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本規(guī)范是根據(jù)住房城鄉(xiāng)建設(shè)部《關(guān)于印發(fā)<2013年工程建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范制訂修訂計(jì)劃>的通知》(建標(biāo)〔2013〕6號(hào))的要求,由工業(yè)和信息化部電子工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化研究院和中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第八研究所會(huì)同有關(guān)單位共同編制而成。本規(guī)范編制過(guò)程中,編制組對(duì)我國(guó)光纖器件生產(chǎn)廠(chǎng)總體要求、光纖器件生產(chǎn)的工藝流程及生產(chǎn)輔助設(shè)施的構(gòu)成等進(jìn)行了廣泛調(diào)研,根據(jù)光纖器件生產(chǎn)單位對(duì)光纖器件生產(chǎn)技術(shù)多年來(lái)積累的經(jīng)驗(yàn),并參考相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和專(zhuān)著,在廣泛征求意見(jiàn)的基礎(chǔ)上,進(jìn)行了反復(fù)討論和修改,最后經(jīng)審查定稿。藝、光纖器件生產(chǎn)與倉(cāng)儲(chǔ)環(huán)境要求、光纖器件生產(chǎn)廣房總體設(shè)計(jì)、工藝區(qū)劃及設(shè)備選型與布置、公用設(shè)施。本規(guī)范中以黑體字標(biāo)志的條文為強(qiáng)制性條文,必須嚴(yán)格執(zhí)行。本規(guī)范由住房城鄉(xiāng)建設(shè)部負(fù)責(zé)管理和對(duì)強(qiáng)制性條文的解釋?zhuān)晒I(yè)和信息化部負(fù)責(zé)日常管理,由中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第八研究所負(fù)責(zé)具體技術(shù)內(nèi)容的解釋。在執(zhí)行過(guò)程中如有意見(jiàn)或建議請(qǐng)寄至中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第八研究所(地址:合肥市大連路6666號(hào),郵政編碼:232051),以供今后修訂時(shí)參考。中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第八研究所富通集團(tuán)有限公司浙江富春江光電科技股份有限公司主要審查人:張人茂薛長(zhǎng)立何萬(wàn)暉晁宇晴張建平寧鼎徐造伏王維平姚秋飛 3光纖器件生產(chǎn)工藝 3.1一般規(guī)定 3.2光纖活動(dòng)連接器生產(chǎn)工藝 3.4光纖隔離器生產(chǎn)工藝 3.5光纖衰減器生產(chǎn)工藝 3.6光纖光柵生產(chǎn)工藝 4光纖器件生產(chǎn)與倉(cāng)儲(chǔ)環(huán)境要求 4.2倉(cāng)儲(chǔ)環(huán)境要求 5光纖器件生產(chǎn)廠(chǎng)房總體設(shè)計(jì) 5.1一般規(guī)定 5.2廠(chǎng)址選擇 5.3總圖布局 5.4建筑結(jié)構(gòu) 6工藝區(qū)劃及設(shè)備選型與布置 6.1一般規(guī)定 6.2工藝區(qū)劃 6.3生產(chǎn)設(shè)備選型 6.4生產(chǎn)設(shè)備布置 7公用設(shè)施 本規(guī)范用詞說(shuō)明 引用標(biāo)準(zhǔn)名錄 3Processforoptic 3.2Processforoptical 3.4Processforoptical 3.6Processforopt 4Environmentrequestfor 4.1Envronmentrequestfor 4.2Environmentre 5Overalldesignofopticalfibercompone 5.4Architecturean 6.1Generalrequirem 6.3Selectionofproductionequipment 6.4Layoutofproductioneq 6.5Selectionandlayouto 7.6Communicationandinformatio Explanationofwordinginthiscode Listofquotedstandards 1.0.1為規(guī)范光纖器件生產(chǎn)廠(chǎng)工程建設(shè)工藝設(shè)計(jì),確保光纖器件生產(chǎn)廠(chǎng)工藝設(shè)計(jì)技術(shù)先進(jìn)實(shí)用、科學(xué)合理并符合安全生產(chǎn)、節(jié)能減排和職業(yè)健康的要求,制定本規(guī)范。