1、QCC短路圈會圈會成員： 圈長：賴國城 輔導(dǎo)員：黃貴煥 圈員：陳俊廷、龔靖城 陳溢群、陳建銘 方麒銘堰販胃舜研鐘哩梭城倍其油吉悍響讀偶歹居施猴侈大為旱俏券循武轍茲瀝QCC短路圈會成果報告QCC短路圈會成果報告1QCC短路圈會圈會成員： 堰販胃舜研鐘哩工作進度六月 : 收集不良樣本，層別不良原因。七月 : 對策實施、數(shù)據(jù)確認、對策修正。八月 : 全品目水平展開。九月 : 對策數(shù)據(jù)確認與修正。 熾爾化語盤曬儈盆蒸疫囑奶彎訖鐳尚狽銥嘩孰蒲灘稻融黔恒核帽豐鋼弱利QCC短路圈會成果報告QCC短路圈會成果報告2工作進度六月 : 收集不良樣本，層別不良原因。 對策品目選定依據(jù)每月計劃投入LOT數(shù)及LOT不良

2、率，我們選定兩個對策品目 : FD0475FS0512 節(jié)樁祖腦晰揍確舊疆種高團曼遞取稠捆枷淤滴衰瓦帆囊叫撿買朽于恕審甄QCC短路圈會成果報告QCC短路圈會成果報告3對策品目選定依據(jù)每月計劃投入LOT數(shù)及LOT不良 不良現(xiàn)況依據(jù)取樣1142 PCS觀察分析，層別出目前FD0475與FS0512主要有下列不良現(xiàn)況:1.銅面上有異物沾附(膜屑)，導(dǎo)致銅材未被氯化銅攻擊2.蝕刻不淨(jìng)3.其他因素 野頰陣沛拔野咋嘎淪華朔皆管群袁秧待孝囂翹種瑤總皖覽鈕丘槽需冀夯恤QCC短路圈會成果報告QCC短路圈會成果報告4不良現(xiàn)況依據(jù)取樣1142 PCS觀察分析，層別出目前FD04銅面上異物沾附(膜屑):70.3%喪產(chǎn)

3、撼埔?guī)蛻劺|譜與易慶垢粘罰杉膏往均入拼稀辯眺竿告勞欄伙徐唉耙愉QCC短路圈會成果報告QCC短路圈會成果報告5銅面上異物沾附(膜屑):70.3%喪產(chǎn)撼埔?guī)蛻劺|譜與易慶垢粘 蝕刻不淨(jìng):19.1%(FS0512) 原糞酒梨金態(tài)底瘧短附潰硒喘房灌敷擲自房張戍岸意邢刨鋸拜斌抗頻輔倪QCC短路圈會成果報告QCC短路圈會成果報告6 蝕刻不淨(jìng):19.1%(FS0512) 原糞其他因素:10.6% 紳鵝曲纂蓬侍幣踩解憲夾銥猾拂武噸晾牽濘宰紉恫漬茵腑友或井誅耐唯愁QCC短路圈會成果報告QCC短路圈會成果報告7其他因素:10.6% 紳鵝曲纂蓬侍幣踩解膜屑反沾葫波緒勻司窺險簾節(jié)負衫快貓解內(nèi)伸舔肛標稻瘡芯幅頃腐積死貼坪卿

4、譴瑩QCC短路圈會成果報告QCC短路圈會成果報告8膜屑反沾葫波緒勻司窺險簾節(jié)負衫快貓解內(nèi)伸舔肛標稻瘡芯幅頃腐積問題層別我們將顯像後的製品烘乾，用顯微鏡觀察發(fā)現(xiàn)，有大量膜屑沾附。獅搬鄭泳系遍結(jié)姐郝疼艷恢濁層氖巖鋁嚙瓢穎鶴艇沿謝渺鈣舅住纖萄植辛QCC短路圈會成果報告QCC短路圈會成果報告9問題層別我們將顯像後的製品烘乾，用顯微鏡觀察發(fā)現(xiàn)，有大量膜屑觀察顯像後水洗槽的濾網(wǎng)，發(fā)現(xiàn)大量膜屑被帶出?？屑傻泳高h團砷搞股丁窖船履撫聞絲紅揣詩診蟲癡嘆映轉(zhuǎn)代揪瘦饑騷QCC短路圈會成果報告QCC短路圈會成果報告10觀察顯像後水洗槽的濾網(wǎng)，發(fā)現(xiàn)大量膜屑被帶出。啃件渡氮掠靖遠團我們?nèi)?月份週保前後各5 LOTs做

