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文檔簡介

2025年光學(xué)測量試題及答案一、單項選擇題(每題3分,共30分)1.以下哪種光源的時間相干性最好?A.白熾燈B.鈉光燈C.半導(dǎo)體激光器D.氙燈2.光學(xué)系統(tǒng)中,球差主要影響成像的:A.清晰度B.放大率C.色彩還原D.視場范圍3.邁克爾遜干涉儀中,當動鏡移動λ/4時,干涉條紋的變化數(shù)為:A.0.5條B.1條C.2條D.4條4.激光三角法測量位移時,若入射光與接收光夾角為θ,像點位移為Δx,像方焦距為f,則被測位移Δz的表達式為:A.Δz=Δx·f/tanθB.Δz=Δx·tanθ/fC.Δz=Δx·f/sinθD.Δz=Δx·sinθ/f5.光電倍增管的工作原理主要基于:A.外光電效應(yīng)B.內(nèi)光電效應(yīng)C.光熱效應(yīng)D.光伏效應(yīng)6.瑞利判據(jù)用于描述光學(xué)系統(tǒng)的:A.透射比B.分辨率C.像差大小D.透過率7.測量微小角度時,常用自準直儀,其核心光學(xué)元件是:A.平面反射鏡B.物鏡C.分劃板D.測微目鏡8.傅里葉變換光譜儀的核心是通過測量______來獲取光譜信息:A.透射光強B.干涉圖C.散射光強D.反射光強9.測量表面粗糙度時,白光干涉法相比激光干涉法的主要優(yōu)勢是:A.測量速度快B.抗干擾能力強C.無需相干長度限制D.分辨率更高10.光學(xué)相干層析成像(OCT)技術(shù)的分辨率主要由:A.光源帶寬B.探測器靈敏度C.掃描速度D.物鏡數(shù)值孔徑二、填空題(每空2分,共20分)1.光學(xué)測量中常用的單色光源有______(舉1例),其特點是______。2.阿貝正弦條件要求光學(xué)系統(tǒng)滿足______,以校正______像差。3.干涉測量中,相位差Δφ與光程差Δ的關(guān)系為______(表達式)。4.CCD圖像傳感器的基本功能是將______轉(zhuǎn)換為______。5.激光測距的兩種主要方法是______和______。6.測量材料折射率時,最小偏向角法需要測量______和______兩個關(guān)鍵參數(shù)。三、簡答題(每題8分,共40分)1.簡述馬赫-曾德爾干涉儀的光路結(jié)構(gòu)及在測量中的典型應(yīng)用。2.說明激光多普勒測速儀(LDV)的工作原理,列舉其主要優(yōu)點。3.比較接觸式輪廓儀與非接觸式光學(xué)輪廓儀的優(yōu)缺點。4.解釋為何光學(xué)測量中常采用調(diào)制技術(shù),舉例說明一種調(diào)制方法的實現(xiàn)。5.分析影響激光干涉測長精度的主要誤差來源。四、計算題(每題10分,共20分)1.某顯微物鏡的數(shù)值孔徑NA=0.85,工作波長λ=550nm,根據(jù)瑞利判據(jù)計算其橫向分辨率。若改用NA=1.25的油浸物鏡(油的折射率n=1.52),分辨率可提高多少?2.用波長λ=632.8nm的He-Ne激光器作為光源的邁克爾遜干涉儀測量精密導(dǎo)軌的直線度。當動鏡沿導(dǎo)軌移動時,光電探測器記錄到1250條干涉條紋的變化,求動鏡移動的實際距離。若測量過程中環(huán)境溫度波動導(dǎo)致空氣折射率變化Δn=1×10^-6,計算由此引起的測量誤差。五、綜合題(20分)設(shè)計一套基于光學(xué)三角法的微小位移測量系統(tǒng),要求:(1)畫出系統(tǒng)光路示意圖(用文字描述關(guān)鍵元件及位置關(guān)系);(2)推導(dǎo)被測位移Δz與探測器像點位移Δx的關(guān)系式(假設(shè)入射光與接收光夾角為α,接收透鏡焦距為f);(3)分析影響系統(tǒng)測量精度的主要因素,并提出3項改進措施。答案一、單項選擇題1.C2.A3.B4.A5.A6.B7.B8.B9.C10.A二、填空題1.氦氖激光器(或鈉光燈等);光譜線寬窄(或單色性好)2.nysinU=ny'sinU';彗差3.