2025年半導(dǎo)體廠風(fēng)險管控安全試題庫及答案一、單項選擇題（共20題，每題2分，共40分）1.半導(dǎo)體廠潔凈室（Class1000）內(nèi)，人員進入前必須完成的核心防護步驟是？A.佩戴普通口罩B.穿戴全套潔凈服（包括頭罩、鞋套、手套）C.噴灑酒精消毒D.檢查手機是否關(guān)機答案：B2.半導(dǎo)體制造中常用的特種氣體（如NF3、SiH4）存儲時，氣瓶與明火的安全距離應(yīng)不小于？A.2米B.5米C.8米D.10米答案：D（依據(jù)GB16912-2021《深度冷凍法生產(chǎn)氧氣及相關(guān)氣體安全技術(shù)規(guī)程》）3.光刻工藝中使用的顯影液（主要成分為TMAH）屬于哪類危險化學(xué)品？A.易燃液體B.腐蝕性物質(zhì)C.氧化性物質(zhì)D.毒性物質(zhì)答案：B（TMAH為強堿性，對皮膚、黏膜有強腐蝕性）4.半導(dǎo)體廠超純水（UPW）系統(tǒng)的管道材質(zhì)應(yīng)優(yōu)先選用？A.普通PVCB.316L不銹鋼（拋光內(nèi)壁）C.鍍鋅鋼管D.銅質(zhì)管道答案：B（需滿足低溶出、耐腐蝕、無生物污染要求）5.潔凈室壓差控制中，核心工藝區(qū)（如光刻間）與相鄰輔助區(qū)的壓差應(yīng)保持？A.正壓5-10PaB.正壓15-20PaC.負(fù)壓5-10PaD.無壓差要求答案：B（防止外部污染物侵入核心區(qū)）6.半導(dǎo)體設(shè)備（如PECVD）維護時，必須執(zhí)行的“上鎖掛牌”（LOTO）流程中，最后一步是？A.驗證設(shè)備已斷電B.由授權(quán)人員上鎖C.移除鎖具并測試設(shè)備D.填寫LOTO記錄表答案：C（確認(rèn)設(shè)備恢復(fù)安全狀態(tài)）7.半導(dǎo)體廠廢氣處理系統(tǒng)（Scrubber）的報警觸發(fā)條件通常不包括？A.排氣流量低于閾值B.洗滌液pH值異常C.設(shè)備運行時間累計D.排放口污染物濃度超標(biāo)答案：C（運行時間非直接安全觸發(fā)條件）8.靜電防護（ESD）區(qū)域內(nèi)，操作人員必須佩戴的基本防護裝備是？A.防砸鞋B.腕帶（接地）C.護目鏡D.防塵口罩答案：B（通過接地釋放人體靜電）9.半導(dǎo)體廠使用的氫氟酸（HF）泄漏時，應(yīng)急處理人員需佩戴的最高級別防護裝備是？A.半面罩防毒面具B.正壓式空氣呼吸器+防化服（A級）C.普通橡膠手套D.護目鏡+普通工作服答案：B（HF高毒且腐蝕性強，需全封閉防護）10.潔凈室火災(zāi)報警系統(tǒng)中，煙霧探測器的安裝間距應(yīng)不大于？A.3米B.5米C.8米D.10米答案：C（依據(jù)GB50116-2013《火災(zāi)自動報警系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》）11.半導(dǎo)體制造用特種氣體鋼瓶的檢驗周期為？A.每1年B.每3年C.每5年D.每10年答案：B（高壓氣體鋼瓶需定期檢驗，NF3等腐蝕性氣體為3年）12.化學(xué)機械拋光（CMP）工藝中，研磨液（含二氧化硅顆粒）的主要安全風(fēng)險是？A.易燃爆B.吸入性粉塵危害C.放射性D.低溫凍傷答案：B（懸浮顆?？蓪?dǎo)致呼吸道損傷）13.