1、幾種可變光衰減器技術(shù)及其比較為了實現(xiàn)DWDM系統(tǒng)的長距離高速無誤碼傳輸，必須使各通道信號光功率一致，即需要對多通道光功率 進行監(jiān)控和均衡。因此出現(xiàn)了動態(tài)信道均衡器（DCE）、可調(diào)功率光復(fù)用器（VMUX）、光分插復(fù)用器（OADM） 等光器件，這些器件的核心部件都是陣列可變光衰減器（VOA）。靈活地調(diào)節(jié)VOA，可以使各個通道的功 率處于理想的大小。近年來，出現(xiàn)了多種制造可變光衰減器的新技術(shù)，包括可調(diào)衍射光柵技術(shù)、MEMS技術(shù)、液晶技術(shù)、磁 光技術(shù)、平面光波導(dǎo)技術(shù)等。高分子可調(diào)衍射光柵VOA高分子可調(diào)衍射光柵的制作基于一種薄膜表面調(diào)制技術(shù)。起初，這種技術(shù)的開發(fā)是為了替代放映機和投 影儀中的液晶顯示屏

2、（LCD）和數(shù)字光處理器（DLP）。這種可調(diào)衍射光柵（圖1）的頂層是玻璃，下面一 層是銦錫氧化物（ITO），中間是空氣、聚合物和ITO陣列，底層是玻璃基底。在未加電信號時，空氣與聚 合物層的交界面是與結(jié)構(gòu)表面平行的平面。當(dāng)入射光進入該平面時，不發(fā)生衍射。在加電信號后，空氣和 聚合物的界面隨電極陣列的分布而發(fā)生周期變化，形成了正弦光柵。當(dāng)入射光入射至該表面時，形成衍射。 施加不同的電信號可以形成不同相位調(diào)制度的正弦光柵。蜿部電甬高分子可調(diào)衍射光柵。采用高分子可調(diào)衍射光柵的VOA的工作機制是：通過調(diào)制表面一層薄的聚合物，使其表面近似為正弦 形狀，形成正弦光柵。利用這種技術(shù)，可以制作出一種周期為10

3、微米，表面高度h隨施加的電信號變化 并且最高可到300納米的正弦光柵。當(dāng)光入射到被調(diào)制的表面上時，形成衍射。施加不同的電信號改變正 弦光柵的振幅，即改變h時，可以得到不同的相位調(diào)制度，而不同相位調(diào)制度下的衍射光強的分布是不同 的。當(dāng)相位調(diào)制度由零逐漸變大時，衍射光強度從零級向更高衍射級的光轉(zhuǎn)移。這種調(diào)制可以使零級光的 光強從100%連續(xù)的改變到0%，從而，實現(xiàn)對衰減量的控制。并且這種調(diào)制的響應(yīng)時間非常快，在微秒級。磁光VOA磁光VOA是利用一些物質(zhì)在磁場作用下所表現(xiàn)出的光學(xué)性質(zhì)的變化，例如利用磁致旋光效應(yīng)（法拉第 效應(yīng)）實現(xiàn)光能量的衰減，從而達到調(diào)節(jié)光信號的目的。一種典型的偏振無關(guān)磁光VOA結(jié)

4、構(gòu)如圖2左圖 所示。H制電用WSK偏振無關(guān)磁光VOA結(jié)構(gòu)和光路。圖2右圖將左圖中的鏡像光路畫在右側(cè)，以利于原理的分析解釋。當(dāng)光從雙芯光纖的一端入射，經(jīng)透鏡 準直后（略去光束的厚度），進入到雙折射晶體（其光軸垂直于紙面），被分成O光和E光兩束光，然后進 入法拉第旋轉(zhuǎn)器，光從法拉第旋轉(zhuǎn)器出射后被全反射鏡反射，再依次通過法拉第旋轉(zhuǎn)器、雙折射晶體和透 鏡，最后從雙芯光纖的另一端輸出。因此，通過調(diào)制電壓控制磁場，可以使進入法拉第旋轉(zhuǎn)器的偏振光的 偏振態(tài)發(fā)生旋轉(zhuǎn)。在法拉第旋轉(zhuǎn)角為0度的情況下，O光仍然是O光，E光仍然是E光，兩束光不平行， 不能合在一起，如圖虛線所示，此時衰減程度最大；在法拉第旋轉(zhuǎn)角為45

