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1、定義游戲規(guī)則。潘多是什么?在集成電路制造過程中,掩膜的圖形通過光刻和蝕刻傳輸?shù)焦杵?。制作集成電路時(shí)使用的這個(gè)面具的幾何形狀被定義為集成電路的布局。布局要求與該電路完全匹配的設(shè)備、端口、連接、1、PPT學(xué)習(xí)交流、閘門應(yīng)用控制電壓、源極、泄漏極負(fù)責(zé)電流的流動(dòng)、導(dǎo)電通道、1、實(shí)施單個(gè)MOS管布局、2、PPT學(xué)習(xí)交流、源區(qū)域、閘門,4,PPT學(xué)習(xí)交換,MOS管電流從源流向泄漏。通道中電流的流動(dòng)距離是通道的長度。截面尺寸是通道寬度。電流方向,通道長度L,通道寬度W,2,設(shè)備大小設(shè)計(jì),5,PPT學(xué)習(xí)交流,在設(shè)計(jì)中通常以寬度和長度值的比率,即寬高比(W/L)表示設(shè)備大小。例如:假設(shè)MOS管的大小參數(shù)為20
2、/5。標(biāo)注地圖的方法。20/5,6,PPT學(xué)習(xí)通信,3,圖形繪制,7,PPT學(xué)習(xí)通信,英特爾65納米雙核處理器的掃描電鏡(SEM)剖面,8,PPT學(xué)習(xí)通信,公共層,9,PPT學(xué)習(xí)通信,PPT學(xué)習(xí)通信嚴(yán)格區(qū)分圖層效果。10,PPT學(xué)習(xí)交換,MOS設(shè)備布局層PMOS,N陷阱3354NWELL P型注入遮罩3354PSELECT活動(dòng)擴(kuò)散區(qū)活動(dòng)多晶硅柵3354POLY引線孔CC金屬1 METAL1通孔3354VIA金屬VIA金屬來源區(qū)域(ACTIVE)、引線孔(CC)、金屬1 (METAL1)、多晶硅柵(poly)、n型注入遮罩(NSELECT)、14、PPT學(xué)習(xí)交流(1)最小寬度,例如金屬、多晶體、
3、來源區(qū)域或井必須保持最小寬度。16,PPT學(xué)習(xí)交流,(2)金屬、多晶、游樂園或井等最小間隙必須保持最小間隙。17,PPT學(xué)習(xí)交換,(3)最小邊界,例如n陷阱,n離子注入和p離子注入必須有足夠的空間包圍源區(qū)域;多晶硅、源區(qū)和金屬必須在接觸孔周圍保持一定的蓋子。18,PPT學(xué)習(xí)交換,(4)最小擴(kuò)展(例如,多晶體澆口必須擴(kuò)展到特定長度以上)。在遵守設(shè)計(jì)規(guī)則的情況下獲取最小布局區(qū)域,19,PPT學(xué)習(xí)交換,5,陷阱和基板連接,通常PMOS管基板高電位(正壓);NMOS管的基板受到低電位(負(fù)壓)的影響,為了確保電路的正常運(yùn)行,20,PPT學(xué)習(xí)交流,基板材料的導(dǎo)電性不好,為了保證接觸的效果,必須在接觸區(qū)域創(chuàng)
4、建與相同源區(qū)域相似的摻雜區(qū)域,減少接觸電阻,形成接觸區(qū)域?;灏雽?dǎo)體材料與電極接觸還需要引線孔(cc)。21,PPT學(xué)習(xí)交流,p管基板n井(n型材料),電源;基板連接配置由NSELETC、ACTIVE、CC和METAL1組成,22、學(xué)習(xí)PPT AC、n管基板為基板(p型材料)、接地;基板連接配置由PSELETC、ACTIVE、CC、METAL1組成,23、PPT學(xué)習(xí)交流、整個(gè)MOS管配置必須由a)來源、灌嘴和泄漏組成。b)連接襯底。源區(qū)域、通道區(qū)域和泄漏區(qū)域稱為MOS管的活動(dòng)區(qū)域,源區(qū)域以外的區(qū)域定義為場(chǎng)區(qū)域(Fox)。源區(qū)域和域區(qū)域的總和是整個(gè)芯片表面的基板(SUB)。,24,PPT學(xué)習(xí)交流
