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文檔簡介
1、研究生課程現(xiàn)代傳感技術(shù)研究生課程現(xiàn)代傳感技術(shù)緒 論 高新技術(shù)迅速發(fā)展的信息時(shí)代,獲取準(zhǔn)確可靠的信息成為做好一切工作的前提。 傳感器是信息的采集和信息的轉(zhuǎn)換的重要部件,測量和控制系統(tǒng)的首要環(huán)節(jié),測試計(jì)量和工業(yè)自動化、智能化的關(guān)鍵技術(shù)。 在世界范圍內(nèi),一個(gè)國家的一項(xiàng)工程設(shè)計(jì)中所用傳感器的數(shù)量和水平直接標(biāo)志著這個(gè)國家科學(xué)技術(shù)的先進(jìn)程度,因此傳感器技術(shù)成為信息時(shí)代的焦點(diǎn)。緒 論 1 傳感器的定義 人用五官感受外界信息,將所得到的信息送入大腦并進(jìn)行思維和判斷,然后大腦命令四肢完成某種動作。 表觀上傳感器能夠代替人的五官完成感受外界信息的功能,成為傳送感覺(應(yīng))的一種器件。 1 傳感器的定義 “五官”感受
2、的外界信息范圍很窄(只是對人體無害的信息),還有很多無法或難以感知的被測量,如紫外光、紅外光、電磁場、無味無嗅之氣體及特高溫、劇毒物和各種微弱信號等,而這些傳感器都可以感知。 由于電信號具有高精度、高靈敏度,可測量控制的范圍寬,便于傳遞、放大及反饋并連續(xù)可測、可遙測、可儲存等很多優(yōu)點(diǎn),所以人們希望傳感器還能將感知的信號放大、傳輸、存儲及顯示輸出。 于是,更廣義地可以把傳感器歸納為一種能感受外界信息(力、熱、聲、光、磁、氣體、濕度等等),并按一定的規(guī)律將其轉(zhuǎn)換成易處理的電信號的裝置。 “五官”感受的外界信息范圍很窄(只是 若被測量是電量,可直接與各種智能儀器(計(jì)算機(jī)和機(jī)器人)連接,并進(jìn)行信號處理
3、。 若被測量是非電量,如物理量(力學(xué)量、濕度、流量、物位、光學(xué)量和溫度),化學(xué)量(成份、酸堿度和反應(yīng)速度),生物量(血壓、人體反應(yīng))等,則必須通過相應(yīng)的傳感器將它們轉(zhuǎn)換成電量,再送入計(jì)算機(jī)進(jìn)行處理。 也就是說,能把被測物理量或化學(xué)量轉(zhuǎn)換為與之有確定對立關(guān)系的電量輸出的裝置稱為傳感器。 若被測量是電量,可直接與各種智能儀器( 2 傳感器的分類 由于被測信號的種類很多,而且一種被測量可以用不同種類的傳感器來測量,一種傳感器也許可以測量幾種被測信號,所以傳感器存在很多分類方式,這里介紹幾種基本的分類形式。 按照工作機(jī)理可以分為物性傳感器和結(jié)構(gòu)型傳感器兩大類。 2 傳感器的分類 物性傳感器利用外界信息
4、使材料本身的固有性質(zhì)發(fā)生變化,通過檢測性質(zhì)的變化來檢測外界信息。 利用外界信息使材料的物理性質(zhì)(力、熱、聲和光)發(fā)生變化的傳感器稱為物理傳感器,如半導(dǎo)體的力、熱、光和磁敏傳感器等。 現(xiàn)代傳感技術(shù)緒論課件 利用外界信息使材料的化學(xué)性質(zhì)發(fā)生變化的傳感器稱為化學(xué)傳感器,如Fe203氣體傳感器等; 利用外界信息使生物或微生物組織的生物效應(yīng)發(fā)生變化的傳感器稱為生物傳感器,如酶傳感器、微生物傳感器等。 結(jié)構(gòu)型傳感器利用外界信息使一些元件的結(jié)構(gòu)(如彈簧、氣壓)發(fā)生形變,通過測量結(jié)構(gòu)的變化來檢測被測對象,如用金屬的伸縮來感知溫度等等。 按照信息的傳遞方式可以分為直接型和間接型傳感器。 將被測的信息通過傳感器直
