1、第二章第二章 機電一體化的單元技術機電一體化的單元技術 12.3 傳感檢測技術傳感檢測技術 一、傳感器及其分類一、傳感器及其分類二、傳感器的特性二、傳感器的特性三、傳感器的測量電路及其與微機接口三、傳感器的測量電路及其與微機接口傳感檢測傳感檢測第二章第二章 機電一體化的單元技術機電一體化的單元技術 2一、一、 傳感器及其分類傳感器及其分類（一）傳感器定義：（一）傳感器定義： 傳傳感器是一種以一定精度將被測量（如位移、力、加速感器是一種以一定精度將被測量（如位移、力、加速度等）轉換為與之有確定對應關系的、易于精確處理和測度等）轉換為與之有確定對應關系的、易于精確處理和測量的某種物理量（如電量）的

2、測量部件或裝量的某種物理量（如電量）的測量部件或裝置。置。傳感檢測傳感檢測被被測測量量確定關系、確定關系、易精確處易精確處理和測量理和測量的物理量的物理量傳感器傳感器以一定精度轉換以一定精度轉換測量系測量系統(tǒng)的信統(tǒng)的信號調(diào)理號調(diào)理環(huán)節(jié)環(huán)節(jié)組成：組成：傳感器傳感器一般有敏感元件、轉換元件和基本轉換電路一般有敏感元件、轉換元件和基本轉換電路第二章第二章 機電一體化的單元技術機電一體化的單元技術 3（二）傳感器的分類（二）傳感器的分類按被測物理量分按被測物理量分按工作原理分按工作原理分根據(jù)敏感元件與被測對象之間的能量關系分根據(jù)敏感元件與被測對象之間的能量關系分按信號變換特征分按信號變換特征分按傳感器

3、轉換過程可逆與否分類按傳感器轉換過程可逆與否分類按輸出信號的按輸出信號的形式形式分分傳感檢測傳感檢測第二章第二章 機電一體化的單元技術機電一體化的單元技術 4 1、按被測物理量分類、按被測物理量分類位移、速度、加速度、力、壓力、溫度、濕度、光度傳感器位移、速度、加速度、力、壓力、溫度、濕度、光度傳感器 壓力傳感器壓力傳感器 溫度傳感器溫度傳感器 傳感檢測傳感檢測第二章第二章 機電一體化的單元技術機電一體化的單元技術 5工作原理工作原理 當指示光柵上的線紋與標尺光柵上的線紋成一小角度放置時，兩光柵尺上線紋互相交叉。在光源的照射下，交叉點附近的小區(qū)域內(nèi)黑線重疊，形成黑色條紋，其它部分為明亮條紋，這

4、種明暗相間的條紋稱為莫爾條紋。莫爾條紋與光柵線紋幾乎成垂直方向排列。嚴格地說，是與兩片光柵線紋夾角的平分線相垂直。光柵光柵第二章第二章 機電一體化的單元技術機電一體化的單元技術 6PPWsin莫爾條紋具有如下特點：（1）. 放大作用 用W（mm）表示莫爾條紋的寬度，P(mm)表示柵距，0(rad)為光柵線紋之間的夾角，則有莫爾條紋寬度W與角成反比，0越小，放大倍數(shù)越大。（2）. 均化誤差作用 莫爾條紋是由光柵的大量刻線共同組成，例如，200條/mm的光柵，10mm寬的光柵就由2000條線紋組成，這樣柵距之間的固有相鄰誤差就被平均化了，消除了柵距之間不均勻造成的誤差。標尺光柵W指示光柵（斜）P第

5、二章第二章 機電一體化的單元技術機電一體化的單元技術 7 霍爾傳感器霍爾傳感器在霍爾元件兩端通以控制電在霍爾元件兩端通以控制電流流 I，并在其垂直方向施加，并在其垂直方向施加磁感應強度為磁感應強度為B的磁場，那的磁場，那么在垂直于電流和磁場方向么在垂直于電流和磁場方向上將產(chǎn)生電動勢上將產(chǎn)生電動勢U，這種現(xiàn)，這種現(xiàn)象稱為霍爾效應象稱為霍爾效應 U=KIB第二章第二章 機電一體化的單元技術機電一體化的單元技術 8霍爾傳感器的應用（1）兩塊不同的磁鐵中心的磁感應強度為零，放置其中的線）兩塊不同的磁鐵中心的磁感應強度為零，放置其中的線性霍爾性霍爾IC產(chǎn)生偏離某一側的位移時，霍爾產(chǎn)生偏離某一側的位移時，

