1、 渦旋真空泵的原理、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)、類型及應(yīng)用1、渦旋真空泵的工作原理 渦旋真空泵的工作腔是由一對(duì)型線共軛的渦旋盤(pán)副嚙合安裝組成。渦旋盤(pán)就是在盤(pán)面開(kāi)有一個(gè)或幾個(gè)漸開(kāi)線螺旋槽的渦旋型盤(pán)狀結(jié)構(gòu)體。一個(gè)靜渦旋盤(pán)與一個(gè)動(dòng)渦旋盤(pán)相互交錯(cuò)組裝在一起，動(dòng)、靜盤(pán)之間由防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)保證180 相位差，這樣組成的一對(duì)渦旋盤(pán)副構(gòu)成了無(wú)油渦旋真空泵的抽氣機(jī)構(gòu)。靜渦旋盤(pán)與動(dòng)渦旋盤(pán)彼此之間在幾條直線( 在橫截面上是幾個(gè)點(diǎn)) 上接觸形成幾對(duì)月牙形封閉腔，動(dòng)渦旋盤(pán)在曲軸的驅(qū) 動(dòng)下繞靜渦旋盤(pán)的渦旋體中心運(yùn)動(dòng)，接觸點(diǎn)沿渦旋曲面移動(dòng)實(shí)現(xiàn)吸氣、壓縮與排氣。在電機(jī)的帶動(dòng)下，曲軸每轉(zhuǎn)一圈，就有一組新的月牙封閉腔形成，從而實(shí)現(xiàn)渦旋真空泵的吸氣、壓

2、縮、排氣循環(huán)，對(duì)被抽氣體形成包容和強(qiáng)制輸送。2、渦旋真空泵的結(jié)構(gòu)類型 2.2.1、公轉(zhuǎn)型 公轉(zhuǎn)型是一個(gè)渦旋固定不動(dòng)( 稱為靜渦旋) ，另一個(gè)繞著它公轉(zhuǎn)平動(dòng)( 稱為動(dòng)渦盤(pán)) ，動(dòng)渦盤(pán)由曲柄軸驅(qū)動(dòng)，密封點(diǎn)位置隨主軸同步轉(zhuǎn)動(dòng)。它整體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、零件少、渦旋回轉(zhuǎn)線速度小、機(jī)械磨損少，但需進(jìn)行平衡設(shè)計(jì)。渦旋真空泵利用最外側(cè)渦圈包容氣體形成封閉吸氣腔。為了減少渦盤(pán)末端和進(jìn)氣口之間的流導(dǎo)，常將進(jìn)氣口設(shè)在渦旋盤(pán)外圈末端附近。同時(shí)為了保證中心壓縮腔中的氣體在排氣過(guò)程中盡量排走，一般將排氣孔設(shè)在靜渦盤(pán)中心附近。因?yàn)闇u旋泵內(nèi)壓縮比不是很大，常設(shè)置排氣閥以消除壓縮不足，但應(yīng)使排氣閥與渦圈頂部之間的容積盡可能小。為了提高

3、抽速或減少渦盤(pán)尺寸，常設(shè)計(jì)采用雙側(cè)渦旋。2.2.2、回轉(zhuǎn)型 回轉(zhuǎn)型是由兩個(gè)渦旋盤(pán)心軸分別裝在兩側(cè)軸承上，其中一個(gè)由電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)，另一個(gè)由十字滑環(huán)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)，沿相同角度旋轉(zhuǎn)。其密封位置形成一條線，方向始終不變，泵采用立式結(jié)構(gòu)。驅(qū)動(dòng)電機(jī)在機(jī)殼內(nèi)上部，渦盤(pán)在下部。因其密封方向不變，回轉(zhuǎn)徑向密封既便于人為控制，又能避免渦圈側(cè)面接觸而需進(jìn)行的卸載運(yùn)轉(zhuǎn)，但其整體結(jié)構(gòu)復(fù)雜、零件多、機(jī)械磨損高。2.2.3 、轉(zhuǎn)型和回轉(zhuǎn)型的區(qū)別 (1) 轉(zhuǎn)動(dòng)形式不同。公轉(zhuǎn)型是一個(gè)渦旋固定不動(dòng)為靜渦旋，另一個(gè)為動(dòng)渦旋，動(dòng)渦旋繞著靜渦旋作公轉(zhuǎn)平動(dòng)。而自轉(zhuǎn)型的兩個(gè)渦旋盤(pán)各自繞其自身轉(zhuǎn)軸實(shí)現(xiàn)兩者同步同方向轉(zhuǎn)動(dòng)。 (2) 密封位置和方向不

4、同。回轉(zhuǎn)型的兩個(gè)渦旋盤(pán)齒的徑向密封位置形成一條線，密封線方位始終固定不變。公轉(zhuǎn)型渦旋機(jī)械徑向密封的位置和方向卻隨著主軸同步轉(zhuǎn)動(dòng)。即主軸旋轉(zhuǎn)一周，徑向密封線的方位變化360 。 (3) 渦旋盤(pán)所受的氣體徑向力和切向力的方向不同。公轉(zhuǎn)型渦旋機(jī)械由動(dòng)渦旋隨曲軸作偏心公轉(zhuǎn)，因而動(dòng)渦旋受氣體徑向力和切向力的方向繞曲軸同步回轉(zhuǎn)。而回轉(zhuǎn)型兩個(gè)渦旋盤(pán)所受氣體徑向力和切向力在空間的位置和方向則始終不變，徑向力在密封線方向，切向力垂直于密封線方向。因而不能像公轉(zhuǎn)型渦旋機(jī)械那樣，應(yīng)用偏心套或滑動(dòng)軸套徑向隨便機(jī)構(gòu)自動(dòng)調(diào)節(jié)渦旋齒側(cè)面間隙，達(dá)到徑向密封。公轉(zhuǎn)型渦旋曲軸承受均勻載荷，而回轉(zhuǎn)型渦旋曲軸承受局部載荷，設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)特

5、別注意。 (4) 平衡不同。在回轉(zhuǎn)型渦旋中，由于不使用偏心軸，兩個(gè)渦旋各自繞自身軸轉(zhuǎn)動(dòng)，在不考慮渦旋齒偏心質(zhì)量情況下，可不考慮離心力存在，也就不需設(shè)置平衡塊。而公轉(zhuǎn)型必須考慮動(dòng)渦旋的偏心質(zhì)量，設(shè)置平衡塊來(lái)平衡東渦旋盤(pán)的離心慣性力和離心慣性力矩，才能使機(jī)器平穩(wěn)工作。 (5) 傾覆力矩和軸向力不同?；剞D(zhuǎn)型渦旋機(jī)械由于兩渦旋盤(pán)都轉(zhuǎn)動(dòng)，都承受同樣大小的傾覆力矩和氣體軸向力，在設(shè)計(jì)時(shí)，需同時(shí)考慮軸向力推力、軸承載荷。而公轉(zhuǎn)型只有一個(gè)動(dòng)渦盤(pán)受傾覆力矩作用，所以只需考慮動(dòng)渦盤(pán)所受的傾覆力矩和軸向力。3、渦旋真空泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn) 渦旋真空泵主要由5 個(gè)部件組成: 動(dòng)靜渦旋盤(pán)副與基座: 一個(gè)或幾個(gè)漸開(kāi)螺旋線形成的一

6、個(gè)渦旋型盤(pán)狀結(jié)構(gòu)。一個(gè)靜渦旋盤(pán)與一個(gè)動(dòng)渦旋盤(pán)相互交錯(cuò)，兩者之間保證180 相位差組成的一對(duì)渦旋盤(pán)副機(jī)構(gòu)。 曲軸: 保證動(dòng)渦盤(pán)繞靜渦盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)的偏心機(jī)構(gòu)。 密封件: 保證動(dòng)、靜盤(pán)的端面齒頂密封等的密封裝置。 防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu): 保證動(dòng)、靜盤(pán)180 相位差的機(jī)構(gòu)。 電機(jī): 輸出約1500 r /min 的動(dòng)力機(jī)構(gòu)。 它的主要運(yùn)動(dòng)件只有一個(gè)動(dòng)渦旋盤(pán)，因而動(dòng)力傳遞簡(jiǎn)單，相同尺寸下運(yùn)動(dòng)半徑小、零部件少、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、整機(jī)尺寸小，動(dòng)、靜渦旋盤(pán)之間、動(dòng)盤(pán)與泵腔之間間隙小，泵內(nèi)運(yùn)動(dòng)件與泵腔無(wú)摩擦，所以幾乎無(wú)磨損，運(yùn)行平穩(wěn)，消耗功率小，氣體流動(dòng)損失小，工作可靠性高、壽命長(zhǎng)，易于維修，維修費(fèi)用低，容積效率高。采用空氣冷卻，

