電子潔凈車間凈化工程施工方案一、項(xiàng)目概況本項(xiàng)目為電子元器件生產(chǎn)車間凈化工程，總建筑面積約8000平方米，采用框架結(jié)構(gòu)體系，設(shè)計(jì)潔凈等級為ISO7級（萬級），局部區(qū)域達(dá)到ISO5級（百級）。項(xiàng)目包含潔凈生產(chǎn)區(qū)、輔助設(shè)備區(qū)、人員凈化區(qū)及物料傳遞區(qū)四大功能模塊，其中潔凈生產(chǎn)區(qū)面積5200平方米，配備恒溫恒濕空調(diào)系統(tǒng)、防靜電地面處理及高效空氣過濾系統(tǒng)。工程建成后將主要用于高精度半導(dǎo)體元件的封裝測試，對環(huán)境參數(shù)控制要求為：溫度22±2℃，相對濕度50±5%，靜壓差≥5Pa，換氣次數(shù)≥25次/小時(shí)，塵埃粒子濃度控制在0.5μm粒子≤352000個(gè)/m3，5μm粒子≤2930個(gè)/m3。二、施工準(zhǔn)備（一）技術(shù)準(zhǔn)備組織技術(shù)團(tuán)隊(duì)進(jìn)行圖紙會(huì)審，重點(diǎn)核查潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)的壓差設(shè)計(jì)、氣流組織走向及設(shè)備管線綜合布置。編制《二次深化設(shè)計(jì)方案》，對原有設(shè)計(jì)進(jìn)行優(yōu)化，將空調(diào)機(jī)房設(shè)置在潔凈區(qū)西側(cè)，縮短送風(fēng)距離；將產(chǎn)塵設(shè)備集中布置于負(fù)壓隔離間，采用獨(dú)立排風(fēng)系統(tǒng)。針對關(guān)鍵施工節(jié)點(diǎn)制作樣板，如彩鋼板隔墻安裝樣板、高效過濾器安裝樣板及環(huán)氧樹脂地面施工樣板，經(jīng)業(yè)主、監(jiān)理確認(rèn)后方可大面積施工。（二）材料準(zhǔn)備建立材料進(jìn)場檢驗(yàn)制度，所有材料需提供出廠合格證及性能檢測報(bào)告。墻面采用0.426mm厚鍍鋁鋅彩鋼板，芯材為50mm厚阻燃聚氨酯，燃燒性能達(dá)到B1級；地面選用2mm厚無溶劑環(huán)氧自流平，表面電阻值控制在10?-10?Ω；高效過濾器選用H14級HEPA過濾器，對0.3μm粒子過濾效率≥99.97%。材料進(jìn)場后分類存放，彩鋼板存放于干燥通風(fēng)倉庫，距地面架空150mm，過濾器需在恒溫恒濕環(huán)境下密封保存，避免受潮失效。（三）機(jī)具準(zhǔn)備配置無塵施工專用設(shè)備，包括防靜電吸塵器、不銹鋼切割工具、潔凈室專用電焊機(jī)等。所有施工機(jī)具在進(jìn)入潔凈區(qū)前進(jìn)行徹底清潔，電機(jī)設(shè)備加裝高效過濾排風(fēng)裝置。檢測儀器需經(jīng)過計(jì)量檢定，主要包括：塵埃粒子計(jì)數(shù)器（量程0.1-5μm）、數(shù)字微壓計(jì)（精度±0.1Pa）、熱球式風(fēng)速儀（測量范圍0.05-30m/s）及溫濕度記錄儀（分辨率0.1℃/0.1%RH）。三、主要施工流程（一）結(jié)構(gòu)改造工程拆除作業(yè)：采用無塵拆除工藝，對原有車間墻體、吊頂進(jìn)行分區(qū)拆除，每日施工完畢后使用工業(yè)吸塵器清理垃圾，垃圾密封后運(yùn)至場外處理。拆除過程中設(shè)置臨時(shí)圍擋，保持施工區(qū)負(fù)壓，防止粉塵擴(kuò)散。