1.0.2本規(guī)范適用于光纖器件生產(chǎn)廠(chǎng)新建、擴(kuò)建和改建的工藝設(shè)1.0.3本規(guī)范未涉及的光纖器件,其生產(chǎn)工藝等要求符合本規(guī)范的規(guī)定時(shí),宜按照本規(guī)范執(zhí)行。1.0.4光纖器件生產(chǎn)廠(chǎng)工藝設(shè)計(jì)除應(yīng)符合本規(guī)范外,尚應(yīng)符合國(guó)家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。2.0.4耦合對(duì)中couplingadju3.1.1光纖器件生產(chǎn)工藝應(yīng)以滿(mǎn)足產(chǎn)品性能和質(zhì)量要求為基礎(chǔ)并根據(jù)產(chǎn)品種類(lèi)、生產(chǎn)規(guī)模確定。3.1.2光纖器件生產(chǎn)應(yīng)采用技術(shù)先進(jìn)、節(jié)能減排的生產(chǎn)工藝和原3.1.3光纖器件生產(chǎn)過(guò)程中使用易燃易爆氣體時(shí)應(yīng)設(shè)置警示標(biāo)志及泄漏報(bào)警裝置并應(yīng)采取防護(hù)措施。3.1.4光纖器件生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生有害氣體時(shí)應(yīng)采取防護(hù)措施。3.1.5光纖器件生產(chǎn)工藝宜包括基本材料準(zhǔn)備、光單元制備、光3.2光纖活動(dòng)連接器生產(chǎn)工藝3.2.1光纖活動(dòng)連接器生產(chǎn)基本材料準(zhǔn)備應(yīng)包括下列工序:1光纖光纜截??;3膠粘劑配制。3.2.2光單元制備應(yīng)包括下列工序:1零件穿配;2光纖剝制;3插針體點(diǎn)膠及固化;4壓合或壓接成型;5光纖端面研磨。3.2.3成品組裝應(yīng)為插入體與殼體的裝配。3.3光纖耦合器生產(chǎn)工藝3.3.1光纖耦合器生產(chǎn)采用的工藝可包括熔融拉錐工藝、平面光波導(dǎo)工藝、腐蝕工藝和研磨工藝。列工序:4耦合比控制;下列工序:工序:工序:3.4.2光單元制備宜包括下列工序:2光纖與光學(xué)芯片耦合對(duì)中。3.5.1光纖衰減器制作基本材料準(zhǔn)備宜包括下列工序:2膠粘劑配制;1光纖準(zhǔn)直器的準(zhǔn)備;③光路調(diào)試;4.1生產(chǎn)環(huán)境要求4.1.1光單元生產(chǎn)車(chē)間溫度宜保持在15℃~28℃,相對(duì)濕度宜保持在40%~70%。工序應(yīng)采取防微振措施。4.1.3光柵光刻車(chē)間潔凈度不應(yīng)低于7級(jí),平面波導(dǎo)型光纖耦合器耦合車(chē)間潔凈度不應(yīng)低于8級(jí),其他光單元生產(chǎn)車(chē)間應(yīng)為清潔4.1.4熔融拉錐和光纖載氫場(chǎng)所應(yīng)設(shè)氫氣濃度報(bào)警裝置和事故排風(fēng)系統(tǒng)。4.1.5膠粘劑配制場(chǎng)所應(yīng)采取局部排風(fēng)或活性炭吸附措施。4.1.6光路調(diào)試工藝環(huán)境背景噪聲不宜大于55dB(A)。4.1.7光單元制作及組裝、封裝車(chē)間地面應(yīng)平整,并應(yīng)滿(mǎn)足光學(xué)儀器臺(tái)架平穩(wěn)放置的要求。4.1.8清洗處理工序的清洗劑不應(yīng)含鉻化物或重金屬化合物,宜采用逆流清洗。4.1.9生產(chǎn)過(guò)程中的廢物廢料應(yīng)按屬性分類(lèi)處理。4.2倉(cāng)儲(chǔ)環(huán)境要求4.2.1倉(cāng)庫(kù)內(nèi)地面應(yīng)平整,不得有地溝、暗道、明火和其他熱源,倉(cāng)庫(kù)應(yīng)保持干燥、避免陽(yáng)光直射。4.2.2原材料和半成品庫(kù)房應(yīng)符合下列規(guī)定:1光纖及光學(xué)芯片庫(kù)房溫度宜保持在10℃~30℃,相對(duì)濕度不宜大于60%;2化學(xué)品的儲(chǔ)存應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子工廠(chǎng)化學(xué)品系統(tǒng)3對(duì)溫度和濕度敏感的材料應(yīng)放置在恒溫恒濕柜里;4載氫后的光纖光柵半成品應(yīng)貯存在-18℃的冷凍柜里。