7、無(wú)需水冷。渦旋真空泵具有較高的壓縮比，在較寬的壓力范圍內(nèi)具有穩(wěn)定的抽速，由于壓縮腔容積的變化是連續(xù)的，因而驅(qū)動(dòng)扭矩變化小，功率變化小，振動(dòng)噪聲低，這是其他類型的干式真空泵所不具備的。4、渦旋真空泵的應(yīng)用領(lǐng)域 渦旋泵已被廣泛應(yīng)用于諸多領(lǐng)域: 半導(dǎo)體行業(yè): 薄膜制造設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備; 科學(xué)儀器行業(yè):同步輻射光束線機(jī)、電子顯微鏡、極光試驗(yàn)設(shè)備、分析測(cè)試儀器; 機(jī)械設(shè)備行業(yè): 材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)設(shè)備、真空過(guò)濾設(shè)備、材料提純?cè)O(shè)備、超高真空排氣設(shè)備; 醫(yī)療設(shè)備行業(yè): 牙科儀器、透析機(jī); 生物制品行業(yè):材料提純與藥品制備; 包裝行業(yè): 食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備; 真空冶金行業(yè): 真空爐、納

8、米材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)設(shè)備等領(lǐng)域。 渦旋泵作為分子泵和小型低溫泵的前級(jí)泵是獲得無(wú)油真空系統(tǒng)的最佳配置。1、渦旋真空泵的工作原理 渦旋真空泵的工作腔是由一對(duì)型線共軛的渦旋盤(pán)副嚙合安裝組成。渦旋盤(pán)就是在盤(pán)面開(kāi)有一個(gè)或幾個(gè)漸開(kāi)線螺旋槽的渦旋型盤(pán)狀結(jié)構(gòu)體。一個(gè)靜渦旋盤(pán)與一個(gè)動(dòng)渦旋盤(pán)相互交錯(cuò)組裝在一起，動(dòng)、靜盤(pán)之間由防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)保證180 相位差，這樣組成的一對(duì)渦旋盤(pán)副構(gòu)成瞭無(wú)油渦旋真空泵的抽氣機(jī)構(gòu)。靜渦旋盤(pán)與動(dòng)渦旋盤(pán)彼此之間在幾條直線( 在橫截面上是幾個(gè)點(diǎn)) 上接觸形成幾對(duì)月牙形封閉腔，動(dòng)渦旋盤(pán)在曲軸的驅(qū) 動(dòng)下繞靜渦旋盤(pán)的渦旋體中心運(yùn)動(dòng)，接觸點(diǎn)沿渦旋曲面移動(dòng)實(shí)現(xiàn)吸氣、壓縮與排氣。在電機(jī)的帶動(dòng)下，曲軸每

9、轉(zhuǎn)一圈，就有一組新的月牙封閉腔形成，從而實(shí)現(xiàn)渦旋真空泵的吸氣、壓縮、排氣循環(huán)，對(duì)被抽氣體形成包容和強(qiáng)制輸送。2、渦旋真空泵的結(jié)構(gòu)類型 2.2.1、公轉(zhuǎn)型 公轉(zhuǎn)型是一個(gè)渦旋固定不動(dòng)( 稱為靜渦旋) ，另一個(gè)繞著它公轉(zhuǎn)平動(dòng)( 稱為動(dòng)渦盤(pán)) ，動(dòng)渦盤(pán)由曲柄軸驅(qū)動(dòng)，密封點(diǎn)位置隨主軸同步轉(zhuǎn)動(dòng)。它整體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、零件少、渦旋回轉(zhuǎn)線速度小、機(jī)械磨損少，但需進(jìn)行平衡設(shè)計(jì)。渦旋真空泵利用最外側(cè)渦圈包容氣體形成封閉吸氣腔。為瞭減少渦盤(pán)末端和進(jìn)氣口之間的流導(dǎo)，常將進(jìn)氣口設(shè)在渦旋盤(pán)外圈末端附近。同時(shí)為瞭保證中心壓縮腔中的氣體在排氣過(guò)程中盡量排走，一般將排氣孔設(shè)在靜渦盤(pán)中心附近。因?yàn)闇u旋泵內(nèi)壓縮比不是很大，常設(shè)置排氣閥以

10、消除壓縮不足，但應(yīng)使排氣閥與渦圈頂部之間的容積盡可能小。為瞭提高抽速或減少渦盤(pán)尺寸，常設(shè)計(jì)采用雙側(cè)渦旋。2.2.2、回轉(zhuǎn)型 回轉(zhuǎn)型是由兩個(gè)渦旋盤(pán)心軸分別裝在兩側(cè)軸承上，其中一個(gè)由電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)，另一個(gè)由十字滑環(huán)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)，沿相同角度旋轉(zhuǎn)。其密封位置形成一條線，方向始終不變，泵采用立式結(jié)構(gòu)。驅(qū)動(dòng)電機(jī)在機(jī)殼內(nèi)上部，渦盤(pán)在下部。因其密封方向不變，回轉(zhuǎn)徑向密封既便於人為控制，又能避免渦圈側(cè)面接觸而需進(jìn)行的卸載運(yùn)轉(zhuǎn)，但其整體結(jié)構(gòu)復(fù)雜、零件多、機(jī)械磨損高。2.2.3 、轉(zhuǎn)型和回轉(zhuǎn)型的區(qū)別 (1) 轉(zhuǎn)動(dòng)形式不同。公轉(zhuǎn)型是一個(gè)渦旋固定不動(dòng)為靜渦旋，另一個(gè)為動(dòng)渦旋，動(dòng)渦旋繞著靜渦旋作公轉(zhuǎn)平動(dòng)。而自轉(zhuǎn)型的兩個(gè)渦旋盤(pán)各

11、自繞其自身轉(zhuǎn)軸實(shí)現(xiàn)兩者同步同方向轉(zhuǎn)動(dòng)。 (2) 密封位置和方向不同?；剞D(zhuǎn)型的兩個(gè)渦旋盤(pán)齒的徑向密封位置形成一條線，密封線方位始終固定不變。公轉(zhuǎn)型渦旋機(jī)械徑向密封的位置和方向卻隨著主軸同步轉(zhuǎn)動(dòng)。即主軸旋轉(zhuǎn)一周，徑向密封線的方位變化360 。 (3) 渦旋盤(pán)所受的氣體徑向力和切向力的方向不同。公轉(zhuǎn)型渦旋機(jī)械由動(dòng)渦旋隨曲軸作偏心公轉(zhuǎn)，因而動(dòng)渦旋受氣體徑向力和切向力的方向繞曲軸同步回轉(zhuǎn)。而回轉(zhuǎn)型兩個(gè)渦旋盤(pán)所受氣體徑向力和切向力在空間的位置和方向則始終不變，徑向力在密封線方向，切向力垂直於密封線方向。因而不能像公轉(zhuǎn)型渦旋機(jī)械那樣，應(yīng)用偏心套或滑動(dòng)軸套徑向隨便機(jī)構(gòu)自動(dòng)調(diào)節(jié)渦旋齒側(cè)面間隙，達(dá)到徑向密封。公轉(zhuǎn)

12、型渦旋曲軸承受均勻載荷，而回轉(zhuǎn)型渦旋曲軸承受局部載荷，設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)特別註意。 (4) 平衡不同。在回轉(zhuǎn)型渦旋中，由於不使用偏心軸，兩個(gè)渦旋各自繞自身軸轉(zhuǎn)動(dòng)，在不考慮渦旋齒偏心質(zhì)量情況下，可不考慮離心力存在，也就不需設(shè)置平衡塊。而公轉(zhuǎn)型必須考慮動(dòng)渦旋的偏心質(zhì)量，設(shè)置平衡塊來(lái)平衡東渦旋盤(pán)的離心慣性力和離心慣性力矩，才能使機(jī)器平穩(wěn)工作。 (5) 傾覆力矩和軸向力不同?；剞D(zhuǎn)型渦旋機(jī)械由於兩渦旋盤(pán)都轉(zhuǎn)動(dòng)，都承受同樣大小的傾覆力矩和氣體軸向力，在設(shè)計(jì)時(shí)，需同時(shí)考慮軸向力推力、軸承載荷。而公轉(zhuǎn)型隻有一個(gè)動(dòng)渦盤(pán)受傾覆力矩作用，所以隻需考慮動(dòng)渦盤(pán)所受的傾覆力矩和軸向力。3、渦旋真空泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn) 渦旋真空泵主要由5

13、個(gè)部件組成: 動(dòng)靜渦旋盤(pán)副與基座: 一個(gè)或幾個(gè)漸開(kāi)螺旋線形成的一個(gè)渦旋型盤(pán)狀結(jié)構(gòu)。一個(gè)靜渦旋盤(pán)與一個(gè)動(dòng)渦旋盤(pán)相互交錯(cuò)，兩者之間保證180 相位差組成的一對(duì)渦旋盤(pán)副機(jī)構(gòu)。 曲軸: 保證動(dòng)渦盤(pán)繞靜渦盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)的偏心機(jī)構(gòu)。 密封件: 保證動(dòng)、靜盤(pán)的端面齒頂密封等的密封裝置。 防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu): 保證動(dòng)、靜盤(pán)180 相位差的機(jī)構(gòu)。 電機(jī): 輸出約1500 r /min 的動(dòng)力機(jī)構(gòu)。 它的主要運(yùn)動(dòng)件隻有一個(gè)動(dòng)渦旋盤(pán)，因而動(dòng)力傳遞簡(jiǎn)單，相同尺寸下運(yùn)動(dòng)半徑小、零部件少、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、整機(jī)尺寸小，動(dòng)、靜渦旋盤(pán)之間、動(dòng)盤(pán)與泵腔之間間隙小，泵內(nèi)運(yùn)動(dòng)件與泵腔無(wú)摩擦，所以幾乎無(wú)磨損，運(yùn)行平穩(wěn)，消耗功率小，氣體流動(dòng)損失小，工作可