5、接轉(zhuǎn)換成電信號的傳感器稱為直接型傳感器,如光敏二極管將光信號直接轉(zhuǎn)換成電流信號,熱敏電阻將溫度的變化直接轉(zhuǎn)變?yōu)殡娮柚档淖兓?將被測信息通過多于一次的轉(zhuǎn)換才變?yōu)殡娦盘柕膫鞲衅鞣Q為間接型傳感器,如壓力傳感器先將壓力施加于感壓膜片上使其產(chǎn)生形變(即應(yīng)變),形變會引起壓阻效應(yīng)才使電阻值發(fā)生了變化。 按照信息的傳遞方式可以分為直接型和間接型 按照人類的感覺功能分為視覺、聽覺、嗅覺、味覺和觸覺五類傳感器。 機(jī)器人的感覺系統(tǒng)由視覺、觸覺、痛覺、滑動覺、接近覺、熱覺或溫覺、力覺、嗅覺、聽覺和味覺組成。 為了將多個(gè)傳感器得到的信息綜合利用,發(fā)展多信息處理技術(shù),使機(jī)器人更準(zhǔn)確、全面和低成本地獲取所處環(huán)境的信息,
6、組成了機(jī)器人智能技術(shù),如機(jī)器人的多感覺系統(tǒng)(Robot Sensory System)和多傳感器信息的集成與融合(MultiSensor Integration and Fusion)。 按照人類的感覺功能分為視覺、聽覺、嗅覺、 按照感覺功能將傳感器分類的狀況 按照感覺功能將傳感器分類的狀況 另外按照制造傳感器所用的材料可以分為半導(dǎo)體傳感器、金屬傳感器、陶瓷傳感器、光纖傳感器、高分子傳感器和生物傳感器等。 按傳感器的檢測對象分為溫度傳感器、光敏傳感器、壓力傳感器、磁傳感器、氣敏傳感器、濕度傳感器、離子傳感器和生物傳感器等。 還有更為具體的分類形式,按照轉(zhuǎn)換原理分類的,如電磁傳感器和光電傳感器;
7、按照用途分類的,如工業(yè)、民用、醫(yī)療、軍用及汽車傳感器等等。 總之,為了使用的方便,不同的行業(yè)依據(jù)的分類方式不同,而且會隨著傳感器的發(fā)展而出現(xiàn)更新的種類。 另外按照制造傳感器所用的材料可以分為半導(dǎo)體傳 3 傳感器的基本特性及應(yīng)用 31傳感器的基本特性 傳感器是直接與被測對象發(fā)生聯(lián)系的部分,是信息輸入的窗口,可提供原始信息,檢測的準(zhǔn)確與否完全與一定范圍內(nèi)反應(yīng)被測量的精確程度有關(guān)。于是,它必須具備一定的基本特性,而了解和掌握其基本特性是正確選擇和使用傳感器的基本條件。 3 傳感器的基本特性及應(yīng)用 31傳感器的基 傳感器的基本特性是指傳感器的輸出與輸入之間關(guān)系的特性,一般分為靜態(tài)特性和動態(tài)特性兩大類。
8、 當(dāng)被測量不隨時(shí)間變化或隨時(shí)間變化很緩慢(常稱為靜態(tài)信號)時(shí),用一系列靜態(tài)參數(shù)來描述其靜態(tài)特性。 當(dāng)被測量隨時(shí)間變化很快(常稱動態(tài)信號)時(shí),可用一系列動態(tài)參數(shù)來描述其動態(tài)特性。 傳感器的基本特性是指傳感器的輸出與輸入之 3.1.1靜態(tài)特性 傳感器的靜態(tài)特性是指對于靜態(tài)的輸入信號,傳感器的輸出量與輸入量之間所具有的相互關(guān)系。此時(shí)輸入信號與時(shí)間無關(guān),輸出量也與時(shí)間無關(guān),輸出量與輸入量之間的關(guān)系可用一個(gè)不含時(shí)間的方程來表示: 3.1.1靜態(tài)特性 式中a0為零位輸出;a1為線性常數(shù);a2、a3、an為非線性待定常數(shù),它們都可由實(shí)際的測量數(shù)據(jù)進(jìn)行標(biāo)定。 實(shí)際中也可以以x為橫坐標(biāo),Y為縱坐標(biāo),用測量結(jié)果畫