Δφ=2πΔ/λ4.光信號;電信號(或電荷信號)5.脈沖法;相位法6.棱鏡頂角;最小偏向角三、簡答題1.馬赫-曾德爾干涉儀由兩個分束鏡和兩個反射鏡組成,形成兩條獨立的干涉臂。典型應(yīng)用包括:測量透明介質(zhì)的折射率變化(如氣體密度場)、檢測光學(xué)元件表面缺陷、實現(xiàn)光調(diào)制器的特性測試等。其優(yōu)點是兩臂分離,便于插入被測樣品。2.LDV利用激光照射運動粒子時產(chǎn)生的多普勒頻移效應(yīng)。當粒子以速度v運動時,散射光頻率f'=f0(1+vcosθ/c),其中θ為入射光與運動方向夾角,c為光速。通過檢測參考光與散射光的拍頻信號(Δf=2vcosθ/λ)可計算速度。主要優(yōu)點:非接觸測量、精度高(可達0.1%)、動態(tài)響應(yīng)快、空間分辨率高。3.接觸式輪廓儀:優(yōu)點是測量結(jié)果直接、受表面反射率影響?。蝗秉c是觸針可能劃傷軟質(zhì)表面、測量速度慢、無法測量深槽或陡峭表面。非接觸式光學(xué)輪廓儀:優(yōu)點是無損傷、測量速度快、可測復(fù)雜表面;缺點是受表面反射率(如鏡面或漫反射)、環(huán)境振動、光源相干性影響較大。4.采用調(diào)制技術(shù)可抑制直流噪聲(如環(huán)境光、探測器暗電流),提高信噪比。例如:將光源用正弦信號調(diào)制(頻率f),探測器輸出信號經(jīng)帶通濾波器(中心頻率f)濾波,僅保留調(diào)制頻率成分,有效濾除低頻噪聲?;虿捎脵C械斬光器調(diào)制光強,配合鎖相放大器提取信號。5.主要誤差來源:①激光波長不穩(wěn)定(受溫度、電流影響);②空氣折射率變化(溫度、氣壓、濕度波動引起);③導(dǎo)軌直線度誤差導(dǎo)致動鏡傾斜,產(chǎn)生附加光程差;④光電探測器的噪聲(如散粒噪聲、熱噪聲);⑤干涉條紋計數(shù)誤差(如信號判讀錯誤)。四、計算題1.橫向分辨率δ=0.61λ/NA。原分辨率:δ1=0.61×550nm/0.85≈393nm油浸物鏡分辨率:δ2=0.61×550nm/(1.25)=268.4nm分辨率提高比例:(393-268.4)/393≈31.7%2.動鏡移動距離d=N×λ/2=1250×632.8nm/2=395500nm=0.3955mm空氣折射率變化引起的光程差誤差ΔL=2×d×Δn(因往返光程)測量誤差Δd=ΔL/2=d×Δn=0.3955mm×1×10^-6≈3.955×10^-7mm=0.3955nm五、綜合題(1)光路示意圖描述:半導(dǎo)體激光器發(fā)出的光束經(jīng)準直透鏡后以入射角α投射到被測物體表面,散射光經(jīng)接收透鏡成像在CCD探測器上。激光器、準直透鏡、接收透鏡、CCD固定在支架上,被測物體可沿垂直于入射光方向(z軸)移動。(2)推導(dǎo):設(shè)被測物體初始位置在z0,像點位于探測器x0處;當物體移動Δz后,散射光方向改變,像點移動至x0+Δx。根據(jù)幾何關(guān)系,接收透鏡物方視場角β滿足tanβ=Δz/L(L為物距),像方視場角β'滿足tanβ'=Δx/f(f為像方焦距)。由透鏡成像的角放大率關(guān)系tanβ'=tanβ/Γ(Γ為光學(xué)系統(tǒng)角放大率,近似為1),可得Δx/f=Δz/L。又L=D/tanα(D為激光器到接收透鏡的水平距離),聯(lián)立得Δz=Δx·L/f=Δx·D/(f·tanα)。簡化后Δz≈Δx·f/tanα(當L>>Δz時,近似tanα≈sinα)。(3)主要影響因素:①入射光與接收光夾角α的穩(wěn)定性(機械振動導(dǎo)致角度變化);②接收透鏡的像差(球差、彗差影響成像位置精度);③CCD像素尺寸(限制像點位移測量分辨率);④被測表面反射率不均勻(導(dǎo)致像點強度變化,影響質(zhì)心定位精度);⑤環(huán)境光干擾(雜散光進入

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