4.2.3成品庫(kù)房應(yīng)符合下列規(guī)定:2光纖器件成品儲(chǔ)存條件應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《光纖光纜連部分:總規(guī)范》GB/T13265.1和《纖維光學(xué)衰減器第1部分:總4.2.4生產(chǎn)中產(chǎn)生的廢料、固體廢物貯存場(chǎng)地應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)關(guān)規(guī)定。5.1.1生產(chǎn)廠(chǎng)房設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)光纖器件生產(chǎn)工藝的特點(diǎn),按生產(chǎn)類(lèi)型、規(guī)模、生產(chǎn)工藝區(qū)劃及生產(chǎn)設(shè)備選型與布置、維護(hù)管理和安全運(yùn)行要求進(jìn)行。5.1.2生產(chǎn)廠(chǎng)房設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定:1應(yīng)選擇成熟先進(jìn)的工藝技術(shù);3應(yīng)符合職業(yè)健康、安全生產(chǎn)和環(huán)境保護(hù)的要求;4應(yīng)保證生產(chǎn)效率,兼顧工藝調(diào)整。5.1.3生產(chǎn)廠(chǎng)房工藝設(shè)計(jì)應(yīng)明確下列內(nèi)容:5廠(chǎng)房其他特殊要求。5.2.1生產(chǎn)廠(chǎng)廠(chǎng)址選擇應(yīng)結(jié)合地區(qū)中長(zhǎng)期規(guī)劃,遠(yuǎn)離散發(fā)大量粉導(dǎo)風(fēng)向的下風(fēng)向。嚴(yán)重振動(dòng)影響的區(qū)域。5.2.3生產(chǎn)廠(chǎng)廠(chǎng)址選擇應(yīng)對(duì)市政給排水、動(dòng)力供應(yīng)、通信設(shè)施完善和交通便利等因素進(jìn)行比選。5.2.4生產(chǎn)廠(chǎng)廠(chǎng)址宜選擇在抗震設(shè)防烈度不大于8度的地區(qū)建設(shè),在8度區(qū)遠(yuǎn)離地震發(fā)震斷裂帶的最小避讓距離應(yīng)大于200m。建筑場(chǎng)地應(yīng)避開(kāi)對(duì)抗震不利的地段,不應(yīng)在可能發(fā)生地質(zhì)災(zāi)害的危險(xiǎn)地段建造廠(chǎng)房。5.3.1生產(chǎn)廠(chǎng)的總平面布置應(yīng)符合下列規(guī)定:2廠(chǎng)區(qū)功能分區(qū)應(yīng)明確,廠(chǎng)房周?chē)缆穼挾葢?yīng)滿(mǎn)足消防、運(yùn)3建筑物外形宜規(guī)整,各項(xiàng)設(shè)施的布置應(yīng)緊湊合理。5.3.2廠(chǎng)區(qū)總平面布置宜按生產(chǎn)區(qū)、輔助生產(chǎn)區(qū)、產(chǎn)品倉(cāng)儲(chǔ)區(qū)(堆5.3.3廠(chǎng)區(qū)豎向設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)建筑功能及生產(chǎn)工藝要求確定各種管線(xiàn)走向和豎向標(biāo)高。5.3.4廠(chǎng)區(qū)出入口不應(yīng)少于兩個(gè),物流宜有專(zhuān)用的出入口。5.3.5廠(chǎng)區(qū)內(nèi)場(chǎng)地設(shè)計(jì)標(biāo)高宜高出周邊市政道路的路段標(biāo)高。5.3.6室內(nèi)地坪設(shè)計(jì)標(biāo)高應(yīng)高出室外地坪標(biāo)高0.15m以上。5.4.1生產(chǎn)廠(chǎng)房主體結(jié)構(gòu)宜根據(jù)生產(chǎn)工藝要求和設(shè)備布置確定5.4.2生產(chǎn)廠(chǎng)房宜采用鋼結(jié)構(gòu)、鋼筋混凝土框架結(jié)構(gòu)或鋼筋混凝土排架結(jié)構(gòu)。5.4.3生產(chǎn)廠(chǎng)房和原材料高架庫(kù)房地坪應(yīng)平整。