9、出特性曲線來表征輸出與輸入的關(guān)系。 式中a0為零位輸出;a1為線性常數(shù);a2、a3、a 由多次測量的結(jié)果分析可知,任何傳感器的輸出與輸入的關(guān)系不會完全符合所要求的特征線性或非線性關(guān)系,衡量傳感器的靜態(tài)特性必須用一些重要指標(biāo)來確定,如測量范圍、線性度、遲滯、重復(fù)性及靈敏度等等。 由多次測量的結(jié)果分析可知,任何傳感器的輸出與輸 (1)測量范圍(YFS) 每一個(gè)傳感器都有一定的測量范圍,如果超過了這個(gè)范圍進(jìn)行測量時(shí),會帶來很大的測量誤差,甚至于損壞傳感器。 一般測量范圍確定在一定的線性區(qū)域或者保證一定壽命的范圍內(nèi)。在實(shí)際應(yīng)用時(shí),所選擇傳感器的測量范圍應(yīng)大于實(shí)際的測量范圍,以保證測量的準(zhǔn)確性和延長傳感
10、器及其電路的壽命。 (1)測量范圍(YFS) (2) 線性度() 通常為了標(biāo)定和數(shù)據(jù)處理的方便,總希望得到線性關(guān)系,可采用各種方法如硬件或軟件的補(bǔ)償進(jìn)行線性化處理,這樣就使得輸出不可能絲毫不差地反應(yīng)被測量的變化,總存在一定的誤差(線性或非線性),即使實(shí)際是線性關(guān)系特性,測量的線性關(guān)系也并不完全與其吻合,而常用一條擬合直線近似代表實(shí)際的特性曲線。 (2) 線性度() 線性度就是用來表示實(shí)際曲線與擬合直線接近程度的一個(gè)性能指標(biāo)。實(shí)際曲線與擬合直線總存在一定的偏差,用實(shí)際曲線與擬合直線間的最大偏差Ymax與滿量程輸出YFS的百分比來表示線性度,即 擬合直線的方法(有理論擬合、過零旋轉(zhuǎn)擬合、端點(diǎn)平移或
11、連線擬合及最小二乘法擬合等)不同,以所參考的擬合直線計(jì)算出的線性度也不同,比較傳感器線性度好壞時(shí)必須建立在相同的擬合方法上。 線性度就是用來表示實(shí)際曲線與擬合直線接近程度的一個(gè)性能 (3)遲滯 人們將在相同工作條件下進(jìn)行全測量范圍測量時(shí)正行程和反行程輸出的不重合程度稱為遲滯或滯后,用全量程范圍校準(zhǔn)時(shí),同一輸入量的正行程輸出和反行程輸出之間的最大偏差 與滿量程輸出值的百分比表示 它反映了傳感器的材料參數(shù)的恢復(fù)快慢、機(jī)械結(jié)構(gòu)和制造工藝的缺陷等等。 (3)遲滯 (4)重復(fù)性 重復(fù)性用于描述在同一工作條件下輸入量按同一方向在全測量范圍內(nèi)連續(xù)多次重復(fù)測量所得特性曲線的不一致性(波動性)。若正行程的最大重
12、復(fù)性偏差為 ,反行程的最大重復(fù)性偏差為 取兩個(gè)中最大的,再用滿量程的百分比表示,即 或用同一輸入量N次測量的標(biāo)準(zhǔn)偏差 與滿量程的百分比表示。其標(biāo)準(zhǔn)偏差用下式表示 式中為測量值的算術(shù)平均值;N為測量的次數(shù)。 (4)重復(fù)性 (5)靈敏度(S) 靈敏度用傳感器在穩(wěn)定工作時(shí)的輸出量變化 對輸入量變化 的比值表示: 可以看出,靈敏度的量綱是輸出量與輸入量的量綱之比。對于線性傳感器來講,其校準(zhǔn)時(shí)輸出輸入特性直線的斜率就是靈敏度。對于非線性傳感器來講,靈敏度隨輸入量的變化而變化。一般S較高時(shí),測量容易,精度提高,但是S越高測量的范圍就越窄,穩(wěn)定性越差,應(yīng)根據(jù)具體情況擇優(yōu)選擇。 (5)靈敏度(S) (6)分辨