潔凈室空調(diào)系統(tǒng)（HVAC）的高效過濾器（HEPA）更換后，必須進行的檢測是？A.風(fēng)速均勻性測試B.過濾效率驗證（DOP測試）C.溫濕度校準(zhǔn)D.噪音檢測答案：B（確保過濾效率符合Class要求）14.半導(dǎo)體廠廢水處理站中，含氟廢水（來自刻蝕工藝）的處理核心步驟是？A.中和沉淀（添加Ca(OH)2）B.活性炭吸附C.膜過濾D.臭氧氧化答案：A（氟離子與鈣離子反應(yīng)生成CaF2沉淀）15.電子束曝光機（EBL）運行時，主要的輻射防護措施是？A.屏蔽鉛板+劑量監(jiān)測B.佩戴防輻射手套C.定期通風(fēng)D.增加照明亮度答案：A（電子束需通過鉛屏蔽降低外照射劑量）16.半導(dǎo)體設(shè)備維修時，若需進入有限空間（如反應(yīng)腔室），必須執(zhí)行的程序是？A.直接進入并佩戴普通口罩B.氣體檢測（O2、有毒氣體）+持續(xù)通風(fēng)+監(jiān)護人在場C.關(guān)閉設(shè)備電源即可D.僅佩戴護目鏡答案：B（符合GB30871-2022《危險化學(xué)品企業(yè)特殊作業(yè)安全規(guī)范》）17.潔凈室人員著裝中，鞋套的材質(zhì)應(yīng)優(yōu)先選用？A.普通布質(zhì)B.防靜電PVCC.橡膠D.紙質(zhì)答案：B（防止靜電積累及顆粒脫落）18.半導(dǎo)體廠氫氣（H2）管道的連接方式應(yīng)采用？A.螺紋連接B.法蘭連接（帶金屬墊片）C.卡套連接（無泄漏設(shè)計）D.普通焊接答案：C（氫氣易泄漏，需無明火、高密封性連接）19.光刻膠（主要成分為樹脂+溶劑）的存儲溫度應(yīng)控制在？A.0-5℃B.15-25℃C.30-35℃D.40℃以上答案：B（高溫會加速光刻膠聚合失效，低溫可能結(jié)晶）20.半導(dǎo)體廠應(yīng)急演練中，化學(xué)品泄漏的黃金響應(yīng)時間（從發(fā)現(xiàn)到初步控制）應(yīng)不超過？A.2分鐘B.5分鐘C.10分鐘D.15分鐘答案：B（避免擴散導(dǎo)致更大危害）二、多項選擇題（共15題，每題3分，共45分，每題至少2個正確選項）1.半導(dǎo)體廠危險化學(xué)品管理的“五雙制度”包括？A.雙人驗收B.雙人保管C.雙把鎖D.雙本賬E.雙人使用答案：ABCD（“五雙”指雙人驗收、雙人保管、雙把鎖、雙本賬、雙人發(fā)貨）2.潔凈室安全操作規(guī)范包括？A.禁止在潔凈室內(nèi)飲食B.快速行走以提高效率C.手套接觸非潔凈物品后需更換D.潔凈服破損時繼續(xù)使用E.退出潔凈室時按規(guī)定脫除防護裝備答案：ACE（快速行走會產(chǎn)生顆粒，破損潔凈服需立即更換）3.半導(dǎo)體設(shè)備電氣安全的關(guān)鍵措施有？A.接地保護（PE線）B.絕緣電阻測試（≥1MΩ）C.未培訓(xùn)人員可操作簡單設(shè)備D.設(shè)備外殼帶電時繼續(xù)使用E.定期校驗漏電保護器（RCD）答案：ABE（未經(jīng)培訓(xùn)人員禁止操作，外殼帶電需停機檢修）4.特種氣體（如SiH4）鋼瓶的安全標(biāo)識應(yīng)包含？A.氣體名稱（中文+分子式）B.危險特性（如易燃、有毒）C.充裝日期D.上次檢驗日期E.操作人員姓名答案：ABCD（操作人員姓名非強制標(biāo)識內(nèi)容）5.