5.4.4光單元制備和組裝封裝車(chē)間內(nèi)墻壁和屋頂?shù)谋砻鎽?yīng)平整5.4.5設(shè)備基礎(chǔ)設(shè)置應(yīng)按設(shè)備安裝平面圖、設(shè)備荷載和振動(dòng)要求確定?;瘜W(xué)品的房間應(yīng)采用耐火極限不低于4.0h的隔墻和耐火極限不低于1.5h的不燃燒體樓板與廠(chǎng)房其他區(qū)域分隔開(kāi),并應(yīng)靠外墻布5.4.7生產(chǎn)廠(chǎng)房的耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)。5.4.8廠(chǎng)房生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類(lèi)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)5.4.9廠(chǎng)房?jī)?nèi)潔凈區(qū)的頂棚和壁板及其夾芯材料應(yīng)為不燃燒體,且不得采用有機(jī)復(fù)合材料。頂棚的耐火極限不應(yīng)低于0.4h,壁板的耐火極限不應(yīng)低于0.5h,疏散走道的頂棚和壁板的耐火極限不應(yīng)低于1.0h。5.4.10在一個(gè)防火分區(qū)內(nèi)的潔凈生產(chǎn)區(qū)域與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應(yīng)設(shè)置不燃燒體的隔墻或頂棚,其耐火極限不應(yīng)低于1h。穿隔墻或頂棚的管線(xiàn)周?chē)障稇?yīng)采用防火或耐火材料緊密填堵。5.4.11管道豎井井壁應(yīng)為不燃燒體,其耐火極限不應(yīng)低于1h,井壁上檢查門(mén)的耐火極限不應(yīng)低于0.6h。豎井與各層樓板交會(huì)處應(yīng)采用等同于樓板耐火極限的不燃燒體作水平防火分隔;穿過(guò)水平防火分隔的管線(xiàn)周?chē)障稇?yīng)采用防火或耐火材料緊密填堵。5.4.12安全出口應(yīng)分散設(shè)置,從生產(chǎn)地點(diǎn)到安全出口疏散路線(xiàn)應(yīng)便捷,并應(yīng)設(shè)有明顯的疏散標(biāo)志。安全疏散距離應(yīng)結(jié)合生產(chǎn)和檢驗(yàn)設(shè)備布置確定,并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定。6.1.1生產(chǎn)設(shè)備的選型應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品種類(lèi)和生產(chǎn)工藝要求確定。6.1.2檢驗(yàn)設(shè)備的選型應(yīng)根據(jù)檢驗(yàn)的產(chǎn)品種類(lèi)和型式確定,可包括外觀(guān)和機(jī)械檢查及性能測(cè)量設(shè)備或儀器儀表、機(jī)械試驗(yàn)設(shè)備、環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備和電氣試驗(yàn)設(shè)備。6.1.3生產(chǎn)設(shè)備和檢驗(yàn)設(shè)備的布置應(yīng)按照工藝區(qū)劃確定并應(yīng)符合節(jié)約空間、便于操作和維護(hù)的要求,同一生產(chǎn)工序的生產(chǎn)設(shè)備宜根據(jù)設(shè)備種類(lèi)集中布置。6.2.1光纖器件生產(chǎn)工藝區(qū)劃應(yīng)符合工藝流程及物流順暢的要求。6.2.2主要生產(chǎn)區(qū)域宜單獨(dú)設(shè)置設(shè)備搬入口或搬入通道。6.2.3生產(chǎn)工藝區(qū)域宜分為基本材料準(zhǔn)備區(qū)、光單元生產(chǎn)區(qū)、研接宜與生產(chǎn)工藝流程一致。6.2.4半成品、成品的檢驗(yàn)站點(diǎn)或檢驗(yàn)室布置應(yīng)靠近相應(yīng)的生產(chǎn)工序。6.2.5生產(chǎn)廠(chǎng)房的工藝區(qū)劃應(yīng)合理安排生產(chǎn)區(qū)、輔助生產(chǎn)區(qū)和動(dòng)1相同的生產(chǎn)設(shè)備宜集中布置,工藝上銜接的生產(chǎn)設(shè)備宜相鄰布置;2有潔凈要求的生產(chǎn)工序宜布置在相鄰區(qū)域內(nèi);拋光生產(chǎn)區(qū)和組裝封裝區(qū)應(yīng)設(shè)為單立的房間。6.3生產(chǎn)設(shè)備選型6.3.1線(xiàn)纜裁剪設(shè)備宜根據(jù)所需光纖光纜類(lèi)型、剪切力、長(zhǎng)度精度選型。6.3.2光纖剝制設(shè)備或工具宜根據(jù)被剝光纖類(lèi)型及剝離精度要求選型。