災中的損失，本規(guī)范分

別從防止起火與燃燒，便利疏散與搶救這兩個方面補充提出若干條文，強調(diào)了建筑耐火等

級與防火分隔，對于防火墻間占地面積與疏散路途提出較嚴格的要求。

這部分規(guī)范編制工作在公安部有關(guān)部門指導下進行。本部分規(guī)定不包括防爆措施。

5.2.1分析干凈廠房火災實例可以發(fā)覺，嚴格限制建筑物的耐火等級特別必要。本規(guī)定將

干凈廠房耐火等級定為二級與二級以上，使建筑構(gòu)配件耐火性能與甲、乙類生產(chǎn)相適應，

從而削減成災的可能性。

5.2.3

1限制防火墻間的面積，一是可以限制火災擴散，削減損失；二是便于撲救，使消防人員

既簡潔在現(xiàn)場找尋火源，也簡潔平安撤離。防火墻間允許面積的大小，應視廠房的狀況與

生產(chǎn)火災危急性確定。

2據(jù)調(diào)查統(tǒng)計，甲、乙類干凈廠房多數(shù)狀況下，其占地面積，單層廠房在2500m2以下，

多層廠房不超過1500m2?？紤]略留余地，則將防火墻間允許占地面積上限宜為3000m2（單

層）和2000m2（多層）；與防火規(guī)范甲類生產(chǎn)的二級耐火建筑物允許占地面積相吻合。由于

甲、乙類生產(chǎn)往往混雜一處，故本規(guī)定不再予以嚴格區(qū)分。本條規(guī)定為“宜為3000m2（單

層）和2000m2（多層）”，此規(guī)定既考慮干凈廠房的特點作了較嚴格的規(guī)定，又為執(zhí)行中因

詳細狀況確有困難時，應在確保疏散距離的前提下仍可放寬按現(xiàn)行《建筑設(shè)計防火規(guī)范》

（GBJ16）的規(guī)定執(zhí)行。

3丙、丁、戊類干凈廠房的防火分區(qū)最大允許面積，本次修訂中規(guī)定應符合現(xiàn)行國家標準

《建筑設(shè)計防火規(guī)范》（GBJ16）,不再作較嚴格的規(guī)定，這是因為:①本規(guī)范第5.2.1條

規(guī)定“干凈廠房耐火等級不應低于二級”。已作了較嚴格的規(guī)定，可削減成災的可能性。

②近年來，隨著科學技術(shù)的發(fā)展，一些生產(chǎn)高新技術(shù)產(chǎn)品的十凈廠房，為了提高生產(chǎn)效率、

產(chǎn)品質(zhì)量，采納了大體量、大跨度的廠房布局，雖然其廠房占地面積時有接近或超過規(guī)范

規(guī)定的“防火分區(qū)最大允許面積”的狀況發(fā)生，但是，規(guī)范修編組認為，目前，突破現(xiàn)行

國家標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》（GBJ16）的有關(guān)規(guī)定的理由尚不充分，今后應不斷總結(jié)閱