5、度的情況下，總的法拉第旋轉(zhuǎn)角 為90度，O光變成E光，E光變成O光，兩束光平行，通過透鏡聚焦后合在一起，此時衰減程度最小。液晶VOA液晶VOA利用了液晶折射率各向異性而顯示出的雙折射效應(yīng)。當(dāng)施加外電場時，液晶分子取向重新排 列，將會導(dǎo)致其透光特性發(fā)生變化（圖3）。液晶加電前后透光性的變化。如圖4所示，由入射光纖入射的光經(jīng)準直器準直后，進入雙折射晶體，被分成偏振態(tài)相互垂直的O光和 E光，經(jīng)液晶后，O光變成E光，E光變成O光，再由另一塊雙折射晶體合束，最后從準直器輸出。當(dāng)液 晶材料加載電壓V時，O光和E光經(jīng)過液晶后都改變一定的角度，經(jīng)第二塊雙折射晶體，每束光又被分成 O光和E光，形成了4束光，中間

6、兩束最后合成一束從第二塊雙折射晶體出射，由準直器接收，另外兩束 從第二塊雙折射晶體出射后未被準直器接收，從而實現(xiàn)衰減。因此，通過在液晶的兩個電極上施加不同的 電壓控制光強的變化，可以實現(xiàn)不同的衰減。液晶VOA原理。MEMS VOAMEMS VOA有反射式VOA和衍射式VOA （圖5）。MEMS VOA的結(jié)構(gòu)。反射式VOA是在硅基上制作一塊微反射鏡。光經(jīng)雙芯準直器的一端進入，以一定角度入射到微反射鏡 上，當(dāng)施加電壓時，微反射鏡在靜電作用下被扭轉(zhuǎn)，傾角改變，入射光的入射角度發(fā)生改變，光反射后能 量不能完全耦合進雙芯準直器的另一端，達到調(diào)節(jié)光強的目的；而未加電壓時，微反射鏡呈水平狀態(tài)，光 反射后能量

7、完全耦合進雙芯準直器的另一端。衍射式VOA基于動態(tài)衍射光柵技術(shù)。當(dāng)施加電壓時，在靜電作用下相同間隔的動?xùn)艞l位置向下移動產(chǎn) 生衍射光柵效應(yīng)，通過電壓調(diào)節(jié)來控制一級衍射光從而達到調(diào)節(jié)光信號衰減量的目的。平面光波導(dǎo)VOA平面光波導(dǎo)VOA也有兩種。一種是基于Mach-Zehnder干涉儀（MZI）原理，并利用熱光效應(yīng)，使材料的折射率發(fā)生變化，從而改 變MZI的干涉臂的長度，使兩臂產(chǎn)生不同的光程差，實現(xiàn)對光衰減量的控制（圖6）。這種方法必須對光束 進行分束和耦合，這就會引入較大的插入損耗。基于MZI原理的平面光波導(dǎo)VOA另一種直接基于電吸收（EA）調(diào)制，利用載流子注入改變吸收系數(shù)來實現(xiàn)光功率的衰減。如圖

8、7所示， 在PN結(jié)之間加入一層單模光波導(dǎo)層，當(dāng)未加電時，從光纖出射的單模光，進入單模光波導(dǎo)層后，仍然是 傳導(dǎo)模，被限制在這一層中繼續(xù)傳播，并從另一光纖輸出；當(dāng)加載電壓時，由于載流子的注入，單模光波 導(dǎo)的吸收系數(shù)增大，從而部分光被吸收掉。并且隨著電壓的增加，流過PN結(jié)的電流也隨著增加，使得更 多的光子被吸收，衰減增大。利用電吸收調(diào)制的平面光波VOA高光電系數(shù)材料VOA這種VOA采用的是特殊的陶瓷光電材料，類似鈮酸鋰(LiNbO3),不過比鈮酸鋰有更大的光電系數(shù)。利 用這種光電系數(shù)足夠大的材料制作VOA，不需要做成波導(dǎo)，可以做成自由空間結(jié)構(gòu)，就像隔離器那樣。如 圖8所示，光經(jīng)由輸入準直器端導(dǎo)入，通

