工業(yè)產(chǎn)品幾何量檢測 課件 4-1-4-2干涉法測量表面粗糙度測量方法_第1頁
工業(yè)產(chǎn)品幾何量檢測 課件 4-1-4-2干涉法測量表面粗糙度測量方法_第2頁
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模塊四零件表面粗糙度檢測201XX工業(yè)產(chǎn)品幾何量檢測知識點(diǎn)：干涉法測量表面粗糙度一干涉顯微鏡儀器簡介任務(wù)九零件表面粗糙度檢測二測量方法測量方法2.干涉顯微鏡儀器光學(xué)系統(tǒng)a.將被測件表面向下。置于儀器的工作臺上，見圖所示；b.手輪3轉(zhuǎn)到目鏡的位置，松開目鏡2的螺釘，拔出目鏡2，并從目鏡管中觀察。若看到兩個燈絲像，則調(diào)節(jié)光源8，使兩個燈絲像重合。然后插上目鏡，鎖緊螺釘；測量方法c.

旋轉(zhuǎn)遮光板調(diào)節(jié)手輪13，遮住一束光線，用手輪轉(zhuǎn)動工作臺滾花盤，對被測表面調(diào)焦，直至看到清晰的表面紋路為止，再旋轉(zhuǎn)遮光板調(diào)節(jié)手輪13，視場中出現(xiàn)干涉條紋。d.緩慢調(diào)節(jié)手輪9、10、11，使之得到清晰的干涉條紋。再旋轉(zhuǎn)方向調(diào)節(jié)手輪14，以改變干涉條紋的方向，使之垂直于加工痕跡；見圖所示。測量方法e.在干涉條紋的取樣長度內(nèi)，選5個最高峰和5個最低谷進(jìn)行測量、讀數(shù)并記錄。干涉條紋彎曲度的平均值△h用下式計算。⊿h=

f.干涉條紋的間隔寬度，可取三個不同位置的平均值：b=測量方法g.一般在5個取樣長度上分別測出5個△h值，以其平均值作為工件的表面粗糙度：h.根據(jù)定義也可以測出輪廓最大高度RY：RY=h峰max

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