6.3.3繞線(xiàn)設(shè)備宜根據(jù)繞線(xiàn)速度及線(xiàn)圈大小選型。6.3.4研磨拋光設(shè)備宜根據(jù)研磨拋光精度、速度及穩(wěn)定性要求選型,并應(yīng)具有防微振性能和獨(dú)立的純凈水系統(tǒng)。6.3.5熔融拉錐生產(chǎn)線(xiàn)設(shè)備宜根據(jù)拉伸精度、拉伸速度、冷卻方式、功率及激光器波長(zhǎng)選型,并宜具有良好的防微振性能。6.3.6芯片切割設(shè)備宜根據(jù)切割精度要求選型,精度宜為微米級(jí),并應(yīng)具有防微振性能和獨(dú)立的冷卻水循環(huán)系統(tǒng)。6.3.7耦合對(duì)中設(shè)備宜為多維調(diào)整平臺(tái),精度宜為微米級(jí),并應(yīng)具有防微振性能。6.3.8固化設(shè)備宜根據(jù)固化形式、固化功率和溫度范圍選型。6.3.9熔接設(shè)備宜根據(jù)控制溫度和精度選型。6.3.10壓接設(shè)備宜根據(jù)壓接類(lèi)型和壓力選型。6.3.11高能激光器宜根據(jù)波長(zhǎng)和功率選型。6.3.12真空泵宜根據(jù)所需的結(jié)構(gòu)類(lèi)型、真空度選型,并宜為自動(dòng)真空裝置。6.3.13光纖光柵退火設(shè)備宜根據(jù)功率和溫度范圍選型。6.3.14光纖陣列組裝設(shè)備應(yīng)為多維調(diào)整平臺(tái),精度宜優(yōu)于10微米級(jí),并應(yīng)具有防微振性能。6.3.15高低溫試驗(yàn)箱、濕熱試驗(yàn)箱宜根據(jù)所需的溫度范圍、精度和容積選型。6.4生產(chǎn)設(shè)備布置6.4.1研磨拋光設(shè)備應(yīng)設(shè)置廢水收集裝置。6.4.2耦合對(duì)中設(shè)備應(yīng)放置在防振的環(huán)境中或防振平臺(tái)上。6.4.3高低溫試驗(yàn)箱、濕熱試驗(yàn)箱應(yīng)與其他設(shè)備獨(dú)立分開(kāi)放置。6.4.4高能激光器應(yīng)放置在隔振平臺(tái)上。6.5檢驗(yàn)設(shè)備選型與布置6.5.1檢驗(yàn)設(shè)備選型應(yīng)根據(jù)被測(cè)光纖器件的結(jié)構(gòu)尺寸、光學(xué)性6.5.2外觀(guān)、結(jié)構(gòu)檢查及性能測(cè)量設(shè)備選型與布置應(yīng)符合下列規(guī)定:1顯微鏡和透鏡等光學(xué)儀器設(shè)備應(yīng)根據(jù)放大倍數(shù)和精度選型;2插損回?fù)p和衰減等測(cè)量?jī)x器應(yīng)根據(jù)測(cè)量波長(zhǎng)和范圍選型;3精密光學(xué)設(shè)備和儀器儀表應(yīng)放置在防潮環(huán)境中并應(yīng)放置在隔振臺(tái)架上。6.5.3機(jī)械試驗(yàn)設(shè)備選型與布置應(yīng)符合下列規(guī)定:1拉脫試驗(yàn)設(shè)備應(yīng)根據(jù)所需的拉力選型,設(shè)備之間的距離及與墻壁的距離不宜小于1.5m;2光纜封口處彎曲試驗(yàn)設(shè)備、撞擊試驗(yàn)設(shè)備、擠壓試驗(yàn)設(shè)備和扭轉(zhuǎn)試驗(yàn)設(shè)備之間的距離及與墻壁的距離不宜小于1m。6.5.4環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備選型與布置應(yīng)符合下列規(guī)定:1溫度試驗(yàn)箱應(yīng)根據(jù)試驗(yàn)溫度范圍及變化率選型,試驗(yàn)箱之間及與其他環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備間距不宜小于1m,與墻壁的間距不宜小2沖擊、振動(dòng)試驗(yàn)設(shè)備應(yīng)根據(jù)試驗(yàn)類(lèi)型選型,設(shè)備宜安裝在專(zhuān)用地面上,房間應(yīng)采取降噪措施;3水壓試驗(yàn)裝置應(yīng)根據(jù)所需的水壓等級(jí)選型,裝置宜與其他試驗(yàn)設(shè)備隔離,與墻壁的間距不宜小于2m;4鹽霧試驗(yàn)設(shè)備應(yīng)根據(jù)試驗(yàn)類(lèi)型選型,設(shè)備應(yīng)單獨(dú)設(shè)間;5燃燒試驗(yàn)設(shè)備應(yīng)根據(jù)燃燒溫度選型,設(shè)備應(yīng)單獨(dú)設(shè)間及6潮濕試驗(yàn)設(shè)備應(yīng)根據(jù)試驗(yàn)溫濕度范圍及溫度變化率選型,設(shè)備宜單獨(dú)設(shè)間。