2025年半導(dǎo)體廠隱患排查安全試題庫及答案一、單項選擇題（每題2分，共30題）1.半導(dǎo)體廠潔凈室內(nèi)使用的異丙醇（IPA）屬于哪類危險化學(xué)品？A.易燃液體（閃點＜60℃）B.腐蝕品（pH≤2或≥12.5）C.氧化劑（能引發(fā)燃燒）D.毒性物質(zhì)（LD50≤500mg/kg）答案：A（IPA閃點約12℃，屬于甲類易燃液體）2.特氣柜（GASCABINET）內(nèi)氫氣（H?）鋼瓶與氯氣（Cl?）鋼瓶的最小間距應(yīng)不小于？A.0.5米B.1米C.1.5米D.2米答案：C（依據(jù)《半導(dǎo)體工廠特氣系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB51350-2019，不相容氣體存儲間距≥1.5米）3.潔凈室靜電防護區(qū)域（EPA）內(nèi)，工作臺面接地電阻應(yīng)控制在？A.≤103ΩB.≤10?ΩC.≤10?ΩD.≤1012Ω答案：B（ESD防護要求工作臺面接地電阻10?-10?Ω，但半導(dǎo)體精密器件要求更嚴格，取≤10?Ω）4.光刻機維護時，設(shè)備頂部高壓模塊（6kV）的安全操作距離應(yīng)保持？A.0.3米B.0.5米C.1米D.1.5米答案：C（根據(jù)《電氣安全工作規(guī)程》，6kV設(shè)備的安全距離為1米）5.酸性蝕刻液（主要成分為HNO?+HF）泄漏時，現(xiàn)場應(yīng)急處置首先應(yīng)？A.用大量清水沖洗B.穿戴防酸堿手套和護目鏡C.啟動通風系統(tǒng)D.用生石灰中和答案：B（優(yōu)先保護人員安全，穿戴PPE后再處置）6.廢氣處理系統(tǒng)（Scrubber）運行中，氫氣燃燒式處理單元的溫度監(jiān)控閾值應(yīng)為？A.400-600℃B.600-800℃C.800-1000℃D.1000-1200℃答案：B（氫氣燃燒最佳溫度區(qū)間為600-800℃，低于易不完全燃燒，高于易損壞設(shè)備）7.潔凈室人員進入風淋室時，應(yīng)保持的最小間距是？A.0.3米B.0.5米C.1米D.無明確要求答案：B（防止交叉污染，風淋室單次進入人員間距≥0.5米）8.液氮（LN?）儲罐的液位計顯示低于10%時，應(yīng)？A.繼續(xù)使用至5%B.立即聯(lián)系供應(yīng)商充裝C.關(guān)閉所有用氣點D.啟動備用儲罐切換答案：B（液氮儲罐剩余10%時需提前充裝，避免斷供導(dǎo)致工藝中斷）9.化學(xué)機械拋光（CMP）設(shè)備的研磨液（含納米級SiO?顆粒）泄漏后，地面清理時禁止使用？A.吸塵器B.濕拖布C.干抹布D.高壓水槍答案：A（納米顆粒易堵塞吸塵器濾網(wǎng)，引發(fā)設(shè)備故障）10.特氣系統(tǒng)管道吹掃時，應(yīng)使用的氣體是？A.壓縮空氣B.氮氣（N?）C.氬氣（Ar）D.氫氣（H?）答案：B（氮氣為惰性氣體，成本低且無反應(yīng)風險）11.潔凈室更衣室的潔凈服更換區(qū)與普通區(qū)之間應(yīng)設(shè)置？A.緩沖間B.風淋室C.傳遞窗D.壓差計答案：A（緩沖間用于隔離不同潔凈等級區(qū)域）12.