半導(dǎo)體廠火災(zāi)隱患排查的重點區(qū)域包括？A.化學(xué)品倉庫B.氣體柜區(qū)域C.配電間D.員工休息室E.純水制備間答案：ABCDE（所有區(qū)域均需排查，重點為高風(fēng)險區(qū)域）6.靜電防護（ESD）的技術(shù)措施包括？A.地面鋪設(shè)防靜電材料（表面電阻10^6-10^9Ω）B.設(shè)備接地（接地電阻≤10Ω）C.環(huán)境濕度控制在30%-70%RHD.使用普通塑料托盤存放晶圓E.操作人員佩戴防靜電腕帶（接地）答案：ABCE（普通塑料易積累靜電，需使用防靜電托盤）7.半導(dǎo)體廠廢水處理的環(huán)保要求包括？A.總砷（As）≤0.1mg/LB.總氟（F）≤10mg/LC.pH值6-9D.化學(xué)需氧量（COD）≤500mg/LE.懸浮物（SS）≤30mg/L答案：ABCDE（符合GB8978-1996《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》）8.潔凈室溫濕度控制的意義是？A.防止光刻膠因濕度變化發(fā)生溶脹B.避免設(shè)備因溫度波動導(dǎo)致精度下降C.減少人員因高溫不適引發(fā)的操作失誤D.抑制微生物繁殖E.降低靜電產(chǎn)生概率答案：ABCDE（溫濕度影響工藝、設(shè)備、人員及環(huán)境潔凈度）9.半導(dǎo)體設(shè)備維護時的安全注意事項包括？A.關(guān)閉設(shè)備電源并確認(rèn)B.釋放設(shè)備內(nèi)殘留壓力/氣體C.直接用手觸摸高溫部件（如加熱盤）D.使用專用工具拆卸E.維修后恢復(fù)安全防護裝置（如防護罩）答案：ABDE（高溫部件需冷卻后操作）10.化學(xué)品MSDS（安全技術(shù)說明書）應(yīng)包含的內(nèi)容有？A.急救措施B.泄漏應(yīng)急處理C.物理化學(xué)性質(zhì)D.生產(chǎn)企業(yè)聯(lián)系方式E.運輸信息答案：ABCDE（符合GB/T16483-2008《化學(xué)品安全技術(shù)說明書內(nèi)容和項目順序》）11.半導(dǎo)體廠氣體泄漏的檢測方法包括？A.便攜式氣體檢測儀（電化學(xué)/紅外原理）B.嗅覺感知（僅適用于有氣味氣體）C.皂液檢漏（觀察氣泡）D.激光遙測儀（遠(yuǎn)距離檢測）E.肉眼觀察（僅適用于可見氣體）答案：ACD（嗅覺和肉眼不可靠，需儀器檢測）12.潔凈室人員行為規(guī)范禁止的動作有？A.用手觸摸口罩外側(cè)后觸碰潔凈表面B.劇烈咳嗽/打噴嚏時不遮擋C.攜帶非潔凈物品（如普通紙張）進入D.按規(guī)定路線進出（一更→二更→風(fēng)淋）E.脫潔凈服時將內(nèi)表面朝外折疊答案：ABC（D、E為正確操作）13.半導(dǎo)體廠應(yīng)急物資的配備要求包括？A.洗眼器/沖淋裝置（距危險區(qū)域≤15米）B.正壓式空氣呼吸器（數(shù)量≥崗位人數(shù)的1.5倍）C.滅火器材（ABC類干粉滅火器）每50㎡至少1具D.應(yīng)急照明（斷電后持續(xù)≥30分鐘）E.個人防護裝備（PPE）定期校驗/更換答案：ABCDE（符合GB50493-2019《石油化工可燃?xì)怏w和有毒氣體檢測報警設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)》）14.