6、霍爾IC的輸出電壓將與的輸出電壓將與其位移量成正比其位移量成正比位移位移（2）通過線性霍爾）通過線性霍爾IC感應磁場變化測量交直流電流的變化感應磁場變化測量交直流電流的變化電流電流（3）把磁鐵固定在旋轉體上，每轉一周霍爾）把磁鐵固定在旋轉體上，每轉一周霍爾IC便輸出一個脈便輸出一個脈沖，計數(shù)器測量脈沖數(shù)沖，計數(shù)器測量脈沖數(shù)轉速轉速 （4）當磁鐵靠近霍爾開關）當磁鐵靠近霍爾開關IC時，時，SCR截止；磁鐵離開后，截止；磁鐵離開后，SCR導通導通開關開關第二章第二章 機電一體化的單元技術機電一體化的單元技術 92、按傳感器的工作原理分類、按傳感器的工作原理分類機械式、電阻式機械式、電阻式 、電感式

7、、電感式 、磁電式、磁電式 、壓電式、壓電式 、電容式、電容式 、光電式光電式 傳感檢測傳感檢測e=W*b*l*v*sina第二章第二章 機電一體化的單元技術機電一體化的單元技術 10傳感檢測傳感檢測第二章第二章 機電一體化的單元技術機電一體化的單元技術 111 1能量轉換型：能量轉換型傳感器是直接由被測對象輸能量轉換型：能量轉換型傳感器是直接由被測對象輸入能量使其工作的，例如，熱電偶溫度計、彈性壓力計等。入能量使其工作的，例如，熱電偶溫度計、彈性壓力計等。2 2能量控制型：能量控制型傳感器是從外部供給輔助能能量控制型：能量控制型傳感器是從外部供給輔助能量使其工作的，并由被測量來控制外部供給能

8、量的變化。量使其工作的，并由被測量來控制外部供給能量的變化。如電阻式、電容式、電感式、霍爾式等傳感器，還有熱敏如電阻式、電容式、電感式、霍爾式等傳感器，還有熱敏電阻、光敏電阻、濕敏電阻等。電阻、光敏電阻、濕敏電阻等。3、按傳感器轉換能量的情況分類、按傳感器轉換能量的情況分類測量測量對象對象傳感器傳感器輔助能源輔助能源輸入輸入輸出輸出能量控制型傳感器工作方式能量控制型傳感器工作方式傳感檢測傳感檢測第二章第二章 機電一體化的單元技術機電一體化的單元技術 124、按傳感器的變換特征分類、按傳感器的變換特征分類結構型：結構型傳感器則是依靠傳感器結構參數(shù)的結構型：結構型傳感器則是依靠傳感器結構參數(shù)的變化

9、而實現(xiàn)信號轉換的。變化而實現(xiàn)信號轉換的。物性型：物性型傳感器是依靠敏感元件材料本身物物性型：物性型傳感器是依靠敏感元件材料本身物理性質(zhì)的變化來實現(xiàn)信號變換的。理性質(zhì)的變化來實現(xiàn)信號變換的。傳感檢測傳感檢測如光電管、各種半導體傳感器、壓電式傳感器等都屬于物如光電管、各種半導體傳感器、壓電式傳感器等都屬于物性型傳感器。性型傳感器。 如如電感式、電容式、光柵式等傳感器就是屬于結構型傳感器。電感式、電容式、光柵式等傳感器就是屬于結構型傳感器。第二章第二章 機電一體化的單元技術機電一體化的單元技術 13單向單向: :只能將被測量轉換為電量，不能反之的傳感器稱只能將被測量轉換為電量，不能反之的傳感器稱為單

10、向傳感器。為單向傳感器。雙向雙向: :能在傳感器的輸入、輸出端作雙向傳輸，即具有能在傳感器的輸入、輸出端作雙向傳輸，即具有可逆特性的傳感器稱為雙向傳感器。可逆特性的傳感器稱為雙向傳感器。包括：包括：壓電式傳感器壓電式傳感器磁電感應式傳感器磁電感應式傳感器傳感檢測傳感檢測第二章第二章 機電一體化的單元技術機電一體化的單元技術 146、按傳感器輸出信號的形式分、按傳感器輸出信號的形式分開關型（二值型）。微動開關、光電、接近開關等。開關型（二值型）。微動開關、光電、接近開關等。模擬型。傳感器輸出模擬信號，如電阻式傳感器。模擬型。傳感器輸出模擬信號，如電阻式傳感器。數(shù)字型。傳感器輸出數(shù)字信號，如編碼器

