1、晶圓廠機(jī)臺二次配電系統(tǒng)簡介(制作人:朱紅軍),目錄 一.晶圓廠機(jī)臺圖片欣賞 二.晶圓廠機(jī)臺一般分區(qū)規(guī)劃 三.晶圓廠機(jī)臺一般編號命名規(guī)則 四.晶圓廠機(jī)臺二次配電所對應(yīng)設(shè)備及大致位置 五.晶圓廠機(jī)臺二次配電涉及的相關(guān)設(shè)備及對應(yīng)設(shè)備的特性 六.晶圓廠機(jī)臺二次配電工作范圍及常用架構(gòu)圖 七.晶圓廠機(jī)臺二次配電一般規(guī)則 八.晶圓廠機(jī)臺二次配電所用之電盤位置規(guī)劃 九.晶圓廠機(jī)臺二次配電時相關(guān)準(zhǔn)備工作及注意事項(xiàng) 十.晶圓廠對應(yīng)機(jī)臺送電操作流程 十一.晶圓廠送電相關(guān)注意事項(xiàng) 十二.晶圓廠機(jī)臺電力系統(tǒng)日常維護(hù)保養(yǎng) 十三.問題與討論,一晶圓廠機(jī)臺圖片欣賞 1. etch-蝕刻區(qū)(簡稱E);,一晶圓廠機(jī)臺圖片欣賞 2

2、 . clean,備注:C,一晶圓廠機(jī)臺圖片欣賞 4 . thinfilm-薄膜區(qū)(簡稱T);,一晶圓廠機(jī)臺圖片欣賞 5 .其他實(shí)驗(yàn)、量測機(jī)臺及自動存儲倉庫STK.,二晶圓廠機(jī)臺一般分區(qū)規(guī)劃 1.說明:制程段機(jī)臺共分6個區(qū),分別為E C,四晶圓廠機(jī)臺二次配電所對應(yīng)設(shè)備及大致位置,備注:除了E-蝕刻區(qū)和T-薄膜區(qū)部分機(jī)臺自帶電盤外,全區(qū)機(jī)臺基本上為內(nèi)置開關(guān),位 置大多分布于FAB層(3F),配電接點(diǎn),配電接點(diǎn),配電接點(diǎn),四晶圓廠機(jī)臺二次配電所對應(yīng)設(shè)備及大致位置,2.機(jī)臺自帶電盤(AC BOX);,備注:自帶電盤的機(jī)臺,大致分布在E-蝕刻區(qū)和T-薄膜區(qū),位置基本分布在SUB-FAB 層(1F和2F

3、).,配電接點(diǎn),配電接點(diǎn),配電接點(diǎn),配電接點(diǎn),四晶圓廠機(jī)臺二次配電所對應(yīng)設(shè)備及大致位置,3.附屬抽氣馬達(dá)(PUMP);,備注:機(jī)臺附屬之PUMP,大致分布在E-蝕刻區(qū)、D-擴(kuò)散區(qū)和T-薄膜區(qū),位置基本分布在SUB-FAB層(1F和2F,且1F居多).,配電接點(diǎn),配電接點(diǎn),四晶圓廠機(jī)臺二次配電所對應(yīng)設(shè)備及大致位置,4.附屬氣體處理器(SCRUBBER);,備注:機(jī)臺附屬之SCRUBBER,大致分布在E-蝕刻區(qū)、D-擴(kuò)散區(qū)和T-薄膜區(qū),位置基本分布在SUB-FAB層(1F和2F).,配電接點(diǎn),配電接點(diǎn),四晶圓廠機(jī)臺二次配電所對應(yīng)設(shè)備及大致位置,5.附屬二氧化碳自動滅火器(CO2盤柜);,備注:機(jī)臺

4、附屬之CO2盤柜,大致分布在C-水槽區(qū),位置布置于FAB層(3F).,配電接點(diǎn),配電接點(diǎn),四晶圓廠機(jī)臺二次配電所對應(yīng)設(shè)備及大致位置,6.附屬加熱控制器等.,備注:機(jī)臺附屬之加熱控制器,大致分布在C-水槽區(qū),位置布置于FAB層(3F)和SUB-FAB(2F).,配電接點(diǎn),配電接點(diǎn),五晶圓廠機(jī)臺二次配電涉及的相關(guān)設(shè)備及對應(yīng)設(shè)備的特性,1.母線槽及插接箱(插接箱有自鎖和安裝方便之功 能,其蓋板在插接箱已經(jīng)送電后將無法打開);,插接箱,母線槽,插接箱內(nèi)部,五晶圓廠機(jī)臺二次配電涉及的相關(guān)設(shè)備及對應(yīng)設(shè)備的特性,2.插接式電盤(內(nèi)設(shè)母線槽便于安裝插接式開關(guān));,插接式電盤,盤內(nèi)布置,五晶圓廠機(jī)臺二次配電涉及

