1二、光柵式位移傳感器光柵式位移傳感器有測量線位移的長光柵和測量角位移的圓光柵。第1頁/共44頁1二、光柵式位移傳感器第1頁/共44頁2光柵式位移傳感器的分類1測量線位移的長光柵2測量角位移的圓光柵第2頁/共44頁2光柵式位移傳感器的分類1測量線位移的長光柵2測量角位移3

長光柵圓光柵第3頁/共44頁3長光柵圓光柵第3頁/共44頁4由大量等寬等間距的平行狹縫組成的光學(xué)器件稱為光柵，如圖所示。用玻璃制成的光柵稱為透射光柵，它是在透明玻璃上刻出大量等寬等間距的平行刻痕，每條刻痕處是不透光的，而兩刻痕之間是透光的。光柵的刻痕密度一般為每厘米10、25、50、100線?？毯壑g的距離為柵距W。莫爾條紋第4頁/共44頁4由大量等寬等間距的平行狹縫組成的光學(xué)器件稱為光柵，如圖所示5光柵結(jié)構(gòu)放大圖第5頁/共44頁5光柵結(jié)構(gòu)放大圖第5頁/共44頁6

長光柵是在兩塊光學(xué)玻璃上或具有強(qiáng)反射能力的金屬表面上，刻上相同的均勻密集的平行細(xì)線。如果將這兩塊玻璃板或金屬板重疊放置，并使它們的刻線間有一微小夾角，此時(shí)，由于光的干涉效應(yīng)，兩塊光柵的刻線相交處，光會從縫隙透過，形成亮帶（如圖a-a線），而在一塊光柵的刻線與另一塊光柵的縫隙相交處形成暗帶（b-b），這種亮帶和暗帶形成明暗相間的條紋，這些條紋稱為莫爾條紋。條紋方向與刻線方向近似垂直。莫爾條紋第6頁/共44頁6長光柵是在兩塊光學(xué)玻璃上或具有強(qiáng)反射能力的金7根據(jù)莫爾條紋效應(yīng)設(shè)計(jì)光柵傳感器。莫爾條紋第7頁/共44頁7根據(jù)莫爾條紋效應(yīng)設(shè)計(jì)光柵傳感器。莫爾條紋第7頁/共44頁8若光柵柵距為W，兩個(gè)相鄰莫爾條紋的間距為BH，（即莫爾條紋中兩條暗紋或兩條亮紋之間的距離）則有莫爾條紋這里θ是弧度，如果夾角為0.10，則θ=0.1/180*π,則BH=573W,相當(dāng)于把柵距放大了573倍。第8頁/共44頁8若光柵柵距為W，兩個(gè)相鄰莫爾條紋的間距為BH，（即莫爾條紋9——運(yùn)動方向：當(dāng)兩個(gè)光柵沿刻線垂直方向作相對移動時(shí)，莫爾條紋則沿光柵刻線方向移動（兩者的運(yùn)動方向相互垂直）。光柵運(yùn)動方向改變，莫爾條紋的運(yùn)動方向也作相應(yīng)改變?！獱枟l紋的位移與光柵的移動成比例：光柵每移動一個(gè)柵距W，莫爾條紋移動一個(gè)條紋間距BH；——莫爾條紋具有位移放大作用：莫爾條紋的間距B與兩光柵條紋夾角之間關(guān)系為BH=W/θ,θ越小，則BH越大。這相當(dāng)于把柵距

W放大了1/θ倍。如對于25線/mm長光柵而言，W=0.04mm,若θ=0.016rad，則BH=2.5mm(這樣，可把肉眼看不見的光柵位移變成為清晰可見的莫爾條紋移動，可以用測量條紋的移動來檢測光柵的位移?？梢詫?shí)現(xiàn)高靈敏的位移測量)莫爾條紋有如下特點(diǎn)第9頁/共44頁9——運(yùn)動方向：當(dāng)兩個(gè)光柵沿刻線垂直方向作相對移動時(shí)，莫爾條10——當(dāng)兩個(gè)光柵沿刻線垂直方向作相對移動時(shí)，莫爾條紋的光強(qiáng)度隨條紋移動近似按正弦規(guī)律變化。光柵移動一個(gè)柵距W，光強(qiáng)變化一個(gè)周期。通過光電元件，可將莫爾條紋移動時(shí)光強(qiáng)的變化轉(zhuǎn)換為近似正弦變化的電信號，如圖所示。