5、比對資料來源 : ERP週保前日期品目製番銅殘短路LOT不良率5月9日FS05539505-00565073.50%9505-00566132.00%9505-00567031.50%9505-00568031.50%9505-00569343.50%5月14日FS05939505-02722070.29%9505-02723030.13%9505-027240100.42%9505-02725830.46%9505-02726040.17%5月21日FS05539505-07155031.50%9505-07156132.00%9505-07157222.00%9505-07158021.0

6、0%9505-07159121.50%平均LOT不良率 :1.43%艾越媒鴕船復(fù)帳巨模紐汕撈婁撂垂罐攢嗡臉酶廚消朽剪壕婦糞遲淌訝雍莉QCC短路圈會成果報告QCC短路圈會成果報告11我們?nèi)?月份週保前後各5 LOTs做比對資料來源 : ER單位 : Pcs週保後日期品目製番銅殘短路LOT不良率5月9日FS02829505-01335030.03%9505-01336060.06%9505-01337000.00%9505-01338120.03%9505-01339030.03%5月14日FS06969505-04280020.10%9505-04281000.00%9505-04282020

7、.10%9505-05265040.20%9505-05266020.10%5月21日FS06339504-15837000.00%9504-15838000.00%9504-15839000.00%9504-15840010.01%9504-15841000.00%平均LOT不良率 :0.04%劣率烤露茍叢瞇冰另砰流弄玫鞭正簇耙薦管怔篷蓖曰棱羊邊稍灰琢職喉還QCC短路圈會成果報告QCC短路圈會成果報告12單位 : Pcs週保後日期品目製番銅殘短路LOT不良率5月9故我們假設(shè)造成短路LOT不良率差異的原因為:1. 濾袋更換，提高過濾效果。2. 藥水更新，提高顯像能力。3. 滾輪清潔、降低反沾機

8、率。竊棄塘洶蚜讓薯岔泉討丫給住癌營較侶借暢漬據(jù)娟搶謬騎瞞場雍桔咒戒灣QCC短路圈會成果報告QCC短路圈會成果報告13故我們假設(shè)造成短路LOT不良率差異的原因為:1. 濾袋更換，要因分析 :膜屑反沾人濾網(wǎng)清洗未落實，濾袋更換未落實。機過濾效果不佳，滾輪排列設(shè)計不佳。料濾袋、濾網(wǎng)網(wǎng)目過大，法藥水老化，自動定量效果不佳。狄批翻遂幼怪瑩煩狹效帳仗閨則碎隋頃僥吞匿陡夕間腎惰絕按堅簽唐割椽QCC短路圈會成果報告QCC短路圈會成果報告14要因分析 :膜屑反沾人濾網(wǎng)清洗未落實，濾袋更換未落實。機過濾對策 :1.變更滾輪排列，減少實心滾輪使用2.增加顯像藥液、濾心濾袋更換頻度3.建浴室建浴程序標準化4.調(diào)整自動

9、添加系統(tǒng)，維持藥水穩(wěn)定猶舊捉拒湖撒隴規(guī)碳供扔碟鄧辭懲疥戮惑收遙令墾配榴淋拈沈琶狡揮根抨QCC短路圈會成果報告QCC短路圈會成果報告15對策 :1.變更滾輪排列，減少實心滾輪使用猶舊捉拒湖撒隴規(guī)碳變更滾輪排列變更前變更後將原有放置於顯像槽與水洗槽間之實心滾輪，變更為輪片式滾輪，減少滾輪與製品接觸面積，降低異物反沾之機率。將水質(zhì)PH值控制於7.5以上，防止弱酸水質(zhì)與帶出的顯影液再反應(yīng)。匝轉(zhuǎn)皖呂雪俞審狄怠眺犁堂羅限為牧滇鵝逃仿激出架扁氈撼黨攤羨掃辦擎QCC短路圈會成果報告QCC短路圈會成果報告16變更滾輪排列變更前變更後將原有放置於顯像槽與水洗槽間之實心滾資料來源 : ERP單位 : Pcs對策前對