歷，為作出新規(guī)定做好打算。

對于與干凈生產(chǎn)區(qū)空間連通的下夾層（主要作為回風空間），其面積可不計入干凈生產(chǎn)區(qū)防

火分區(qū)面積。

5.2.4干凈室的頂棚和壁板，為避開因室內(nèi)或室外一方發(fā)生火災殃與另外一方，須規(guī)定其

燃燒性能，即雖不能要求它與土建式頂棚或隔墻具有同樣耐火極限，至少也須要求它的燃

燒性能同建筑物相一樣，即采納不燃燒體，且不得采納有機復合材料，以避開燃燒時產(chǎn)生

窒息性氣體、有害氣體等。目前國內(nèi)外制造廠家生產(chǎn)的干凈室用金屬壁板，大部分均能滿

意上述要求。

5.2.5限制了防火墻間占地面積后，還須要在一個防火分區(qū)內(nèi)干凈區(qū)與非干凈區(qū)之間設(shè)防

火分隔，本條規(guī)定防火分隔應為不燃燒體，并規(guī)定了耐火極限，主要是從愛護干凈區(qū)的財

產(chǎn)平安動身。

5.2.7對于設(shè)置一個平安出口的條件，同防火規(guī)范中的100m2相比，本規(guī)定削減面積一半。

這是考慮即便50成的干凈室也不算小，已能容納相當數(shù)量的珍貴裝置，須有良好的疏散

條件。

5.2.8人員凈化程序多，連同生活用室在內(nèi)，包括有換鞋、更衣、盥洗、吹淋等用室。布

置上要避開路途交叉，于是往往形成從人員入口到生產(chǎn)地點的讓折迂回路途。因此，一旦

發(fā)生火災，把這樣曲折的人凈路途當作平安出口是不恰當?shù)摹?/p>

5.2.10干凈廠房空間密閉，火災發(fā)生后，撲救極為不利。干凈廠房同層外墻設(shè)通往干凈

區(qū)的門窗或?qū)Ｓ孟揽诤?，可便利消防人員的進入與撲救。

5.3室內(nèi)裝修

5.3.1材料在溫、濕度變更時易引起變形向?qū)е驴p隙泄漏或發(fā)塵，不利于確保室內(nèi)十凈環(huán)

境。為此，本條規(guī)定，應選用氣密性良好，且在溫度和濕度變更時變形小的材料。

5.3.2制定本條的目的主要在于盡量削減干凈室內(nèi)積塵面(特殊是水平凹凸面)，以免在室

內(nèi)氣流作用下引起積塵的二次飛揚，污染室內(nèi)干凈環(huán)境。“高級抹灰”應按現(xiàn)行國家標準

《裝飾工程施工與驗收規(guī)范》(GBJ210)執(zhí)行。

5.3.6干凈室內(nèi)門開啟方向的規(guī)定是鑒于干凈區(qū)內(nèi)各房間空氣干凈度要求，與其室內(nèi)送風

量與風壓有所不同，高干凈度房間相對于低干凈度房間(或走廊)保持肯定壓差值，為使門

扇能關(guān)閉緊密，故門扇宜朝向干凈度高的房間開啟。條文中所以用“宜”而不用“應”是

考慮某些干凈生產(chǎn)房間的生產(chǎn)工藝存在火災危急，為平安疏散要求，其門扇需應向外開。

5.3.7本條中所指密閉措施包括:密封膠嵌縫、壓縫條壓縫、纖維布條粘貼壓縫、加穿墻

套管等。

5.3.8干凈室采光多需借助人工照明，再加上室內(nèi)空氣循環(huán)運生，因此，從人體衛(wèi)生角度

分析，其環(huán)境條件是較差的。為了改善環(huán)境，削減室內(nèi)員工疲憊，故應特殊留意室內(nèi)建筑

裝修的色調(diào)。

本條中有關(guān)室內(nèi)表面材料的光反射系數(shù)的規(guī)定是依據(jù)現(xiàn)行國家標準《工業(yè)企業(yè)采光設(shè)計標