鋼結(jié)構(gòu)加固：在潔凈區(qū)上方增設(shè)150×100mm鍍鋅方管主龍骨，間距1.8m，通過膨脹螺栓與原結(jié)構(gòu)樓板連接，螺栓間距≤500mm，節(jié)點(diǎn)處采用雙螺母防松。安裝完成后進(jìn)行荷載測試，確保承重能力≥150kg/㎡。（二）圍護(hù)結(jié)構(gòu)施工彩鋼板安裝：采用企口式連接，先安裝地槽鋁，使用M8膨脹螺栓固定，間距600mm；再安裝豎向龍骨，垂直度偏差控制在≤2mm/2m；最后安裝彩鋼板，板縫處填充硅酮密封膠，膠縫寬度8-10mm，表面平滑連續(xù)。轉(zhuǎn)角處采用圓弧鋁型材過渡，半徑R=50mm，避免積塵死角。潔凈門窗安裝：采用不銹鋼門框，雙層中空鋼化玻璃，配置機(jī)械聯(lián)鎖裝置。門縫隙采用EPDM密封膠條，壓縮量控制在30%，關(guān)閉后氣密性達(dá)到在10Pa壓差下泄漏率≤0.5m3/h。觀察窗玻璃與門框間填充丁基密封膠，確保無氣泡、無脫膠。（三）地面工程基層處理：打磨混凝土基層，表面平整度誤差控制在≤3mm/2m，采用真空吸塵器清理粉塵，涂刷環(huán)氧底漆一道，干膜厚度≥80μm。對裂縫處采用環(huán)氧樹脂膩?zhàn)有扪a(bǔ)，干燥后進(jìn)行拉拔測試，附著力≥2.5MPa。防靜電涂層施工：先涂刷導(dǎo)電底漆，鋪設(shè)銅箔接地網(wǎng)格，網(wǎng)格間距1.5m×1.5m，銅箔交叉處采用錫焊連接；再刮涂環(huán)氧中涂，鋪設(shè)玻璃纖維布增強(qiáng)；最后鏝涂環(huán)氧自流平面漆，采用鋸齒鏝刀施工，厚度控制在2mm±0.2mm。施工環(huán)境溫度控制在15-30℃，相對濕度≤85%，固化時(shí)間不少于72小時(shí)。（四）空調(diào)凈化系統(tǒng)安裝風(fēng)管制作：采用鍍鋅鋼板，厚度按風(fēng)管尺寸確定（800×400mm以下采用0.6mm，800×400mm以上采用0.8mm）。風(fēng)管咬口采用聯(lián)合角咬口，咬口寬度12mm，折邊平直度誤差≤1mm/m。風(fēng)管焊接采用氬弧焊，焊縫表面進(jìn)行酸洗鈍化處理，內(nèi)壁粗糙度Ra≤1.6μm。過濾器安裝：高效過濾器安裝前進(jìn)行檢漏測試，采用粒子計(jì)數(shù)器掃描法，掃描速度≤50mm/s，泄漏率≤0.01%。安裝框架采用鋁合金型材，密封墊選用閉孔氯丁橡膠，壓縮量25%-30%。安裝完成后在過濾器下游側(cè)進(jìn)行風(fēng)速測試，均勻度應(yīng)≤±15%。（五）電氣系統(tǒng)安裝配管布線：潔凈區(qū)內(nèi)電氣配管采用鍍鋅鋼管，絲扣連接，接口處纏繞四氟乙烯膠帶，接地電阻≤4Ω。導(dǎo)線選用交聯(lián)聚乙烯絕緣銅芯電纜，穿管敷設(shè)時(shí)管內(nèi)導(dǎo)線總截面積≤管截面積的40%。燈具安裝采用吸頂式，與彩鋼板接縫處填充硅橡膠密封膠，燈具外殼采用不銹鋼材質(zhì)，防護(hù)等級IP65。接地系統(tǒng)：設(shè)置獨(dú)立接地極，接地電阻≤1Ω。防靜電地面通過銅箔與接地極連接，接地干線采用6mm2多股銅芯線，支線采用2.5mm2銅芯線。每個(gè)設(shè)備接地端子與接地干線間采用單獨(dú)連接，禁止串聯(lián)接地。（六）設(shè)備安裝與調(diào)試空調(diào)機(jī)組安裝：機(jī)組基礎(chǔ)采用100mm厚C20混凝土，設(shè)置橡膠減震墊，減震墊壓縮量控制在20%-25%。連接風(fēng)管采用柔性短管，長度200mm，材質(zhì)為防火帆布。開機(jī)前清洗蒸發(fā)器、冷凝器，運(yùn)行時(shí)測試機(jī)組噪聲，距離機(jī)組1m處噪聲值≤75dB(A)。