其電壓為：莫爾條紋有如下特點(diǎn)第10頁/共44頁10——當(dāng)兩個(gè)光柵沿刻線垂直方向作相對移動時(shí)，莫爾條紋的光強(qiáng)11——莫爾條紋具有平均光柵誤差的作用：莫爾條紋由大量的光柵柵線共同形成，所以對光柵柵線的刻劃誤差有平均作用。通過莫爾條紋所獲得的精度可以比光柵本身柵線的刻劃精度還要高。莫爾條紋有如下特點(diǎn)——莫爾條紋移過的條紋數(shù)等于光柵移過的柵線數(shù)。如采用100線/mm光柵時(shí)，若光柵移動了xmm(即移過100x條光柵柵線時(shí)），則從光電元件前掠過的莫爾條紋也是100x條。由于莫爾條紋間距比柵距寬的多，所以能夠被光敏元件識別。將此莫爾條紋產(chǎn)生的電脈沖信號計(jì)數(shù)，就可知道移動的實(shí)際位移。第11頁/共44頁11——莫爾條紋具有平均光柵誤差的作用：莫爾條紋由大量的光柵12

當(dāng)兩個(gè)光柵沿刻線垂直方向作相對移動時(shí)，莫爾條紋則沿光柵刻線方向移動（兩者的運(yùn)動方向相互垂直）。光柵每移動一個(gè)柵距W，莫爾條紋移動一個(gè)條紋間距BH，通過測量莫爾條紋移過的數(shù)目，即可得出光柵的位移量。光柵運(yùn)動方向改變，莫爾條紋的運(yùn)動方向也作相應(yīng)改變。查看莫爾條紋的上下移動方向，即可確定主光柵左右移動方向.

莫爾條紋的光強(qiáng)度隨條紋移動近似按正弦規(guī)律變化。光柵移動一個(gè)柵距W，光強(qiáng)變化一個(gè)周期。因此可根據(jù)莫爾條紋移動的條紋數(shù)和方向，測出光柵移動的距離和方向。光柵傳感器就是根據(jù)這一原理，實(shí)現(xiàn)對位移的檢測。1.長光柵位移傳感器的工作原理第12頁/共44頁12當(dāng)兩個(gè)光柵沿刻線垂直方向作相對移動時(shí)13在作直線位移測量時(shí)，常把前面介紹的兩塊光柵作成一個(gè)標(biāo)尺光柵和一個(gè)指示光柵。標(biāo)尺光柵是一個(gè)長條形光柵，光柵長度由所需量程決定。指示光柵較短，通常根據(jù)測量光學(xué)系統(tǒng)的需要而定，一般與光學(xué)系統(tǒng)物鏡直徑相同。光柵條紋密度有25條/mm，50條/mm、100條/mm或更密，柵線長度一般為6～12mm。2.長光柵位移傳感器第13頁/共44頁13在作直線位移測量時(shí)，常把前面介紹的兩塊光柵作成一個(gè)標(biāo)尺光14光柵的構(gòu)造：第14頁/共44頁14光柵的構(gòu)造：第14頁/共44頁152.長光柵位移傳感器根據(jù)不同的設(shè)計(jì)要求，光柵可以制成透射光柵和反射光柵。透射光柵的柵線刻制在透明材料上，要求較高時(shí)，可以采用光學(xué)玻璃；而指示光柵最好采用光學(xué)玻璃。反射光柵的柵線刻制在具有反射率很高的金屬或鍍以金屬膜的玻璃上。第15頁/共44頁152.長光柵位移傳感器根據(jù)不同的設(shè)計(jì)要求，光柵可以制成透16由于采用不同形式的光柵，光學(xué)系統(tǒng)也各不相同，常采用的光學(xué)系統(tǒng)有：(1)透射式光路(2)反射式光路3.光學(xué)系統(tǒng)第16頁/共44頁16由于采用不同形式的光柵，光學(xué)系統(tǒng)也各不相同，常采用的光學(xué)17（1）透射式光路光源5發(fā)出的光線經(jīng)準(zhǔn)直透鏡4變成平行光，入射到指示光柵3上，經(jīng)過指示光柵3和標(biāo)尺光柵2，再透射到光敏元件1上。