(12)發(fā)明專(zhuān)利地址110171遼寧省沈陽(yáng)市渾南區(qū)水家900號(hào)有限公司11463HO1L21/687(200HO1L21/67(2006.01)JP2014065018A,2014.04.17述凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷，所述凹陷部設(shè)置于所述支撐柱本體的側(cè)在工藝過(guò)程中晶圓支撐柱與晶圓之間的靜電力212所述晶圓支撐柱包括支撐柱本體，所述支撐柱本體的外表面設(shè)有凹陷部，所述凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷，所述凹陷部設(shè)置于所述支撐柱本體的側(cè)壁，且所述凹陷部的頂部與所述支撐柱本體的頂端部相接，所述凹陷部的底部與所述支撐柱本體的底端部相接；所述凹陷部設(shè)有N個(gè)，所述N為2或2的倍數(shù)，所述凹陷部?jī)蓛蓪?duì)稱(chēng)設(shè)置于所述支撐柱本體的側(cè)壁；所述晶圓支撐柱包括上部件、下部件和高度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，所述上部件和所述下部件通過(guò)所述高度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)連接固定。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓支撐柱，其特征在于，所述凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的徑向長(zhǎng)度由所述支撐柱本體的頂端部朝所述支撐柱本體的底端部逐漸減小。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓支撐柱，其特征在于，所述凹陷部包括第一凹陷部和第二凹陷部，所述第一凹陷部設(shè)置于所述支撐柱本體的上部，所述第二凹陷部設(shè)置于所述支撐柱本體的下部，且所述第一凹陷部和所述第二凹陷部通過(guò)臺(tái)階部相接設(shè)置，所述第一凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的徑向長(zhǎng)度為第一徑向長(zhǎng)度，所述第二凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的徑向長(zhǎng)度為第二徑向長(zhǎng)度，所述第一徑向長(zhǎng)度大于所述第二徑向長(zhǎng)度。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓支撐柱，其特征在于，所述凹陷部的表面為平面和曲面中的任意一種。5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓支撐柱，其特征在于，所述第一徑向長(zhǎng)度與所述第二徑向6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓支撐柱，其特征在于，所述凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的徑向長(zhǎng)度為0.5mm-1mm。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓支撐柱，其特征在于，所述凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的最大徑向長(zhǎng)度與所述凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的最小徑向長(zhǎng)度的差值不大于0.5mm。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓支撐柱，其特征在于，所述支撐柱本體為圓柱形結(jié)構(gòu)和球形結(jié)構(gòu)中的任意一種。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓支撐柱，其特征在于，所述支撐柱本體的上端部為半球形結(jié)構(gòu)和錐形結(jié)構(gòu)中的任意一種。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓支撐柱，其特征在于，所述支撐柱本體的材料為陶瓷材料、藍(lán)寶石玻璃材料和金屬材料中的至少一種。11.