11、式傳感器。數(shù)字型。傳感器輸出數(shù)字信號，如編碼器式傳感器。第二章第二章 機電一體化的單元技術機電一體化的單元技術 15傳感檢測傳感檢測應該指出，習慣上常把工作原理和用途結合起來應該指出，習慣上常把工作原理和用途結合起來命名傳感器。如電感式位移傳感器、壓電式加速命名傳感器。如電感式位移傳感器、壓電式加速度傳感器等。度傳感器等。第二章第二章 機電一體化的單元技術機電一體化的單元技術 16下圖是一種氣體壓力傳感器示意圖。膜盒下圖是一種氣體壓力傳感器示意圖。膜盒2 2的下的下半部與殼體半部與殼體1 1固接固接, ,上半部通過連桿與磁心上半部通過連桿與磁心4 4相連相連, ,磁心磁心4 4置于兩個電感線圈

12、置于兩個電感線圈3 3中中, ,后者接入轉換電路后者接入轉換電路5 5。膜盒膜盒2 2就是敏感元件就是敏感元件, ,其外其外部與大氣壓部與大氣壓pa a相通，內(nèi)部相通，內(nèi)部感受被測壓力感受被測壓力p, ,當當p變化變化時時, ,引起膜盒上半部移動引起膜盒上半部移動, ,即輸出相應的位移量。即輸出相應的位移量。電感電感線圈線圈3 3是轉化元件是轉化元件, ,它它把輸入的位移量轉換成電把輸入的位移量轉換成電感的變化。感的變化。5 5為轉換電路。為轉換電路。傳感檢測傳感檢測第二章第二章 機電一體化的單元技術機電一體化的單元技術 17二、二、傳感器的特性傳感器的特性傳感檢測傳感檢測特性參數(shù)特性參數(shù)選用

13、原則選用原則改善傳感器性能的技術措施改善傳感器性能的技術措施第二章第二章 機電一體化的單元技術機電一體化的單元技術 181.特性參數(shù)特性參數(shù) （1） 靜態(tài)特性靜態(tài)特性:線性范圍線性范圍: :機械輸入量與傳感器輸出量機械輸入量與傳感器輸出量之間維持線性比例關系的測量范圍。之間維持線性比例關系的測量范圍。線性度：輸入輸出保持常值比例關系的線性度：輸入輸出保持常值比例關系的程度。程度。L= =( (| |L Lmaxmax|/|/Y)Y)100%100%靈敏度靈敏度K K0: 對被測量變化的反應能力對被測量變化的反應能力 K K0 = = Y Y/ /X X分辯力分辯力:能檢測到的最小的輸入增量能檢

14、測到的最小的輸入增量L Lmaxmax擬合曲線擬合曲線Y測量范圍測量范圍X校準曲線校準曲線校準或標定曲線校準或標定曲線 第二章第二章 機電一體化的單元技術機電一體化的單元技術 19精確度：傳感器的輸出量與被測量的實際值之間的符合程度，包括傳感精確度：傳感器的輸出量與被測量的實際值之間的符合程度，包括傳感器的測量值精度和重復精度器的測量值精度和重復精度 回程誤差（遲滯）：正反向輸入的輸出曲線的不重合程度回程誤差（遲滯）：正反向輸入的輸出曲線的不重合程度 遲滯誤差遲滯誤差 Y YH H= =（H Hmaxmax/ /Y YFSFS）100%100%式中：式中：H HmaxmaxYY向的最大不重合量

15、；向的最大不重合量；Y YFSFS滿量程輸出滿量程輸出 滯環(huán)是由于傳感器吸收能量所產(chǎn)生，所以滯環(huán)效應常伴著死區(qū)效應。穩(wěn)定性：在規(guī)定條件下，輸出穩(wěn)定性：在規(guī)定條件下，輸出/ /輸入特性輸入特性保持恒定不變的能力保持恒定不變的能力漂移：不受時間變化的能力漂移：不受時間變化的能力點漂：恒定的輸入在規(guī)定時間內(nèi)的變化點漂：恒定的輸入在規(guī)定時間內(nèi)的變化零漂：標稱范圍內(nèi)，最低值處的點漂零漂：標稱范圍內(nèi)，最低值處的點漂傳感檢測傳感檢測H Hmaxmax滿量程輸出滿量程輸出 YFSYX第二章第二章 機電一體化的單元技術機電一體化的單元技術 20 （2）動態(tài)特性動態(tài)特性: : 測量交變信號時，在所測頻率范圍內(nèi)，保