一般標(biāo)尺光柵固定不動，而光源、指示光柵和光敏元件固定在被測位移體上，莫爾條紋的移動信號被光敏元件接收。每當(dāng)亮帶通過光敏元件時(shí)，有一個(gè)相應(yīng)的電信號輸出。第17頁/共44頁17（1）透射式光路光源5發(fā)出的光線經(jīng)準(zhǔn)直透鏡4變成平行光18透射式光柵第18頁/共44頁18透射式光柵第18頁/共44頁19（2）反射式光路光源1發(fā)出的光線經(jīng)聚光鏡2及場鏡4后以平行光束射向指示光柵5上，再經(jīng)標(biāo)尺光柵6反射后形成莫爾條紋，通過反射鏡3和物鏡系統(tǒng)7把莫爾條紋的信號送入光敏元件8上.當(dāng)指示光柵與標(biāo)尺光柵有相對位移時(shí)，光敏元件可接收到移動的莫爾條紋信號。第19頁/共44頁19（2）反射式光路光源1發(fā)出的光線經(jīng)聚光鏡2及場鏡4后以20反射式光柵第20頁/共44頁20反射式光柵第20頁/共44頁21長光柵式位移傳感器的特點(diǎn)長光柵位移傳感器的測長精度可達(dá)0.5～3m(3000mm范圍內(nèi))，分辨力可達(dá)0.1m,可進(jìn)行無接觸測量第21頁/共44頁21長光柵式位移傳感器的特點(diǎn)第21頁/共44頁22用兩塊刻線數(shù)目相同，切線圓半徑分別為r1、r2的切向圓光柵同心放置，所產(chǎn)生的環(huán)形莫爾條紋如圖所示4.圓光柵其條紋間距為第22頁/共44頁22用兩塊刻線數(shù)目相同，切線圓半徑分別為r1、r2的切向圓光23用兩塊刻線數(shù)目相同的徑向圓光柵偏心放置，偏心量為e，這時(shí)形成不同曲率半徑的圓弧形莫爾條紋如圖所示4.圓光柵其條紋間距為第23頁/共44頁23用兩塊刻線數(shù)目相同的徑向圓光柵偏心放置，偏心量為e，這時(shí)24動光柵固定在轉(zhuǎn)軸上，因此，可將軸旋轉(zhuǎn)的角度量變換成莫爾條紋信號。通過光電轉(zhuǎn)換元件，將莫爾條紋的變化轉(zhuǎn)換成近似于正弦波形的電信號。測角精度可達(dá)0.15”，分辨力可達(dá)0.1”，甚至更高。4.圓光柵第24頁/共44頁24動光柵固定在轉(zhuǎn)軸上，因此，可將軸旋轉(zhuǎn)的角度量變換成莫爾條25二、光柵式位移傳感器4.圓光柵(1)切向圓光柵(2)徑向圓光柵徑向圓光柵切向圓光柵4.圓光柵第25頁/共44頁25二、光柵式位移傳感器徑向圓光柵26由前面分析，光柵每移動一個(gè)柵距W，莫爾條紋移動一個(gè)條紋間距BH，光電元件輸出就變化一個(gè)周期2π，經(jīng)信號轉(zhuǎn)換電路輸出一個(gè)脈沖，若按此進(jìn)行計(jì)數(shù)，則它的分辨力只有一個(gè)光柵柵距W.為了能夠分辨比W更小的位移量，就要提高分辨力，一種方法是可以采用增加刻劃密度的方法來減少柵距，但這種方法受到制造工藝或成本的限制，如倘若要讀出位移為0.1m，勢必要求每毫米刻線1萬條，這是目前工藝水平無法實(shí)現(xiàn)的。5.細(xì)分技術(shù)第26頁/共44頁26由前面分析，光柵每移動一個(gè)柵距W，莫爾條紋移動一個(gè)條紋間27——常用的細(xì)分方法有四倍頻細(xì)分法、十六倍頻細(xì)分法、計(jì)算機(jī)細(xì)分法等。5.細(xì)分技術(shù)另一種方法是采用柵距細(xì)分技術(shù)，由于細(xì)分后計(jì)數(shù)脈沖提高了n倍，所以細(xì)分又稱倍頻，細(xì)分后可以在不增加刻線數(shù)的情況下較大地提高光柵的分辨力。