14、靠性高、壽命長(zhǎng)，易於維修，維修費(fèi)用低，容積效率高。采用空氣冷卻，無(wú)需水冷。渦旋真空泵具有較高的壓縮比，在較寬的壓力范圍內(nèi)具有穩(wěn)定的抽速，由於壓縮腔容積的變化是連續(xù)的，因而驅(qū)動(dòng)扭矩變化小，功率變化小，振動(dòng)噪聲低，這是其他類型的幹式真空泵所不具備的。4、渦旋真空泵的應(yīng)用領(lǐng)域 渦旋泵已被廣泛應(yīng)用於諸多領(lǐng)域: 半導(dǎo)體行業(yè): 薄膜制造設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備; 科學(xué)儀器行業(yè):同步輻射光束線機(jī)、電子顯微鏡、極光試驗(yàn)設(shè)備、分析測(cè)試儀器; 機(jī)械設(shè)備行業(yè): 材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)設(shè)備、真空過(guò)濾設(shè)備、材料提純?cè)O(shè)備、超高真空排氣設(shè)備; 醫(yī)療設(shè)備行業(yè): 牙科儀器、透析機(jī); 生物制品行業(yè):材料提純與藥品制備; 包裝行業(yè)

15、: 食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備; 真空冶金行業(yè): 真空爐、納米材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)設(shè)備等領(lǐng)域。 渦旋泵作為分子泵和小型低溫泵的前級(jí)泵是獲得無(wú)油真空系統(tǒng)的最佳配置。1、渦旋真空泵的工作原理 渦旋真空泵的工作腔是由一對(duì)型線共軛的渦旋盤(pán)副嚙合安裝組成。渦旋盤(pán)就是在盤(pán)面開(kāi)有一個(gè)或幾個(gè)漸開(kāi)線螺旋槽的渦旋型盤(pán)狀結(jié)構(gòu)體。一個(gè)靜渦旋盤(pán)與一個(gè)動(dòng)渦旋盤(pán)相互交錯(cuò)組裝在一起，動(dòng)、靜盤(pán)之間由防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)保證180 相位差，這樣組成的一對(duì)渦旋盤(pán)副構(gòu)成了無(wú)油渦旋真空泵的抽氣機(jī)構(gòu)。靜渦旋盤(pán)與動(dòng)渦旋盤(pán)彼此之間在幾條直線( 在橫截面上是幾個(gè)點(diǎn)) 上接觸形成幾對(duì)月牙形封閉腔，動(dòng)渦旋盤(pán)在曲軸的驅(qū) 動(dòng)下繞靜渦旋盤(pán)的渦旋體中心運(yùn)動(dòng)，

16、接觸點(diǎn)沿渦旋曲面移動(dòng)實(shí)現(xiàn)吸氣、壓縮與排氣。在電機(jī)的帶動(dòng)下，曲軸每轉(zhuǎn)一圈，就有一組新的月牙封閉腔形成，從而實(shí)現(xiàn)渦旋真空泵的吸氣、壓縮、排氣循環(huán)，對(duì)被抽氣體形成包容和強(qiáng)制輸送。2、渦旋真空泵的結(jié)構(gòu)類型 2.2.1、公轉(zhuǎn)型 公轉(zhuǎn)型是一個(gè)渦旋固定不動(dòng)( 稱為靜渦旋) ，另一個(gè)繞著它公轉(zhuǎn)平動(dòng)( 稱為動(dòng)渦盤(pán)) ，動(dòng)渦盤(pán)由曲柄軸驅(qū)動(dòng)，密封點(diǎn)位置隨主軸同步轉(zhuǎn)動(dòng)。它整體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、零件少、渦旋回轉(zhuǎn)線速度小、機(jī)械磨損少，但需進(jìn)行平衡設(shè)計(jì)。渦旋真空泵利用最外側(cè)渦圈包容氣體形成封閉吸氣腔。為了減少渦盤(pán)末端和進(jìn)氣口之間的流導(dǎo)，常將進(jìn)氣口設(shè)在渦旋盤(pán)外圈末端附近。同時(shí)為了保證中心壓縮腔中的氣體在排氣過(guò)程中盡量排走，一般將排氣

17、孔設(shè)在靜渦盤(pán)中心附近。因?yàn)闇u旋泵內(nèi)壓縮比不是很大，常設(shè)置排氣閥以消除壓縮不足，但應(yīng)使排氣閥與渦圈頂部之間的容積盡可能小。為了提高抽速或減少渦盤(pán)尺寸，常設(shè)計(jì)采用雙側(cè)渦旋。2.2.2、回轉(zhuǎn)型 回轉(zhuǎn)型是由兩個(gè)渦旋盤(pán)心軸分別裝在兩側(cè)軸承上，其中一個(gè)由電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)，另一個(gè)由十字滑環(huán)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)，沿相同角度旋轉(zhuǎn)。其密封位置形成一條線，方向始終不變，泵采用立式結(jié)構(gòu)。驅(qū)動(dòng)電機(jī)在機(jī)殼內(nèi)上部，渦盤(pán)在下部。因其密封方向不變，回轉(zhuǎn)徑向密封既便于人為控制，又能避免渦圈側(cè)面接觸而需進(jìn)行的卸載運(yùn)轉(zhuǎn)，但其整體結(jié)構(gòu)復(fù)雜、零件多、機(jī)械磨損高。2.2.3 、轉(zhuǎn)型和回轉(zhuǎn)型的區(qū)別 (1) 轉(zhuǎn)動(dòng)形式不同。公轉(zhuǎn)型是一個(gè)渦旋固定不動(dòng)為靜渦旋，另

18、一個(gè)為動(dòng)渦旋，動(dòng)渦旋繞著靜渦旋作公轉(zhuǎn)平動(dòng)。而自轉(zhuǎn)型的兩個(gè)渦旋盤(pán)各自繞其自身轉(zhuǎn)軸實(shí)現(xiàn)兩者同步同方向轉(zhuǎn)動(dòng)。 (2) 密封位置和方向不同?；剞D(zhuǎn)型的兩個(gè)渦旋盤(pán)齒的徑向密封位置形成一條線，密封線方位始終固定不變。公轉(zhuǎn)型渦旋機(jī)械徑向密封的位置和方向卻隨著主軸同步轉(zhuǎn)動(dòng)。即主軸旋轉(zhuǎn)一周，徑向密封線的方位變化360 。 (3) 渦旋盤(pán)所受的氣體徑向力和切向力的方向不同。公轉(zhuǎn)型渦旋機(jī)械由動(dòng)渦旋隨曲軸作偏心公轉(zhuǎn)，因而動(dòng)渦旋受氣體徑向力和切向力的方向繞曲軸同步回轉(zhuǎn)。而回轉(zhuǎn)型兩個(gè)渦旋盤(pán)所受氣體徑向力和切向力在空間的位置和方向則始終不變，徑向力在密封線方向，切向力垂直于密封線方向。因而不能像公轉(zhuǎn)型渦旋機(jī)械那樣，應(yīng)用偏心套

19、或滑動(dòng)軸套徑向隨便機(jī)構(gòu)自動(dòng)調(diào)節(jié)渦旋齒側(cè)面間隙，達(dá)到徑向密封。公轉(zhuǎn)型渦旋曲軸承受均勻載荷，而回轉(zhuǎn)型渦旋曲軸承受局部載荷，設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)特別注意。 (4) 平衡不同。在回轉(zhuǎn)型渦旋中，由于不使用偏心軸，兩個(gè)渦旋各自繞自身軸轉(zhuǎn)動(dòng)，在不考慮渦旋齒偏心質(zhì)量情況下，可不考慮離心力存在，也就不需設(shè)置平衡塊。而公轉(zhuǎn)型必須考慮動(dòng)渦旋的偏心質(zhì)量，設(shè)置平衡塊來(lái)平衡東渦旋盤(pán)的離心慣性力和離心慣性力矩，才能使機(jī)器平穩(wěn)工作。 (5) 傾覆力矩和軸向力不同。回轉(zhuǎn)型渦旋機(jī)械由于兩渦旋盤(pán)都轉(zhuǎn)動(dòng)，都承受同樣大小的傾覆力矩和氣體軸向力，在設(shè)計(jì)時(shí)，需同時(shí)考慮軸向力推力、軸承載荷。而公轉(zhuǎn)型只有一個(gè)動(dòng)渦盤(pán)受傾覆力矩作用，所以只需考慮動(dòng)渦盤(pán)所受的