5、,基板連接布局,盡可能多的設(shè)置襯底連接區(qū)域,25,PPT學(xué)習(xí)交換,26,PPT學(xué)習(xí)通信,6,大型設(shè)備設(shè)計(jì),單個(gè)MOS管的大小通道寬度通常小于20微米,寬高比W/L1 MOS管寬高比(版圖需要特殊處理。27、PPT學(xué)習(xí)交換、緩沖(buffer)、運(yùn)算放大器對(duì)、系統(tǒng)輸出級(jí)別常用的大型設(shè)備。28,PPT學(xué)習(xí)交換,緩沖,管,29,PPT學(xué)習(xí)交換,緩沖的第一變頻器,30,PPT學(xué)習(xí)交換,傳輸對(duì)管,31,PPT學(xué)習(xí)交換,大型設(shè)備問題:寄生電容柵系列電阻,大面積柵和基板之間的氧化層絕緣,平板電容器形成,32,PPT學(xué)習(xí)交流,由于細(xì)長柵的串聯(lián)電阻,柵兩端電壓不同,柵電壓降低,33,PPT學(xué)習(xí)交流,MOS管寄生
6、電容值,MOS管柵系列電阻值,34,(b)第4段(W/L=50/1),(a) MOS管W/L=200/1,36,PPT學(xué)習(xí)交流,(2)合并源/泄漏區(qū)域,4個(gè)小MMS.排序,37,PPT學(xué)習(xí)交流,(b)從左邊數(shù)第二和第四個(gè)MOS管,和泄漏交換,38,PPT學(xué)習(xí)交流,(c)重疊相鄰的s,d,39,PPT學(xué)習(xí)交流并行小MOS管數(shù)為n,并行管的長寬比柵系列電阻最初是大型管寄生電容的1/N、40、PPT學(xué)習(xí)交流,源泄漏共享僅可以在連接同一類型兩個(gè)MOS管上相同節(jié)點(diǎn)的端口之間進(jìn)行。源泄漏共享可以在具有相同節(jié)點(diǎn)的兩個(gè)相同類型的MOS管(例如,和兩個(gè)p管,而不是門)之間進(jìn)行!41,PPT學(xué)習(xí)交流,7,連接設(shè)備
7、,共享源泄漏后,必須連接相應(yīng)的端口以形成完整的MOS管。源極,漏極分別用梳狀金屬線連接,閘門用引線連接多晶硅。注:太長的多晶硅引線會(huì)引起較大的線電阻。要減少接觸電阻,必須盡可能多地制造簧片孔,使連接42,PPT學(xué)習(xí)交流,G,S,D,并行后源和泄漏的金屬線形成“叉”結(jié)構(gòu)。43,PPT學(xué)習(xí)交流,為了節(jié)省面積,可能適當(dāng)減少引線孔,使金屬線跨越設(shè)備;設(shè)備為矩形,44,PPT學(xué)習(xí)通信,8,實(shí)施MOS管陣列布局(1) MOS管連接。N1的源,泄漏區(qū)域是x和y,N0的源,泄漏區(qū)域是y和z。使用源泄漏共享獲得兩個(gè)MOS管串聯(lián)的圖版。電路圖、N1和N0系列布局、N1、N0布局、45、PPT學(xué)習(xí)通信、隨機(jī)MOS管
8、連接。例如,三根莫爾斯管連接在一起。電路圖,布局,46,PPT學(xué)習(xí)交流,(2)MOS管并行(并行是源和源連接,泄漏和泄漏連接,獨(dú)立于自身的大門或。)、電路圖、布局、門水平布局、47、PPT學(xué)習(xí)交流、門垂直對(duì)齊、電路圖、布局、48、PPT學(xué)習(xí)交流、3個(gè)以上MOS管并行。大MOS管分段連接、源和泄漏并行均為金屬連接(叉指)、49、PPT學(xué)習(xí)交換、(3)MOS管耦合同時(shí)為MOS管串行和并行。50,PPT學(xué)習(xí)通信,直方圖設(shè)計(jì):為了在電路中獲得最有效的源泄漏共享布局,您可以使用“直方圖設(shè)計(jì)”在繪制布局之前創(chuàng)建結(jié)構(gòu)草圖??梢院芎玫亟鉀Q設(shè)備布局問題。其次,集成電路布局設(shè)計(jì)方法,51,PPT學(xué)習(xí)通信,“混合條形圖”方法:方塊表示源區(qū)域(寬度不受限制)。實(shí)
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