第27頁/共44頁27——常用的細(xì)分方法有四倍頻細(xì)分法、十六倍頻細(xì)分法、計(jì)算機(jī)28四倍頻細(xì)分法在一個(gè)莫爾條紋寬度上并列放置四個(gè)光電元件，如右下圖(a)所示，得到相位分別相差π/2四個(gè)正弦周期信號。用適當(dāng)電路處理這些信號，使其合并得到如右下圖所示的脈沖信號。每個(gè)脈沖分別和四個(gè)周期信號的零點(diǎn)相對應(yīng)，則電脈沖的周期反應(yīng)了1/4個(gè)莫爾條紋寬度。用計(jì)數(shù)器對這一列脈沖信號計(jì)數(shù)，就可以讀到1/4個(gè)莫爾條紋寬度的位移量，這將是光柵固有分辨率的四倍。此種方法被稱為四倍頻細(xì)分法。第28頁/共44頁28四倍頻細(xì)分法第28頁/共44頁29課堂練習(xí)第29頁/共44頁29課堂練習(xí)第29頁/共44頁304、在下述位移傳感器中，適宜于測量大位移的傳感器是（單一）A、電阻式傳感器B、電感式傳感器C、壓電式傳感器D、光柵式傳感器第30頁/共44頁304、在下述位移傳感器中，適宜于測量大位移的傳感器是（單一314、在下述位移傳感器中，適宜于測量大位移的傳感器是（單一）D、光柵式傳感器第31頁/共44頁314、在下述位移傳感器中，適宜于測量大位移的傳感器是（單一321、若光柵式位移傳感器的光柵柵距為0.04mm,柵線的夾角為1.80，則相鄰莫爾條紋的間距為（單一）A、0.022mmB、0.07mmC、1.27mmD、3.99mm第32頁/共44頁321、若光柵式位移傳感器的光柵柵距為0.04mm,柵線的夾3311、若光柵式位移傳感器的光柵柵距為0.04mm,柵線的夾角為1.80，則相鄰莫爾條紋的間距為（單一）C、1.27mm第33頁/共44頁3311、若光柵式位移傳感器的光柵柵距為0.04mm,柵線的3423、四倍細(xì)分式光柵式位移傳感檢測系統(tǒng)，當(dāng)用4個(gè)光電元件接收莫爾條紋的移動信號時(shí)，分辨力為0.004/mm脈沖，則光柵的柵距為（）（模擬一）第34頁/共44頁3423、四倍細(xì)分式光柵式位移傳感檢測系統(tǒng)，當(dāng)用4個(gè)光電元件3523、四倍細(xì)分式光柵式位移傳感檢測系統(tǒng)，當(dāng)用4個(gè)光電元件接收莫爾條紋的移動信號時(shí)，分辨力為0.004/mm脈沖，則光柵的柵距為（）（模擬一）用四倍細(xì)分，則分辨力是光柵柵距的1/4，則光柵柵距為分辨力的4倍。4*0.004=0.016mm第35頁/共44頁3523、四倍細(xì)分式光柵式位移傳感檢測系統(tǒng)，當(dāng)用4個(gè)光電元件369、四倍細(xì)分光柵式位移傳感檢測系統(tǒng)，如果柵線為50線/mm,當(dāng)用4個(gè)光電元件接收莫爾條紋的移動信號時(shí),則分辨率為（）（模擬一）第36頁/共44頁369、四倍細(xì)分光柵式位移傳感檢測系統(tǒng)，如果柵線為50線/m379、四倍細(xì)分光柵式位移傳感檢測系統(tǒng)，如果柵線為50線/mm,當(dāng)用4個(gè)光電元件接收莫爾條紋的移動信號時(shí),則分辨率為（）（模擬一）分辨率是一個(gè)光柵柵距，即1/50=0.02mm，若用四個(gè)光電元件，即經(jīng)過四倍細(xì)分后，則光柵柵距為分辨力的4倍。