20、傾覆力矩和軸向力。3、渦旋真空泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn) 渦旋真空泵主要由5 個(gè)部件組成: 動(dòng)靜渦旋盤(pán)副與基座: 一個(gè)或幾個(gè)漸開(kāi)螺旋線形成的一個(gè)渦旋型盤(pán)狀結(jié)構(gòu)。一個(gè)靜渦旋盤(pán)與一個(gè)動(dòng)渦旋盤(pán)相互交錯(cuò)，兩者之間保證180 相位差組成的一對(duì)渦旋盤(pán)副機(jī)構(gòu)。 曲軸: 保證動(dòng)渦盤(pán)繞靜渦盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)的偏心機(jī)構(gòu)。 密封件: 保證動(dòng)、靜盤(pán)的端面齒頂密封等的密封裝置。 防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu): 保證動(dòng)、靜盤(pán)180 相位差的機(jī)構(gòu)。 電機(jī): 輸出約1500 r /min 的動(dòng)力機(jī)構(gòu)。 它的主要運(yùn)動(dòng)件只有一個(gè)動(dòng)渦旋盤(pán)，因而動(dòng)力傳遞簡(jiǎn)單，相同尺寸下運(yùn)動(dòng)半徑小、零部件少、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、整機(jī)尺寸小，動(dòng)、靜渦旋盤(pán)之間、動(dòng)盤(pán)與泵腔之間間隙小，泵內(nèi)運(yùn)動(dòng)件與泵腔無(wú)摩

21、擦，所以幾乎無(wú)磨損，運(yùn)行平穩(wěn)，消耗功率小，氣體流動(dòng)損失小，工作可靠性高、壽命長(zhǎng)，易于維修，維修費(fèi)用低，容積效率高。采用空氣冷卻，無(wú)需水冷。渦旋真空泵具有較高的壓縮比，在較寬的壓力范圍內(nèi)具有穩(wěn)定的抽速，由于壓縮腔容積的變化是連續(xù)的，因而驅(qū)動(dòng)扭矩變化小，功率變化小，振動(dòng)噪聲低，這是其他類型的干式真空泵所不具備的。4、渦旋真空泵的應(yīng)用領(lǐng)域 渦旋泵已被廣泛應(yīng)用于諸多領(lǐng)域: 半導(dǎo)體行業(yè): 薄膜制造設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備; 科學(xué)儀器行業(yè):同步輻射光束線機(jī)、電子顯微鏡、極光試驗(yàn)設(shè)備、分析測(cè)試儀器; 機(jī)械設(shè)備行業(yè): 材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)設(shè)備、真空過(guò)濾設(shè)備、材料提純?cè)O(shè)備、超高真空排氣設(shè)備; 醫(yī)療設(shè)備行業(yè):

22、牙科儀器、透析機(jī); 生物制品行業(yè):材料提純與藥品制備; 包裝行業(yè): 食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備; 真空冶金行業(yè): 真空爐、納米材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)設(shè)備等領(lǐng)域。 渦旋泵作為分子泵和小型低溫泵的前級(jí)泵是獲得無(wú)油真空系統(tǒng)的最佳配置。1、渦旋真空泵的工作原理 渦旋真空泵的工作腔是由一對(duì)型線共軛的渦旋盤(pán)副嚙合安裝組成。渦旋盤(pán)就是在盤(pán)面開(kāi)有一個(gè)或幾個(gè)漸開(kāi)線螺旋槽的渦旋型盤(pán)狀結(jié)構(gòu)體。一個(gè)靜渦旋盤(pán)與一個(gè)動(dòng)渦旋盤(pán)相互交錯(cuò)組裝在一起，動(dòng)、靜盤(pán)之間由防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)保證180 相位差，這樣組成的一對(duì)渦旋盤(pán)副構(gòu)成瞭無(wú)油渦旋真空泵的抽氣機(jī)構(gòu)。靜渦旋盤(pán)與動(dòng)渦旋盤(pán)彼此之間在幾條直線( 在橫截面上是幾個(gè)點(diǎn)) 上接觸形成幾對(duì)月

23、牙形封閉腔，動(dòng)渦旋盤(pán)在曲軸的驅(qū) 動(dòng)下繞靜渦旋盤(pán)的渦旋體中心運(yùn)動(dòng)，接觸點(diǎn)沿渦旋曲面移動(dòng)實(shí)現(xiàn)吸氣、壓縮與排氣。在電機(jī)的帶動(dòng)下，曲軸每轉(zhuǎn)一圈，就有一組新的月牙封閉腔形成，從而實(shí)現(xiàn)渦旋真空泵的吸氣、壓縮、排氣循環(huán)，對(duì)被抽氣體形成包容和強(qiáng)制輸送。2、渦旋真空泵的結(jié)構(gòu)類型 2.2.1、公轉(zhuǎn)型 公轉(zhuǎn)型是一個(gè)渦旋固定不動(dòng)( 稱為靜渦旋) ，另一個(gè)繞著它公轉(zhuǎn)平動(dòng)( 稱為動(dòng)渦盤(pán)) ，動(dòng)渦盤(pán)由曲柄軸驅(qū)動(dòng)，密封點(diǎn)位置隨主軸同步轉(zhuǎn)動(dòng)。它整體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、零件少、渦旋回轉(zhuǎn)線速度小、機(jī)械磨損少，但需進(jìn)行平衡設(shè)計(jì)。渦旋真空泵利用最外側(cè)渦圈包容氣體形成封閉吸氣腔。為瞭減少渦盤(pán)末端和進(jìn)氣口之間的流導(dǎo)，常將進(jìn)氣口設(shè)在渦旋盤(pán)外圈末端附近

24、。同時(shí)為瞭保證中心壓縮腔中的氣體在排氣過(guò)程中盡量排走，一般將排氣孔設(shè)在靜渦盤(pán)中心附近。因?yàn)闇u旋泵內(nèi)壓縮比不是很大，常設(shè)置排氣閥以消除壓縮不足，但應(yīng)使排氣閥與渦圈頂部之間的容積盡可能小。為瞭提高抽速或減少渦盤(pán)尺寸，常設(shè)計(jì)采用雙側(cè)渦旋。2.2.2、回轉(zhuǎn)型 回轉(zhuǎn)型是由兩個(gè)渦旋盤(pán)心軸分別裝在兩側(cè)軸承上，其中一個(gè)由電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)，另一個(gè)由十字滑環(huán)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)，沿相同角度旋轉(zhuǎn)。其密封位置形成一條線，方向始終不變，泵采用立式結(jié)構(gòu)。驅(qū)動(dòng)電機(jī)在機(jī)殼內(nèi)上部，渦盤(pán)在下部。因其密封方向不變，回轉(zhuǎn)徑向密封既便於人為控制，又能避免渦圈側(cè)面接觸而需進(jìn)行的卸載運(yùn)轉(zhuǎn)，但其整體結(jié)構(gòu)復(fù)雜、零件多、機(jī)械磨損高。2.2.3 、轉(zhuǎn)型和回轉(zhuǎn)型的

25、區(qū)別 (1) 轉(zhuǎn)動(dòng)形式不同。公轉(zhuǎn)型是一個(gè)渦旋固定不動(dòng)為靜渦旋，另一個(gè)為動(dòng)渦旋，動(dòng)渦旋繞著靜渦旋作公轉(zhuǎn)平動(dòng)。而自轉(zhuǎn)型的兩個(gè)渦旋盤(pán)各自繞其自身轉(zhuǎn)軸實(shí)現(xiàn)兩者同步同方向轉(zhuǎn)動(dòng)。 (2) 密封位置和方向不同?；剞D(zhuǎn)型的兩個(gè)渦旋盤(pán)齒的徑向密封位置形成一條線，密封線方位始終固定不變。公轉(zhuǎn)型渦旋機(jī)械徑向密封的位置和方向卻隨著主軸同步轉(zhuǎn)動(dòng)。即主軸旋轉(zhuǎn)一周，徑向密封線的方位變化360 。 (3) 渦旋盤(pán)所受的氣體徑向力和切向力的方向不同。公轉(zhuǎn)型渦旋機(jī)械由動(dòng)渦旋隨曲軸作偏心公轉(zhuǎn)，因而動(dòng)渦旋受氣體徑向力和切向力的方向繞曲軸同步回轉(zhuǎn)。而回轉(zhuǎn)型兩個(gè)渦旋盤(pán)所受氣體徑向力和切向力在空間的位置和方向則始終不變，徑向力在密封線方向，