13、率 分辨率是描述傳感器可以感受到的被測量最小變化的能力。若輸入量緩慢變化且其變化值未超過某一范圍時(shí)輸出不變化,即此范圍內(nèi)分辨不出輸入的變化,只有當(dāng)輸入量變化超過此范圍時(shí)輸出才發(fā)生變化。一般各個(gè)輸入點(diǎn)對應(yīng)的這個(gè)范圍不同,人們將用滿量程中使輸出階躍變化的輸入量中最大的可分辨范圍作為衡量指標(biāo),定義為傳感器的分辨率 ,也可以用分辨率表示,即 (6)分辨率 (7) 溫度穩(wěn)定性 將傳感器的輸入量設(shè)定在某個(gè)值,測量出相應(yīng)的輸出值,使環(huán)境溫度上升或下降一定間隔,輸出值會發(fā)生變化,說明傳感器具有溫度不穩(wěn)定性。一般用溫度系數(shù)來描述溫度引起的這個(gè)誤差,表示為: 式中Y1、 Y2分別為溫度T1、T2時(shí)的輸出值,T=
14、T2 - T1 。 (7) 溫度穩(wěn)定性 3.1.2動態(tài)特性 當(dāng)傳感器的輸入量隨時(shí)間變化時(shí),其輸出量的響應(yīng)特性就是動態(tài)特性。 一般應(yīng)使輸出量隨時(shí)間的變化與輸入量隨時(shí)間的變化相近,否則輸出量就不能反應(yīng)輸入的值,測量毫無意義。 動態(tài)輸入量的變化規(guī)律分為規(guī)律性的和隨機(jī)的兩種變化。前者又可以分為周期性的(正弦周期和復(fù)雜周期)和非周期性的(階躍函數(shù)、線性函數(shù)和其他瞬變函數(shù)),后者包括平穩(wěn)的隨機(jī)函數(shù)和非平穩(wěn)的隨機(jī)函數(shù)。傳感器對某些標(biāo)準(zhǔn)輸入信號的響應(yīng)來反映動態(tài)特性。 3.1.2動態(tài)特性 (1)階躍響應(yīng) 當(dāng)輸入為階躍函數(shù)時(shí),如圖所示,則傳感器的響應(yīng)函數(shù)Y(t)分為兩個(gè)響應(yīng)過程,一個(gè)是 從初始狀態(tài)到接近終態(tài)之間的
15、過程,即動態(tài)過程(又稱為過渡過程),t 趨于無窮時(shí),輸出基本穩(wěn)定,稱為穩(wěn)態(tài)過程。 (1)階躍響應(yīng) 過渡過程中特性參數(shù): 時(shí)間常數(shù) ,是指輸出量從0上升到穩(wěn)態(tài)Y()的63所需的時(shí)間。 上升時(shí)間tr,是指從穩(wěn)態(tài)值Y()的10上升到90所需的時(shí)間。它表示傳感器的響應(yīng)速度, tr小時(shí),表明傳感器對輸入的響應(yīng)速度快。 響應(yīng)時(shí)間ts,從輸入量開始到輸出進(jìn)入穩(wěn)定值的允許誤差范圍(l或2)內(nèi)所需的時(shí)間,也能表示響應(yīng)速度。 振蕩次數(shù)N,是指輸出量在穩(wěn)態(tài)值Y()上下擺動的次數(shù),N越小,表明穩(wěn)定性越好。 穩(wěn)態(tài)誤差e,是指響應(yīng)的實(shí)際值Y()與期望值之差,它反映穩(wěn)態(tài)的精確程度。 過渡過程中特性參數(shù): (2) 頻率響應(yīng)
16、零階傳感器的數(shù)學(xué)模型 如果一個(gè)傳感器的輸入量隨時(shí)間的變化為X(t),其輸出量隨時(shí)間的變化Y(t)是輸入量的 b0a0倍,則輸出與輸入的關(guān)系可以表示為: 式中a0和b0是傳感器的系數(shù), b0 a0稱為靜態(tài)靈敏度。實(shí)際中,滑線電阻器的輸出電壓U(t)與觸頭距邊界的距離X(t)成正比,可以將具有這種關(guān)系的傳感器稱為零階傳感器。 (2) 頻率響應(yīng) 一階傳感器的數(shù)學(xué)模型 如果傳感器電路中含有一個(gè)儲能元件(電感或電容),其輸出量Y(t) 與輸入量X(t)的關(guān)系可以表示為: 式中al、 a0和b0是傳感器的常數(shù), b0a0稱為靜態(tài)靈敏度。 n階傳感器系統(tǒng)的數(shù)學(xué)模型 對于線性系統(tǒng)的傳感器,可以用常系數(shù)線性微分