一種晶圓處理設(shè)備，其特征在于，包括設(shè)置于腔體內(nèi)的基座和如權(quán)利要求1-10任意一項(xiàng)所述的晶圓支撐柱，所述基座上設(shè)有安裝孔結(jié)構(gòu)，所述晶圓支撐柱設(shè)置于所述安裝孔結(jié)構(gòu)。12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的晶圓處理設(shè)備，其特征在于，所述晶圓處理設(shè)備包括處理模塊和裝卸模塊中的至少一種，所述腔體為所述處理模塊和所述裝卸模塊中的任意一種的腔3晶圓支撐柱及晶圓處理設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓支撐柱及晶圓處理設(shè)備。背景技術(shù)[0002]現(xiàn)有的半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備，尤其是12英寸半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備中，因鋁制加熱盤(pán)具有熱效率高、成本低等優(yōu)勢(shì)，故鋁制加熱盤(pán)在當(dāng)前的半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備中仍擔(dān)當(dāng)主角。在工藝過(guò)程中加熱盤(pán)表面需要均布支撐體來(lái)支撐晶圓(Wafer),以使晶圓保持水平，保證晶圓表面沉積膜厚度的均勻及工藝穩(wěn)定性。[0003]公開(kāi)號(hào)為CN203983243U的中國(guó)專(zhuān)利公開(kāi)了一種半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備采用的晶圓陶瓷柱，在加熱盤(pán)凸臺(tái)表面的不同圓周上均布一定數(shù)量的銷(xiāo)孔，加熱盤(pán)上的銷(xiāo)孔內(nèi)鑲嵌中心帶孔的陶瓷圓柱座，陶瓷圓柱座的下底面與加熱盤(pán)的銷(xiāo)孔底面配合。陶瓷圓柱座的上表面與加熱盤(pán)凸臺(tái)表面平齊。陶瓷柱的上頂端部分為半球結(jié)構(gòu)，頂端面為球面結(jié)構(gòu)；陶瓷柱的下部分為圓柱結(jié)構(gòu)，保持有一定的直線(xiàn)度。但該專(zhuān)利存在以下問(wèn)題：[0004](1)工藝過(guò)程中，晶圓與陶瓷柱之間存在靜電力或其他吸附力，若晶圓與陶瓷柱之間的靜電力或其他吸附力過(guò)大，將會(huì)將陶瓷柱從基座孔內(nèi)吸附脫出，從而造成晶圓位置偏[0005](2)銷(xiāo)孔內(nèi)因氣體熱膨脹會(huì)導(dǎo)致陶瓷柱從銷(xiāo)孔內(nèi)脫出；[0006](3)在一個(gè)或者多個(gè)工藝循環(huán)后，因?yàn)楸∧こ恋?、固體材料熱擴(kuò)散、以及鋁基體材料氟化層增長(zhǎng)等問(wèn)題會(huì)導(dǎo)致陶瓷柱卡死。[0007]因此，有必要提供一種新型的晶圓支撐柱及晶圓處理設(shè)備以解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問(wèn)題。發(fā)明內(nèi)容[0008]本發(fā)明的目的在于提供一種晶圓支撐柱及晶圓處理設(shè)備，以減少晶圓支撐柱從基座的支撐柱孔內(nèi)脫出的風(fēng)險(xiǎn)，以及減少晶圓支撐柱在基座的支撐柱孔內(nèi)卡死的風(fēng)險(xiǎn)。[0009]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的所述晶圓支撐柱，設(shè)置于半導(dǎo)體基座內(nèi)，用于承托晶圓，所述晶圓支撐柱包括支撐柱本體，所述支撐柱本體的外表面設(shè)有至少一個(gè)凹陷部，所述凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷，所述凹陷部設(shè)置于所述支撐柱本體的側(cè)壁，且所述凹陷部的頂部與所述支撐柱本體的頂端部相接，所述凹陷部的底部與所述支撐柱本體的底端部相接。