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第八章第八章 掃描電子顯微分析掃描電子顯微分析8.1 掃描電鏡的基本原理、構(gòu)造和性能掃描電鏡的基本原理、構(gòu)造和性能8.2 掃描電鏡在材料研究中的應(yīng)用掃描電鏡在材料研究中的應(yīng)用8.3 波譜儀結(jié)構(gòu)及工作原理波譜儀結(jié)構(gòu)及工作原理8.4 能譜儀結(jié)構(gòu)及工作原理能譜儀結(jié)構(gòu)及工作原理8.5 電子探針分析方法及微區(qū)成分分析技術(shù)電子探針分析方法及微區(qū)成分分析技術(shù)概概 述述主要分為電子光學(xué)系統(tǒng)和信號(hào)收集和顯示系統(tǒng)主要分為電子光學(xué)系統(tǒng)和信號(hào)收集和顯示系統(tǒng)1、電子光學(xué)系統(tǒng)、電子光學(xué)系統(tǒng)、該系統(tǒng)由電子槍、電磁透鏡、光闌、樣品室等組成。、該系統(tǒng)由電子槍、電磁透鏡、光闌、樣品室等組成。如如 圖圖8-2所示。所示。、本系統(tǒng)的作用與透射電、本系統(tǒng)的作用與透射電 鏡不同，僅僅用來獲得掃描鏡不同，僅僅用來獲得掃描電子束。掃描電子束的特點(diǎn)：電子束。掃描電子束的特點(diǎn)： 亮度高；亮度高； 光斑直徑小。光斑直徑小。、采用鎢絲陰極發(fā)射的電子光源掃描電子束一般可達(dá)、采用鎢絲陰極發(fā)射的電子光源掃描電子束一般可達(dá) 20-50m，而采用六硼化鑭為，而采用六硼化鑭為20m左右，比前者小。左右，比前者小。4）、復(fù)合

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