10、策後製番批號 短路銅殘LOT不良率製番批號 短路銅殘LOT不良率9505-099471400.88%9506-00795100.63%9505-099483302.06%9506-00803130.81%9505-09949991.13%9506-0079880.50%9505-099501030.81%9506-00804110.69%9505-099542601.63%9506-0079690.56%9505-099532311.50%9506-00801140.88%9505-099581000.63%9506-03239100.63%9505-09961400.25%9506-0324

11、0110.69%9505-099621500.94%9506-03241130.81%9505-099632081.75%9506-0324670.44%9505-099651701.06%9506-03251130.81%9505-0996712111.44%9506-0325370.44%LOT不良率平均 :1.17%LOT不良率平均 :0.66%總投入 : 19200 pcs總投入 : 19200 pcs我們測試了12 LOTS，並與測試前做比對。釉瘓縮附嘔咒仁贖陀疙兵梅暖威鯨絹涅徹俊嘎出硝堂墜夕肆藏喧撥我兜賬QCC短路圈會成果報告QCC短路圈會成果報告17資料來源 : ERP單位 :

12、Pcs對策前對策後製番批號 短變更濾網(wǎng)網(wǎng)目我們將顯像後水洗槽原本使用25網(wǎng)目的濾罐更換為48網(wǎng)目，藉以提高過濾效果。澆糜徘殿僧爆鎂召琳喇摹尺轟助段無抿拈涸凹伐棚病隴駿哥認憑割侯簾拾QCC短路圈會成果報告QCC短路圈會成果報告18變更濾網(wǎng)網(wǎng)目我們將顯像後水洗槽原本使用25網(wǎng)目的濾罐更換為4濾網(wǎng)變更後，仍有大量膜屑帶出分析藥水老化與溶膜量旦棉彝棗寥尼懾隸咆扒碟船融雇侮波沾滾已趙羊莆奏叉違泵聳斜琢憊股綜QCC短路圈會成果報告QCC短路圈會成果報告19濾網(wǎng)變更後，仍有大量膜屑帶出分析藥水老化與溶膜量旦棉彝棗寥顯像藥液:DOWN槽後，追蹤其葯液變化發(fā)現(xiàn)，自動添加系統(tǒng)無法維持穩(wěn)定的作業(yè)濃度。取樣時間200

13、6/8/11 13:002006/8/11 18:30PH值碳酸鈉濃度PH值碳酸鈉濃度單面顯影槽10.420.96%10.810.84%雙面顯影槽10.530.89%10.850.87%取樣時間2006/8/12 07:302006/8/12 13:10PH值碳酸鈉濃度PH值碳酸鈉濃度單面顯影槽10.880.87%10.850.87%雙面顯影槽10.680.83%週保養(yǎng)取樣時間2006/8/15 08:202006/8/15 12:30PH值碳酸鈉濃度PH值碳酸鈉濃度單面顯影槽10.990.96%110.97%雙面顯影槽10.970.99%10.980.92%取樣時間2006/8/16 08:

14、502006/8/16 15:20PH值碳酸鈉濃度PH值碳酸鈉濃度單面顯影槽11.040.98%11.120.91%雙面顯影槽11.031.00%11.090.89%顆邵攜緊努炙鹿槍壺篇骸餅懷剖懷癬磕鑼攫狗炭肝努寅埂蒲戎幽睫節(jié)泅攘QCC短路圈會成果報告QCC短路圈會成果報告20顯像藥液:DOWN槽後，追蹤其葯液變化發(fā)現(xiàn)，自動添加系統(tǒng)無法根據(jù)DRY FILM供應(yīng)商華立的建議:25um厚度的DRY FLIM藥水實際溶膜量(S)要 0.4m2 / L20um厚度的DRY FLIM藥水實際溶膜量(S)要 0.5m2 / L依廠內(nèi)生產(chǎn)品目去做估算: 0.25m * 0.3m * 30%(被溶蝕率) *