17、方程來表示: 式中an 、 an-1、a1、a0,bm、bm-1、b1和b0均為常數(shù),可以通過n次實(shí)驗(yàn)確定之。 n階傳感器系統(tǒng)的數(shù)學(xué)模型 將上式進(jìn)行拉氏變換,可以得到Y(jié)(S)和X(S)的方程由上式可得輸入和輸出量之間的拉氏傳遞函數(shù)H(S) 將上式進(jìn)行拉氏變換,可以得到Y(jié)(S)和X(S)的方程 若輸入信號為正弦波x(t)=A sin( t)時(shí),用j 代替式中的S,則可以得出傳感器的輸出與輸入之比與頻率的關(guān)系,即頻率傳遞函數(shù)H(j )為 頻率傳遞函數(shù)的模 為輸出與輸入的幅值之比BA,它與角頻率 的關(guān)系被稱為幅頻特性。輸出與輸入信號的相位之差與頻率的關(guān)系 稱為相頻特性,一般情況下傳感器的輸出量滯后于
18、輸入量, 為負(fù)值。 若輸入信號為正弦波x(t)=A sin( t) 32 傳感器的基本應(yīng)用 傳感器基本上都應(yīng)用在測量與控制系統(tǒng)(也稱為測控系統(tǒng))中,而且是其中的關(guān)鍵部 件。它在測量系統(tǒng)中執(zhí)行測量的功能,并將測定“量或性質(zhì)”的值顯示出來;在控制系統(tǒng)中將測量到的量或性質(zhì)的信息進(jìn)行分析,用于控制以達(dá)到預(yù)期的目的。 32 傳感器的基本應(yīng)用3.2.1 在測量系統(tǒng)中的應(yīng)用 基本的電子測量系統(tǒng)由傳感器、信號調(diào)節(jié)、顯示系統(tǒng)和電源四個(gè)部分組成,如圖所示。3.2.1 在測量系統(tǒng)中的應(yīng)用 基本的電子測量系統(tǒng)由傳 其中信號調(diào)節(jié)部分可使用阻抗匹配器、多級放大器和數(shù)模轉(zhuǎn)換器等;顯示部分可使用模擬或數(shù)字表、紙帶記錄儀、字符
19、打印機(jī)和示波器等。 如果一個(gè)環(huán)境有兩個(gè)或更多個(gè)被測信號(如溫度、壓力和振動等),則需要同樣數(shù)量、相同種類的傳感器測量之,也需要各自的信號調(diào)節(jié)處理并顯示輸出。 其中信號調(diào)節(jié)部分可使用阻抗匹配器、多級放大器和3.2.2 在控制系統(tǒng)中的應(yīng)用 按照控制的方式將控制系統(tǒng)分為開環(huán)和閉環(huán)兩種。將傳感器測量出來的數(shù)據(jù)經(jīng)信號調(diào)節(jié)器后顯示出來,由操作員分析判斷,并進(jìn)行控制(如提高溫度,減小壓力,截止流動,裝填容器或改變速度等)的系統(tǒng)為開環(huán)控制系統(tǒng)。 若將由傳感器測量出來的數(shù)據(jù)經(jīng)信號調(diào)節(jié)器后送入比較器,與參考數(shù)據(jù)(即要保持規(guī)定大小的指定量)進(jìn)行比較,如果二者之差超過一定的范圍,比較器或分析器會輸出一個(gè)信號,可以自動
