1、現(xiàn)行規(guī)范 美國半導(dǎo)體工業(yè)用純水目的美國半導(dǎo)體工業(yè)用純水目的 項 目級 級 級 級 TOC，mg/L0.020.050.100.40顆粒，粒/L500100025005000電阻率Mcm 18.3 17.917.517.0細(xì)菌數(shù)，個100mL061050 我國電子工業(yè)部高純水水質(zhì)試行規(guī)范我國電子工業(yè)部高純水水質(zhì)試行規(guī)范 闡明：一級高純水適用于大規(guī)模集成電路，闡明：一級高純水適用于大規(guī)模集成電路，微波器微波器 件以及有一樣要求到半導(dǎo)體器件產(chǎn)件以及有一樣要求到半導(dǎo)體器件產(chǎn)品。品。二級高純水適用于普通電路，分立器二級高純水適用于普通電路，分立器件以及件以及 有一樣要求的半導(dǎo)體器件產(chǎn)品。有一樣要求的半導(dǎo)

2、體器件產(chǎn)品。本表按本表按19801980年電子工業(yè)部規(guī)范摘錄。年電子工業(yè)部規(guī)范摘錄。 水質(zhì)項目一級高純水指標(biāo) 二級高純水指標(biāo) 細(xì)菌總數(shù)，個/mL39微粒（直徑0.5m，粒/mL）150300電阻率（25）Mcm 15 10電導(dǎo)率，s/cm 0.050.1有機物（以COD計） 0.3 0.5 高純水設(shè)備 高純水水處置技術(shù)的開展史：第一階段：預(yù)處置陽床陰床混合床第二階段：預(yù)處置反浸透混合床第三階段：預(yù)處置反浸透EDI安裝反浸透RO技術(shù)是一種利用膜分別去除水中離子的方法，雖然反浸透系統(tǒng)將水中95%-98%的離子去除，但還不能滿足工業(yè)消費的要求，其后續(xù)工藝必需運用離子交換設(shè)備。近幾十年以來，混合床離子

3、交換技術(shù)不斷作為純水制備的規(guī)范工藝。由于其需求周期性的再生且再生過程中運用大量的化學(xué)藥品酸堿和純水，因此已很難滿足于無酸堿純水系統(tǒng)。正由于傳統(tǒng)的離子交換曾經(jīng)越來越無法滿足現(xiàn)代工業(yè)和環(huán)保的需求，于是將膜和樹脂結(jié)合EDI技術(shù)成為水處置技術(shù)的一場革命。其離子交換樹脂的的再生運用的是電，而不再需求酸堿，因此更滿足于當(dāng)今世界的環(huán)保要求。自從1986年EDI 技術(shù)工業(yè)化以來，全世界已安裝了近2000套EDI 系統(tǒng)，尤其在制藥、半導(dǎo)體、電力和外表沖洗等工業(yè)中得到了大力的開展，同時在廢水處置、飲料及微生物等領(lǐng)域也得到廣泛運用。EDI 安裝是運用在反浸透系統(tǒng)之后，取代離子交換樹脂，具有水質(zhì)穩(wěn)定、運轉(zhuǎn)費用低、操作

4、管理方便、占地面積小等優(yōu)點。 典型工藝流程(水質(zhì)符合美國ASTM規(guī)范，電子部超純水水質(zhì)規(guī)范18M*cm，15M*cm，2M*cm和0.5M*cm四級預(yù)處置反浸透 水箱陽床陰床混合床純化水箱純水泵紫外線殺菌器精制混床精細(xì)過濾器用水對象 預(yù)處置一級反浸透加藥機PH調(diào)理中間水箱第二級反浸透正電荷反滲膜純化水箱純水泵紫外線殺菌器0.2或0.5m精細(xì)過濾器用水對象 預(yù)處置反浸透中間水箱水泵EDI安裝純化水箱純水泵紫外線殺菌器0.2或0.5m精細(xì)過濾器用水對象 預(yù)處置反浸透中間水箱水泵EDI安裝純化水箱純水泵紫外線殺菌器精制混床0.2或0.5m精細(xì)過濾器用水對象 運用場所 半導(dǎo)體資料、器件、印刷電路板和集

5、成電路； 超純資料和超純化學(xué)試劑； 實驗室和中試車間 汽車、家電外表拋光處置； 其他高科技精微產(chǎn)品。 實驗室用高純水機 適用范圍 分析試劑及藥品配置稀釋用水 微生物、生物發(fā)酵培育用水 生物工程培育基用水 總有機碳TOC分析用水 微電子行業(yè)各種部件的清洗用水 醫(yī)用注射用水 生理、病理、毒理學(xué)實驗用 原子發(fā)射、吸收光譜用水 各種高效液相色譜、離子色 PCR運用及分析用水 精細(xì)電鍍用水 大專院校、工礦企業(yè)實驗室實驗用水 生物學(xué)、電化學(xué)及介面研討用水 動、植物細(xì)胞培育用水 有機物分析用水 高精細(xì)光學(xué)鏡片沖洗用水 各種醫(yī)療用生化儀、 分析儀用水 醫(yī)學(xué)制劑用水 試管嬰兒用水 環(huán)境、環(huán)保實驗分析用水 譜、氣

6、候色譜用水 高分子實驗用水 膠片沖洗用水工業(yè)用高純水設(shè)備 反浸透+離子交換器組成的高純水系統(tǒng) 典型的工藝流程 原水加壓泵多介質(zhì)過濾器活性炭過濾器軟水器保安過濾器一級或二級反浸透機陽離子交換器陰離子交換器混床離子交換器不銹鋼儲水罐純水加壓泵紫外線殺菌器精細(xì)過濾器用水點 反浸透+EDI安裝組成的高純水系統(tǒng) 工藝流程 自來水加壓泵多介質(zhì)過濾器活性炭過濾器軟水器保安過濾器二級反浸透機1m3不銹鋼儲水罐純水加壓泵EDI安裝不銹鋼儲水罐純水保送泵紫外線殺菌器精細(xì)過濾器用水點 YRRO-ET系列電子超純水設(shè)備 功能 脫鹽率高，運轉(zhuǎn)壓力低的進(jìn)口超低卷式復(fù)合反浸透膜，產(chǎn)水水質(zhì)優(yōu)良，運轉(zhuǎn)本錢低廉，運用壽命長。高效率，低噪音，質(zhì)量優(yōu)越的進(jìn)口高壓泵，減少能耗，降低運轉(zhuǎn)噪聲。進(jìn)口在線原水及產(chǎn)品水電導(dǎo)儀，PH表可隨時監(jiān)測水質(zhì)情況。進(jìn)口在線產(chǎn)品水，濃水流量計可隨時監(jiān)測產(chǎn)品水量及系統(tǒng)回收率