內(nèi)蒙古自治區(qū)地方計(jì)量技術(shù)規(guī)范JJF(蒙)113—20252025-05-01發(fā)布2025-08-01實(shí)施探針型導(dǎo)電類型及電阻率歸口單位：內(nèi)蒙古自治區(qū)市場(chǎng)監(jiān)督管理局主要起草單位：包頭市檢驗(yàn)檢測(cè)中心參加起草單位：內(nèi)蒙古自治區(qū)計(jì)量測(cè)試研究院JJF(蒙)113-2025本規(guī)范主要起草人：參加起草人： （1） （1） （1） （2） （2） （2） （2） （2） （3） （3） （3） （3） （3） （3） （10） （12） （14） （16）JJF(蒙)113-2025JJF(蒙)113-2025探針型導(dǎo)電類型及電阻率測(cè)試儀測(cè)試規(guī)范[來(lái)源：GB/T14264-2024，3.72][來(lái)源：GB/T14264-2024，3.49][來(lái)源：GB/T14264-2024，3.50][來(lái)源：GB/T14264-2024，3.74][來(lái)源：GB/T14264-2024，3.23.1]JJF(蒙)113-2025表1電氣測(cè)試部分主要技術(shù)指標(biāo)項(xiàng)目二探針電阻率測(cè)試儀四探針電阻率測(cè)試儀相對(duì)示值誤差重復(fù)性＜0.3%＜0.3%表2探針部分主要技術(shù)指標(biāo)二探針電阻率測(cè)試儀四探針電阻率測(cè)試儀探針間距重復(fù)性＜0.25%＜0.30%探針間距相對(duì)示值誤差/探針力1.75N±0.25N1.75N±0.25NJJF(蒙)113-2025溫度23±2）℃。采用附有導(dǎo)電類型等參數(shù)值的參考片作為p、n型標(biāo)準(zhǔn)樣片。參考片的表面沒有明顯探針型導(dǎo)電類型測(cè)試儀、電阻率測(cè)試儀的外殼探頭不晃動(dòng)，二探針電阻率測(cè)試儀的兩根針/四探針電阻率測(cè)試儀的四根針在同一平探針型導(dǎo)電類型測(cè)試儀、電阻率測(cè)試儀應(yīng)附帶使用說(shuō)探針之間或探針與儀器外殼之間可用絕緣電將探針型導(dǎo)電類型測(cè)試儀的探針分別垂直按壓到p、n型標(biāo)準(zhǔn)樣片上，查看顯示是否表3標(biāo)準(zhǔn)電阻及測(cè)試電流選擇電阻率Ω.cm測(cè)試電流檔位，mA標(biāo)準(zhǔn)電阻，Ω＜0.030.010.03~0.300.10.30~313~3030~3000.1300~30000.01>30000.00110000準(zhǔn)電阻器兩端。按圖1連接，模擬電阻Rx按式（1）計(jì)5JJF(蒙)113-2025測(cè)試模擬電路的正向電阻，改變極性，再測(cè)試反向電阻。連續(xù)改變極性重復(fù)測(cè)量5次。則模擬電路的模擬電阻平均值R。按式(2)計(jì)算：R——模擬電路的正向電阻及反向電阻中的任意一個(gè)值(i=1~10),Ω。模擬電阻值的標(biāo)準(zhǔn)偏差按式(3)計(jì)算：Sa——模擬電阻值標(biāo)準(zhǔn)偏差，Ω。模擬電阻值的相對(duì)示值誤差按式(4)計(jì)算：δa——模擬電阻值相對(duì)示值誤差，%;模擬電阻值的重復(fù)性按式(5)計(jì)算：JJF(蒙)113-20256SR——模擬電阻值的重復(fù)性，%。4腳連在一起，再分別連接標(biāo)準(zhǔn)電阻器兩端。按圖2連接，模擬電阻rx按式(6)計(jì)算：則模擬電路的模擬電阻平均值按式(7)計(jì)算：模擬電路的標(biāo)準(zhǔn)偏差按式(8)計(jì)算：模擬電阻值的相對(duì)示值誤差按式(9)計(jì)算：JJF(蒙)113-20257δ?——模擬電阻值相對(duì)示值誤差，%;r——模擬電阻標(biāo)稱值，Ω模擬電阻值的重復(fù)性按式(10)計(jì)算：S,——模擬電阻值的重復(fù)性，%。7.2.4探針頭測(cè)試①探針力測(cè)試用測(cè)力儀測(cè)出每根針的力和所有探針的合力。②探針間距測(cè)試被測(cè)儀器在拋光片上壓10組壓痕，然后用顯微鏡或投影儀測(cè)量壓痕直徑及相鄰兩個(gè)壓痕之間的距離。兩根針壓痕示意圖見圖3。