系統(tǒng)調(diào)試：先進(jìn)行單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)，再進(jìn)行聯(lián)動(dòng)調(diào)試。調(diào)整送回風(fēng)口閥門，使各房間風(fēng)量達(dá)到設(shè)計(jì)值±10%；通過變頻調(diào)節(jié)風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速，使?jié)崈魠^(qū)靜壓差達(dá)到設(shè)計(jì)要求；最后進(jìn)行溫濕度調(diào)控，通過PID控制器調(diào)節(jié)表冷器及加濕器，使波動(dòng)范圍控制在設(shè)定值±5%內(nèi)。四、質(zhì)量控制措施（一）過程質(zhì)量控制建立三檢制（自檢、互檢、專檢），每個(gè)檢驗(yàn)批完成后填寫《質(zhì)量驗(yàn)收記錄》。彩鋼板安裝垂直度采用2m靠尺檢查，誤差≤3mm；高效過濾器安裝后進(jìn)行風(fēng)速測試，實(shí)測值與設(shè)計(jì)值偏差≤10%；地面施工完成后進(jìn)行表面電阻測試，測試點(diǎn)間距≤2m，合格率需達(dá)到100%。對隱蔽工程如接地系統(tǒng)、風(fēng)管保溫等，需留存影像資料，經(jīng)監(jiān)理驗(yàn)收簽字后方可隱蔽。（二）檢測與驗(yàn)收潔凈度檢測：采用粒子計(jì)數(shù)器，每個(gè)采樣點(diǎn)采樣時(shí)間≥1min，采樣量≥1L/min。ISO7級區(qū)域至少設(shè)置20個(gè)采樣點(diǎn)，ISO5級區(qū)域至少設(shè)置30個(gè)采樣點(diǎn)，檢測結(jié)果需連續(xù)3次達(dá)標(biāo)。風(fēng)量風(fēng)壓檢測：使用皮托管在風(fēng)管截面均勻布置測點(diǎn)，每個(gè)截面測點(diǎn)數(shù)量不少于12個(gè)，計(jì)算平均風(fēng)速后換算風(fēng)量。靜壓差檢測采用數(shù)字微壓計(jì)，檢測順序?yàn)閺臐崈舳雀叩膮^(qū)域向低的區(qū)域依次進(jìn)行。綜合性能測試：進(jìn)行為期3天的連續(xù)運(yùn)行測試，記錄溫濕度、壓差、潔凈度等參數(shù)，繪制趨勢曲線圖。測試期間模擬實(shí)際生產(chǎn)工況，開啟主要工藝設(shè)備，檢查環(huán)境參數(shù)穩(wěn)定性。（三）質(zhì)量通病防治針對施工中常見的質(zhì)量問題制定預(yù)防措施：彩鋼板接縫滲漏防治采用“三層密封法”，即內(nèi)層丁基膠、中層密封膠、外層不銹鋼壓條；風(fēng)管漏風(fēng)防治采用漏光法檢測，在風(fēng)管內(nèi)放置100W燈泡，黑暗環(huán)境下檢查漏光點(diǎn)，每10m接縫漏光點(diǎn)≤2處；地面起砂防治嚴(yán)格控制基層含水率≤8%，施工前涂刷界面劑增強(qiáng)附著力。五、安全管理（一）施工安全管理編制《安全專項(xiàng)施工方案》，對高空作業(yè)、動(dòng)火作業(yè)等危險(xiǎn)性較大的工序?qū)嵤┳鳂I(yè)許可制度。2m以上作業(yè)搭設(shè)滿堂腳手架，腳手板采用防滑竹笆，搭設(shè)間距≤1.2m，設(shè)置1.2m高防護(hù)欄桿。動(dòng)火作業(yè)辦理《動(dòng)火許可證》，配備滅火器及看火人，作業(yè)點(diǎn)下方10m范圍內(nèi)清理可燃物，設(shè)置接火斗。