[0010]本發(fā)明的所述晶圓支撐柱的有益效果在于：通過(guò)所述凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷，所述凹陷部設(shè)置于所述支撐柱本體的側(cè)壁，且所述凹陷部的頂部與所述支撐柱本體的頂端部相接，即減小了所述支撐柱本體的頂端部的面積，從而減小了晶圓支撐柱與晶圓之間的接觸面積，使得在工藝過(guò)程中晶圓支撐柱與晶圓之間的靜電力或其他吸附力減至最小，大大降低晶圓支撐柱從基座的支撐柱孔內(nèi)脫出的風(fēng)險(xiǎn)；通過(guò)所述凹陷部設(shè)置于所述支撐柱本體的側(cè)壁，且所述凹陷部的頂部與所述支撐柱本體的頂端部相接，4所述凹陷部的底部與所述支撐柱本體的底端部相接，使得所述支撐柱本體的整個(gè)柱身由頂端部到底端部整體相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷，使得晶圓支撐柱和基座的支撐柱孔之間具有空隙，從而使支撐柱孔內(nèi)的氣體能從該空隙中排出，以減少了基座的支撐柱孔內(nèi)因氣體熱膨脹而導(dǎo)致晶圓支撐柱從基座支撐柱孔內(nèi)脫出的風(fēng)險(xiǎn)，而且晶圓支撐柱和基座的支撐柱孔之間具有空隙，能大大減少晶圓支撐柱在一個(gè)或者多個(gè)工藝循環(huán)后因?yàn)楸∧こ恋?、固體材料熱擴(kuò)散、以及鋁基體材料氟化層增長(zhǎng)而導(dǎo)致的卡死風(fēng)險(xiǎn)。[0011]優(yōu)選的，所述凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的徑向長(zhǎng)度由所述支撐柱本體的頂端部朝所述支撐柱本體的底端部逐漸減小。其有益效果在于：確保在工藝過(guò)程中晶圓支撐柱與晶圓之間的靜電力或其他吸附力減至最小，且在確保減少基座的支撐柱孔內(nèi)因氣體熱膨脹而導(dǎo)致晶圓支撐柱從基座支撐柱孔內(nèi)脫出的風(fēng)險(xiǎn)的同時(shí)，又能保證所述晶圓支撐柱有足夠的重量以克服基座的支撐柱孔內(nèi)因氣體熱膨脹而產(chǎn)生的向上的沖力，從而大大降低晶圓支撐柱從基座支撐柱孔內(nèi)脫出的風(fēng)險(xiǎn)。[0012]優(yōu)選的，所述凹陷部的表面為平面和曲面中的任意一種。[0013]優(yōu)選的，所述凹陷部包括第一凹陷部和第二凹陷部，所述第一凹陷部設(shè)置于所述支撐柱本體的上部，所述第二凹陷部設(shè)置于所述支撐柱本體的下部，且所述第一凹陷部和所述第二凹陷部通過(guò)臺(tái)階部相接設(shè)置，所述第一凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的徑向長(zhǎng)度為第一徑向長(zhǎng)度，所述第二凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的徑向長(zhǎng)度為第二徑向長(zhǎng)度，所述第一徑向長(zhǎng)度大于所述第二徑向長(zhǎng)度。其有益效果在于：確保在工藝過(guò)程中晶圓支撐柱與晶圓之間的靜電力或其他吸附力減至最小，且在確保減少基座的支撐柱孔內(nèi)因氣體熱膨脹而導(dǎo)致晶圓支撐柱從基座支撐柱孔內(nèi)脫出的風(fēng)險(xiǎn)的同時(shí)，又能保證所述晶圓支撐柱有足夠的重量以克服基座的支撐柱孔內(nèi)因氣體熱膨脹而產(chǎn)生的向上的沖力，從而大大降低晶圓支撐柱從基座支撐柱孔內(nèi)脫出的風(fēng)險(xiǎn)。[0014]進(jìn)一步優(yōu)選的，所述第一徑向長(zhǎng)度與所述第二徑向長(zhǎng)度的差值為0.2mm-1mm益效果在于：確保在工藝過(guò)程中晶圓支撐柱與晶圓之間的靜電力或其他吸附力減至最小，且在確保減少基座的支撐柱孔內(nèi)因氣體熱膨脹而導(dǎo)致晶圓支撐柱從基座的支撐柱孔內(nèi)脫出的風(fēng)險(xiǎn)的同時(shí)，又能保證所述晶圓支撐柱有足夠的重量以克服基座的支撐柱孔內(nèi)因氣體熱膨脹而產(chǎn)生的向上的沖力，從而大大降低晶圓支撐柱從基座支撐柱孔內(nèi)脫出的風(fēng)險(xiǎn)。[0015]優(yōu)選的，所述凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的徑向長(zhǎng)度為0.5mm-1mm。其有益效果在于：以確保在工藝過(guò)程中晶圓支撐柱與晶圓之間的靜電力或其他吸附力減至最小，以及保證了使晶圓支撐柱和基座支撐柱孔之間具有空隙的同時(shí)，又不會(huì)使所述凹陷部向內(nèi)凹陷太多，而導(dǎo)致所述晶圓支撐柱的重量減小到其自身的重量不足以克服基座的支撐柱孔內(nèi)因氣體熱膨脹而產(chǎn)生的向上的沖力，從而大大降低了晶圓支撐柱從基座支撐柱孔內(nèi)脫出的風(fēng)險(xiǎn)。[0016]優(yōu)選的，所述凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的最大徑向長(zhǎng)度與所述凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的最小徑向長(zhǎng)度的差值不大于述支撐柱本體的側(cè)壁。其有益效果在于：有利于提升晶圓支撐柱承托晶圓的穩(wěn)定性，確保晶圓不會(huì)傾斜。