26、切向力垂直於密封線方向。因而不能像公轉(zhuǎn)型渦旋機(jī)械那樣，應(yīng)用偏心套或滑動(dòng)軸套徑向隨便機(jī)構(gòu)自動(dòng)調(diào)節(jié)渦旋齒側(cè)面間隙，達(dá)到徑向密封。公轉(zhuǎn)型渦旋曲軸承受均勻載荷，而回轉(zhuǎn)型渦旋曲軸承受局部載荷，設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)特別註意。 (4) 平衡不同。在回轉(zhuǎn)型渦旋中，由於不使用偏心軸，兩個(gè)渦旋各自繞自身軸轉(zhuǎn)動(dòng)，在不考慮渦旋齒偏心質(zhì)量情況下，可不考慮離心力存在，也就不需設(shè)置平衡塊。而公轉(zhuǎn)型必須考慮動(dòng)渦旋的偏心質(zhì)量，設(shè)置平衡塊來(lái)平衡東渦旋盤(pán)的離心慣性力和離心慣性力矩，才能使機(jī)器平穩(wěn)工作。 (5) 傾覆力矩和軸向力不同?；剞D(zhuǎn)型渦旋機(jī)械由於兩渦旋盤(pán)都轉(zhuǎn)動(dòng)，都承受同樣大小的傾覆力矩和氣體軸向力，在設(shè)計(jì)時(shí)，需同時(shí)考慮軸向力推力、軸承載荷

27、。而公轉(zhuǎn)型隻有一個(gè)動(dòng)渦盤(pán)受傾覆力矩作用，所以隻需考慮動(dòng)渦盤(pán)所受的傾覆力矩和軸向力。3、渦旋真空泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn) 渦旋真空泵主要由5 個(gè)部件組成: 動(dòng)靜渦旋盤(pán)副與基座: 一個(gè)或幾個(gè)漸開(kāi)螺旋線形成的一個(gè)渦旋型盤(pán)狀結(jié)構(gòu)。一個(gè)靜渦旋盤(pán)與一個(gè)動(dòng)渦旋盤(pán)相互交錯(cuò)，兩者之間保證180 相位差組成的一對(duì)渦旋盤(pán)副機(jī)構(gòu)。 曲軸: 保證動(dòng)渦盤(pán)繞靜渦盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)的偏心機(jī)構(gòu)。 密封件: 保證動(dòng)、靜盤(pán)的端面齒頂密封等的密封裝置。 防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu): 保證動(dòng)、靜盤(pán)180 相位差的機(jī)構(gòu)。 電機(jī): 輸出約1500 r /min 的動(dòng)力機(jī)構(gòu)。 它的主要運(yùn)動(dòng)件隻有一個(gè)動(dòng)渦旋盤(pán)，因而動(dòng)力傳遞簡(jiǎn)單，相同尺寸下運(yùn)動(dòng)半徑小、零部件少、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、整機(jī)尺寸

28、小，動(dòng)、靜渦旋盤(pán)之間、動(dòng)盤(pán)與泵腔之間間隙小，泵內(nèi)運(yùn)動(dòng)件與泵腔無(wú)摩擦，所以幾乎無(wú)磨損，運(yùn)行平穩(wěn)，消耗功率小，氣體流動(dòng)損失小，工作可靠性高、壽命長(zhǎng)，易於維修，維修費(fèi)用低，容積效率高。采用空氣冷卻，無(wú)需水冷。渦旋真空泵具有較高的壓縮比，在較寬的壓力范圍內(nèi)具有穩(wěn)定的抽速，由於壓縮腔容積的變化是連續(xù)的，因而驅(qū)動(dòng)扭矩變化小，功率變化小，振動(dòng)噪聲低，這是其他類型的幹式真空泵所不具備的。4、渦旋真空泵的應(yīng)用領(lǐng)域 渦旋泵已被廣泛應(yīng)用於諸多領(lǐng)域: 半導(dǎo)體行業(yè): 薄膜制造設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備; 科學(xué)儀器行業(yè):同步輻射光束線機(jī)、電子顯微鏡、極光試驗(yàn)設(shè)備、分析測(cè)試儀器; 機(jī)械設(shè)備行業(yè): 材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)設(shè)備、

29、真空過(guò)濾設(shè)備、材料提純?cè)O(shè)備、超高真空排氣設(shè)備; 醫(yī)療設(shè)備行業(yè): 牙科儀器、透析機(jī); 生物制品行業(yè):材料提純與藥品制備; 包裝行業(yè): 食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備; 真空冶金行業(yè): 真空爐、納米材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)設(shè)備等領(lǐng)域。 渦旋泵作為分子泵和小型低溫泵的前級(jí)泵是獲得無(wú)油真空系統(tǒng)的最佳配置。1、渦旋真空泵的工作原理 渦旋真空泵的工作腔是由一對(duì)型線共軛的渦旋盤(pán)副嚙合安裝組成。渦旋盤(pán)就是在盤(pán)面開(kāi)有一個(gè)或幾個(gè)漸開(kāi)線螺旋槽的渦旋型盤(pán)狀結(jié)構(gòu)體。一個(gè)靜渦旋盤(pán)與一個(gè)動(dòng)渦旋盤(pán)相互交錯(cuò)組裝在一起，動(dòng)、靜盤(pán)之間由防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)保證180 相位差，這樣組成的一對(duì)渦旋盤(pán)副構(gòu)成了無(wú)油渦旋真空泵的抽氣機(jī)構(gòu)。靜渦旋盤(pán)與動(dòng)渦

30、旋盤(pán)彼此之間在幾條直線( 在橫截面上是幾個(gè)點(diǎn)) 上接觸形成幾對(duì)月牙形封閉腔，動(dòng)渦旋盤(pán)在曲軸的驅(qū) 動(dòng)下繞靜渦旋盤(pán)的渦旋體中心運(yùn)動(dòng)，接觸點(diǎn)沿渦旋曲面移動(dòng)實(shí)現(xiàn)吸氣、壓縮與排氣。在電機(jī)的帶動(dòng)下，曲軸每轉(zhuǎn)一圈，就有一組新的月牙封閉腔形成，從而實(shí)現(xiàn)渦旋真空泵的吸氣、壓縮、排氣循環(huán)，對(duì)被抽氣體形成包容和強(qiáng)制輸送。2、渦旋真空泵的結(jié)構(gòu)類型 2.2.1、公轉(zhuǎn)型 公轉(zhuǎn)型是一個(gè)渦旋固定不動(dòng)( 稱為靜渦旋) ，另一個(gè)繞著它公轉(zhuǎn)平動(dòng)( 稱為動(dòng)渦盤(pán)) ，動(dòng)渦盤(pán)由曲柄軸驅(qū)動(dòng)，密封點(diǎn)位置隨主軸同步轉(zhuǎn)動(dòng)。它整體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、零件少、渦旋回轉(zhuǎn)線速度小、機(jī)械磨損少，但需進(jìn)行平衡設(shè)計(jì)。渦旋真空泵利用最外側(cè)渦圈包容氣體形成封閉吸氣腔。為了

31、減少渦盤(pán)末端和進(jìn)氣口之間的流導(dǎo)，常將進(jìn)氣口設(shè)在渦旋盤(pán)外圈末端附近。同時(shí)為了保證中心壓縮腔中的氣體在排氣過(guò)程中盡量排走，一般將排氣孔設(shè)在靜渦盤(pán)中心附近。因?yàn)闇u旋泵內(nèi)壓縮比不是很大，常設(shè)置排氣閥以消除壓縮不足，但應(yīng)使排氣閥與渦圈頂部之間的容積盡可能小。為了提高抽速或減少渦盤(pán)尺寸，常設(shè)計(jì)采用雙側(cè)渦旋。2.2.2、回轉(zhuǎn)型 回轉(zhuǎn)型是由兩個(gè)渦旋盤(pán)心軸分別裝在兩側(cè)軸承上，其中一個(gè)由電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)，另一個(gè)由十字滑環(huán)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)，沿相同角度旋轉(zhuǎn)。其密封位置形成一條線，方向始終不變，泵采用立式結(jié)構(gòu)。驅(qū)動(dòng)電機(jī)在機(jī)殼內(nèi)上部，渦盤(pán)在下部。因其密封方向不變，回轉(zhuǎn)徑向密封既便于人為控制，又能避免渦圈側(cè)面接觸而需進(jìn)行的卸載運(yùn)轉(zhuǎn)，但

32、其整體結(jié)構(gòu)復(fù)雜、零件多、機(jī)械磨損高。2.2.3 、轉(zhuǎn)型和回轉(zhuǎn)型的區(qū)別 (1) 轉(zhuǎn)動(dòng)形式不同。公轉(zhuǎn)型是一個(gè)渦旋固定不動(dòng)為靜渦旋，另一個(gè)為動(dòng)渦旋，動(dòng)渦旋繞著靜渦旋作公轉(zhuǎn)平動(dòng)。而自轉(zhuǎn)型的兩個(gè)渦旋盤(pán)各自繞其自身轉(zhuǎn)軸實(shí)現(xiàn)兩者同步同方向轉(zhuǎn)動(dòng)。 (2) 密封位置和方向不同?；剞D(zhuǎn)型的兩個(gè)渦旋盤(pán)齒的徑向密封位置形成一條線，密封線方位始終固定不變。公轉(zhuǎn)型渦旋機(jī)械徑向密封的位置和方向卻隨著主軸同步轉(zhuǎn)動(dòng)。即主軸旋轉(zhuǎn)一周，徑向密封線的方位變化360 。 (3) 渦旋盤(pán)所受的氣體徑向力和切向力的方向不同。公轉(zhuǎn)型渦旋機(jī)械由動(dòng)渦旋隨曲軸作偏心公轉(zhuǎn)，因而動(dòng)渦旋受氣體徑向力和切向力的方向繞曲軸同步回轉(zhuǎn)。而回轉(zhuǎn)型兩個(gè)渦旋盤(pán)所受氣體

