1、設備中心清洗組 12月20日,Rena清洗機,一 、 設備概況,RENA清洗設備,設備概況,InTex,去除硅片表面的污染物；在硅片表面腐蝕出絨面；絡合硅片表面沾污的金屬離子。,目 的 ：,InOxSide,目 的 ：,去除硅片表面的磷硅玻璃；去掉硅片背面及周邊p-n結。,工作流程,制絨槽,上料臺,下料臺,干 燥,漂洗 3#,酸 洗,漂洗 2#,堿 洗,吹 干,漂洗 1#,InOxSide,刻蝕槽,上料臺,下料臺,干 燥,漂洗 3#,酸 洗,漂洗 2#,漂洗 1#,堿 洗,Intex,開機前檢查,1、壓縮空氣: RENA 清洗 機的 Air Knifes 工作壓力規(guī)定46bar 的氣壓。,開機

2、前檢查,2、純水（DI水） 純水壓力應在3Bar - 4Bar，溫度在 20 攝氏度,開機前檢查,3、冷卻水： 進水溫度應在 20 攝氏度以下，進水回水壓力差應在 3Bar 以上,進水溫度,回水溫度,開機前檢查,4、化學品供應：,在界面下，點擊10 查看各 Media Supply 均正常供應（箭頭均為綠色）,開機的操作過程,1、合上電源，開啟設備的顯示器,電源開關,電源按鈕,開機的操作過程,點擊 Login 進入登陸界面，輸入用戶名及密碼，點擊 ok 進入,點擊,開機的操作過程,Conveyor按鈕,1.點擊 Manual 按鈕,隨后點 F4（三次），進入rives 菜單，點擊 All Co

3、nveyor,點擊 star開始滾輪轉動。 2.點 F10 退回主界面,開機的操作過程,確認界面各模塊單元上方顯示黃色 “Manual”狀態(tài)，且滾輪顯示藍色即滾動狀態(tài).,開機的操作過程,確認監(jiān)測屏幕上顯示各模塊溶液均滿槽（即 Full DI、Full Chem)和設備門窗均關閉。所有槽位工作狀態(tài)顯示 ready.,ready,Full Chem,Full DI,開機的操作過程,在設備背面處，確認 KOH 槽和酸槽液面均達到第二液位傳感器( Pump Dry Protection)，若液位不 夠，通知當班工藝工程師。,開機的操作過程,信息欄,確認各模塊有無報警信息，若有任何異常，通知當班工藝和設

4、備工程師。,開機的操作過程,Conveyor按鈕,1.點擊 Manual 按鈕,隨后點 F4（三次），進入rives 菜單，點擊 All Conveyor,點擊 Stop 停止?jié)L輪轉動。 2.點 F10 退回主界面。,開機的操作過程,點擊 Mode Auto 按鈕，設備進入自動模式，在界面上所有操作單元下方從黃色“Manual”轉變成綠 色“Auto”,Mode Auto,綠色Auto,開機的操作過程,設備將自動開始從 Tank 中向 Etch bath 添加腐蝕液,添加到 Etch bath,開機的操作過程,界面上 Etch bath 單元下方顯示為黃色“Filling chemie”和黃色

5、not ready,等待 Etch bath 添加完成，等待堿槽和酸槽溫度顯示穩(wěn)定，下方顯示為綠色,添加完成 顯示為綠色,開機的操作過程,“Full chemie”和綠色“Ready”。隨后點擊start按鈕各模塊自動運行,變?yōu)榫G色,start按鈕,開機的操作過程,界面顯示各模塊均為綠色“Ready”和綠色in process即設備進入正常生產狀態(tài)。,in process,關機的操作過程,點擊界面下方的“Stop”按鈕,stop按鈕,關機的操作過程,確認各模塊均停止工作，點擊“Mode manual按鈕進入手動模式，,Manual 按鈕,關機的操作過程,進入“Manual”選單中“Etch bath”，點擊Drain Bath,即把 Etch bath 中的反應液排到 Tank內。點擊 F10 退回主菜單，確認 Etch Bath 模塊顯示黃色not ready和黃色draining,Drain Bath,關機的操作過程,等待 Etch bath 排液完成，在 Etch bath 模塊上只顯示為黃色“not ready”。表明液體排完,顯示為黃色 “not ready”,關機的操作過程,用水槍沖洗 KOH 的噴淋管和槽體，并清潔設備表面。,關機的操作過程,檢查各門的位置，正確地調整好它們。,正確為 綠色,關機的操作過