5[0018]優(yōu)選的，所述支撐柱本體為圓柱形結(jié)構(gòu)和球形結(jié)構(gòu)中的任意一種。[0019]優(yōu)選的，所述支撐柱本體的上端部為半球形結(jié)構(gòu)和錐形結(jié)構(gòu)中的任意一種優(yōu)選的，所述支撐柱本體的底端部為曲面結(jié)構(gòu)和平面結(jié)構(gòu)中的任意一種。[0020]優(yōu)選的，所述支撐柱本體的材料為陶瓷材料、藍(lán)寶石玻璃材料和金屬材料中至少的任意一種。[0021]優(yōu)選的，所述晶圓支撐柱包括上部件、下部件和高度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，所述上部件和所述下部件通過(guò)所述高度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)連接固定。其有益效果在于：以實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)所述晶圓支撐柱的[0022]優(yōu)選的，本發(fā)明的所述晶圓處理設(shè)備，包括設(shè)置于腔體內(nèi)的基座和所述晶圓支撐柱，所述基座上設(shè)有安裝孔結(jié)構(gòu)，所述晶圓支撐柱設(shè)置于所述安裝孔結(jié)構(gòu)。[0023]本發(fā)明的所述晶圓處理設(shè)備的有益效果在于：通過(guò)所述晶圓處理設(shè)備包括設(shè)置于腔體內(nèi)的基座和所述晶圓支撐柱，所述基座上設(shè)有安裝孔結(jié)構(gòu)，所述晶圓支撐柱設(shè)置于所述安裝孔結(jié)構(gòu)，使得減少了晶圓支撐柱從基座的安裝孔結(jié)構(gòu)內(nèi)脫出的風(fēng)險(xiǎn)，以及減少了晶圓支撐柱在基座的安裝孔結(jié)構(gòu)內(nèi)卡死的風(fēng)險(xiǎn)。[0024]優(yōu)選的，所述晶圓處理設(shè)備包括處理模塊和裝卸模塊中的至少一種，所述腔體為所述處理模塊和所述裝卸模塊中的任意一種的腔體。其有益效果在于：應(yīng)用范圍廣，通用性附圖說(shuō)明[0025]圖1為本發(fā)明第一種實(shí)施例的晶圓支撐柱的結(jié)構(gòu)示意圖；[0026]圖2為本發(fā)明第二種實(shí)施例的晶圓支撐柱的主視結(jié)構(gòu)示意圖；[0027]圖3為圖2所示的晶圓支撐柱的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖；[0028]圖4為本發(fā)明第三種實(shí)施例的晶圓支撐柱的主視結(jié)構(gòu)示意圖；[0029]圖5為圖4所示的晶圓支撐柱的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖；[0030]圖6為本發(fā)明第四種實(shí)施例的晶圓支撐柱的結(jié)構(gòu)示意圖；[0031]圖7為本發(fā)明第五種實(shí)施例的晶圓支撐柱的結(jié)構(gòu)示意圖；[0032]圖8為本發(fā)明實(shí)施例的晶圓處理設(shè)備的剖視結(jié)構(gòu)圖。具體實(shí)施方式[0033]為使本發(fā)明實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。除非另外定義，此處使用的技術(shù)術(shù)語(yǔ)或者科學(xué)術(shù)語(yǔ)應(yīng)當(dāng)為本發(fā)明所屬領(lǐng)域內(nèi)具有一般技能的人士所理解的通常意義。本文中使用的“包括”等類(lèi)似的詞語(yǔ)意指出現(xiàn)該詞前面的元件或者物件涵蓋出現(xiàn)在該詞后面列舉的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。[0034]為克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種晶圓支撐柱及晶圓處理設(shè)備，以減少晶圓支撐柱從基座的支撐柱孔內(nèi)脫出的風(fēng)險(xiǎn)，以及減少晶圓支撐柱在基座的支撐柱孔內(nèi)卡死的風(fēng)險(xiǎn)。6[0035]圖1為本發(fā)明第一種實(shí)施例的晶圓支撐柱的結(jié)構(gòu)示意圖。[0036]本發(fā)明一些實(shí)施例中，所述晶圓支撐柱設(shè)置于半導(dǎo)體基座內(nèi)，用于承托晶圓，參考圖1,所述晶圓支撐柱包括支撐柱本體1,所述支撐柱本體1的外表面設(shè)有至少一個(gè)凹陷部2,所述凹陷部2相對(duì)于所述支撐柱本體1的外表面向內(nèi)凹陷，所述凹陷部2設(shè)置于所述支撐柱本體1的側(cè)壁，且所述凹陷部2的頂部21與所述支撐柱本體1的頂端部11相接，所述凹陷部2的底部22與所述支撐柱本體1的底端部12相接。