33、徑向力和切向力在空間的位置和方向則始終不變，徑向力在密封線方向，切向力垂直于密封線方向。因而不能像公轉(zhuǎn)型渦旋機(jī)械那樣，應(yīng)用偏心套或滑動(dòng)軸套徑向隨便機(jī)構(gòu)自動(dòng)調(diào)節(jié)渦旋齒側(cè)面間隙，達(dá)到徑向密封。公轉(zhuǎn)型渦旋曲軸承受均勻載荷，而回轉(zhuǎn)型渦旋曲軸承受局部載荷，設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)特別注意。 (4) 平衡不同。在回轉(zhuǎn)型渦旋中，由于不使用偏心軸，兩個(gè)渦旋各自繞自身軸轉(zhuǎn)動(dòng)，在不考慮渦旋齒偏心質(zhì)量情況下，可不考慮離心力存在，也就不需設(shè)置平衡塊。而公轉(zhuǎn)型必須考慮動(dòng)渦旋的偏心質(zhì)量，設(shè)置平衡塊來(lái)平衡東渦旋盤(pán)的離心慣性力和離心慣性力矩，才能使機(jī)器平穩(wěn)工作。 (5) 傾覆力矩和軸向力不同?；剞D(zhuǎn)型渦旋機(jī)械由于兩渦旋盤(pán)都轉(zhuǎn)動(dòng)，都承受同樣大小

34、的傾覆力矩和氣體軸向力，在設(shè)計(jì)時(shí)，需同時(shí)考慮軸向力推力、軸承載荷。而公轉(zhuǎn)型只有一個(gè)動(dòng)渦盤(pán)受傾覆力矩作用，所以只需考慮動(dòng)渦盤(pán)所受的傾覆力矩和軸向力。3、渦旋真空泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn) 渦旋真空泵主要由5 個(gè)部件組成: 動(dòng)靜渦旋盤(pán)副與基座: 一個(gè)或幾個(gè)漸開(kāi)螺旋線形成的一個(gè)渦旋型盤(pán)狀結(jié)構(gòu)。一個(gè)靜渦旋盤(pán)與一個(gè)動(dòng)渦旋盤(pán)相互交錯(cuò)，兩者之間保證180 相位差組成的一對(duì)渦旋盤(pán)副機(jī)構(gòu)。 曲軸: 保證動(dòng)渦盤(pán)繞靜渦盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)的偏心機(jī)構(gòu)。 密封件: 保證動(dòng)、靜盤(pán)的端面齒頂密封等的密封裝置。 防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu): 保證動(dòng)、靜盤(pán)180 相位差的機(jī)構(gòu)。 電機(jī): 輸出約1500 r /min 的動(dòng)力機(jī)構(gòu)。 它的主要運(yùn)動(dòng)件只有一個(gè)動(dòng)渦旋盤(pán)，因而動(dòng)力

35、傳遞簡(jiǎn)單，相同尺寸下運(yùn)動(dòng)半徑小、零部件少、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、整機(jī)尺寸小，動(dòng)、靜渦旋盤(pán)之間、動(dòng)盤(pán)與泵腔之間間隙小，泵內(nèi)運(yùn)動(dòng)件與泵腔無(wú)摩擦，所以幾乎無(wú)磨損，運(yùn)行平穩(wěn)，消耗功率小，氣體流動(dòng)損失小，工作可靠性高、壽命長(zhǎng)，易于維修，維修費(fèi)用低，容積效率高。采用空氣冷卻，無(wú)需水冷。渦旋真空泵具有較高的壓縮比，在較寬的壓力范圍內(nèi)具有穩(wěn)定的抽速，由于壓縮腔容積的變化是連續(xù)的，因而驅(qū)動(dòng)扭矩變化小，功率變化小，振動(dòng)噪聲低，這是其他類型的干式真空泵所不具備的。4、渦旋真空泵的應(yīng)用領(lǐng)域 渦旋泵已被廣泛應(yīng)用于諸多領(lǐng)域: 半導(dǎo)體行業(yè): 薄膜制造設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備; 科學(xué)儀器行業(yè):同步輻射光束線機(jī)、電子顯微鏡、極光試驗(yàn)設(shè)

36、備、分析測(cè)試儀器; 機(jī)械設(shè)備行業(yè): 材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)設(shè)備、真空過(guò)濾設(shè)備、材料提純?cè)O(shè)備、超高真空排氣設(shè)備; 醫(yī)療設(shè)備行業(yè): 牙科儀器、透析機(jī); 生物制品行業(yè):材料提純與藥品制備; 包裝行業(yè): 食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備; 真空冶金行業(yè): 真空爐、納米材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)設(shè)備等領(lǐng)域。 渦旋泵作為分子泵和小型低溫泵的前級(jí)泵是獲得無(wú)油真空系統(tǒng)的最佳配置。1、渦旋真空泵的工作原理 渦旋真空泵的工作腔是由一對(duì)型線共軛的渦旋盤(pán)副嚙合安裝組成。渦旋盤(pán)就是在盤(pán)面開(kāi)有一個(gè)或幾個(gè)漸開(kāi)線螺旋槽的渦旋型盤(pán)狀結(jié)構(gòu)體。一個(gè)靜渦旋盤(pán)與一個(gè)動(dòng)渦旋盤(pán)相互交錯(cuò)組裝在一起，動(dòng)、靜盤(pán)之間由防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)保證180 相位差，這樣

37、組成的一對(duì)渦旋盤(pán)副構(gòu)成瞭無(wú)油渦旋真空泵的抽氣機(jī)構(gòu)。靜渦旋盤(pán)與動(dòng)渦旋盤(pán)彼此之間在幾條直線( 在橫截面上是幾個(gè)點(diǎn)) 上接觸形成幾對(duì)月牙形封閉腔，動(dòng)渦旋盤(pán)在曲軸的驅(qū) 動(dòng)下繞靜渦旋盤(pán)的渦旋體中心運(yùn)動(dòng)，接觸點(diǎn)沿渦旋曲面移動(dòng)實(shí)現(xiàn)吸氣、壓縮與排氣。在電機(jī)的帶動(dòng)下，曲軸每轉(zhuǎn)一圈，就有一組新的月牙封閉腔形成，從而實(shí)現(xiàn)渦旋真空泵的吸氣、壓縮、排氣循環(huán)，對(duì)被抽氣體形成包容和強(qiáng)制輸送。2、渦旋真空泵的結(jié)構(gòu)類型 2.2.1、公轉(zhuǎn)型 公轉(zhuǎn)型是一個(gè)渦旋固定不動(dòng)( 稱為靜渦旋) ，另一個(gè)繞著它公轉(zhuǎn)平動(dòng)( 稱為動(dòng)渦盤(pán)) ，動(dòng)渦盤(pán)由曲柄軸驅(qū)動(dòng)，密封點(diǎn)位置隨主軸同步轉(zhuǎn)動(dòng)。它整體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、零件少、渦旋回轉(zhuǎn)線速度小、機(jī)械磨損少，但需進(jìn)

38、行平衡設(shè)計(jì)。渦旋真空泵利用最外側(cè)渦圈包容氣體形成封閉吸氣腔。為瞭減少渦盤(pán)末端和進(jìn)氣口之間的流導(dǎo)，常將進(jìn)氣口設(shè)在渦旋盤(pán)外圈末端附近。同時(shí)為瞭保證中心壓縮腔中的氣體在排氣過(guò)程中盡量排走，一般將排氣孔設(shè)在靜渦盤(pán)中心附近。因?yàn)闇u旋泵內(nèi)壓縮比不是很大，常設(shè)置排氣閥以消除壓縮不足，但應(yīng)使排氣閥與渦圈頂部之間的容積盡可能小。為瞭提高抽速或減少渦盤(pán)尺寸，常設(shè)計(jì)采用雙側(cè)渦旋。2.2.2、回轉(zhuǎn)型 回轉(zhuǎn)型是由兩個(gè)渦旋盤(pán)心軸分別裝在兩側(cè)軸承上，其中一個(gè)由電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)，另一個(gè)由十字滑環(huán)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)，沿相同角度旋轉(zhuǎn)。其密封位置形成一條線，方向始終不變，泵采用立式結(jié)構(gòu)。驅(qū)動(dòng)電機(jī)在機(jī)殼內(nèi)上部，渦盤(pán)在下部。因其密封方向不變，回轉(zhuǎn)徑