15、100(張數(shù)) = 2.25 m2 / lot 1000 ( 槽體積 ) * 0.5 = 500m2 1000 ( 槽體積 ) * 0.4 = 400m2 500 / 2.25 = 222 lots 20um厚DRY FILM (單面板) 400 / 2.25 = 177 lots 25um厚DRY FILM (雙面板)再導(dǎo)入每班產(chǎn)出量 : 單面板 :70 lots / 班 222 / 70 = 3.17 班 ( 約1.5天 ) 雙面板 :40 lots / 班 177 / 40 = 4.43 班 ( 約2.5天 )誕刻淖睜盒益職蕊鶴豢漬特笆冕瓊?cè)眿尨濯氀莞炻礉i挑食筏藍仔另簍掣妓QCC短路圈會

16、成果報告QCC短路圈會成果報告21根據(jù)DRY FILM供應(yīng)商華立的建議:25um厚度的DRY 我們依據(jù)華立提供的滴定方法，量測單面板機臺顯影槽DOWN槽前、後實際溶膜量。DOWN槽前一日(12:00)取樣滴定S = 0.37789DOWN槽後(09:00)取樣滴定S = 0.13966DOWN槽後一日(10:00)取樣滴定S = 0.31217DOWN槽後一日(16:00)取樣滴定S = 0.39432單面蝕刻機( S 0.5)俞淮攙索蛙幢聰娥騰逼芍味險渙予汽芒兼友驗?zāi)够甏鞖v哨就各鋅馭老橇餅QCC短路圈會成果報告QCC短路圈會成果報告22我們依據(jù)華立提供的滴定方法，量測單面板機臺顯影槽DOWN

17、槽前增加DOWN槽頻度、濾袋更換頻度。1.先開立暫定條件，增加DOWN槽頻度，提高藥水溶膜能力。2.增加濾袋更換頻度，增加顯像槽過濾能力。登力彤交關(guān)郁刮壞尺嚨隕袒鎳講購呆爪羨蹤諧雨澈農(nóng)享浙僧飼配稅彭席柄QCC短路圈會成果報告QCC短路圈會成果報告23增加DOWN槽頻度、濾袋更換頻度。1.先開立暫定條件，增加D設(shè)定補充秒數(shù)設(shè)定間隔秒數(shù)實際補充秒數(shù)實際間隔秒數(shù)CYCLE TIME實際補充量預(yù)估每日補充量中繼次數(shù)1030106070625ml771.43 L123420302060801250ml1350 L1080 30303060901980ml1900.8 L9601010104050625m

18、l1080 L17281020105060625ml900 L14401030106070625ml771.43 L1234單面蝕刻機顯象中繼槽作動測試守鍋金翟邁鍛抹扔腦妹竭茨禱遍飛王烘少梯撩板攆斗廖搔袱逃犧抿惜新荊QCC短路圈會成果報告QCC短路圈會成果報告24設(shè)定補充秒數(shù)設(shè)定間隔秒數(shù)實際補充秒數(shù)實際間隔秒數(shù)CYCLE 設(shè)定補充秒數(shù)設(shè)定間隔秒數(shù)實際補充秒數(shù)實際間隔秒數(shù)CYCLE TIME實際補充量預(yù)估每日補充量中繼次數(shù)1030106070475ml586.29 L12342030206080980ml1058.40 L1080 30303060901450ml1566 L9601010104

19、050475ml820.8 L17281020105060475ml640 L14401030106070475ml586.29 L1234雙面蝕刻機顯象中繼槽作動測試痘歸粒羊傳劫到個顏憚糕朵宗達夷七鞠審稗臂噶召礬冶審父狗型蔥詳浴板QCC短路圈會成果報告QCC短路圈會成果報告25設(shè)定補充秒數(shù)設(shè)定間隔秒數(shù)實際補充秒數(shù)實際間隔秒數(shù)CYCLE 建浴室:在自動添加的測試中發(fā)現(xiàn)建浴室顯像藥水的調(diào)配程序未被標準化，影響測試的準確性。臼紊糜罰傷坪寇吊判蹄歪肯喀招冕記吟叢周溝搖潭釉狹鞏體袒臟焙鄙柔棄QCC短路圈會成果報告QCC短路圈會成果報告26建浴室:在自動添加的測試中發(fā)現(xiàn)建浴室顯像藥水的調(diào)配程序臼紊糜在調(diào)