施工現(xiàn)場臨時(shí)用電采用TN-S系統(tǒng)，配電箱安裝漏電保護(hù)器，動(dòng)作電流≤30mA，動(dòng)作時(shí)間≤0.1s。（二）無塵施工管理施工人員進(jìn)入潔凈區(qū)需經(jīng)過三級更衣：第一更衣區(qū)更換潔凈服，第二更衣區(qū)穿戴無塵帽、口罩、手套，第三更衣區(qū)風(fēng)淋30秒。每日施工前對施工機(jī)具進(jìn)行酒精消毒，使用防靜電抹布擦拭。施工廢料分類存放，金屬廢料與非金屬廢料分開收集，每日下班前清理至指定廢料間，采用密封袋包裝后運(yùn)出。（三）應(yīng)急管理制定《突發(fā)事件應(yīng)急預(yù)案》，配備應(yīng)急救援小組，定期組織消防演練。施工現(xiàn)場設(shè)置應(yīng)急通道，寬度≥1.2m，保持暢通，應(yīng)急照明連續(xù)照明時(shí)間≥90min。儲(chǔ)存應(yīng)急物資，包括急救箱、應(yīng)急電源、備用過濾器等，建立物資臺賬，每月檢查補(bǔ)充。發(fā)生火災(zāi)時(shí)立即啟動(dòng)應(yīng)急預(yù)案，組織人員疏散，使用干粉滅火器撲救初期火災(zāi)，同時(shí)撥打119報(bào)警。六、施工進(jìn)度計(jì)劃采用Project軟件編制進(jìn)度計(jì)劃，關(guān)鍵線路為：結(jié)構(gòu)改造（20天）→彩鋼板安裝（30天）→地面施工（25天）→空調(diào)系統(tǒng)安裝（40天）→設(shè)備調(diào)試（15天）→竣工驗(yàn)收（10天），總工期140天。設(shè)置5個(gè)關(guān)鍵里程碑節(jié)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)驗(yàn)收（第20天）、圍護(hù)結(jié)構(gòu)完成（第50天）、凈化系統(tǒng)安裝完成（第90天）、調(diào)試合格（第105天）、竣工驗(yàn)收（第115天）。為保證進(jìn)度，采用平行作業(yè)法，在結(jié)構(gòu)改造的同時(shí)進(jìn)行材料采購，在圍護(hù)結(jié)構(gòu)施工的同時(shí)進(jìn)行空調(diào)風(fēng)管預(yù)制。七、驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)與交付（一）驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)本工程驗(yàn)收執(zhí)行《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》（GB50073-2013）、《通風(fēng)與空調(diào)工程施工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范》（GB50243-2016）及《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》（GB50472-2008）。驗(yàn)收文件包括：竣工圖紙、設(shè)備合格證、檢測報(bào)告、隱蔽工程記錄、調(diào)試記錄等，整理成冊后提交業(yè)主。（二）交付培訓(xùn)對業(yè)主方操作人員進(jìn)行培訓(xùn)，內(nèi)容包括：空調(diào)系統(tǒng)操作、過濾器更換、環(huán)境參數(shù)監(jiān)測等。編制《操