[0037]具體的，通過(guò)所述凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷，所述凹陷部設(shè)置于所述支撐柱本體的側(cè)壁，且所述凹陷部的頂部與所述支撐柱本體的頂端部相接，即減小了所述支撐柱本體的頂端部的面積，從而減小了晶圓支撐柱與晶圓之間的接觸面積，使得在工藝過(guò)程中晶圓支撐柱與晶圓之間的靜電力或其他吸附力減至最小，大大降低晶圓支撐柱從基座的支撐柱孔內(nèi)脫出的風(fēng)險(xiǎn)；通過(guò)所述凹陷部設(shè)置于所述支撐柱本體的側(cè)壁，且所述凹陷部的頂部與所述支撐柱本體的頂端部相接，所述凹陷部的底部與所述支撐柱本體的底端部相接，使得所述支撐柱本體的整個(gè)柱身由頂端部到底端部整體相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷，使得晶圓支撐柱和基座的支撐柱孔之間具有空隙，從而使支撐柱孔內(nèi)的氣體能從該空隙中排出，以減少了基座的支撐柱孔內(nèi)因氣體熱膨脹而導(dǎo)致晶圓支撐柱從基座支撐柱孔內(nèi)脫出的風(fēng)險(xiǎn)，而且晶圓支撐柱和基座的支撐柱孔之間具有空隙，能大大減少晶圓支撐柱在一個(gè)或者多個(gè)工藝循環(huán)后因?yàn)楸∧こ恋?、固體材料熱擴(kuò)散、以及鋁基體材料氟化層增長(zhǎng)而導(dǎo)致的卡死風(fēng)險(xiǎn)。[0038]本發(fā)明一些實(shí)施例中，所述凹陷部的表面為平面和曲面中的任意一種，具體根據(jù)削減工藝設(shè)置。[0039]本發(fā)明一些實(shí)施例中，所述凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的徑向長(zhǎng)度為0.5mm-1mm。以確保在工藝過(guò)程中晶圓支撐柱與晶圓之間的靜電力或其他吸附力減至最小，以及保證了使晶圓支撐柱和基座支撐柱孔之間具有空隙的同時(shí)，又不會(huì)使所述凹陷部向內(nèi)凹陷太多而導(dǎo)致所述晶圓支撐柱的重量減小到其自身的重量不足以克服基座的支撐柱孔內(nèi)因氣體熱膨脹而產(chǎn)生的向上的沖力，從而大大降低了晶圓支撐柱從基座支撐柱孔內(nèi)脫出的風(fēng)險(xiǎn)。而且相對(duì)于采用徑向長(zhǎng)度即直徑直接縮小一定比例的晶圓支撐柱，通過(guò)消減或鑿去部分支撐柱本體的側(cè)壁以形成所述凹陷部的晶圓支撐柱，其自身的重量相對(duì)減小較小，更能避免出現(xiàn)晶圓支撐柱自身的重量不足以克服基座的支撐柱孔內(nèi)因氣體熱膨脹而產(chǎn)生的向上的沖力的現(xiàn)象，從而降低了晶圓支撐柱從基座支撐柱孔內(nèi)脫出的風(fēng)險(xiǎn)。[0040]本發(fā)明實(shí)施例中，所述徑向?yàn)檠厮鲋沃倔w直徑的方向，即垂直于所述支撐柱本體高度的方向，所述凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的徑向長(zhǎng)度為沿徑向的方向所述凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的長(zhǎng)度。[0041]本發(fā)明一些具體實(shí)施例中，參考圖1,所述凹陷部2的表面為平面，且所述凹陷部2相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的徑向長(zhǎng)度處處相等，該徑向長(zhǎng)度的取值范圍為[0042]本發(fā)明一些可能實(shí)施例中，所述凹陷部的表面為平面，且所述凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的徑向長(zhǎng)度處處相等，該徑向長(zhǎng)度的取值范圍為0.6mm-[0043]本發(fā)明另一些可能實(shí)施例中，所述凹陷部的表面為平面，且所述凹陷部相對(duì)于所7述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的徑向長(zhǎng)度處處相等，該徑向長(zhǎng)度的取值為0.7mm、[0044]本發(fā)明一些實(shí)施例中，所述凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的徑向長(zhǎng)度由所述支撐柱本體的頂端部朝所述支撐柱本體的底端部逐漸減小。