配電房內(nèi)高壓柜（10kV）的操作工具應(yīng)定期檢測，檢測周期為？A.3個月B.6個月C.1年D.2年答案：B（高壓絕緣工具檢測周期為6個月）13.氫氟酸（HF）儲存柜的材質(zhì)應(yīng)為？A.304不銹鋼B.聚四氟乙烯（PTFE）C.鍍鋅鋼板D.鋁合金答案：B（HF腐蝕金屬，需用耐腐塑料材質(zhì)）14.潔凈室空調(diào)系統(tǒng)（HVAC）的高效過濾器（HEPA）壓差超過多少時需更換？A.初始壓差的1.5倍B.初始壓差的2倍C.初始壓差的2.5倍D.初始壓差的3倍答案：B（超過2倍時阻力過大，影響風量）15.設(shè)備維修時執(zhí)行“上鎖掛牌”（LOTO）程序，掛鎖鑰匙應(yīng)由誰保管？A.維修組長B.設(shè)備操作員C.維修人員本人D.安全管理員答案：C（確保只有本人能解鎖，防止誤啟動）16.硅烷（SiH?）鋼瓶的最高允許溫度是？A.30℃B.40℃C.50℃D.60℃答案：B（硅烷鋼瓶設(shè)計溫度≤40℃，超溫易分解）17.潔凈室地板的靜電耗散性能應(yīng)滿足表面電阻？A.103-10?ΩB.10?-10?ΩC.10?-1012ΩD.≥1012Ω答案：B（靜電耗散材料表面電阻10?-10?Ω，兼顧導(dǎo)靜電和防擊穿）18.廢水處理站的酸堿中和池pH值應(yīng)控制在？A.5-6B.6-9C.9-10D.無固定要求答案：B（達標排放pH需6-9）19.氣體探測器（如H?、Cl?）的校準周期為？A.1個月B.3個月C.6個月D.1年答案：C（氣體探測器需每6個月校準一次）20.潔凈室人員佩戴的丁腈手套破損后，應(yīng)？A.用膠帶臨時粘貼B.立即更換并丟棄C.繼續(xù)使用至作業(yè)完成D.涂抹密封膠答案：B（破損手套失去防護作用，需立即更換）21.光刻機的激光源（如ArF準分子激光）屬于哪類輻射？A.α射線B.β射線C.紫外線D.X射線答案：C（ArF激光波長193nm，屬于深紫外線）22.特氣管道的保壓測試壓力應(yīng)為工作壓力的？A.1.1倍B.1.25倍C.1.5倍D.2倍答案：B（管道保壓測試壓力為工作壓力的1.25倍）23.潔凈室應(yīng)急照明的連續(xù)供電時間應(yīng)≥？A.15分鐘B.30分鐘C.45分鐘D.60分鐘答案：B（應(yīng)急照明需滿足30分鐘疏散需求）24.液氮管道的絕熱層破損后，可能導(dǎo)致？A.管道內(nèi)壓力升高B.液氮純度下降C.管道外結(jié)霜D.以上都是答案：D（絕熱層破損會導(dǎo)致熱量侵入，引起壓力升高、結(jié)霜，可能污染液氮）25.化學(xué)品倉庫的溫濕度監(jiān)控要求為？A.溫度≤30℃，濕度≤75%B.溫度≤25℃，濕度≤60%C.溫度≤35℃，濕度≤80%D.無固定要求答案：A（多數(shù)化學(xué)品需溫度≤30℃，濕度≤75%儲存）26.設(shè)備冷卻水（DI水）系統(tǒng)的電導(dǎo)率應(yīng)控制在？A.≤1μS/cmB.≤10μS/cmC.≤100μS/cmD.≤1000μS/cm答案：B（高純度DI水電導(dǎo)率≤10μS/cm，防止設(shè)備結(jié)垢）27.潔凈室滅火器的配置間距（A類火災(zāi)）應(yīng)為？A.≤10米B.≤15米C.