分辨力為0.02/4=0.005mm第37頁/共44頁379、四倍細(xì)分光柵式位移傳感檢測系統(tǒng)，如果柵線為50線/m3823、為了提高檢測系統(tǒng)的分辨率，需要對磁柵、容柵等大位移測量傳感器的輸出信號進(jìn)行（）（模擬四）第38頁/共44頁3823、為了提高檢測系統(tǒng)的分辨率，需要對磁柵、容柵等大位移3923、為了提高檢測系統(tǒng)的分辨率，需要對磁柵、容柵等大位移測量傳感器的輸出信號進(jìn)行（細(xì)分）（模擬四）第39頁/共44頁3923、為了提高檢測系統(tǒng)的分辨率，需要對磁柵、容柵等大位移4031、已知光柵式位移傳感器的柵線為50線/mm，主光柵和指示光柵的柵線的夾角為0.2o。(模擬四）（1）求光柵莫爾條紋的間距，及莫爾條紋的放大系數(shù)；（2）測量時(shí)，若光電元件接收到莫爾條紋10個(gè)周期的光強(qiáng)信號，求測得的位移是多少？（3）若采用四倍細(xì)分電路，可得到的分辨力是多少？第40頁/共44頁4031、已知光柵式位移傳感器的柵線為50線/mm，主光柵和4131、已知光柵式位移傳感器的柵線為50線/mm，主光柵和指示光柵的柵線的夾角為0.2o。（1）求光柵莫爾條紋的間距，及莫爾條紋的放大系數(shù)；（2）測量時(shí)，若光電元件接收到莫爾條紋10個(gè)周期的光強(qiáng)信號，求測得的位移是多少？（3）若采用四倍細(xì)分電路，可得到的分辨力是多少？第41頁/共44頁4131、已知光柵式位移傳感器的柵線為50線/mm，主光柵和4210、若某光柵柵線為25線/mm，則四倍細(xì)分后，其分辨力是多少？A、0.001mm/脈沖B、0.005mm/脈沖C、0.01mm/脈沖D、0.02mm/脈沖第42頁/共44頁4210、若某光柵柵線為25線/mm，則四倍細(xì)分后，其分辨力4310、若某光柵柵線為25線/mm，則四倍細(xì)分后，其分辨力是多少？(密押二）=1/25/4=0.01mmC、0.01mm/脈沖第43頁/共44頁4310、若某光柵柵線為25線/mm，則四倍細(xì)分后，其分辨力44感謝您的觀看！第44頁/共44頁44感謝您的觀看！第44頁/共44頁45二、光柵式位移傳感器光柵式位移傳感器有測量線位移的長光柵和測量角位移的圓光柵。第1頁/共44頁1二、光柵式位移傳感器第1頁/共44頁46光柵式位移傳感器的分類1測量線位移的長光柵2測量角位移的圓光柵第2頁/共44頁2光柵式位移傳感器的分類1測量線位移的長光柵2測量角位移47

長光柵圓光柵第3頁/共44頁3長光柵圓光柵第3頁/共44頁48由大量等寬等間距的平行狹縫組成的光學(xué)器件稱為光柵，如圖所示。用玻璃制成的光柵稱為透射光柵，它是在透明玻璃上刻出大量等寬等間距的平行刻痕，每條刻痕處是不透光的，而兩刻痕之間是透光的。光柵的刻痕密度一般為每厘米10、25、50、100線?？毯壑g的距離為柵距W。莫爾條紋第4頁/共44頁4由大量等寬等間距的平行狹縫組成的光學(xué)器件稱為光柵，如圖所示49光柵結(jié)構(gòu)放大圖第5頁/共44頁5光柵結(jié)構(gòu)放大圖第5頁/共44頁50