確保在工藝過(guò)程中晶圓支撐柱與晶圓之間的靜電力或其他吸附力減至最小，且在確保減少基座的支撐柱孔內(nèi)因氣體熱膨脹而導(dǎo)致晶圓支撐柱從基座支撐柱孔內(nèi)脫出的風(fēng)險(xiǎn)的同時(shí)，又能保證所述晶圓支撐柱有足夠的重量以克服基座的支撐柱孔內(nèi)因氣體熱膨脹而產(chǎn)生的向上的沖力，從而大大降低晶圓支撐柱從基座支撐柱孔內(nèi)脫出的風(fēng)險(xiǎn)。[0045]本發(fā)明一些實(shí)施例中，所述凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的最大徑向長(zhǎng)度與所述凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的最小徑向長(zhǎng)度的差值不大于0.5mm。即在所述凹陷部的表面為曲面，或所述凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的徑向長(zhǎng)度由所述支撐柱本體的頂端部朝所述支撐柱本體的底端部逐漸減小或逐漸增大時(shí)，所述凹陷部各處相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的徑向長(zhǎng)度不相同，則所述凹陷部各處相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的徑向長(zhǎng)度的取值范圍為0.5mm-1mm,且所述凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的最大徑向長(zhǎng)度與所述凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的最小徑向長(zhǎng)度的差值不大于[0046]本發(fā)明另一些可能實(shí)施例中，所述凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的最大徑向長(zhǎng)度與所述凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的最小徑向長(zhǎng)[0047]本發(fā)明另一些可能實(shí)施例中，所述凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的最大徑向長(zhǎng)度與所述凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的最小徑向長(zhǎng)[0048]圖2為本發(fā)明第二種實(shí)施例的晶圓支撐柱的主視結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為圖2所示的晶圓支撐柱的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖。[0049]本發(fā)明一些具體實(shí)施例中，參考圖2和圖3,所述凹陷部2相對(duì)于所述支撐柱本體1的外表面向內(nèi)凹陷的徑向長(zhǎng)度由所述支撐柱本體1的頂端部11朝所述支撐柱本體1的底端部12逐漸減小。且所述凹陷部2的表面為曲面，所述凹陷部2各處相對(duì)于所述支撐柱本體1的外表面向內(nèi)凹陷的徑向長(zhǎng)度不相等，所述凹陷部2相對(duì)于所述支撐柱本體1的外表面向內(nèi)凹陷的最小徑向長(zhǎng)度為0.5mm,所述凹陷部2相對(duì)于所述支撐柱本體1的外表面向內(nèi)凹陷的最大徑向長(zhǎng)度為1mm,所述凹陷部2相對(duì)于所述支撐柱本體1的外表面向內(nèi)凹陷的最大徑向長(zhǎng)度與所述凹陷部2相對(duì)于所述支撐柱本體1的外表面向內(nèi)凹陷的最小徑向長(zhǎng)度的差值為[0050]圖4為本發(fā)明第三種實(shí)施例的晶圓支撐柱的主視結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為圖4所示的晶圓支撐柱的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖。[0051]本發(fā)明另一些實(shí)施例中，參考圖4和圖5,所述凹陷部2相對(duì)于所述支撐柱本體1的外表面向內(nèi)凹陷的徑向長(zhǎng)度由所述支撐柱本體1的頂端部11朝所述支撐柱本體1的底端部12逐漸增大。