16、持信號不失真的測量特性，測量交變信號時，在所測頻率范圍內(nèi)，保持信號不失真的測量特性，主要包括傳感器的響應時延、幅頻特性和相頻特性等主要包括傳感器的響應時延、幅頻特性和相頻特性等 幅頻特性：穩(wěn)態(tài)輸出和輸入（簡諧）信號的幅值比：幅頻特性：穩(wěn)態(tài)輸出和輸入（簡諧）信號的幅值比：表征系統(tǒng)對輸入信號表征系統(tǒng)對輸入信號各頻率分量的幅值縮放能力各頻率分量的幅值縮放能力相頻特性：穩(wěn)態(tài)輸出對輸入（簡諧）信號的相位差：相頻特性：穩(wěn)態(tài)輸出對輸入（簡諧）信號的相位差：表征系統(tǒng)對輸入信號表征系統(tǒng)對輸入信號各頻率分量的相位角前后移動能力各頻率分量的相位角前后移動能力傳感檢測傳感檢測()A()A() =A()=t0 )()(

17、)(jeAH第二章第二章 機電一體化的單元技術機電一體化的單元技術 212.選用原則選用原則（1）高精度、高靈敏度、響應快、穩(wěn)定性好、信噪比高高精度、高靈敏度、響應快、穩(wěn)定性好、信噪比高（2）安全可靠、壽命長。安全可靠、壽命長。（3）對環(huán)境條件適應能力強。對環(huán)境條件適應能力強。（4）不易受被測對象（如電阻、磁導率）的影響，也不不易受被測對象（如電阻、磁導率）的影響，也不影響外部環(huán)境。影響外部環(huán)境。（5）便于與計算機連接。便于與計算機連接。（6）結構簡單、體積小、重量輕，使用維護方便，功耗結構簡單、體積小、重量輕，使用維護方便，功耗低，對整機的適應性好。低，對整機的適應性好。 （7）低成本。低成

18、本。傳感檢測傳感檢測第二章第二章 機電一體化的單元技術機電一體化的單元技術 223. 改善傳感器性能的技術措施：改善傳感器性能的技術措施： (1)平均技術。平均技術。 (2)差動技術。差動技術。在電阻應變式、電感式、電容式等傳在電阻應變式、電感式、電容式等傳感器中應用，減小非線性誤差。感器中應用，減小非線性誤差。傳感檢測傳感檢測雙螺線管差動型電橋電路及其輸出特性雙螺線管差動型電橋電路及其輸出特性uL1L2L1L2u0第二章第二章 機電一體化的單元技術機電一體化的單元技術 23 (3)穩(wěn)定性處理。穩(wěn)定性處理。 (4)屏蔽和隔離。屏蔽和隔離。傳感檢測傳感檢測電電磁磁屏屏蔽蔽房房電腦屏蔽線電腦屏蔽線

19、 屏蔽罩屏蔽罩第二章第二章 機電一體化的單元技術機電一體化的單元技術 24三、傳感器的測量電路及其微機接口三、傳感器的測量電路及其微機接口傳感檢測傳感檢測傳感檢測系統(tǒng)組成：傳感檢測系統(tǒng)組成：1 1敏感元件。直接感受被測量，并以確定關系輸出某敏感元件。直接感受被測量，并以確定關系輸出某一物理量。一物理量。 2 2轉換元件。轉換元件。將敏感元件輸出的非電物理量（如位移、將敏感元件輸出的非電物理量（如位移、應變、光強等）轉換成電路參數(shù)（如電阻、電感、電容應變、光強等）轉換成電路參數(shù)（如電阻、電感、電容等）量。等）量。 3 3基本轉換電路基本轉換電路。將電路參數(shù)量轉換成便于測量的電。將電路參數(shù)量轉換成