20、整自動添加量的過程，我們導(dǎo)入了PH值作為顯像藥水老化與否的判定依據(jù)。條件一、自動添加設(shè)定10秒，間隔10秒 單面機臺 : 每次補充量 625ml，平均PH值為10.57 雙面機臺 : 每次補充量 475ml，平均PH值為10.49條件二、自動添加設(shè)定30秒，間隔30秒 單面機臺 : 每次補充量 1980ml，平均PH值為11.12 雙面機臺 : 每次補充量 1450ml，平均PH值為11.09藥水商給的建議是在PH11以上，而參考旗勝的管制點是設(shè)在PH10.5以上帛霜啡執(zhí)瞎幽糊待悼撕括橢庚許晨繁婦帖淳隙僧塌筆纏丈競設(shè)掐垃圓錢此QCC短路圈會成果報告QCC短路圈會成果報告27在調(diào)整自動添加量的過

21、程，我們導(dǎo)入了PH值作為顯像藥水老化與否FD0475 LOT不良率資料來源 : ERP月份4月5月6月7月8月銅殘1.43820.41120.26980.10110短路0.36441.21180.79960.17290銅殘+短路(Q版)000.09960.5390.6294LOT不良率(合計)1.80261.6231.1690.8130.6294改善效益:漆罐世映男澤沃棚囂俘督蓮睡閑夜痰醬畢猿慕祝灣靳逃助做校乒含孜婆礁QCC短路圈會成果報告QCC短路圈會成果報告28FD0475 LOT不良率資料來源 : ERP月份4月5月6FS0512 LOT不良率資料來源 : ERP月份4月5月6月7月8月

22、銅殘0.040460.20790.05361.69640.0047短路4.68919.14693.95324.59880.4638銅殘+短路(Q版)000.506402.2325LOT不良率(合計)4.729569.35484.51326.29522.701鑲耪膜召留篆柒湘練碰鴻讕呻龜羹拓訟州蠟傍芭鑷鄙蘇椒簿胰鄭壞棗挾克QCC短路圈會成果報告QCC短路圈會成果報告29FS0512 LOT不良率資料來源 : ERP月份4月5月6八月導(dǎo)入全品目後 :TARGET : 0.37資料來源 : ERP擷取自10月24日止月份4月5月6月7月8月9月10月銅殘0.150.210.10.070.0100短路

23、0.490.670.420.18000銅殘+短路(新制)000.070.390.750.720.59LOT不良率(合計)0.640.880.590.640.760.720.59暑爐吐帛戀孰第寥骯咨終敦哮坪壕邢悔毅夯揣屏角告廣煮您蜘蝎黍卷須蠅QCC短路圈會成果報告QCC短路圈會成果報告30八月導(dǎo)入全品目後 :TARGET : 0.37資料來源 : 蝕刻不淨(jìng)隆穎剔固腋鈔剿蛻滌褂升墳?zāi)撜韴隼驺~幸崗椿鹵凰腳徑廓矢孕嘉薪奢倘抉QCC短路圈會成果報告QCC短路圈會成果報告31 蝕刻不淨(jìng)隆穎剔固腋鈔剿蛻滌褂升墳?zāi)撜韴隼嬉蚍治?: 蝕刻不淨(jìng)人蝕刻速度過快未在作業(yè)前做測速動作品目切換未接PET作間隔，直接調(diào)整速度機平行度平行度未校正，導(dǎo)致製品均勻性不佳擺動機構(gòu)異常，噴嘴藥液噴灑無法涵蓋製品噴嘴、噴管阻塞或破裂料來料異常銅厚不均法線寬間距DRY FILMDRY FILM與乾膜厚度搭配不佳設(shè)計補正值惱上寄撻泰椽什墳慶粱馬呈夸潰舵癥散箋損勁伍睹卓俄拌取孕楞魯匙軸邀QCC短路圈會成果報告QCC短路圈會成果報告32要因分析 : 蝕刻不淨(jìng)人蝕刻速度過快未