半導(dǎo)體制造中射線裝置（如X射線檢測儀）的安全管理要點是？A.劃定控制區(qū)（黃線）和監(jiān)督區(qū)（綠線）B.操作人員佩戴個人劑量計（TLD）C.設(shè)備運行時無關(guān)人員可進入D.定期檢測周圍環(huán)境劑量率（≤2.5μSv/h）E.建立射線裝置臺賬（含編號、使用記錄）答案：ABDE（設(shè)備運行時控制區(qū)禁止無關(guān)人員進入）15.半導(dǎo)體廠安全培訓(xùn)的重點內(nèi)容包括？A.崗位風(fēng)險辨識與控制B.應(yīng)急處置流程（如泄漏、火災(zāi)）C.安全操作規(guī)程（SOP）D.事故案例分析E.安全法律法規(guī)（如《安全生產(chǎn)法》）答案：ABCDE（需覆蓋知識、技能、意識三方面）三、判斷題（共15題，每題1分，共15分，正確填“√”，錯誤填“×”）1.半導(dǎo)體廠潔凈室的新風(fēng)量只需滿足人員呼吸需求，無需考慮污染物稀釋。（×）（需同時滿足人員需求與污染物稀釋，參考GB50073-2013）2.特種氣體鋼瓶使用完畢后，應(yīng)保留瓶內(nèi)余壓（≥0.05MPa），防止空氣倒灌。（√）3.潔凈室內(nèi)可以使用普通記號筆標(biāo)注物料，因為墨水顆粒不會脫落。（×）（需使用潔凈室專用記號筆，避免顆粒污染）4.半導(dǎo)體設(shè)備的聯(lián)鎖裝置（如門開關(guān)與電源聯(lián)鎖）可以臨時短接，以便快速維修。（×）（聯(lián)鎖裝置是安全屏障，禁止短接）5.超純水系統(tǒng)的電導(dǎo)率越低越好，因此無需控制微生物指標(biāo)。（×）（微生物繁殖會導(dǎo)致離子污染，需定期消毒）6.化學(xué)品倉庫內(nèi)可以設(shè)置辦公室，方便管理人員值守。（×）（危險化學(xué)品倉庫禁止設(shè)置辦公、居住場所）7.靜電防護區(qū)域（EPA）內(nèi)的設(shè)備可以不接地，只要操作人員佩戴腕帶即可。（×）（設(shè)備必須接地，形成等電位環(huán)境）8.潔凈室風(fēng)淋室的吹淋時間應(yīng)≥30秒，以確保去除人員表面顆粒。（√）9.半導(dǎo)體廠廢水處理站的操作人員可以不佩戴防護裝備，因為廢水已中和。（×）（廢水可能含殘留酸堿或有毒物質(zhì)，需佩戴PPE）10.特種氣體管道的顏色標(biāo)識中，氫氣（H2）為深綠色，氮氣（N2）為黑色。（√）（依據(jù)GB7231-2003《工業(yè)管道的基本識別色、識別符號和安全標(biāo)識》）11.光刻工藝中使用的紫外燈（UV）屬于非電離輻射，無需防護。（×）（UV可導(dǎo)致皮膚/眼睛灼傷，需佩戴防紫外線護目鏡）12.半導(dǎo)體設(shè)備維護時，若發(fā)現(xiàn)工具缺失，可以臨時用其他工具替代（如用螺絲刀代替扳手）。（×）（專用工具不可替代，防止損壞設(shè)備或引發(fā)事故）13.潔凈室壓差表顯示負(fù)值（核心區(qū)壓力低于輔助區(qū)）時，應(yīng)立即檢查空調(diào)系統(tǒng)或密封情況。（√）14.危險化學(xué)品的廢棄可以直接排入廢水系統(tǒng)，只要濃度低于排放標(biāo)準(zhǔn)。（×）（需分類收集，交有資質(zhì)單位處理）15.半導(dǎo)體廠應(yīng)急演練后無需總結(jié)，只要完成演練即可。