5、的相關(guān)設(shè)備及對應(yīng)設(shè)備的特性,3.插接式斷路器(方便安裝和拆卸);,插接式斷路器,五晶圓廠機(jī)臺二次配電涉及的相關(guān)設(shè)備及對應(yīng)設(shè)備的特性,4.電纜及橋架.,電纜,橋架,六晶圓廠機(jī)臺二次配電工作范圍及常用架構(gòu)圖,插接箱(PLUG IN),電盤(I-LINE Panel),機(jī)臺電源接點(diǎn)設(shè)備,Equipment,紅色尖頭內(nèi)部為機(jī)臺二次配電工作范圍,現(xiàn)場開關(guān)箱 或內(nèi)置開關(guān),母線(BUSWAY),1.機(jī)臺二次配電工作范圍,六晶圓廠機(jī)臺二次配電工作范圍及常用架構(gòu)圖,母線槽(BUSWAY),母線槽系統(tǒng)(BUSWAY)經(jīng)插接式電盤(I LINE PANEL)將電源于不停電狀態(tài)下分別接至各個設(shè)備,母線槽系統(tǒng)(BUSW

6、AY)經(jīng)插接箱(PLUG-UNIT)將電源于不停電狀態(tài)下引接至各個設(shè)備,母線槽(BUSWAY)授電端:額定電流2000A,變電室,備注:一般規(guī)定負(fù)載需求電流在100A以下(包括100A)的機(jī)臺配電,來源于電盤;負(fù)載需求電流在100A以上(不包括100A)的機(jī)臺配電,直接來源于插接箱.,2.機(jī)臺二次配電常用架構(gòu)圖,七晶圓廠機(jī)臺二次配電一般規(guī)則,1.晶圓廠機(jī)臺二次配電系統(tǒng)分類 (1). 一般市電(NORMAL)配電系統(tǒng) 需求機(jī)臺如下： .一般機(jī)臺所用的主電源(如E-蝕刻區(qū)主電;C-水槽區(qū)主電;P-黃光 區(qū)主電;D-擴(kuò)散區(qū)或爐管區(qū)主電) .實(shí)驗(yàn)機(jī)臺所用的電源(如E-蝕刻區(qū);C-水槽區(qū);P-黃光區(qū);D

7、-擴(kuò)散區(qū) 或爐管區(qū);T-薄膜區(qū)) (2). 不間斷電源(UPS)配電系統(tǒng) 需求機(jī)臺如下： .一般機(jī)臺所用的控制電源(如E-蝕刻區(qū)控制電;C-水槽區(qū)控制電 及CO2控制柜電;P-黃光區(qū)控制電;D-擴(kuò)散區(qū)或爐管區(qū)控制電;T- 薄膜區(qū)控制電) .特殊機(jī)臺所用的主電及控制電源(如T-薄膜區(qū)主電及控制電),備注:一般對于生產(chǎn)機(jī)臺來說,E電(應(yīng)急電)只當(dāng)N電(一般市電)使用.,七晶圓廠機(jī)臺二次配電一般規(guī)則,2.晶圓廠機(jī)臺二次配電電壓類型 因各國的電壓標(biāo)準(zhǔn)不同,導(dǎo)致機(jī)臺二次配電壓有所不同:渝德19.05K 生產(chǎn)線中90%機(jī)臺二次配電的電壓為120/208V,10%的機(jī)臺因來源不同導(dǎo)致需求為220/380V.