6.5.5電氣試驗(yàn)設(shè)備選型與布置應(yīng)符合下列規(guī)定:1高壓試驗(yàn)設(shè)備應(yīng)根據(jù)電壓等級(jí)和類(lèi)型選型,設(shè)備應(yīng)與其他試驗(yàn)設(shè)備隔離;2電氣試驗(yàn)設(shè)備應(yīng)放置在防潮、防靜電的房間。7.1.1生產(chǎn)廠(chǎng)公用設(shè)施設(shè)計(jì)應(yīng)在滿(mǎn)足生產(chǎn)要求的前提下,選擇節(jié)7.1.2生產(chǎn)廠(chǎng)房公用設(shè)施應(yīng)包括生產(chǎn)用氣體供應(yīng)系統(tǒng)、空調(diào)通風(fēng)7.1.3動(dòng)力站房設(shè)置宜靠近負(fù)荷中心。動(dòng)力設(shè)施主要噪聲源宜集中布置,并應(yīng)確保廠(chǎng)區(qū)邊界的噪聲強(qiáng)度符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)企業(yè)廠(chǎng)界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》GB12348的限值規(guī)定。7.1.4潔凈室與周?chē)o助性站房?jī)?nèi)有強(qiáng)烈振動(dòng)的設(shè)備及其連接管道時(shí),應(yīng)采取主動(dòng)隔振措施。7.2.1生產(chǎn)廠(chǎng)房常用氣體應(yīng)包括壓縮空氣、氮?dú)?、氫氣?.2.2壓縮空氣系統(tǒng)應(yīng)符合下列規(guī)定:1系統(tǒng)供氣規(guī)模應(yīng)按生產(chǎn)工藝實(shí)際用氣量及系統(tǒng)損耗量確定;2供氣品質(zhì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對(duì)含水量、含油量、微粒粒徑及種類(lèi)的要求確定。7.2.3壓縮空氣系統(tǒng)管道設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定:1壓縮空氣主管道直徑應(yīng)按全系統(tǒng)實(shí)際用氣量確定,支管道直徑應(yīng)按設(shè)備最大用氣量確定;2干燥壓縮空氣輸送露點(diǎn)低于-40℃時(shí),應(yīng)采用不銹鋼管或熱鍍鋅無(wú)縫鋼管并采取保溫措施,用于管道連接的密封材料宜選用金屬墊片或聚四氟乙烯墊片;3軟管連接宜選用金屬軟管。7.2.4氮?dú)庀到y(tǒng)宜采用外購(gòu)液氮經(jīng)氣化后經(jīng)管道供至設(shè)備。7.2.5氫氣宜采用外購(gòu)瓶裝氣體供應(yīng),氣瓶間設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范》GB50646的有關(guān)規(guī)定。7.2.6潔凈室內(nèi)的氫氣管道應(yīng)明敷,穿過(guò)潔凈室的墻壁或樓板處的管段應(yīng)設(shè)置套管,套管內(nèi)的管道不得有焊縫,套管與管道之間應(yīng)采取間隔支撐措施。7.3空調(diào)通風(fēng)和空氣凈化7.3.1生產(chǎn)廠(chǎng)房潔凈區(qū)空氣潔凈等級(jí)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)環(huán)境要求確定。7.3.2空氣凈化系統(tǒng)宜采用上送側(cè)回或上送上回的送回風(fēng)方式。7.3.3潔凈區(qū)對(duì)相鄰非潔凈區(qū)壓差控制不宜小于5Pa,并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50472的有關(guān)7.3.4生產(chǎn)中產(chǎn)生有害氣體的工藝或設(shè)備應(yīng)設(shè)局部排風(fēng)或凈化7.3.5氫氣使用房間應(yīng)設(shè)置事故排風(fēng)系統(tǒng),事故排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)采取防爆措施,并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《大宗氣體純化及輸送系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范》GB50724和《工業(yè)建筑供暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)GB50019的有關(guān)規(guī)定,事故排風(fēng)裝置換氣次數(shù)每小時(shí)不得少于12次,并應(yīng)與氫氣檢漏裝置聯(lián)鎖,排風(fēng)口的上緣至棚平面的距離不應(yīng)大于0.1m。