≤20米D.≤25米答案：C（潔凈室為中危險級，A類滅火器間距≤20米）28.氫氣泄漏檢測探頭應(yīng)安裝在設(shè)備的？A.頂部（氫氣密度?。〣.中部（平均高度）C.底部（防止沉積）D.任意位置答案：A（氫氣密度小于空氣，泄漏后向上聚集）29.危險化學(xué)品的MSDS（安全技術(shù)說明書）應(yīng)保存在？A.員工個人儲物柜B.車間公告欄C.化學(xué)品存放點附近D.安全辦公室答案：C（方便作業(yè)人員隨時查閱）30.潔凈室人員進入前需進行的靜電檢測項目是？A.手腕帶接地電阻B.鞋底電阻C.全身綜合電阻D.以上都是答案：D（需檢測手腕帶、鞋底及全身綜合電阻）二、判斷題（每題1分，共20題）1.潔凈室內(nèi)可以使用普通塑料膠帶（非防靜電型）固定物料。（×）（需使用防靜電膠帶，普通膠帶易產(chǎn)生靜電）2.特氣柜的排風系統(tǒng)可以與化學(xué)品柜排風系統(tǒng)共用管道。（×）（不相容氣體排風需獨立管道，防止反應(yīng)）3.設(shè)備維修時，只需關(guān)閉電源即可開始作業(yè)。（×）（需執(zhí)行LOTO程序，切斷能源并上鎖）4.氫氟酸濺到皮膚上，應(yīng)立即用大量清水沖洗15分鐘，再用葡萄糖酸鈣軟膏涂抹。（√）5.潔凈室的壓差應(yīng)保持從低潔凈區(qū)向高潔凈區(qū)遞增。（×）（高潔凈區(qū)（如ISO3級）壓差應(yīng)高于低潔凈區(qū)（如ISO7級））6.液氮儲罐的放空管可以直接排入車間內(nèi)。（×）（液氮汽化后會導(dǎo)致缺氧，放空管需引至室外）7.化學(xué)品倉庫的門應(yīng)向外開啟，且保持常閉狀態(tài)。（√）8.氣體探測器報警后，應(yīng)立即關(guān)閉探測器電源。（×）（應(yīng)檢查泄漏點并啟動應(yīng)急程序，不可關(guān)閉探測器）9.潔凈室人員可以佩戴金屬飾品（如戒指）進入。（×）（金屬飾品易產(chǎn)生靜電或污染環(huán)境）10.廢水處理站的中和反應(yīng)需在密閉容器中進行。（√）（防止酸堿霧擴散）11.特氣鋼瓶剩余壓力低于0.1MPa時，可以繼續(xù)使用至無壓力。（×）（需保留0.1MPa余壓防止倒灌）12.潔凈室的地面可以使用普通水泥地面。（×）（需使用防靜電、易清潔的環(huán)氧地坪）13.設(shè)備冷卻水系統(tǒng)的溫度應(yīng)控制在5-15℃。（√）（半導(dǎo)體設(shè)備需低溫冷卻）14.危險化學(xué)品的領(lǐng)用可以由實習(xí)生單獨操作。（×）（需經(jīng)培訓(xùn)的正式員工雙人核對）15.潔凈室的風淋室可以同時進入3人以上。（×）（風淋室單次進入人數(shù)≤2人，避免交叉污染）16.配電房內(nèi)可以存放少量清潔工具。（×）（配電房禁止存放無關(guān)物品）17.硅烷鋼瓶可以倒置使用。（×）（硅烷鋼瓶需直立存放，防止閥門損壞）18.潔凈室的應(yīng)急出口可以堆放少量物料，只要不影響通行。（×）（應(yīng)急出口需保持暢通，禁止堆放任何物品）19.化學(xué)品泄漏時，應(yīng)直接用手清理小量泄漏物。（×）（需佩戴PPE后使用專用工具清理）20.設(shè)備維護記錄可以事后補填，無需實時記錄。