20、便于測量的電量，如電壓、電流、頻率等。量，如電壓、電流、頻率等。第二章第二章 機電一體化的單元技術機電一體化的單元技術 25 l（1）電橋）電橋 電橋適用于電參量式傳感器。將被測物理量的電橋適用于電參量式傳感器。將被測物理量的變化引起敏感元件的電阻、電感或電容等參數(shù)的變化引起敏感元件的電阻、電感或電容等參數(shù)的變化，轉換為電量（電壓、電流、電荷等）變化，轉換為電量（電壓、電流、電荷等）傳感檢測傳感檢測直流數(shù)顯電橋直流數(shù)顯電橋I1 I2 R1 R2 R3 R4ABCDUs U0 ( (一一) )測量及轉換電路測量及轉換電路電橋的平衡條件為 4231RRRR44332211IO4RRRRRRRRUU

21、第二章第二章 機電一體化的單元技術機電一體化的單元技術 26案例：半橋單臂（補償）案例：半橋單臂（補償）I1 I2 R1 +RR2 R3 R4ABCDUs U0 傳感檢測傳感檢測補償片CDBAUOIU工作片2RR14RR3電阻式應變傳感器的溫度補償電阻式應變傳感器的溫度補償sURRU004第二章第二章 機電一體化的單元技術機電一體化的單元技術 27（2）調(diào)制與解調(diào)）調(diào)制與解調(diào)傳感檢測傳感檢測微弱的微弱的緩變信號緩變信號高頻交高頻交流信號流信號緩變緩變信號信號傳感器傳感器測量測量調(diào)制調(diào)制解調(diào)解調(diào)被測物被測物理量理量調(diào)制：使一個信號的某些參數(shù)在另一個信號的控制下調(diào)制：使一個信號的某些參數(shù)在另一個信

22、號的控制下而發(fā)生變化的過程而發(fā)生變化的過程l前一信號為載波，為較高頻率的高頻信號前一信號為載波，為較高頻率的高頻信號l后一信號（控制信號）為調(diào)制信號后一信號（控制信號）為調(diào)制信號l輸出的為已調(diào)制波輸出的為已調(diào)制波解調(diào)：從已調(diào)制波中恢復出調(diào)制信號的過程解調(diào)：從已調(diào)制波中恢復出調(diào)制信號的過程第二章第二章 機電一體化的單元技術機電一體化的單元技術 28根據(jù)載波受調(diào)制的參數(shù)不同，調(diào)制分為三種，簡稱為調(diào)幅根據(jù)載波受調(diào)制的參數(shù)不同，調(diào)制分為三種，簡稱為調(diào)幅（AM）、）、調(diào)頻（調(diào)頻（FM）、）、調(diào)相（調(diào)相（PM）。）。 調(diào)幅：將一個高頻簡諧信號（載波）與測試信號（調(diào)制調(diào)幅：將一個高頻簡諧信號（載波）與測試信

23、號（調(diào)制信號）相乘，使高頻信號的幅值隨測試信號的變化而變信號）相乘，使高頻信號的幅值隨測試信號的變化而變化化第二章第二章 機電一體化的單元技術機電一體化的單元技術 29調(diào)頻：利用信號電壓的幅值控制一個振蕩器，振蕩器調(diào)頻：利用信號電壓的幅值控制一個振蕩器，振蕩器輸出的是等幅波，但其振蕩頻率偏移量和信號電壓成輸出的是等幅波，但其振蕩頻率偏移量和信號電壓成正比。正比。 式中式中：f0載波頻率，或中心頻率載波頻率，或中心頻率 f頻率偏移，與調(diào)制信號頻率偏移，與調(diào)制信號x(t)的幅值成正比的幅值成正比fff0調(diào)頻波與調(diào)制信號幅值之間的關系調(diào)頻波與調(diào)制信號幅值之間的關系第二章第二章 機電一體化的單元技術機

24、電一體化的單元技術 30AD轉換包括采樣、量化、編碼轉換包括采樣、量化、編碼:D/A轉換器：把數(shù)字信號轉換為電壓或電流信號。轉換器：把數(shù)字信號轉換為電壓或電流信號。 傳感檢測傳感檢測（3）模）模/數(shù)（數(shù)（A/D）與數(shù)與數(shù)/模（模（D/A）轉轉換電路換電路 第二章第二章 機電一體化的單元技術機電一體化的單元技術 31( (二二) )傳感器與微機的接口傳感器與微機的接口傳感檢測傳感檢測光電隔離光電隔離數(shù)字量數(shù)字量檢測檢測模擬量模擬量檢測檢測開關量開關量檢測檢測開關量開關量控制控制伺服控伺服控制驅動制驅動A/D光電隔離光電隔離光電隔離光電隔離D/A數(shù)字量數(shù)字量傳感器傳感器模擬量模擬量傳感器傳感器開關