（×）（需總結(jié)問題，修訂預(yù)案）四、簡答題（共10題，每題5分，共50分）1.簡述半導(dǎo)體廠潔凈室“人員動線”設(shè)計的基本原則。答案：①單向流動（從低潔凈區(qū)到高潔凈區(qū)）；②避免交叉（操作人員與物料分開）；③設(shè)置緩沖區(qū)域（如風(fēng)淋室、傳遞窗）；④明確標(biāo)識（如“人員入口”“物料出口”）；⑤限制停留時間（減少顆粒產(chǎn)生）。2.列舉半導(dǎo)體廠特種氣體（如NF3）鋼瓶的5項安全檢查內(nèi)容。答案：①鋼瓶外觀無凹陷、腐蝕；②閥門無泄漏（皂液測試）；③安全標(biāo)簽完整（含氣體名稱、危險特性）；④檢驗標(biāo)識在有效期內(nèi)（每3年）；⑤防震圈、安全帽齊全；⑥與其他氣體（如O2）分開放置（間距≥5米）。（任意5項）3.說明半導(dǎo)體設(shè)備“上鎖掛牌”（LOTO）流程的關(guān)鍵步驟。答案：①識別能源（電氣、氣動、液壓等）；②關(guān)閉能源（切斷電源、關(guān)閉閥門）；③鎖定能源隔離裝置（掛個人鎖）；④驗證設(shè)備已停止運行（嘗試啟動）；⑤釋放殘留能量（泄壓、放電）；⑥維修完成后由上鎖人員解鎖；⑦測試設(shè)備功能正常。4.半導(dǎo)體廠化學(xué)品泄漏的應(yīng)急處置步驟有哪些？答案：①立即疏散無關(guān)人員（向上風(fēng)方向撤離）；②啟動報警（觸發(fā)區(qū)域警報或通知控制室）；③佩戴合適PPE（如防化服+空氣呼吸器）；④控制泄漏源（關(guān)閉閥門、封堵容器）；⑤圍堵泄漏物（使用吸收棉、沙堆）；⑥中和/收集污染物（按MSDS要求處理）；⑦報告上級及EHS部門；⑧記錄事故經(jīng)過并分析原因。5.簡述潔凈室高效過濾器（HEPA）的更換標(biāo)準(zhǔn)及注意事項。答案：更換標(biāo)準(zhǔn)：①壓差超過初始值的2倍；②破損或泄漏（DOP測試通過率＜99.97%）；③使用時間超過2年（視環(huán)境而定）。注意事項：①更換前關(guān)閉空調(diào)系統(tǒng)并通風(fēng)；②佩戴防塵口罩+手套；③舊過濾器密封后按危險廢物處理；④更換后進行檢漏測試；⑤記錄更換時間及過濾器參數(shù)。6.半導(dǎo)體廠靜電防護（ESD）的“三維防護體系”包括哪些內(nèi)容？答案：①環(huán)境控制（防靜電地面、濕度30-70%RH）；②人員防護（腕帶、腳環(huán)、潔凈服）；③設(shè)備/物料防護（接地、防靜電包裝、離子風(fēng)機）；④管理措施（定期檢測、培訓(xùn)、標(biāo)識）。7.說明半導(dǎo)體制造用超純水（UPW）的主要安全風(fēng)險及控制措施。答案：風(fēng)險：①管道內(nèi)細(xì)菌滋生（導(dǎo)致離子污染）；②高壓管道泄漏（水錘效應(yīng)損壞設(shè)備）；③反滲透（RO）膜破裂導(dǎo)致雜質(zhì)進入。控制措施：①定期消毒（臭氧/紫外線）；②安裝壓力傳感器及泄壓閥；③在線監(jiān)測電導(dǎo)率（≤0.055μS/cm）；④備用RO膜組件；⑤管道材質(zhì)選用316L不銹鋼（拋光內(nèi)壁）。8.列舉半導(dǎo)體廠氣體柜的5項安全設(shè)計要求。