20、啟動執(zhí)行器,對被測量系統(tǒng)進(jìn)行自動控制,這種控制系統(tǒng)為閉環(huán)控制系統(tǒng)。3.2.2 在控制系統(tǒng)中的應(yīng)用 按照控制的方式將控制現(xiàn)代傳感技術(shù)緒論課件3.3 傳感器的應(yīng)用領(lǐng)域 在工農(nóng)業(yè)、國防、航空、航天、醫(yī)療衛(wèi)生和生物工程等各個(gè)領(lǐng)域中,會遇到各種物理量、化學(xué)量和生物量,對它們的測量與控制都具有十分重要的意義。 (1)傳感器是實(shí)現(xiàn)自動檢測和自動控制的首要環(huán)節(jié) 若沒有對原始的各種參數(shù)進(jìn)行精確、可靠地測量,無論是信號轉(zhuǎn)換、處理,還是最佳數(shù)據(jù)的顯示與控制,都將成為一句空話??梢院敛豢鋸埖卣f,如果沒有精確的傳感器,就沒有精確的自動檢測和控制。3.3 傳感器的應(yīng)用領(lǐng)域 在工農(nóng)業(yè)、國防、航 (2)傳感器技術(shù)是構(gòu)成現(xiàn)代信
21、息技術(shù)系統(tǒng)的主要內(nèi)容之一 (IT傳感器、通信、計(jì)算機(jī)三大支柱) 信息系統(tǒng)包括三個(gè)主要組成部分:感受外界各種刺激并及時(shí)作出反應(yīng)的傳感器技術(shù),相當(dāng)于“電五官”,也就是信息的獲取技術(shù);傳送信息或信息的傳輸技術(shù),相當(dāng)于“神經(jīng)”,也就是通信技術(shù);處理信息的技術(shù),相當(dāng)于“大腦”,如智能儀器、計(jì)算機(jī)及機(jī)器人等,但都只能處理信息,而不能自己獲取信息。它們可以互相促進(jìn),但不能互相代替,在現(xiàn)代信息系統(tǒng)中起著各自的重要作用。 計(jì)算機(jī)技術(shù)和通信技術(shù)的發(fā)展都非??欤瑐鞲衅骷夹g(shù)的發(fā)展就成為信息技術(shù)發(fā)展的標(biāo)志,有待進(jìn)一步發(fā)展。 (2)傳感器技術(shù)是構(gòu)成現(xiàn)代信息技術(shù)系統(tǒng)的主要內(nèi)容之一 (3)傳感器是航空、航天和航海事業(yè)不可缺少
22、的器件 在現(xiàn)代飛行器上裝備著種類繁多的顯示與控制系統(tǒng),而傳感器首當(dāng)其沖地對反映飛行器的參數(shù)、姿態(tài)和工作狀態(tài)的各種量加以檢測,以便操縱者進(jìn)行正確的操作。 (3)傳感器是航空、航天和航海事業(yè)不可缺少的器件 (4)傳感器是機(jī)器人的重要組成部件 在工業(yè)機(jī)器人的控制系統(tǒng)中,要完成檢測功能、操作與驅(qū)動功能及比較與判斷功能等,必須借助于檢測機(jī)器人內(nèi)部各部分狀態(tài)以及檢測并控制機(jī)器人與所操作對象的關(guān)系和工作現(xiàn)場之間的狀態(tài)兩類傳感器。要是機(jī)器人從事更高級的作業(yè),必須為它開發(fā)更精良的“五官”傳感器。 (4)傳感器是機(jī)器人的重要組成部件 在工業(yè) (5)傳感器在生物醫(yī)學(xué)和醫(yī)療器械方面顯露出廣闊前景 它能將人體各種生理信息轉(zhuǎn)化成工程上已測定的量,從而正確地顯示出人體的生理信息,如心電圖、B超、胃鏡、血壓器及CT等等。 (5)傳感器在生物醫(yī)學(xué)和醫(yī)療器械方面顯露出廣闊前景 (6)傳感器滲透到日常生活的各個(gè)方面 家電中溫度、濕度的測控,音響系統(tǒng)、電視機(jī)和電風(fēng)扇的遙控,煤氣和液化氣的泄漏報(bào)警,路燈的聲控等等都離不開傳感器。 總之,大家都已認(rèn)識到它在整個(gè)科學(xué)技術(shù)及人類生活中的重要性。目前,全世界都越來越重視新型傳感器的研究和開發(fā),可以預(yù)測傳感器技術(shù)必將獲得迅速發(fā)展。 4 傳感器的發(fā)展方向 隨著智能高新技術(shù)的發(fā)展,特別是計(jì)算機(jī)的不斷更新,表明“頭腦”發(fā)達(dá)了,作為感覺的傳
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