準》(GBJ50033)以與參考國外有關(guān)室內(nèi)表面舉薦光反射系數(shù)資料制定。室內(nèi)表面反射率

的大小，不但干脆影響到工作面上的照度水平，同時對整個室內(nèi)亮度分布起確定性的作用。

考慮到干凈廠房一般工作精度較高，為削減視疲憊，改善室內(nèi)的光照環(huán)境，因而須要有一

個光明的室內(nèi)空間。為此，干凈室的墻面與頂棚需采納較高的光反射系數(shù)。

5.3.9空氣干凈度等級要求較高的干凈室，其墻板和頂棚宜采納輕質(zhì)壁板構(gòu)造。輕質(zhì)壁板

連接構(gòu)造的整體性和氣密性是很重要的，整體性除靠板與板之間的雌雄槽緊密的組合外，

還靠上下馬槽和板之間的嚴密結(jié)合，使干凈室形成一個完整的匣體。板壁之間的接縫應以

硅橡膠等密封材料嵌縫密封，它的作用是防止灰塵在停機時從今進入室內(nèi)，同時使干凈室

在正常工作時易于保持正壓，削減能量的損耗。止匕外，干凈室的關(guān)鍵密封部位是高效過濾

器之間或高效過濾器與其安裝骨架之間的縫隙，肯定要肯定密封。目前國內(nèi)運用的密封方

法很多，如液槽密封、機械壓墊密封等，但必需做到涂抹或填嵌便利，操作簡潔，而且還

要考慮更換高效過濾器時便利拆裝?？傊疀]有經(jīng)過高效過濾器過濾的空氣肯定不允許干脆

進入干凈室內(nèi)。干凈室頂棚用輕質(zhì)壁板應具有肯定的承重實力，以便施工、運行時人員行

走。

6.1一般規(guī)定

6.1.1干凈的生產(chǎn)環(huán)境是生產(chǎn)工藝的須要，是確保產(chǎn)品的成品率和產(chǎn)品質(zhì)量的牢靠性、長

壽命所必需的。隨著我國國民經(jīng)濟的發(fā)展，各行各業(yè)對生產(chǎn)環(huán)境的溫度、相對濕度和干凈

度的要求也越來越高。例如:大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的發(fā)展很快，在1980年時其集成

度只有64KB,而到目前集成度已提高到1GB或更高；64KB集成電路前工序生產(chǎn)所要求生

產(chǎn)環(huán)境的空氣干凈度等級只有4級和5級，而1GB集成電路前工序生產(chǎn)對生產(chǎn)環(huán)境干凈度

等級的要求提高到1級和2級(0.lum)o

不同的生產(chǎn)工藝、不同的生產(chǎn)工序?qū)ιa(chǎn)環(huán)境的要求也是不相同的，因此，確定干凈室的

空氣干凈度等級時應依據(jù)不同工藝、不同工序?qū)Νh(huán)境的干凈度要求而定。

依據(jù)不同生產(chǎn)工藝、不同生產(chǎn)工序?qū)Νh(huán)境干凈度的不同要求，該高則高，該低則低，盡量

縮小高干凈度等級部分的面積，以局部高等級凈化和全室較低等級凈化的干凈室系統(tǒng)代替

全室高等級凈化的干凈室系統(tǒng)。既能確保不同生產(chǎn)工藝對生產(chǎn)環(huán)境的要求，又能大幅度地

降低初投資和運行費用。

例如:對于生產(chǎn)1GB超大規(guī)模集成電路前工序的干凈室來說，在整個生產(chǎn)過程中只有少數(shù)

工序(制版、光刻等)對生產(chǎn)環(huán)境的空氣干凈度等級要求最高為1級或2級，而其它大部分

工序只要求5級、6級，甚至只有7級。不需將全部干凈室都設(shè)計為1級或2級。

6.1.4人是干凈室內(nèi)主要的發(fā)塵源，作業(yè)人員進入干凈室必需穿著與干凈室的空氣干凈度

等級相適應的干凈工作服。由于干凈工作服的透氣性較差，為了保證作業(yè)人員的工作環(huán)境

提高勞動生產(chǎn)率，在干凈室生產(chǎn)工藝對環(huán)境的溫、濕度沒有特殊要求時，干凈室內(nèi)的溫度

主要是為了作業(yè)人員的舒適。因此，十凈室溫度：冬季20?22C；夏季24?26C,濕度:

冬季30%?50%,夏季50%?70%較為相宜。

6.1.5關(guān)于干凈室簇新空氣量的標準問題?！豆I(yè)企業(yè)設(shè)計衛(wèi)生標準》(TJ36)規(guī)定：“每

名工人所占容積小于20m3的車間，應保證每人每小時不少于3513的簇新空氣量……”。

《采暖通風與空氣調(diào)整設(shè)計規(guī)范》(GBJ19)規(guī)定：“空氣調(diào)整系統(tǒng)的新風量應符合下列規(guī)

定:生產(chǎn)廠房應按補償排風、保持室內(nèi)正壓或保證每人不小于30m3/h的新風量的最大值確

定”。

按每人、每小時所需簇新空氣量統(tǒng)計:美國為30m3；英國為42m3；日本為35m3。

本規(guī)范在執(zhí)行過程中，由于干凈室的凈高、換氣次數(shù)取值不同等因素，使得總送風量相差

較大，原規(guī)范把“亂流干凈室總送風量的10%?30%；層流干凈室總送風量的2%?4%”作

為新風量取值標準是不嚴格的。故本次修訂中的簇新空氣量規(guī)定為應取下列二項中的最大

值：

1補償室內(nèi)排風量和保持室內(nèi)正壓值所需簇新空氣量之和。

2保證供應干凈室內(nèi)每人每小時的簇新空氣量不小于40m3o

6.2干凈室壓差限制

6.2.1、6.2.2為了保證干凈室在正常工作或空氣平衡短暫受到破壞時，氣流都能從空氣

干凈度高的區(qū)域流向空氣干凈度低的區(qū)域，使干凈室的干凈度不會受到污染空氣的干擾，

所以干凈室必需保持肯定的壓差。

在國內(nèi)外干凈室標準和空氣干凈度等級中，對干凈室內(nèi)壓差值的大小都做了明確的規(guī)定。

壓差值的大小應選擇適當。壓差值選擇過小，干凈室的壓差很簡潔破壞，干凈室的干凈度

就會受到影響。壓差值選擇過大，就會使凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風量增大，空調(diào)負荷增加，同

