1、機敏傳感器和應(yīng)用技術(shù)AIR-Sensitive Sensor and Its應(yīng)用節(jié)目技術(shù)egy，1?；魝鞲衅骰窘Y(jié)構(gòu)，基敏傳感器結(jié)構(gòu)，2。半導體機敏傳感器結(jié)構(gòu)，3 .接觸燃燒型機敏傳感器結(jié)構(gòu)，4.圖1基敏傳感器外觀結(jié)構(gòu)，圖2基敏傳感器電路符號，2，半導體基敏傳感器結(jié)構(gòu)，1。電阻型半導體氣敏傳感器燒結(jié)型，工藝：以多孔陶瓷為基材，添加不同材料，以低溫(700-900)燒結(jié)，用途：檢測恢復性氣體、可燃氣體和液體蒸汽。缺點：燒結(jié)不足，器具機械強度下降，使用的電極材料比較珍貴，電氣特性誤差大。2，半導體基敏傳感器結(jié)構(gòu)，特點：制造工藝簡單，成本低，功耗低，可用于高壓電路。缺點：熱容量小，容易受到周圍氣流

2、的影響，測量電路和加熱電路之間沒有隔離，徐璐受到影響。第二，半導體氣體傳感器結(jié)構(gòu)，(2)燒結(jié)型側(cè)熱式，工藝：將加熱絲放在陶瓷管內(nèi)，在管外涂上梳狀金屬電極，測量極度，在金屬電極外涂上Sn02等材料。原理：克服直熱式結(jié)構(gòu)的缺點，測量極與加熱極分離，加熱室不接觸空氣敏感材料，避免測量電路與加熱電路的相互作用。特點：零件熱容量大，降低了環(huán)境溫度對零件加熱溫度的影響，從而提高了這些結(jié)構(gòu)零件的穩(wěn)定性和可靠性。2，半導體機敏傳感器結(jié)構(gòu)，2。電阻型半導體基敏傳感器薄膜型，工藝：蒸發(fā)或濺射方法，在石英或陶瓷基板上形成金屬氧化物薄膜(厚度在100 nm以下)。特點：敏感膜粒子小，靈敏度和響應(yīng)速度很高。低功耗、小型

3、化和與集成電路制造技術(shù)的兼容性是很有希望的設(shè)備。2，半導體機敏傳感器結(jié)構(gòu)，3。電阻型半導體氣敏傳感器厚膜型，工藝：將氣敏材料(Sn02或Zn0)與一定比例的硅膠膠混合，形成可打印的厚膜膠，將厚膜膠印在絲網(wǎng)預(yù)安裝的鋁基板上。特點：厚膜工藝制成的零件一致性好，機械強度高，適合批量生產(chǎn)。2，半導體氣體傳感器結(jié)構(gòu)，4。電阻率半導體氣體傳感器，原理：利用MOS二極管的容量-電壓特性變化、MOS場效應(yīng)電晶體(MOSFET)的閾值電壓變化等創(chuàng)建的氣體傳感器。特點：這些部件的制造工藝成熟，便于部件集成，性能穩(wěn)定，價格低廉。使用特定材料還可以使設(shè)備對特定氣體特別敏感。2，半導體氣體傳感器結(jié)構(gòu)，(1)MOS二極管

4、氣體傳感器，工藝，原理：Si02層容量Ca是固定的，Si和si000函數(shù)關(guān)系稱為這種MOS二極管的C-U特性。鎢對H特別敏感，因此吸附H2后，鎢的功函數(shù)降低，MOS管的C-U特性轉(zhuǎn)換為負偏置方向，如曲線所示。根據(jù)牙齒特性，可以測定H2的濃度。2，半導體氣體傳感器結(jié)構(gòu)，(2)MOS場效應(yīng)電晶體氣體傳感器，原理：Pd對H2具有強吸附性，當H2吸附在Pd柵極上時，Pd的功函數(shù)減小。Pd-MOSFET氣敏素利用牙齒特性檢測H2濃度。、三、接觸燃燒氣體傳感器結(jié)構(gòu)、接觸燃燒傳感器由貴金屬燈絲線圈、氧化鋁載體、引線、底座和網(wǎng)罩組成。牙齒傳感器在電路結(jié)構(gòu)中可分為對氣體敏感的檢測元件和對氣體不敏感的校正元件兩部分。4，密封結(jié)構(gòu)的合成裴秀智容器，由傳記化學氣體傳感器結(jié)構(gòu)、組成：透氣性隔膜、工作電極、大電極、參考電極和電解質(zhì)溶液組成。原理：操作的核心是一定的前衛(wèi)傳記分解式傳感器，是一種濕式氣體傳感器。電路的功能是將電壓加到傳感器電解質(zhì)的兩個電極，氧化或還原測量的氣體，測量氣體傳記分解時產(chǎn)生的電流，然后