且所述凹陷部2的表面為曲面，所述凹陷部2各處相對(duì)于所述支撐柱本體1的外表面向內(nèi)凹陷的徑向長(zhǎng)度不相等，所述凹陷部2相對(duì)于所述支撐柱本體1的外表面向內(nèi)凹陷8的最小徑向長(zhǎng)度為0.7mm,所述凹陷部2相對(duì)于所述支撐柱本體1的外表面向內(nèi)凹陷的最大徑向長(zhǎng)度為0.95mm,所述凹陷部2相對(duì)于所述支撐柱本體1的外表面向內(nèi)凹陷的最大徑向長(zhǎng)度與所述凹陷部2相對(duì)于所述支撐柱本體1的外表面向內(nèi)凹陷的最小徑向長(zhǎng)度的差值為[0052]本發(fā)明又一些實(shí)施例中，所述凹陷部的表面為平面，且所述凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的徑向長(zhǎng)度由所述支撐柱本體的頂端部朝所述支撐柱本體的底端部逐漸減小或逐漸增大。所述凹陷部各處相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的徑向長(zhǎng)度不相等，所述凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的最大徑向長(zhǎng)度與所述凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的最小徑向長(zhǎng)度的差值不大于[0053]圖6為本發(fā)明第四種實(shí)施例的晶圓支撐柱的結(jié)構(gòu)示意圖。[0054]本發(fā)明一些實(shí)施例中，參考圖6,所述凹陷部(圖中未標(biāo)示)包括第一凹陷部210和第二凹陷部220。所述第一凹陷部210設(shè)置于所述支撐柱本體1的上部，所述第二凹陷部220設(shè)置于所述支撐柱本體1的下部，且所述第一凹陷部210和所述第二凹陷部220通過(guò)臺(tái)階部230相接設(shè)置。所述第一凹陷部210相對(duì)于所述支撐柱本體1的外表面向內(nèi)凹陷的徑向長(zhǎng)度為第一徑向長(zhǎng)度，所述第二凹陷部220相對(duì)于所述支撐柱本體1的外表面向內(nèi)凹陷的徑向長(zhǎng)度為第二徑向長(zhǎng)度，所述第一徑向長(zhǎng)度大于所述第二徑向長(zhǎng)度。[0055]具體的，所述第一凹陷部210的頂部211與所述支撐柱本體1的頂端部11相接，所述第二凹陷部220的底部221與所述支撐柱本體1的底端部12相接。確保在工藝過(guò)程中晶圓支撐柱與晶圓之間的靜電力或其他吸附力減至最小，且在確保減少基座的支撐柱孔內(nèi)因氣體熱膨脹而導(dǎo)致晶圓支撐柱從基座支撐柱孔內(nèi)脫出的風(fēng)險(xiǎn)的同時(shí)，又能保證所述晶圓支撐柱有足夠的重量以克服基座的支撐柱孔內(nèi)因氣體熱膨脹而產(chǎn)生的向上的沖力，從而大大降低晶圓支撐柱從基座支撐柱孔內(nèi)脫出的風(fēng)險(xiǎn)。[0056]本發(fā)明實(shí)施例中，所述第一徑向長(zhǎng)度為沿徑向的方向所述第一凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的最大長(zhǎng)度，所述第二徑向長(zhǎng)度為沿徑向的方向所述第二凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的最大長(zhǎng)度。[0057]具體的，所述第一凹陷部的表面為平面，且所述第一凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的徑向長(zhǎng)度處處相等，為定值，則該定值即為所述第一徑向長(zhǎng)度。所述第一凹陷部的表面為平面，且所述凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的徑向長(zhǎng)度由所述支撐柱本體的頂端部朝所述支撐柱本體的底端部逐漸減小或逐漸增大，或所述第一凹陷部的表面為曲面，則所述第一凹陷部各處相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的長(zhǎng)度不相等，則所述第一徑向長(zhǎng)度為所述第一凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的最大長(zhǎng)度。所述第二徑向長(zhǎng)度的具體定義與所述第一徑向長(zhǎng)度的具體定義相[0058]本發(fā)明一些可能實(shí)施例中，所述第一徑向長(zhǎng)度與所述第二徑向長(zhǎng)度的差值為0.2mm-1mm。確保在工藝過(guò)程中晶圓支撐柱與晶圓之間的靜電力或其他吸附力減至最小，且在確保減少基座的支撐柱孔內(nèi)因氣體熱膨脹而導(dǎo)致晶圓支撐柱從基座的支撐柱孔內(nèi)脫出的風(fēng)險(xiǎn)的同時(shí)，又能保證所述晶圓支撐柱有足夠的重量以克服基座的支撐柱孔內(nèi)因氣體熱膨脹而產(chǎn)生的向上的沖力，從而大大降低晶圓支撐柱從基座支撐柱孔內(nèi)脫出的風(fēng)險(xiǎn)。