9、過由特殊光電材料做成的一塊元件，然后從輸出準直器輸出。調(diào) 節(jié)加在光電材料元件上的電壓，使得它的折射率發(fā)生改變，從而實現(xiàn)衰減。使用高光電系數(shù)材料制作VOA各種技術(shù)的比較隨著VOA在光通信中的應(yīng)用越來越多，對其功能的要求也越來高。VOA應(yīng)能精確地控制光信號的功率， 為所有通信波長提供穩(wěn)定的衰減量；在超長距離DWDM系統(tǒng)中，VOA還必須對隨環(huán)境影響而逐漸變化的 信號有反應(yīng)；在動態(tài)網(wǎng)絡(luò)節(jié)點上，VOA的響應(yīng)時間應(yīng)在ms級。VOA的技術(shù)指標主要包括：工作波長范圍、 動態(tài)范圍、插入損耗、偏振相關(guān)損耗、響應(yīng)時間、溫度特性、工作溫度等。下面就各種技術(shù)做一簡單比較， 見表1。單可漏指射光冊VOA液AVOA反射式

10、MEWS FA荷射式 MEMS VQA.宙尤如AMZJ平 面光誠 導(dǎo)VQAEA平 面光甄 導(dǎo)VOA料VOA工件裝長HrtlG/LG/LQrt_GfLcC*LC+LC/L動蛇范堡asao25谷2520354025200.01,2g。耳1.Q1-52-0四黑梅相關(guān)損捉妲0-50-5g。怖15僉g0-5的應(yīng)時而心3651036S5通度精性好s觸8-l光強15控有成r任較高K技高K=c書-700-65- 5-TO70O-GS5-7D.0-TO高分子可調(diào)衍射光柵VOA陣列的制作工藝簡單，性能好，動態(tài)范圍可達20dB，插損小，響應(yīng)時間快， 受環(huán)境溫度影響小，無須溫度補償，并且?guī)в泄夤β时O(jiān)控，具有較高的性價

11、比。磁光VOA由于磁光晶體對光束偏振態(tài)的改變受環(huán)境溫度的影響，溫度特性較差，需要溫度補償。另外， 在磁光晶體的磁化沒有達到飽和時，磁光晶體里面會產(chǎn)生許多磁疇。磁疇的存在造成可變光衰減器的衰減 效果的可重復(fù)性變差，即使能夠保持良好的可重復(fù)性，也難以產(chǎn)生衰減的平穩(wěn)變化；還由于磁疇邊界表面 散射的存在，使得衰減較難控制。目前市場上能提供這一類產(chǎn)品的公司較少，它的優(yōu)點是響應(yīng)時間非?？欤?巳有小批量商用。液晶VOA由于液晶很容易受環(huán)境溫度的影響，因而溫度特性很差，使用時需要輔以溫度校準，另一個 缺點是它在低溫時響應(yīng)時間很慢。它的優(yōu)點是成本低，巳有批量商用。MEMS VOA巳經(jīng)很成熟，并巳大量生產(chǎn)和規(guī)模應(yīng)

12、用。該產(chǎn)品受環(huán)境溫度的影響也較大，需溫度補償。 同時因為成品率的問題，在價格方面面臨著挑戰(zhàn)，另外由于是微機電部件，可靠性有時不夠理想。MZI型平面光波導(dǎo)VOA體積小，利于高度集成，但是目前其工藝還處于發(fā)展和完善中，性能還較差， 封裝難度大。EA型平面光波導(dǎo)VOA要求對載流子濃度的改變很大，調(diào)制區(qū)域很長，所以會增加器件的體 積和功耗，并且這種VOA也是溫度相關(guān)的，但它有響應(yīng)時間非?？斓膬?yōu)點，甚至能夠當(dāng)?shù)退僬{(diào)制器使用。 并且由于集成化的巨大優(yōu)勢，隨著技術(shù)的發(fā)展和成熟，相信平面光波導(dǎo)VOA將會被越來越被廣泛地應(yīng)用。自由空間光電材料VOA響應(yīng)時間很快，能承受大功率，現(xiàn)巳得到了一些應(yīng)用。由于其可以做成自由空 間的結(jié)構(gòu)，可以很好的利用目前比較成熟的微光學(xué)器件平臺。但因為它采用的材料較特殊，目前價格比較 高。結(jié)束語可變光衰減器（VOA）是光通信系統(tǒng)中重要的光器件之一。長期以來，它一直停留在機械式水平，因為 體積大不利于集成，它一般只適合于單通道衰減方式。隨著DWDM系統(tǒng)的發(fā)展，以及市場對可靈活升級 的可重構(gòu)光分插復(fù)用器（ROADM）的潛在的巨大需求，越來越需要通道數(shù)多而體積小的可變光衰減器陣 列。傳統(tǒng)的機械方式巳不能解決這些難題。隨著光纖網(wǎng)絡(luò)的發(fā)展，VOA的發(fā)展趨勢是：低成本、高集成、 響應(yīng)時間快以及和其他光通信器件的混