長光柵是在兩塊光學(xué)玻璃上或具有強(qiáng)反射能力的金屬表面上，刻上相同的均勻密集的平行細(xì)線。如果將這兩塊玻璃板或金屬板重疊放置，并使它們的刻線間有一微小夾角，此時(shí)，由于光的干涉效應(yīng)，兩塊光柵的刻線相交處，光會從縫隙透過，形成亮帶（如圖a-a線），而在一塊光柵的刻線與另一塊光柵的縫隙相交處形成暗帶（b-b），這種亮帶和暗帶形成明暗相間的條紋，這些條紋稱為莫爾條紋。條紋方向與刻線方向近似垂直。莫爾條紋第6頁/共44頁6長光柵是在兩塊光學(xué)玻璃上或具有強(qiáng)反射能力的金51根據(jù)莫爾條紋效應(yīng)設(shè)計(jì)光柵傳感器。莫爾條紋第7頁/共44頁7根據(jù)莫爾條紋效應(yīng)設(shè)計(jì)光柵傳感器。莫爾條紋第7頁/共44頁52若光柵柵距為W，兩個(gè)相鄰莫爾條紋的間距為BH，（即莫爾條紋中兩條暗紋或兩條亮紋之間的距離）則有莫爾條紋這里θ是弧度，如果夾角為0.10，則θ=0.1/180*π,則BH=573W,相當(dāng)于把柵距放大了573倍。第8頁/共44頁8若光柵柵距為W，兩個(gè)相鄰莫爾條紋的間距為BH，（即莫爾條紋53——運(yùn)動方向：當(dāng)兩個(gè)光柵沿刻線垂直方向作相對移動時(shí)，莫爾條紋則沿光柵刻線方向移動（兩者的運(yùn)動方向相互垂直）。光柵運(yùn)動方向改變，莫爾條紋的運(yùn)動方向也作相應(yīng)改變。——莫爾條紋的位移與光柵的移動成比例：光柵每移動一個(gè)柵距W，莫爾條紋移動一個(gè)條紋間距BH；——莫爾條紋具有位移放大作用：莫爾條紋的間距B與兩光柵條紋夾角之間關(guān)系為BH=W/θ,θ越小，則BH越大。這相當(dāng)于把柵距

W放大了1/θ倍。如對于25線/mm長光柵而言，W=0.04mm,若θ=0.016rad，則BH=2.5mm(這樣，可把肉眼看不見的光柵位移變成為清晰可見的莫爾條紋移動，可以用測量條紋的移動來檢測光柵的位移?？梢詫?shí)現(xiàn)高靈敏的位移測量)莫爾條紋有如下特點(diǎn)第9頁/共44頁9——運(yùn)動方向：當(dāng)兩個(gè)光柵沿刻線垂直方向作相對移動時(shí)，莫爾條54——當(dāng)兩個(gè)光柵沿刻線垂直方向作相對移動時(shí)，莫爾條紋的光強(qiáng)度隨條紋移動近似按正弦規(guī)律變化。光柵移動一個(gè)柵距W，光強(qiáng)變化一個(gè)周期。通過光電元件，可將莫爾條紋移動時(shí)光強(qiáng)的變化轉(zhuǎn)換為近似正弦變化的電信號，如圖所示。其電壓為：莫爾條紋有如下特點(diǎn)第10頁/共44頁10——當(dāng)兩個(gè)光柵沿刻線垂直方向作相對移動時(shí)，莫爾條紋的光強(qiáng)55——莫爾條紋具有平均光柵誤差的作用：莫爾條紋由大量的光柵柵線共同形成，所以對光柵柵線的刻劃誤差有平均作用。通過莫爾條紋所獲得的精度可以比光柵本身柵線的刻劃精度還要高。莫爾條紋有如下特點(diǎn)——莫爾條紋移過的條紋數(shù)等于光柵移過的柵線數(shù)。如采用100線/mm光柵時(shí)，若光柵移動了xmm(即移過100x條光柵柵線時(shí)），則從光電元件前掠過的莫爾條紋也是100x條。由于莫爾條紋間距比柵距寬的多，所以能夠被光敏元件識別。將此莫爾條紋產(chǎn)生的電脈沖信號計(jì)數(shù)，就可知道移動的實(shí)際位移。第11頁/共44頁11——莫爾條紋具有平均光柵誤差的作用：莫爾條紋由大量的光柵56

當(dāng)兩個(gè)光柵沿刻線垂直方向作相對移動時(shí)，莫爾條紋則沿光柵刻線方向移動（兩者的運(yùn)動方向相互垂直）。光柵每移動一個(gè)柵距W，莫爾條紋移動一個(gè)條紋間距BH，通過測量莫爾條紋移過的數(shù)目，即可得出光柵的位移量。光柵運(yùn)動方向改變，莫爾條紋的運(yùn)動方向也作相應(yīng)改變。查看莫爾條紋的上下移動方向，即可確定主光柵左右移動方向.