時使中效、高效過濾器運用壽命縮短，故很不經(jīng)濟。另外，當室內(nèi)壓差值高于50Pa時，

門的開關(guān)就會受到影響，因此，干凈室壓差值的大小應依據(jù)我國現(xiàn)有干凈室的建設(shè)閱歷，

參照國內(nèi)外有關(guān)標準和試驗探討的結(jié)果合理地確定。

1我國的建設(shè)閱歷。自《十凈廠房設(shè)計規(guī)范》(GBJ73-84)在1985年頒布以來，我國按規(guī)

范設(shè)計、建立了數(shù)百萬平方米的各種干凈級別的干凈室，并且都經(jīng)過了數(shù)年的運行考驗，

滿意了工藝的要求。實踐閱歷證明，《干凈廠房設(shè)計規(guī)范》(GBJ73-84)中有關(guān)干凈室內(nèi)

正壓值的選擇是正確的可行的。

2國內(nèi)外標準中對壓差值的規(guī)定。最新頒布發(fā)行的國際標準IS014644T、美國聯(lián)邦標準

FS209E.日本工業(yè)標準JIS9920、俄羅斯國家標準「0CTP50766-95等有關(guān)現(xiàn)行的干凈室標

準中都明確地規(guī)定，為了保持干凈室的干凈度等級免受外界的干擾，對于不同等級的干凈

室之間、干凈室與相鄰的無干凈度級別的房間之間都必需維持肯定的壓差。雖然各個國家

規(guī)定的最小壓差值不盡相同，但最小壓差值都在5Pa以上。

3試驗探討的結(jié)果。通過試驗得出，干凈室內(nèi)正壓值受室外風速的影響，室內(nèi)正壓值要高

于室外風速產(chǎn)生的風壓力。當室外風速大于3m/s時，產(chǎn)生的風壓力接近5Pa,若干凈室內(nèi)

正壓值為5Pa時，室外的污染空氣就有可能滲漏到室內(nèi)。但依據(jù)我國現(xiàn)行《采暖通風和空

氣調(diào)整設(shè)計規(guī)范》(GBJ19)編制組供應的全國氣象資料統(tǒng)計，全國203個城市中有74個

城市的冬夏平均風速大于3m/s,占總數(shù)的36.4%。這樣假如干凈室與室外相鄰時其最小的

正壓值應當大于5Pa。因此，規(guī)定二凈室與室外的最小壓差為10Pa。

6.2.3國內(nèi)外干凈室壓差風量的確定，多數(shù)是采納房間換氣次數(shù)估算的。因為壓差風量的

大小是與干凈室圍護結(jié)構(gòu)的氣密性與維持的壓差值大小有關(guān)，對于相同大小的房間，由于

門窗的數(shù)量與型式的不同，氣密性不同，導致滲漏風量也不同，故維持同樣大小的壓差值

所需壓差風量就有所差異。因此，在選取換氣次數(shù)時，對于氣密性差的房間取上限，氣密

性較好的房間可取的小一些。

1采納縫隙法來計算滲漏風量，既考慮了干凈室圍護結(jié)構(gòu)的氣密性，又考慮了室內(nèi)維持不

同的壓差值所需的正壓風量。因此，縫隙法比按房間的換氣次數(shù)估算法較為合理和精確。

單位長度縫隙滲漏空氣量用公式計算是比較困難的，一般是通過不同型式的門、窗進行多

次試驗的數(shù)據(jù)統(tǒng)計后得出的。表7是對國內(nèi)干凈室的20多種常用的門、窗在試驗室進行

了大量的試驗，取得的數(shù)據(jù)，雖然近年來干凈室門窗的材料和型式有很大的發(fā)展，但目前

還有部分干凈室仍舊采納鋼制密封門窗。故表中數(shù)據(jù)仍可供設(shè)計時參考。

表7圍護結(jié)構(gòu)單位長度縫隙的滲漏風量

窗形式

密單層

\漏魂、\非密單層固定

閉開啟式傳遞窗整板

\(m3/h?m)閉門密閉鋼窗

門密用鋼窗

H^(Pa\

5174073.52.003

10246104.53.006

153081.36.04.008

203691.57.05.01.0

254010178.05.51.2

304411198.56.014

354812219.07.015

4052132310.07.517

4555152.510.58.019

5060162611.59.02.0

縫隙法宜按下式計算:

2=

式中。一維持潔凈室壓差值所需的壓差風旱

。一根據(jù)圍護結(jié)構(gòu)氣密性確定的安全系數(shù)，可取L1?L2；

C一當潔凈室為某一壓差值時，其圍護結(jié)構(gòu)單位長度縫隙的滲漏風量(nJhu)；

Z一圍護結(jié)構(gòu)的縫隙長度(m)。

2換氣次數(shù)法，宜按下列數(shù)據(jù)選用：

壓差5Pa時，1?2h-l。

壓差lOPa時,2?4hT。

6.2.5依據(jù)對國內(nèi)干凈室的調(diào)查表明，有一部分干凈室設(shè)置了值班風機，但多數(shù)干凈室沒

有設(shè)置值班風機，而是采納上班前斃前半小時運行凈化空調(diào)系統(tǒng)達到干凈室自凈的方法。

非連續(xù)性運行的干凈室設(shè)置值班送風的問題，應依據(jù)生產(chǎn)工藝詳細狀況而定。假如生產(chǎn)工

藝要求嚴格，在凈化空調(diào)系統(tǒng)停止運行時，會污染室內(nèi)放置的半成品，又不能采納局部處

理時最好設(shè)置值班送風，值班送風系統(tǒng)必需送出經(jīng)過凈化空調(diào)處理的空氣以避開干凈室內(nèi)

產(chǎn)品或設(shè)備結(jié)露。

6.3氣流流型和送風量

6.3.1干凈室的氣流流型應考慮避開或削減渦流。這樣，可以削減二次氣流，有利于快速

有效地解除粒子。

對于空氣干凈度要求不同的干凈區(qū)，所采納的氣流流型亦應不同。本條1款的規(guī)定是參照

國際標準（草案）IS0/DIS14644-4中表B.2而編制的。

6.3.3干凈室送風量計算所用的數(shù)據(jù)是參照國際標準（草案）IS0/DIS14644-4中表B.2而

編制的。其中，換氣次數(shù)系依據(jù)我國實際狀況確定的。

1表6.3.3空氣干凈度等級系指靜態(tài)而言。其編制理由如下：

1）工程施工后的空氣干凈度測試，一般都是在空態(tài)或靜態(tài)下進行的。

2）國內(nèi)外標準中大多已明確地規(guī)定按靜態(tài)進行空氣干凈度測試。

假如設(shè)計時業(yè)主提出須按動態(tài)進行驗收時，則另行處理。

2對于《干凈廠房設(shè)計規(guī)范》（GBJ73-84）表5.3.2中送風主要方式、回風主要方式、送

風口風速、回風口風速等在本次修訂中未列入，主要理由如下：

1）為了與國際標準ISO接軌。

2）依據(jù)我國實際狀況，在這方面已經(jīng)積累較多的閱歷，并有很多資料可供參考。在規(guī)范中

如規(guī)定的過多、過死將不利于干凈技術(shù)的發(fā)展。

現(xiàn)將國際標準（草案）IS0/DIS14644-4中的表B.2摘錄于表8所示。

表8（表B.2）微日2子潔凈室實例

潔凈度等級平均風速單位面積送風量

氣流流型應用實例

ISO等級（向$）（m3m2?h）

2U0.3-0.5—光刻、半導體工藝區(qū)

3U0.3?0.5—工作區(qū)，半導體工藝區(qū)

4U0.3?0.5—工作區(qū)，多層掩膜工藝、密

盤制造、半導體服務區(qū)、動

5U0.2?05—

力區(qū)

M0.1-0.3—動力區(qū)、多層工藝、半導體

6

N或M—70?160服務區(qū)

7N或M—30?70，服務區(qū)、表面處理

8