（×）（需實時記錄，確保可追溯性）三、簡答題（每題5分，共10題）1.簡述半導(dǎo)體廠潔凈室靜電防護的主要措施。答案：①人員防護：穿戴防靜電服、鞋、手腕帶，通過靜電檢測；②設(shè)備防護：設(shè)備接地（接地電阻≤10?Ω），使用防靜電材料（如ESD托盤）；③環(huán)境控制：地面鋪設(shè)防靜電地坪（表面電阻10?-10?Ω），濕度控制在40%-60%（降低靜電產(chǎn)生）；④物料管理：使用防靜電包裝，傳遞物料通過靜電屏蔽箱；⑤定期檢測：每月檢測手腕帶、地坪、設(shè)備接地電阻，確保符合要求。2.特氣柜（GASCABINET）的安全設(shè)計應(yīng)包含哪些關(guān)鍵功能？答案：①泄漏檢測：配置H?、Cl?等氣體探測器（靈敏度≤1%LEL）；②通風系統(tǒng)：每小時換氣次數(shù)≥12次，事故時啟動應(yīng)急排風（≥20次/小時）；③緊急切斷：泄漏報警時自動關(guān)閉鋼瓶主閥；④壓力監(jiān)控：實時監(jiān)測輸入/輸出壓力（超壓≥1.1倍工作壓力時報警）；⑤防火防爆：柜體材質(zhì)為防爆鋼板（厚度≥2mm），電氣元件防爆等級ExdIIBT3；⑥標識系統(tǒng)：明確標注氣體名稱、危險特性（如“易燃”“有毒”）及應(yīng)急電話。3.酸性蝕刻液（H?SO?+HNO?）泄漏時的應(yīng)急處置步驟。答案：①立即停止作業(yè)，發(fā)出警報，疏散無關(guān)人員；②穿戴防酸堿手套、護目鏡、防化服（A級或B級）；③用沙土或吸液棉圍堵泄漏區(qū)域（防止擴散）；④緩慢加入碳酸氫鈉（NaHCO?）中和（先少量測試，避免劇烈反應(yīng)）；⑤中和后用大量清水沖洗（pH檢測至6-9）；⑥收集廢棄物裝入防腐蝕容器，貼上“危險廢物”標簽；⑦報告安全部門，記錄泄漏量、處置過程及人員防護情況。4.潔凈室空調(diào)系統(tǒng)（HVAC）的主要安全風險及預(yù)防措施。答案：風險：①高效過濾器（HEPA）堵塞導(dǎo)致風量不足（影響潔凈度）；②管道內(nèi)微生物滋生（污染環(huán)境）；③風機過載引發(fā)火災(zāi)；④冷媒（如R410A）泄漏導(dǎo)致人員窒息。預(yù)防措施：①定期更換HEPA（壓差≥2倍初始值時更換）；②每月對管道進行紫外線消毒（30分鐘/次）；③安裝風機電流監(jiān)控（超額定電流1.2倍時報警）；④冷媒管道設(shè)置泄漏探測器（濃度≥1000ppm時報警），并確保機房通風良好（換氣≥10次/小時）。5.設(shè)備維修時“上鎖掛牌”（LOTO）程序的具體步驟。答案：①隔離能源：關(guān)閉設(shè)備電源、氣源、液源（如關(guān)閉斷路器、關(guān)閉閥門）；②驗證能源切斷：測試設(shè)備開關(guān)（確認無動作），壓力表歸零；③上鎖掛牌：維修人員使用個人鎖具鎖住能源隔離裝置，懸掛“正在維修，禁止啟動”標識；④多人作業(yè)時：每個維修人員單獨上鎖，形成“鎖箱”管理；⑤解鎖恢復(fù)：維修完成后，檢查工具、人員撤離，由上鎖人員本人解鎖，恢復(fù)能源供應(yīng)。6.氫氣（H?）系統(tǒng)的主要防爆措施。