莫爾條紋的光強(qiáng)度隨條紋移動近似按正弦規(guī)律變化。光柵移動一個(gè)柵距W，光強(qiáng)變化一個(gè)周期。因此可根據(jù)莫爾條紋移動的條紋數(shù)和方向，測出光柵移動的距離和方向。光柵傳感器就是根據(jù)這一原理，實(shí)現(xiàn)對位移的檢測。1.長光柵位移傳感器的工作原理第12頁/共44頁12當(dāng)兩個(gè)光柵沿刻線垂直方向作相對移動時(shí)57在作直線位移測量時(shí)，常把前面介紹的兩塊光柵作成一個(gè)標(biāo)尺光柵和一個(gè)指示光柵。標(biāo)尺光柵是一個(gè)長條形光柵，光柵長度由所需量程決定。指示光柵較短，通常根據(jù)測量光學(xué)系統(tǒng)的需要而定，一般與光學(xué)系統(tǒng)物鏡直徑相同。光柵條紋密度有25條/mm，50條/mm、100條/mm或更密，柵線長度一般為6～12mm。2.長光柵位移傳感器第13頁/共44頁13在作直線位移測量時(shí)，常把前面介紹的兩塊光柵作成一個(gè)標(biāo)尺光58光柵的構(gòu)造：第14頁/共44頁14光柵的構(gòu)造：第14頁/共44頁592.長光柵位移傳感器根據(jù)不同的設(shè)計(jì)要求，光柵可以制成透射光柵和反射光柵。透射光柵的柵線刻制在透明材料上，要求較高時(shí)，可以采用光學(xué)玻璃；而指示光柵最好采用光學(xué)玻璃。反射光柵的柵線刻制在具有反射率很高的金屬或鍍以金屬膜的玻璃上。第15頁/共44頁152.長光柵位移傳感器根據(jù)不同的設(shè)計(jì)要求，光柵可以制成透60由于采用不同形式的光柵，光學(xué)系統(tǒng)也各不相同，常采用的光學(xué)系統(tǒng)有：(1)透射式光路(2)反射式光路3.光學(xué)系統(tǒng)第16頁/共44頁16由于采用不同形式的光柵，光學(xué)系統(tǒng)也各不相同，常采用的光學(xué)61（1）透射式光路光源5發(fā)出的光線經(jīng)準(zhǔn)直透鏡4變成平行光，入射到指示光柵3上，經(jīng)過指示光柵3和標(biāo)尺光柵2，再透射到光敏元件1上。一般標(biāo)尺光柵固定不動，而光源、指示光柵和光敏元件固定在被測位移體上，莫爾條紋的移動信號被光敏元件接收。每當(dāng)亮帶通過光敏元件時(shí)，有一個(gè)相應(yīng)的電信號輸出。第17頁/共44頁17（1）透射式光路光源5發(fā)出的光線經(jīng)準(zhǔn)直透鏡4變成平行光62透射式光柵第18頁/共44頁18透射式光柵第18頁/共44頁63（2）反射式光路光源1發(fā)出的光線經(jīng)聚光鏡2及場鏡4后以平行光束射向指示光柵5上，再經(jīng)標(biāo)尺光柵6反射后形成莫爾條紋，通過反射鏡3和物鏡系統(tǒng)7把莫爾條紋的信號送入光敏元件8上.當(dāng)指示光柵與標(biāo)尺光柵有相對位移時(shí)，光敏元件可接收到移動的莫爾條紋信號。第19頁/共44頁19（2）反射式光路光源1發(fā)出的光線經(jīng)聚光鏡2及場鏡4后以64反射式光柵第20頁/共44頁20反射式光柵第20頁/共44頁65長光柵式位移傳感器的特點(diǎn)長光柵位移傳感器的測長精度可達(dá)0.5～3m(3000mm范圍內(nèi))，分辨力可達(dá)0.1m,可進(jìn)行無接觸測量第21頁/共44頁21長光柵式位移傳感器的特點(diǎn)第21頁/共44頁66用兩塊刻線數(shù)目相同，切線圓半徑分別為r1、r2的切向圓光柵同心放置，所產(chǎn)生的環(huán)形莫爾條紋如圖所示4.圓光柵其條紋間距為第22頁/共44頁22用兩塊刻線數(shù)目相同，切線圓半徑分別為r1、r2的切向圓光67用兩塊刻線數(shù)目相同的徑向圓光柵偏心放置，偏心量為e，這時(shí)形成不同曲率半徑的圓弧形莫爾條紋如圖所示4.