7.4.1生產(chǎn)廠(chǎng)房的給水系統(tǒng)可按生產(chǎn)、生活、消防用途分別設(shè)置獨(dú)立的給水系統(tǒng)。7.4.2工藝用純凈水站設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)純水7.4.3工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定:1工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)不應(yīng)中斷供水,冷卻水循環(huán)泵應(yīng)設(shè)置備用泵,工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)宜設(shè)置備用電源;應(yīng)小于0.3MPa,宜為軟水,并宜設(shè)置快速補(bǔ)水系統(tǒng);3系統(tǒng)的水溫、水壓、水質(zhì)要求應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝條件確定,對(duì)于水溫、水壓、運(yùn)行等要求差別較大的設(shè)備,工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)宜分開(kāi)設(shè)置;4工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)可為閉式循環(huán)系統(tǒng),管道、閥門(mén)及附件宜采用不銹鋼材料。7.4.4光纖器件生產(chǎn)廢水處理系統(tǒng)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子工程環(huán)境保護(hù)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50814的有關(guān)規(guī)定。7.4.5廠(chǎng)房?jī)?nèi)、外應(yīng)分別設(shè)置室內(nèi)消火栓箱和室外消火栓。7.4.6光纖器件生產(chǎn)廠(chǎng)房?jī)?nèi)、外消火栓用水量、水槍布置應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定。何部位,并應(yīng)布置在位置明顯且易于操作的位置。7.5供電及照明7.5.1生產(chǎn)廠(chǎng)房變電站的布置宜靠近主要用電負(fù)荷。7.5.2生產(chǎn)廠(chǎng)房電力負(fù)荷宜為三級(jí)負(fù)荷。型式宜采用單相三線(xiàn)制、三相五線(xiàn)制。7.5.4廠(chǎng)房的防雷接地設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑物防雷設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50057的有關(guān)規(guī)定。于4Ω。7.5.6光單元生產(chǎn)區(qū)宜為二級(jí)防靜電工作區(qū),并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子工程防靜電設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50611的有關(guān)規(guī)定。7.5.7室內(nèi)照明宜采用高效節(jié)能燈,燈具選擇與布置應(yīng)符合下列規(guī)定:1潔凈室宜采用吸頂明裝、不易積塵、便于清潔的潔凈燈具;2潔凈室采用嵌入式燈具時(shí),其安裝縫隙應(yīng)采取密封措施;3潔凈室內(nèi)燈具布置不應(yīng)影響氣體流動(dòng),并應(yīng)與送風(fēng)口協(xié)調(diào)布置;采光。7.5.8主要生產(chǎn)用區(qū)域一般照明的照度值宜為300Lux~500Lux,輔助工作間、人員凈化用室、走廊等的照度值宜為7.5.9廠(chǎng)房應(yīng)設(shè)置備用照明,并應(yīng)滿(mǎn)足所需場(chǎng)所和部位進(jìn)行活
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