答案：①設(shè)備防爆：所有電氣設(shè)備（如探測器、開關(guān)）采用ExdIIBT3以上防爆等級；②管道設(shè)計：使用不銹鋼管道（厚度≥3mm），焊接處X射線探傷（無氣孔、裂紋）；③靜電導(dǎo)除：管道接地（接地電阻≤10Ω），法蘭間跨接導(dǎo)線（截面積≥6mm2）；④濃度監(jiān)控：設(shè)置氫氣探測器（安裝在設(shè)備頂部，靈敏度≤0.5%LEL即0.02%）；⑤通風設(shè)計：氫氣區(qū)域通風量≥12次/小時，事故時啟動應(yīng)急通風（≥20次/小時）；⑥禁火管理：區(qū)域內(nèi)禁止明火（包括手機、火柴），作業(yè)使用防爆工具（如銅合金工具）。7.潔凈室人員行為規(guī)范的主要安全要求。答案：①著裝要求：穿戴連體式潔凈服（無口袋、無飾品）、防靜電鞋、鞋套，頭發(fā)完全包裹；②進入流程：通過風淋室（站立30秒，旋轉(zhuǎn)身體），禁止跳躍或快速通過；③行為限制：禁止在潔凈室內(nèi)奔跑（防止揚塵）、禁止觸摸設(shè)備表面（需戴手套）、禁止飲食或攜帶非潔凈物品（如紙張、普通塑料）；④離開要求：退出時先脫鞋套、再脫潔凈服（反面折疊），放入指定回收箱；⑤異常發(fā)現(xiàn)潔凈服破損、風淋失效等問題，立即報告主管。8.液氮（LN?）使用的安全注意事項。答案：①個人防護：佩戴防寒手套（-196℃專用）、護目鏡（防飛濺）、長袖工作服；②充裝操作：緩慢開啟閥門（防止液氮噴濺），充裝量不超過儲罐容積的90%（預(yù)留汽化空間）；③儲存要求：儲罐放置在通風良好區(qū)域（避免密閉空間），遠離熱源（≥3米），標識“低溫液體，注意凍傷”；④泄漏處置：少量泄漏時通風擴散（氮氣無毒但會導(dǎo)致缺氧），大量泄漏時疏散人員（氧濃度＜18%時需佩戴空氣呼吸器）；⑤設(shè)備檢查：每周檢查儲罐真空度（≤10?3Pa）、管道絕熱層（無結(jié)霜、無破損）。9.化學(xué)品倉庫的安全管理要點。答案：①分類存放：易燃液體（如IPA）、腐蝕品（如HF）、氧化劑（如H?O?）分區(qū)存放，間距≥1米；②環(huán)境控制：溫度≤30℃（安裝空調(diào)），濕度≤75%（配置除濕機），通風量≥12次/小時；③標識管理：每個貨架標注化學(xué)品名稱、危險特性（如“易燃”“腐蝕”）、應(yīng)急處置方法；④存量控制：單一品種最大存量≤1噸（甲類易燃液體≤0.5噸），總存量≤5噸；⑤監(jiān)控系統(tǒng)：安裝溫濕度記錄儀（數(shù)據(jù)保存≥1年）、視頻監(jiān)控（無死角）、氣體探測器（覆蓋所有區(qū)域）；⑥出入管理：雙人收發(fā)（領(lǐng)料單需主管簽字），每日核對臺賬（賬物偏差≤±2%）。10.半導(dǎo)體廠火災(zāi)的主要類型及對應(yīng)滅火方法。答案：①電氣火災(zāi)（如配電房、光刻機電路）：使用干粉滅火器（BC類）或二氧化碳滅火器（禁止用水）；②易燃液體火災(zāi)（如IPA、丙酮）：使用泡沫滅火器（AFFF）或抗溶性泡沫（針對極性溶劑）；③特氣火災(zāi)（如H?、SiH?）：先切斷氣源（關(guān)閉鋼瓶閥），再用干粉滅火器（禁止直接撲滅火焰，防止回火）；④化學(xué)品火災(zāi)（如H?O?