39、向密封既便於人為控制，又能避免渦圈側(cè)面接觸而需進(jìn)行的卸載運(yùn)轉(zhuǎn)，但其整體結(jié)構(gòu)復(fù)雜、零件多、機(jī)械磨損高。2.2.3 、轉(zhuǎn)型和回轉(zhuǎn)型的區(qū)別 (1) 轉(zhuǎn)動(dòng)形式不同。公轉(zhuǎn)型是一個(gè)渦旋固定不動(dòng)為靜渦旋，另一個(gè)為動(dòng)渦旋，動(dòng)渦旋繞著靜渦旋作公轉(zhuǎn)平動(dòng)。而自轉(zhuǎn)型的兩個(gè)渦旋盤(pán)各自繞其自身轉(zhuǎn)軸實(shí)現(xiàn)兩者同步同方向轉(zhuǎn)動(dòng)。 (2) 密封位置和方向不同?；剞D(zhuǎn)型的兩個(gè)渦旋盤(pán)齒的徑向密封位置形成一條線，密封線方位始終固定不變。公轉(zhuǎn)型渦旋機(jī)械徑向密封的位置和方向卻隨著主軸同步轉(zhuǎn)動(dòng)。即主軸旋轉(zhuǎn)一周，徑向密封線的方位變化360 。 (3) 渦旋盤(pán)所受的氣體徑向力和切向力的方向不同。公轉(zhuǎn)型渦旋機(jī)械由動(dòng)渦旋隨曲軸作偏心公轉(zhuǎn)，因而動(dòng)渦旋受氣

40、體徑向力和切向力的方向繞曲軸同步回轉(zhuǎn)。而回轉(zhuǎn)型兩個(gè)渦旋盤(pán)所受氣體徑向力和切向力在空間的位置和方向則始終不變，徑向力在密封線方向，切向力垂直於密封線方向。因而不能像公轉(zhuǎn)型渦旋機(jī)械那樣，應(yīng)用偏心套或滑動(dòng)軸套徑向隨便機(jī)構(gòu)自動(dòng)調(diào)節(jié)渦旋齒側(cè)面間隙，達(dá)到徑向密封。公轉(zhuǎn)型渦旋曲軸承受均勻載荷，而回轉(zhuǎn)型渦旋曲軸承受局部載荷，設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)特別註意。 (4) 平衡不同。在回轉(zhuǎn)型渦旋中，由於不使用偏心軸，兩個(gè)渦旋各自繞自身軸轉(zhuǎn)動(dòng)，在不考慮渦旋齒偏心質(zhì)量情況下，可不考慮離心力存在，也就不需設(shè)置平衡塊。而公轉(zhuǎn)型必須考慮動(dòng)渦旋的偏心質(zhì)量，設(shè)置平衡塊來(lái)平衡東渦旋盤(pán)的離心慣性力和離心慣性力矩，才能使機(jī)器平穩(wěn)工作。 (5) 傾覆力

41、矩和軸向力不同?；剞D(zhuǎn)型渦旋機(jī)械由於兩渦旋盤(pán)都轉(zhuǎn)動(dòng)，都承受同樣大小的傾覆力矩和氣體軸向力，在設(shè)計(jì)時(shí)，需同時(shí)考慮軸向力推力、軸承載荷。而公轉(zhuǎn)型隻有一個(gè)動(dòng)渦盤(pán)受傾覆力矩作用，所以隻需考慮動(dòng)渦盤(pán)所受的傾覆力矩和軸向力。3、渦旋真空泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn) 渦旋真空泵主要由5 個(gè)部件組成: 動(dòng)靜渦旋盤(pán)副與基座: 一個(gè)或幾個(gè)漸開(kāi)螺旋線形成的一個(gè)渦旋型盤(pán)狀結(jié)構(gòu)。一個(gè)靜渦旋盤(pán)與一個(gè)動(dòng)渦旋盤(pán)相互交錯(cuò)，兩者之間保證180 相位差組成的一對(duì)渦旋盤(pán)副機(jī)構(gòu)。 曲軸: 保證動(dòng)渦盤(pán)繞靜渦盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)的偏心機(jī)構(gòu)。 密封件: 保證動(dòng)、靜盤(pán)的端面齒頂密封等的密封裝置。 防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu): 保證動(dòng)、靜盤(pán)180 相位差的機(jī)構(gòu)。 電機(jī): 輸出約1500 r

42、/min 的動(dòng)力機(jī)構(gòu)。 它的主要運(yùn)動(dòng)件隻有一個(gè)動(dòng)渦旋盤(pán)，因而動(dòng)力傳遞簡(jiǎn)單，相同尺寸下運(yùn)動(dòng)半徑小、零部件少、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、整機(jī)尺寸小，動(dòng)、靜渦旋盤(pán)之間、動(dòng)盤(pán)與泵腔之間間隙小，泵內(nèi)運(yùn)動(dòng)件與泵腔無(wú)摩擦，所以幾乎無(wú)磨損，運(yùn)行平穩(wěn)，消耗功率小，氣體流動(dòng)損失小，工作可靠性高、壽命長(zhǎng)，易於維修，維修費(fèi)用低，容積效率高。采用空氣冷卻，無(wú)需水冷。渦旋真空泵具有較高的壓縮比，在較寬的壓力范圍內(nèi)具有穩(wěn)定的抽速，由於壓縮腔容積的變化是連續(xù)的，因而驅(qū)動(dòng)扭矩變化小，功率變化小，振動(dòng)噪聲低，這是其他類型的幹式真空泵所不具備的。4、渦旋真空泵的應(yīng)用領(lǐng)域 渦旋泵已被廣泛應(yīng)用於諸多領(lǐng)域: 半導(dǎo)體行業(yè): 薄膜制造設(shè)備、半導(dǎo)體器件封

43、裝設(shè)備; 科學(xué)儀器行業(yè):同步輻射光束線機(jī)、電子顯微鏡、極光試驗(yàn)設(shè)備、分析測(cè)試儀器; 機(jī)械設(shè)備行業(yè): 材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)設(shè)備、真空過(guò)濾設(shè)備、材料提純?cè)O(shè)備、超高真空排氣設(shè)備; 醫(yī)療設(shè)備行業(yè): 牙科儀器、透析機(jī); 生物制品行業(yè):材料提純與藥品制備; 包裝行業(yè): 食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備; 真空冶金行業(yè): 真空爐、納米材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)設(shè)備等領(lǐng)域。 渦旋泵作為分子泵和小型低溫泵的前級(jí)泵是獲得無(wú)油真空系統(tǒng)的最佳配置。1、渦旋真空泵的工作原理 渦旋真空泵的工作腔是由一對(duì)型線共軛的渦旋盤(pán)副嚙合安裝組成。渦旋盤(pán)就是在盤(pán)面開(kāi)有一個(gè)或幾個(gè)漸開(kāi)線螺旋槽的渦旋型盤(pán)狀結(jié)構(gòu)體。一個(gè)靜渦旋盤(pán)與一個(gè)動(dòng)渦旋盤(pán)相互

44、交錯(cuò)組裝在一起，動(dòng)、靜盤(pán)之間由防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)保證180 相位差，這樣組成的一對(duì)渦旋盤(pán)副構(gòu)成了無(wú)油渦旋真空泵的抽氣機(jī)構(gòu)。靜渦旋盤(pán)與動(dòng)渦旋盤(pán)彼此之間在幾條直線( 在橫截面上是幾個(gè)點(diǎn)) 上接觸形成幾對(duì)月牙形封閉腔，動(dòng)渦旋盤(pán)在曲軸的驅(qū) 動(dòng)下繞靜渦旋盤(pán)的渦旋體中心運(yùn)動(dòng)，接觸點(diǎn)沿渦旋曲面移動(dòng)實(shí)現(xiàn)吸氣、壓縮與排氣。在電機(jī)的帶動(dòng)下，曲軸每轉(zhuǎn)一圈，就有一組新的月牙封閉腔形成，從而實(shí)現(xiàn)渦旋真空泵的吸氣、壓縮、排氣循環(huán)，對(duì)被抽氣體形成包容和強(qiáng)制輸送。2、渦旋真空泵的結(jié)構(gòu)類型 2.2.1、公轉(zhuǎn)型 公轉(zhuǎn)型是一個(gè)渦旋固定不動(dòng)( 稱為靜渦旋) ，另一個(gè)繞著它公轉(zhuǎn)平動(dòng)( 稱為動(dòng)渦盤(pán)) ，動(dòng)渦盤(pán)由曲柄軸驅(qū)動(dòng)，密封點(diǎn)位置隨主軸同步轉(zhuǎn)

45、動(dòng)。它整體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、零件少、渦旋回轉(zhuǎn)線速度小、機(jī)械磨損少，但需進(jìn)行平衡設(shè)計(jì)。渦旋真空泵利用最外側(cè)渦圈包容氣體形成封閉吸氣腔。為了減少渦盤(pán)末端和進(jìn)氣口之間的流導(dǎo)，常將進(jìn)氣口設(shè)在渦旋盤(pán)外圈末端附近。同時(shí)為了保證中心壓縮腔中的氣體在排氣過(guò)程中盡量排走，一般將排氣孔設(shè)在靜渦盤(pán)中心附近。因?yàn)闇u旋泵內(nèi)壓縮比不是很大，常設(shè)置排氣閥以消除壓縮不足，但應(yīng)使排氣閥與渦圈頂部之間的容積盡可能小。為了提高抽速或減少渦盤(pán)尺寸，常設(shè)計(jì)采用雙側(cè)渦旋。2.2.2、回轉(zhuǎn)型 回轉(zhuǎn)型是由兩個(gè)渦旋盤(pán)心軸分別裝在兩側(cè)軸承上，其中一個(gè)由電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)，另一個(gè)由十字滑環(huán)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)，沿相同角度旋轉(zhuǎn)。其密封位置形成一條線，方向始終不變，泵采用立式

