1、無塵室工程的換氣次數(shù)及風(fēng)速規(guī)定（圖表對照）根據(jù)我國潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范（GB 50073-2001）規(guī)定不同級別的非單向流無塵室工程、潔凈室工程、無菌室工程等送風(fēng)量的計(jì)算所需的換氣次數(shù)以及無塵室工程的氣流速度/換氣次數(shù)，一直是無塵室工程設(shè)計(jì)中受到關(guān)注的問題，隨著無塵室污染源的控制效果增加及末端過濾器效率的提高等，對有關(guān)規(guī)范、導(dǎo)則等提出的推薦或參考值是否偏于保守，已有不少討論；FFU在應(yīng)用中人們擔(dān)心的噪音、損壞維修等問題已在實(shí)踐中得到解決，隨著FFU的不斷改進(jìn)，對是否采用FFU回風(fēng)系統(tǒng)也是個熱點(diǎn)：懸浮分子污染（AMC）的控制在微電子及IC工業(yè)中已日益提到日程上來，受到關(guān)注。以下對這些問題的情況分別作

2、歸納和分析。 關(guān)于無塵室工程的氣流速度 1、有關(guān)推薦或參考值的應(yīng)用無塵室內(nèi)一定潔凈度下氣流速度的確定，隨無塵室用途等具體情況而異，它不僅受室內(nèi)發(fā)塵量及過濾器效率還受其他因素影響，就工業(yè)無塵室工程而言，影響潔凈度及選擇氣流速度的因素主要是： (1)無塵室內(nèi)污染源：建筑物組件、人員數(shù)量及操作活動、工藝設(shè)備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源，根據(jù)具體情況而異，變化很大； (2)無塵室內(nèi)氣流流型及分布：單向流要求均勻、平等的流線，但會受到工藝設(shè)備布置和位置變動及人員活動情況等的干擾形成局部渦流；而非單向流要求充混合，避免死角及溫度分層； (3)自凈時間（恢復(fù)時間）的控制要求：無塵室中事故釋放或帶

3、入污染物或空氣氣流的中斷或正常操作時的間歇性對流氣流或人及設(shè)備的移動等都會造成潔凈度的惡化，恢復(fù)到原來潔凈度的自凈時間決定于氣流速度；對自凈時間的控制要求取決于此時間框架內(nèi)（惡化的潔凈度下），對產(chǎn)品生產(chǎn)的質(zhì)量及成品率影響的承受能力； (4)末級過濾器的效率：在一定的室內(nèi)發(fā)塵量下，可采用較高效率的過濾器以降低氣流速度；為節(jié)能應(yīng)考慮采用較高效率的過濾器，并降低氣流速度，或采用較低效率的過濾器并采用較高的氣流速度，以求流量與阻力的乘積最小；(5)經(jīng)濟(jì)性考慮：過大的氣流速度造成投資及運(yùn)行費(fèi)用的增加，合適的氣流速度為以上諸因素合理的綜合，過大往往不必要，亦不一定有效果； (6)對潔凈度要求低的無塵室工程

4、，有時換氣次數(shù)決定于室內(nèi)排熱的要求。以上因素，皆很難量化，只能分析對比并估計(jì)。因此在工程應(yīng)用中，對無塵室的氣流速度往往參照有關(guān)規(guī)范、導(dǎo)則等的推薦或參考值，再按具體情況估計(jì)以上各影響因素進(jìn)行綜合考慮后確定。氣流速度用于單向流無塵室；非單向流無塵室宜用換氣次數(shù)，因?yàn)槠錃饬魉俣入y于測準(zhǔn)；亦有用末級過濾滿布率來反映的，可用于各種氣流流型的無塵室，一般滿布率100%相對于流速0.5m/s（100fpm），25%相對于0.125m/s（25fpm）。當(dāng)前有關(guān)規(guī)范、導(dǎo)則等的推薦或參考值。 注： A、ISO14644-4對于氣流速度/換氣次數(shù)是明確作為參考資料的，表中所列僅適用于微電子及IC工廠；對制藥廠只列

5、ISO5級氣流速度0.2m/s，對ISO68級皆未列出參考值。 B、（M）指混合流，N指非單向流；*指對污染源已采取有效的隔離措施的潔凈區(qū)。 表1中有關(guān)氣流速度和換氣次數(shù)的推薦或參考值，應(yīng)該說是經(jīng)驗(yàn)的反映。如ISO/DIS14664-4提出的數(shù)值皆明確適用于那類無塵室的；IEST的推薦值亦是被一些權(quán)威機(jī)構(gòu)認(rèn)為僅適用于半導(dǎo)體工廠。由于具體情況變化較大，有的經(jīng)驗(yàn)值可能已不適合當(dāng)前的室內(nèi)塵源控制措施及過濾器效率提高的情況。 2、對有關(guān)推薦或參考值的討論近年來不少人通過實(shí)驗(yàn)認(rèn)為這些推薦或參考值過于保守，其論點(diǎn)可歸納為： (1)潔凈室內(nèi)氣流的橫向擴(kuò)散只在甚低的流速下才有可能，單向流在合理的氣流組織下，流

6、速0.050.1m/s就足夠帶走污染物，在此流速下亞微米粒子的擴(kuò)散性能遠(yuǎn)低于對流性能；而大于0.36m/s的氣流速度反而易千百萬渦流，引起污染物的再卷入。因此，無塵室的理想自凈時間Tr=體積/流率，到一定值后由于污染物的再卷入，再增大氣流速度，實(shí)際的Tr并不再有明顯的減少。 (2)末級過濾器的效率對潔凈度的影響是值得起注意的。有的氣流速度/換氣次數(shù)推薦或參考值對末級過濾器效率提高的因素往往沒作考慮。當(dāng)前HEPA/ULPA的效率從99.67%、99.99%、99.999%、99.9995%直至8個9以上都可選擇。其效率對氣流速度的影響除以上已提及外，以下方面亦值得引起注意，在非單向流情況下，按衡

7、釋原理的無塵室內(nèi)含塵濃度穩(wěn)定公式可以得出： (a)室內(nèi)發(fā)塵量較高時，末級過濾器效率的變化對潔凈度影響甚微，因此在這種情況下，過高的過濾效率是無必要的。(b)室內(nèi)發(fā)生塵量較低的情況下，采用低的氣流速度下，末級過濾器效率的變速器變化，對潔凈度的影響增大。以上情況可以引用的圖1a1c看出。 作圖有關(guān)數(shù)據(jù)：新風(fēng)進(jìn)末過濾器前的含塵濃度1.75106個/m3 室內(nèi)發(fā)生量:G1=350個/m3.min G2=3500個/m3.min G3=35000個/m3.min G4=350000個/m3.min 新風(fēng)量對于全空氣量的比率0.03 當(dāng)前有的IC工廠其ISO5級(0.3m)的無塵室工程，采用FFU系統(tǒng),帶ULPA(99.9995%,0.12m)，出口風(fēng)速為0.38m/s，其滿布率為25%，這樣室內(nèi)平均氣流速度為0.095m/s，在各有關(guān)推薦或參考值的下限下。此無塵室工程的工藝加工在微環(huán)境內(nèi)無塵室的人員亦較少，可以認(rèn)為無塵室內(nèi)發(fā)生較低，這種情況下采用低的氣流速度可能是可取的。據(jù)報(bào)道，目前IEST對無塵室內(nèi)氣流速度推薦值的下限