答案：①獨立通風(fēng)（換氣次數(shù)≥12次/小時）；②泄漏檢測（安裝氣體傳感器）；③防爆設(shè)計（電氣設(shè)備ExdIIBT3）；④緊急切斷閥（遠(yuǎn)程/現(xiàn)場控制）；⑤防火隔墻（耐火極限≥2小時）；⑥靜電接地（接地電阻≤10Ω）；⑦標(biāo)識清晰（“危險氣體”“禁止煙火”）。（任意5項）9.半導(dǎo)體廠火災(zāi)的主要類型及對應(yīng)的滅火器材選擇。答案：①電氣火災(zāi)（E類）：使用二氧化碳滅火器（無殘留）或干粉滅火器；②化學(xué)品火災(zāi)（B類，如有機溶劑）：使用泡沫滅火器或干粉滅火器；③金屬火災(zāi)（D類，如鎂粉）：使用專用D類滅火器（氯化鈉基）；④普通固體火災(zāi)（A類，如紙張）：使用水基滅火器或ABC干粉滅火器。10.簡述半導(dǎo)體廠新員工三級安全教育的內(nèi)容及要求。答案：三級教育包括：①公司級（廠級）：安全生產(chǎn)法律法規(guī)、廠級風(fēng)險（如化學(xué)品、氣體）、應(yīng)急逃生路線；②車間級（部門級）：車間工藝特點、設(shè)備安全操作、本車間事故案例；③班組級（崗位級）：崗位SOP、工具使用、應(yīng)急處置（如泄漏、觸電）。要求：培訓(xùn)時間≥72學(xué)時（高危崗位≥96學(xué)時），考核合格后方可上崗，建立培訓(xùn)檔案。五、案例分析題（共5題，每題10分，共50分）案例1：某半導(dǎo)體廠光刻車間，操作人員在更換顯影液（TMAH）時，未佩戴防化手套，導(dǎo)致手背接觸液體后出現(xiàn)紅腫疼痛。問題：（1）分析事故直接原因與間接原因；（2）提出改進措施。答案：（1）直接原因：操作人員未按規(guī)定佩戴防化手套（PPE缺失）；間接原因：安全培訓(xùn)不到位（未強調(diào)TMAH腐蝕性）、現(xiàn)場監(jiān)督缺失（無人制止違規(guī)操作）。（2）改進措施：①強制要求更換化學(xué)品時佩戴防化手套（丁腈或氟橡膠材質(zhì)）；②增加TMAH危害培訓(xùn)（含應(yīng)急處置：立即用大量水沖洗15分鐘，就醫(yī)）；③安裝視頻監(jiān)控或設(shè)置監(jiān)護人監(jiān)督PPE穿戴；④在化學(xué)品存放點張貼警示標(biāo)識（“腐蝕性，需佩戴手套”）。案例2：某半導(dǎo)體廠氣體柜區(qū)域，巡檢人員發(fā)現(xiàn)硅烷（SiH4）鋼瓶接口處有白色粉末（推測為SiH4水解產(chǎn)物），同時便攜式檢測儀顯示濃度5ppm（閾值為1ppm）。問題：（1）判斷風(fēng)險等級（高/中/低）；（2）寫出應(yīng)急處置流程。答案：（1）風(fēng)險等級：高（SiH4為自燃?xì)怏w，濃度超標(biāo)5倍，存在爆炸風(fēng)險）。（2）處置流程：①立即疏散氣體柜周邊30米內(nèi)人員（向上風(fēng)方向）；②啟動氣體柜緊急切斷閥（關(guān)閉鋼瓶閥門）；③佩戴正壓式空氣呼吸器+防化服進入現(xiàn)場；④用氮氣吹掃泄漏點（降低濃度）；⑤使用皂液確認(rèn)泄漏位置（接口密封墊損壞）；⑥更換密封墊并再次檢漏；⑦通知EHS部門及氣體供應(yīng)商；⑧記錄泄漏量、處理過程及改進措施（如定期更換密封墊）。案例3：某半導(dǎo)體廠潔凈室，操作人員在搬運晶圓時，因潔凈服袖口破損，導(dǎo)致手臂接觸晶圓表面，最終該批次晶圓因顆粒污染報廢。