46、結(jié)構(gòu)。驅(qū)動(dòng)電機(jī)在機(jī)殼內(nèi)上部，渦盤(pán)在下部。因其密封方向不變，回轉(zhuǎn)徑向密封既便于人為控制，又能避免渦圈側(cè)面接觸而需進(jìn)行的卸載運(yùn)轉(zhuǎn)，但其整體結(jié)構(gòu)復(fù)雜、零件多、機(jī)械磨損高。2.2.3 、轉(zhuǎn)型和回轉(zhuǎn)型的區(qū)別 (1) 轉(zhuǎn)動(dòng)形式不同。公轉(zhuǎn)型是一個(gè)渦旋固定不動(dòng)為靜渦旋，另一個(gè)為動(dòng)渦旋，動(dòng)渦旋繞著靜渦旋作公轉(zhuǎn)平動(dòng)。而自轉(zhuǎn)型的兩個(gè)渦旋盤(pán)各自繞其自身轉(zhuǎn)軸實(shí)現(xiàn)兩者同步同方向轉(zhuǎn)動(dòng)。 (2) 密封位置和方向不同?；剞D(zhuǎn)型的兩個(gè)渦旋盤(pán)齒的徑向密封位置形成一條線，密封線方位始終固定不變。公轉(zhuǎn)型渦旋機(jī)械徑向密封的位置和方向卻隨著主軸同步轉(zhuǎn)動(dòng)。即主軸旋轉(zhuǎn)一周，徑向密封線的方位變化360 。 (3) 渦旋盤(pán)所受的氣體徑向力和切向力的

47、方向不同。公轉(zhuǎn)型渦旋機(jī)械由動(dòng)渦旋隨曲軸作偏心公轉(zhuǎn)，因而動(dòng)渦旋受氣體徑向力和切向力的方向繞曲軸同步回轉(zhuǎn)。而回轉(zhuǎn)型兩個(gè)渦旋盤(pán)所受氣體徑向力和切向力在空間的位置和方向則始終不變，徑向力在密封線方向，切向力垂直于密封線方向。因而不能像公轉(zhuǎn)型渦旋機(jī)械那樣，應(yīng)用偏心套或滑動(dòng)軸套徑向隨便機(jī)構(gòu)自動(dòng)調(diào)節(jié)渦旋齒側(cè)面間隙，達(dá)到徑向密封。公轉(zhuǎn)型渦旋曲軸承受均勻載荷，而回轉(zhuǎn)型渦旋曲軸承受局部載荷，設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)特別注意。 (4) 平衡不同。在回轉(zhuǎn)型渦旋中，由于不使用偏心軸，兩個(gè)渦旋各自繞自身軸轉(zhuǎn)動(dòng)，在不考慮渦旋齒偏心質(zhì)量情況下，可不考慮離心力存在，也就不需設(shè)置平衡塊。而公轉(zhuǎn)型必須考慮動(dòng)渦旋的偏心質(zhì)量，設(shè)置平衡塊來(lái)平衡東渦旋盤(pán)

48、的離心慣性力和離心慣性力矩，才能使機(jī)器平穩(wěn)工作。 (5) 傾覆力矩和軸向力不同。回轉(zhuǎn)型渦旋機(jī)械由于兩渦旋盤(pán)都轉(zhuǎn)動(dòng)，都承受同樣大小的傾覆力矩和氣體軸向力，在設(shè)計(jì)時(shí)，需同時(shí)考慮軸向力推力、軸承載荷。而公轉(zhuǎn)型只有一個(gè)動(dòng)渦盤(pán)受傾覆力矩作用，所以只需考慮動(dòng)渦盤(pán)所受的傾覆力矩和軸向力。3、渦旋真空泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn) 渦旋真空泵主要由5 個(gè)部件組成: 動(dòng)靜渦旋盤(pán)副與基座: 一個(gè)或幾個(gè)漸開(kāi)螺旋線形成的一個(gè)渦旋型盤(pán)狀結(jié)構(gòu)。一個(gè)靜渦旋盤(pán)與一個(gè)動(dòng)渦旋盤(pán)相互交錯(cuò)，兩者之間保證180 相位差組成的一對(duì)渦旋盤(pán)副機(jī)構(gòu)。 曲軸: 保證動(dòng)渦盤(pán)繞靜渦盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)的偏心機(jī)構(gòu)。 密封件: 保證動(dòng)、靜盤(pán)的端面齒頂密封等的密封裝置。 防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu):

49、保證動(dòng)、靜盤(pán)180 相位差的機(jī)構(gòu)。 電機(jī): 輸出約1500 r /min 的動(dòng)力機(jī)構(gòu)。 它的主要運(yùn)動(dòng)件只有一個(gè)動(dòng)渦旋盤(pán)，因而動(dòng)力傳遞簡(jiǎn)單，相同尺寸下運(yùn)動(dòng)半徑小、零部件少、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、整機(jī)尺寸小，動(dòng)、靜渦旋盤(pán)之間、動(dòng)盤(pán)與泵腔之間間隙小，泵內(nèi)運(yùn)動(dòng)件與泵腔無(wú)摩擦，所以幾乎無(wú)磨損，運(yùn)行平穩(wěn)，消耗功率小，氣體流動(dòng)損失小，工作可靠性高、壽命長(zhǎng)，易于維修，維修費(fèi)用低，容積效率高。采用空氣冷卻，無(wú)需水冷。渦旋真空泵具有較高的壓縮比，在較寬的壓力范圍內(nèi)具有穩(wěn)定的抽速，由于壓縮腔容積的變化是連續(xù)的，因而驅(qū)動(dòng)扭矩變化小，功率變化小，振動(dòng)噪聲低，這是其他類型的干式真空泵所不具備的。4、渦旋真空泵的應(yīng)用領(lǐng)域 渦旋泵已

50、被廣泛應(yīng)用于諸多領(lǐng)域: 半導(dǎo)體行業(yè): 薄膜制造設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備; 科學(xué)儀器行業(yè):同步輻射光束線機(jī)、電子顯微鏡、極光試驗(yàn)設(shè)備、分析測(cè)試儀器; 機(jī)械設(shè)備行業(yè): 材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)設(shè)備、真空過(guò)濾設(shè)備、材料提純?cè)O(shè)備、超高真空排氣設(shè)備; 醫(yī)療設(shè)備行業(yè): 牙科儀器、透析機(jī); 生物制品行業(yè):材料提純與藥品制備; 包裝行業(yè): 食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備; 真空冶金行業(yè): 真空爐、納米材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)設(shè)備等領(lǐng)域。 渦旋泵作為分子泵和小型低溫泵的前級(jí)泵是獲得無(wú)油真空系統(tǒng)的最佳配置。1、渦旋真空泵的工作原理 渦旋真空泵的工作腔是由一對(duì)型線共軛的渦旋盤(pán)副嚙合安裝組成。渦旋盤(pán)就是在盤(pán)面開(kāi)有一個(gè)或幾個(gè)漸開(kāi)線螺旋槽的渦旋型盤(pán)狀結(jié)構(gòu)體。一個(gè)靜渦旋盤(pán)與一個(gè)動(dòng)渦旋盤(pán)相互交錯(cuò)組裝在一起，動(dòng)、靜盤(pán)之間由防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)保證180 相位差，這樣組成的一對(duì)渦旋盤(pán)副構(gòu)成瞭無(wú)油渦旋真空泵的抽氣機(jī)構(gòu)。靜渦旋盤(pán)與動(dòng)渦旋盤(pán)彼此之間在幾條直線( 在橫截面上是幾個(gè)點(diǎn)) 上接觸形成幾對(duì)月牙形封閉腔，動(dòng)渦旋盤(pán)在曲軸的驅(qū) 動(dòng)下繞靜渦旋盤(pán)的渦旋體中心運(yùn)動(dòng)，接觸點(diǎn)沿渦旋曲面移動(dòng)實(shí)現(xiàn)吸氣、壓縮與排氣。在電機(jī)的帶動(dòng)下，曲軸每轉(zhuǎn)一圈，就有一組新的月牙封閉腔形成，從而實(shí)現(xiàn)渦旋真空泵的吸氣、壓縮、排氣循環(huán)，對(duì)被抽氣體形成包容和強(qiáng)制輸送。2、渦旋真空泵的結(jié)構(gòu)類型 2.2.1、公轉(zhuǎn)型 公轉(zhuǎn)型是一個(gè)渦旋