a)對(duì)10組測(cè)試數(shù)據(jù)中的每一組，分別計(jì)算探針間距：b)平均探針間距：JJF(蒙)113-2025D,——探針間距的重復(fù)性，%。被測(cè)儀器在拋光片上壓10組壓痕，然后用顯微鏡或投影儀測(cè)量壓痕直徑及相鄰兩個(gè)壓痕之間的距離。四根針壓痕示意圖見圖4。a)被測(cè)儀器在拋光片上壓10組壓痕，然后用顯微鏡或投影儀測(cè)量壓痕直徑及相鄰兩b)對(duì)10組測(cè)試數(shù)據(jù)中的每一組，分別計(jì)算探針間距：JJF(蒙)113-20251jS1j2jS2j3jS3jCDABjjjj 22EFCDjjjj GHEFjjjj S1j——1、2探針間距，mm；S2j——2、3探針間距，mm；S3j——3、4探針間距，mm；Aj~Hj——分別表示探針壓痕在顯微鏡上的讀數(shù)，mm；j——組數(shù)，j=1~10。SiSijj——組數(shù)，j=1~10。0Si20SS1S2S3S——平均探針間距標(biāo)準(zhǔn)，mm。JJF(蒙)113-2025idpi100%（21）idpi——任一探針間距的重復(fù)性（i=1~3%。Spi100%（22）Spi——探針間距的相對(duì)示值誤差，%；h)測(cè)試所依據(jù)的技術(shù)規(guī)范的標(biāo)識(shí)，包括名稱j)測(cè)試環(huán)境的描述；m)測(cè)試證書或測(cè)試報(bào)告簽發(fā)人的簽名或等p)未經(jīng)實(shí)驗(yàn)室書面批準(zhǔn)，不得部分復(fù)制測(cè)試證書或測(cè)試報(bào)告的聲JJF(蒙)113-2025JJF(蒙)113-2025委托單位：儀器名稱：測(cè)試地點(diǎn)：名稱編號(hào)測(cè)量范圍不確定度/準(zhǔn)確度等級(jí)/最大允許誤差溯源機(jī)構(gòu)及證書編號(hào)證書有效期至三、導(dǎo)電型號(hào)類型判別：□符合要求1（%k=2）1JJF(蒙)113-2025ABCDEFGH123456789S1S2S3123dp1dp2dp3Sp1Sp2Sp3JJF(蒙)113-2025111探針N；2探針N；3JJF(蒙)113-2025ABCDEFGH123456789S1S2S3123dp1dp2dp3Sp1Sp2Sp3（C1） r100%（C2）r——模擬電阻相對(duì)示值誤差，%；r——標(biāo)準(zhǔn)電阻標(biāo)稱值，Ω。（C3）字電壓表引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定分量，標(biāo)準(zhǔn)器不準(zhǔn)C.3.1模擬測(cè)試電路中模擬電阻測(cè)量重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u1表1模擬電阻測(cè)量重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度序號(hào)模擬電阻值(Ω)10.99920.99930.99940.99850.99960.99870.99980.9999平均值0.999標(biāo)準(zhǔn)偏差0.0007測(cè)量時(shí)采用10次測(cè)量數(shù)值的平均值作為測(cè)量結(jié)果，因此，由重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u1：u10.0002（C5）C.3.2四探針電阻率測(cè)試儀恒流源、數(shù)字電壓表引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u2u210.005/0.0029mA（C6）u220.0204/0.0118mV（C7）JJF(蒙)113-2025C.3.2.3被測(cè)的四探針電阻率測(cè)試儀恒流源、數(shù)字電壓表引入的合成u2 c1u212c2u2220.0003C.3.3標(biāo)準(zhǔn)器標(biāo)準(zhǔn)電阻箱不準(zhǔn)引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u3u30.0007/0.0004（C9）表2標(biāo)準(zhǔn)不確定度匯總表標(biāo)準(zhǔn)不確定