9[0059]本發(fā)明另一些可能實(shí)施例中，所述第一徑向長(zhǎng)度與所述第二徑向長(zhǎng)度的差值為[0060]本發(fā)明又一些可能實(shí)施例中，所述第一徑向長(zhǎng)度與所述第二徑向長(zhǎng)度的差值為[0061]本發(fā)明一些具體的實(shí)施例中，參考圖6,所述第一凹陷部210的表面和所述第二凹陷部220的表面均為平面，所述第一凹陷部210的所述第一徑向長(zhǎng)度與所述第二凹陷部220的所述第二徑向長(zhǎng)度的差值為0.2-1mm。[0062]本發(fā)明另一些具體實(shí)施例中，所述第一凹陷部的表面和所述第二凹陷部的表面均為曲面，所述第一凹陷部的所述第一徑向長(zhǎng)度與所述第二凹陷部的所述第二徑向長(zhǎng)度的差值為0.2-1mm。即所述第一凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的最大徑向長(zhǎng)度與所述第二凹陷部相對(duì)于所述支撐柱本體的外表面向內(nèi)凹陷的最大徑向長(zhǎng)度的差值為[0063]本發(fā)明一些實(shí)施例中，所述凹陷部設(shè)有N個(gè)，所述N為2或2的倍數(shù)，所述凹對(duì)稱(chēng)設(shè)置于所述支撐柱本體的側(cè)壁，有利于提升晶圓支撐柱承托晶圓的穩(wěn)定性，確保晶圓不會(huì)傾斜。[0064]圖7為本發(fā)明第五種實(shí)施例的晶圓支撐柱的結(jié)構(gòu)示意圖。[0065]本發(fā)明一些具體實(shí)施例中，參考圖2-圖5和圖7,所述凹陷部2設(shè)有2個(gè)，且所述凹陷部2對(duì)稱(chēng)設(shè)置于所述支撐柱本體1的側(cè)壁，有利于提升晶圓支撐柱承托晶圓的穩(wěn)定性，確保晶圓不會(huì)傾斜。[0066]本發(fā)明一些實(shí)施例中，所述支撐柱本體為圓柱形結(jié)構(gòu)和球形結(jié)構(gòu)中的任意一種。[0067]本發(fā)明一些實(shí)施例中，所述支撐柱本體的上端部為半球形結(jié)構(gòu)和錐形結(jié)構(gòu)中的任意一種。[0068]本發(fā)明實(shí)施例中，所述上端部為所述晶圓支撐柱承托晶圓的端部。[0069]本發(fā)明一些實(shí)施例中，所述支撐柱本體的底端部為曲面結(jié)構(gòu)和平面結(jié)構(gòu)中的任意一種。[0070]本發(fā)明一些具體實(shí)施例中，參考圖1-圖5,所述支撐柱本體1的上端部為半球形結(jié)[0071]本發(fā)明另一些具體實(shí)施例中，參考圖6,所述支撐柱本體1的上端部為半球形結(jié)構(gòu)，所述，所述支撐柱本體1的底端部為曲面結(jié)構(gòu)。[0072]本發(fā)明又一些具體實(shí)施例中，參考圖7,所述支撐柱本體1的上端部為半球形結(jié)構(gòu)，所述支撐柱本體1的底端部為平面結(jié)構(gòu)，且所述支撐柱本體1的底端部的邊緣還設(shè)有凸起部[0073]本發(fā)明另一些可能實(shí)施例中，所述支撐柱本體設(shè)有排氣孔，所述排氣孔沿所述支撐柱本體的軸向方向貫穿所述支撐柱本體，即所述排氣孔所述支撐柱本體的頂端部到所述支撐柱本體的底端部貫穿設(shè)置，使得孔內(nèi)憋住的氣體可以通過(guò)所述排氣孔排出。所述軸向?yàn)榇怪庇谒鰪较虻姆较?。[0074]本發(fā)明一些實(shí)施例中，所述支撐柱本體的材料為陶瓷材料、藍(lán)寶石玻璃材料和金屬材料中的至少一種。[0075]本發(fā)明一些具體實(shí)施例中，所述支撐柱本體的材料為藍(lán)寶石玻璃材，藍(lán)寶石玻璃(SAPPHIRECRYSTAL)一般是指人工合成的藍(lán)寶石，主要成分是氧化鋁(Al203),其具有良好的抗磨損性，在實(shí)驗(yàn)室里可以很容易和便宜地生產(chǎn)出寶石級(jí)的藍(lán)寶石，其化學(xué)成分和物理性質(zhì)與天然藍(lán)寶石相同。[0076]本發(fā)明另一些具體實(shí)施例中，所述支撐柱本體的材料為金屬合金材料，如鎢鈦合[0077]本發(fā)明又一些具體實(shí)施例中，所述支撐柱本體的材料為陶瓷材料和金屬材料，即采用金屬材料制作所述金屬基體，再在所述金屬基體的外表面噴涂陶瓷涂層，通過(guò)金屬材料制成的所述金屬基體導(dǎo)電性好，可以有效地轉(zhuǎn)移走靜電，而且金屬基體易加工，成型性層可以重復(fù)加工，頂部承托晶圓