微電子概論（第3版）課件4-1B集成電路版圖設(shè)計規(guī)則_第1頁
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IntroductiontoMicroelectronicsThirdEdition《微電子概論》（第3版）郝躍賈新章史江一1.什么是設(shè)計規(guī)則4.1集成電路版圖設(shè)計規(guī)則2.相對尺寸設(shè)計規(guī)則3.絕對尺寸設(shè)計規(guī)則目錄4.等比例縮?。╯hrink）技術(shù)2.相對尺寸設(shè)計規(guī)則又稱λ設(shè)計規(guī)則，或者比例設(shè)計規(guī)則該設(shè)計規(guī)則對集成電路版圖圖形的約束方式是以λ為基準(zhǔn)，所有尺寸取λ的整數(shù)倍。

λ通常取工藝特征尺寸的1/2。2.相對尺寸設(shè)計規(guī)則

優(yōu)點：便于進(jìn)行版圖縮放。只需通過重新定義λ代表的尺寸大小，即可獲取不同尺寸的版圖，便于在臨近工藝節(jié)點之間進(jìn)行版圖移植，節(jié)省人力。主要用于集成電路早期，版圖設(shè)計工程師人力匱乏階段。令：λ=1μm工藝進(jìn)步，令λ=0.5μm2λ8λ2λ8λ2λ（2μm）（2μm）（2μm）（8μm）（8μm）2λ8λ2λ8λ2λ（1μm）（1μm）（1μm）（4μm）（4μm）2λ8λ2λ8λ2λ（1μm）（1μm）（1μm）（4μm）（4μm）2.相對尺寸設(shè)計規(guī)則

缺點：

所有圖形尺寸及間距必須是λ的整數(shù)倍，影響版圖圖形設(shè)計靈活性。為了滿足λ整數(shù)倍要求，需要適當(dāng)放大圖形尺寸，無法充分挖掘工藝制造的能力，導(dǎo)致電路性能、面積損失。工藝進(jìn)步過程中，可加工的集成電路版圖圖形尺寸難于保證所有數(shù)據(jù)的變化保持嚴(yán)格一致，相對尺寸設(shè)計規(guī)則對λ的整數(shù)倍要求導(dǎo)致設(shè)計規(guī)則偏保守。2.相對尺寸設(shè)計規(guī)則

版圖繪制時由于對λ的強(qiáng)依賴，圖形尺寸取λ整數(shù)倍，需要對圖形適當(dāng)放大，從而影響集成電路的性能與面積。1.5μm6μm2.25μm9μm1.5μmλ=0.9μmλ=0.75μm7.2μm1.8μm7.2μm1.8μm1.8μm1.5μm6μm1.8μm7.2μm1.5μm2.相對尺寸設(shè)計規(guī)則

2λ8λ2λ8λ2λ已有版圖λ=1μm工藝進(jìn)步后能夠加工尺寸1.5μm6μm1.8μm7.2μm1.5μmλ=0.75μm？λ=0.9μm符合規(guī)則的版圖工藝移植時，只能取減少最小的圖形縮小比例，導(dǎo)致無法充分利用能夠?qū)崿F(xiàn)的較大縮小圖形帶來的收益，從而影響集成電路的性能與面積。

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