8、 以下為各國電壓標(biāo)準(zhǔn):,(1),(2),七晶圓廠機(jī)臺二次配電一般規(guī)則,(3),(4),八晶圓廠機(jī)臺二次配電所用之電盤位置規(guī)劃,1.電盤位置規(guī)劃: 從節(jié)省材料考慮,可以布置于SUB-FAB每個區(qū)(A區(qū)和B區(qū))中心線上,根據(jù)情況在ECPDT區(qū)域各自布置2至4個電盤(包含N電和U電);從美觀、操作和管理方便以及不易同其他設(shè)備沖突考慮,盡量布置于SUB-FAB的兩側(cè)回風(fēng)道內(nèi),區(qū)域內(nèi)各自布置2至4個電盤(包含N電和U電).,B區(qū),A區(qū),B區(qū)中心線,A區(qū)中心線,A區(qū)回風(fēng)道,B區(qū)回風(fēng)道,九晶圓廠機(jī)臺二次配電時相關(guān)準(zhǔn)備工作及注意事項(xiàng),1.機(jī)臺配電時,相關(guān)準(zhǔn)備工作 A.在得到業(yè)主通知后,進(jìn)行現(xiàn)場會勘: 準(zhǔn)備好會

9、簽單,記錄機(jī)臺配電需求,并要求業(yè)主簽字確認(rèn);同其他廠商(如氣體包-Gas/基礎(chǔ)包-Foundation/排氣包-EX/制程冷卻水包-PCW/真空包-PV/化學(xué)包-CHEMICAL/純水包- DI/廢水包- Drain等)協(xié)商好各自的施作空間和位置并各自在確認(rèn)好的位置處做好標(biāo)識. B.設(shè)計施工圖: 根據(jù)會勘狀況進(jìn)行施工圖繪制,施工圖繪制好后,通過送審業(yè)主 得到確認(rèn)后,開始現(xiàn)場備料施作.,九晶圓廠機(jī)臺二次配電時相關(guān)準(zhǔn)備工作及注意事項(xiàng),2.配電相關(guān)注意事項(xiàng) A.禁止觸碰與本工程無關(guān)的機(jī)臺部位: 在配電施作時,根據(jù)施工圖紙進(jìn)行施作,不可隨意觸碰與 本工程無關(guān)的機(jī)臺部位,以免造成不必要的糾紛. B.機(jī)臺

10、配電電纜施作路徑: 從SUB-FAB(2F)層的電盤或者插接箱,通過橋架或者電 線管, 再經(jīng)高架地板配線至機(jī)臺.,N,N,N,Y,N,N,N,Y,Y,Y,Y,Y,N,十晶圓廠對應(yīng)機(jī)臺送電操作流程,插節(jié)箱送電檢查,插節(jié)式電盤(I LINE PANEL)送電檢查,機(jī)臺送電檢查,機(jī)臺送電檢查,機(jī)臺送電檢查,機(jī)臺送電檢查,機(jī)臺送電檢查,機(jī)臺送電檢查,Y,十一晶圓廠送電相關(guān)注意事項(xiàng),1.機(jī)臺送電前 (1).確保設(shè)備開關(guān)為斷開位置 (2).確保現(xiàn)場銜接位置的所有螺絲固定 牢固 (3).回路的絕緣量測完好 2.送電中 (1).送電時,電盤和機(jī)臺側(cè)至少分別配2 個操作人員 (2).送電時,要確保機(jī)臺操作門面關(guān)閉 (3).非相關(guān)人員要求遠(yuǎn)離送電機(jī)臺 (4).送電開關(guān)要求重復(fù)開斷至少兩次,十一晶圓廠送電相關(guān)注意事項(xiàng),3.送電完成 (1).用萬用表測量電壓是否符合用點(diǎn)需 求 (2).用相序表測量,相序是否正確 (3).記錄下送電機(jī)臺相關(guān)測量參數(shù) (4).在機(jī)臺處貼上送電標(biāo)示(標(biāo)示所用的 紙張要求為無塵紙),十二晶圓廠機(jī)臺電力系統(tǒng)日常維護(hù)保養(yǎng),1. 二次配電力系統(tǒng)日常維護(hù)保養(yǎng)的內(nèi)容主要是： 對相關(guān)設(shè)備進(jìn)行清掃、吹塵、擦拭，檢查插節(jié)式電盤(I LINE PANEL) 、插接箱、盤內(nèi)斷路器等固定是否牢 固，安全裝置是否正常，盤體多功能表運(yùn)行參數(shù)是否正 常，機(jī)臺運(yùn)行是否正常，附屬設(shè)備是否正常等，消除不 正常