25、量開關量傳感器傳感器繼電器繼電器步進電機步進電機伺服電機伺服電機I/O擴擴展展單單片片機機EPROMRAMI/O顯示器顯示器鍵盤鍵盤通用通用外部外部設備設備單片機應用系統(tǒng)的構成單片機應用系統(tǒng)的構成第二章第二章 機電一體化的單元技術機電一體化的單元技術 32接口方式接口方式基本方法基本方法模擬量接口模擬量接口傳感器輸出信號傳感器輸出信號 放大放大采樣采樣/ /保持保持 多路開關多路開關 A/D轉換轉換I/O接口接口微機微機模擬模擬開關量接口開關量接口二值型信號二值型信號 三態(tài)緩沖器三態(tài)緩沖器 微機微機數(shù)字量接口數(shù)字量接口數(shù)值量數(shù)值量 （計數(shù)器）（計數(shù)器） 三態(tài)緩沖器三態(tài)緩沖器微機微機傳感檢測傳感

26、檢測第二章第二章 機電一體化的單元技術機電一體化的單元技術 33（1 1）輸入放大器）輸入放大器被分析的信號幅值大小不一，輸入放大器或衰被分析的信號幅值大小不一，輸入放大器或衰減器便是對幅值進行處理的器件減器便是對幅值進行處理的器件超限額的超限額的電壓幅值電壓幅值衰減衰減太小的電太小的電壓幅值壓幅值放大放大傳感檢測傳感檢測第二章第二章 機電一體化的單元技術機電一體化的單元技術 34（2 2）抗混頻濾波器）抗混頻濾波器在采樣前常用模擬濾波器衰減不感興趣的高頻分量，在采樣前常用模擬濾波器衰減不感興趣的高頻分量，再由濾波器的選擇性來確定適當?shù)牟蓸宇l率再由濾波器的選擇性來確定適當?shù)牟蓸宇l率l從從O O

27、f2 2頻率之問，幅頻特性平直，使信號中低于頻率之問，幅頻特性平直，使信號中低于f2 2的頻率成分幾乎不受衰減地通過，而高于的頻率成分幾乎不受衰減地通過，而高于f2 2的頻率的頻率成分受到極大地衰減。成分受到極大地衰減。傳感檢測傳感檢測第二章第二章 機電一體化的單元技術機電一體化的單元技術 35（3）采樣保持器采樣保持器模擬輸入信號變化頻率較大的信號通道需要。模擬輸入信號變化頻率較大的信號通道需要。要求：要求：l采樣時：存儲電容盡快充電采樣時：存儲電容盡快充電l保持時：存儲電容的漏電流必須接近于零，使輸出保持時：存儲電容的漏電流必須接近于零，使輸出值保持不變值保持不變（4 4）模擬多路開關模擬

28、多路開關分別或依次把傳感器輸出的模擬量與分別或依次把傳感器輸出的模擬量與A/D接通，接通，進行進行A/D轉換轉換l導通電阻小導通電阻小l開路電阻大開路電阻大l速度快速度快傳感檢測傳感檢測第二章第二章 機電一體化的單元技術機電一體化的單元技術 36數(shù)字量傳感器性能指標 (1)分辨率(Q)改變一個測量計數(shù)所對應的被測量的變化值。式中xmax，xmin數(shù)字量傳感器的測量上限與下限Nm數(shù)字量傳感器的輸出范圍值Q越小，說明數(shù)字量測量裝置的精度越高。)/(x-xQminmax字當量被測量mN第二章第二章 機電一體化的單元技術機電一體化的單元技術 37(2)精度()測量誤差值與實際測量值之比。數(shù)字量傳感器測量裝置的精度為：式中n測量值與實際值之差。(3)檢測時間對被測參數(shù)進行兩次采樣之間的時間間隔。(4)計數(shù)器字長根據(jù)檢測裝置的最大測量值xmax及分辨率(Q)可以確定計數(shù)器的最大計數(shù)值: 100%n%NQmaxmaxxm第二章第二章 機電一體化的單元技術機電一體化的單元技術 38A/D轉換器的選擇確定A/D轉