分解）：使用大量水冷卻（避免與有機物接觸）；⑤潔凈室火災(zāi)（主要為塑料材質(zhì)）：使用ABC干粉滅火器（防止復(fù)燃），同時啟動自動噴淋系統(tǒng)（注意電子設(shè)備防水）。四、案例分析題（每題10分，共5題）案例1：某半導(dǎo)體廠CVD車間，員工甲在更換硅烷（SiH?）鋼瓶時，未佩戴防護面罩，直接拆卸閥門，導(dǎo)致少量硅烷泄漏并自燃（硅烷自燃點＜0℃），引發(fā)局部火災(zāi)。問題：①分析此次事故的直接原因和間接原因；②提出整改措施。答案：①直接原因：員工未佩戴防護面罩（PPE缺失），未檢測環(huán)境濃度（未使用便攜氫氣檢測儀），違規(guī)操作閥門（未按程序緩慢拆卸）。間接原因：安全培訓(xùn)不到位（未強調(diào)硅烷的高自燃性），現(xiàn)場監(jiān)督缺失（無監(jiān)護人在場），應(yīng)急器材不足（附近無備用干粉滅火器）。②整改措施：a.強制要求硅烷操作時佩戴全面罩空氣呼吸器（SCBA）；b.增加作業(yè)前環(huán)境檢測（硅烷濃度＜0.5ppm方可操作）；c.實行雙人監(jiān)護制（一人操作，一人監(jiān)督）；d.在特氣柜旁增設(shè)壁掛式干粉滅火器（5kg，間距≤5米）；e.開展專項培訓(xùn)（重點講解硅烷的危險特性及應(yīng)急處置）。案例2：某潔凈室員工乙在搬運晶圓盒時，因地面有少量研磨液（CMPSlurry）未及時清理，滑倒后碰撞到光刻機導(dǎo)軌，導(dǎo)致價值2000萬元的設(shè)備損壞。問題：①指出現(xiàn)場存在的安全隱患；②說明預(yù)防此類事故的措施。答案：①安全隱患：a.地面清潔不及時（研磨液未在10分鐘內(nèi)清理）；b.未設(shè)置防滑標識（濕滑區(qū)域無“小心地滑”警示牌）；c.員工未穿防滑鞋（潔凈室鞋套為普通材質(zhì)，無防滑紋）；d.設(shè)備布局不合理（光刻機導(dǎo)軌離通道過近，無防護欄）。②預(yù)防措施：a.制定“5分鐘清理制度”（液體泄漏后5分鐘內(nèi)完成清理）；b.濕滑區(qū)域鋪設(shè)防滑地墊（摩擦系數(shù)≥0.5），并設(shè)置閃爍警示燈；c.更換潔凈室鞋套為防滑型（底部帶凹凸紋路）；d.在設(shè)備與通道間加裝防護欄（高度≥1米，材質(zhì)為防靜電亞克力）；e.開展“人機工程學(xué)”培訓(xùn)（教授正確搬運姿勢，避免重心偏移）。案例3：某廢水處理站員工丙在投加片堿（NaOH）時，未關(guān)閉中和池攪拌器，直接將整袋片堿倒入池中，導(dǎo)致堿液飛濺至面部，造成化學(xué)灼傷。問題：①分析操作中的違規(guī)行為；②給出正確的處置流程。答案：①違規(guī)行為：a.未關(guān)閉攪拌器（攪拌時倒入固體易引發(fā)飛濺）；b.未分批投加（整袋倒入導(dǎo)致局部濃度過高）；c.未佩戴防護面罩（僅戴護目鏡，未覆蓋面部）；d.未使用專用工具（應(yīng)使用鏟斗緩慢投加）。②正確流程：a.關(guān)閉攪拌器電源（執(zhí)行LOTO程序，上鎖掛牌）；b.佩戴全面罩防化服（A級）、防酸堿手套；c.用鏟斗將片堿分批投加（每次≤5kg），投加間隔≥1分鐘；d.投加完成后啟動攪拌器（先低速運行3分鐘，再調(diào)至正常轉(zhuǎn)速）；e.若發(fā)生飛濺，立即用清水