圓光柵其條紋間距為第23頁/共44頁23用兩塊刻線數(shù)目相同的徑向圓光柵偏心放置，偏心量為e，這時(shí)68動光柵固定在轉(zhuǎn)軸上，因此，可將軸旋轉(zhuǎn)的角度量變換成莫爾條紋信號。通過光電轉(zhuǎn)換元件，將莫爾條紋的變化轉(zhuǎn)換成近似于正弦波形的電信號。測角精度可達(dá)0.15”，分辨力可達(dá)0.1”，甚至更高。4.圓光柵第24頁/共44頁24動光柵固定在轉(zhuǎn)軸上，因此，可將軸旋轉(zhuǎn)的角度量變換成莫爾條69二、光柵式位移傳感器4.圓光柵(1)切向圓光柵(2)徑向圓光柵徑向圓光柵切向圓光柵4.圓光柵第25頁/共44頁25二、光柵式位移傳感器徑向圓光柵70由前面分析，光柵每移動一個(gè)柵距W，莫爾條紋移動一個(gè)條紋間距BH，光電元件輸出就變化一個(gè)周期2π，經(jīng)信號轉(zhuǎn)換電路輸出一個(gè)脈沖，若按此進(jìn)行計(jì)數(shù)，則它的分辨力只有一個(gè)光柵柵距W.為了能夠分辨比W更小的位移量，就要提高分辨力，一種方法是可以采用增加刻劃密度的方法來減少柵距，但這種方法受到制造工藝或成本的限制，如倘若要讀出位移為0.1m，勢必要求每毫米刻線1萬條，這是目前工藝水平無法實(shí)現(xiàn)的。5.細(xì)分技術(shù)第26頁/共44頁26由前面分析，光柵每移動一個(gè)柵距W，莫爾條紋移動一個(gè)條紋間71——常用的細(xì)分方法有四倍頻細(xì)分法、十六倍頻細(xì)分法、計(jì)算機(jī)細(xì)分法等。5.細(xì)分技術(shù)另一種方法是采用柵距細(xì)分技術(shù)，由于細(xì)分后計(jì)數(shù)脈沖提高了n倍，所以細(xì)分又稱倍頻，細(xì)分后可以在不增加刻線數(shù)的情況下較大地提高光柵的分辨力。第27頁/共44頁27——常用的細(xì)分方法有四倍頻細(xì)分法、十六倍頻細(xì)分法、計(jì)算機(jī)72四倍頻細(xì)分法在一個(gè)莫爾條紋寬度上并列放置四個(gè)光電元件，如右下圖(a)所示，得到相位分別相差π/2四個(gè)正弦周期信號。用適當(dāng)電路處理這些信號，使其合并得到如右下圖所示的脈沖信號。每個(gè)脈沖分別和四個(gè)周期信號的零點(diǎn)相對應(yīng)，則電脈沖的周期反應(yīng)了1/4個(gè)莫爾條紋寬度。用計(jì)數(shù)器對這一列脈沖信號計(jì)數(shù)，就可以讀到1/4個(gè)莫爾條紋寬度的位移量，這將是光柵固有分辨率的四倍。此種方法被稱為四倍頻細(xì)分法。第28頁/共44頁28四倍頻細(xì)分法第28頁/共44頁73課堂練習(xí)第29頁/共44頁29課堂練習(xí)第29頁/共44頁744、在下述位移傳感器中，適宜于測量大位移的傳感器是（單一）A、電阻式傳感器B、電感式傳感器C、壓電式傳感器D、光柵式傳感器第30頁/共44頁304、在下述位移傳感器中，適宜于測量大位移的傳感器是（單一754、在下述位移傳感器中，適宜于測量大位移的傳感器是（單一）D、光柵式傳感器第31頁/共44頁314、在下述位移傳感器中，適宜于測量大位移的傳感器是（單一761、若光柵式位移傳感器的光柵柵距為0.04mm,柵線的夾角為1.80，則相鄰莫爾條紋的間距為（單一）A、0.022mmB、0.07mmC、1.27mmD、3.99mm第32頁/共44頁321、若光柵式位移傳感器的光柵柵距為0.04mm,柵線的夾7711、若光柵式位移傳感器的光柵柵距為0.04mm,柵線的夾角為1.80，則相鄰莫爾條紋的間距為（單一）C、1.27mm第33頁/共44頁3311、若光柵式位移傳感器的光柵柵距為0.04mm,柵線的7823、四倍細(xì)分式光柵式位移傳感檢測系統(tǒng)，當(dāng)用4個(gè)光電元件接收莫爾條紋的移動信號時(shí)，分辨力為0.004/mm脈沖，則光柵的柵距為（）（模擬一）第34頁/共44頁3423、四倍細(xì)分式光柵式位移傳感檢測系統(tǒng)，當(dāng)用4個(gè)光電元件7923、四倍細(xì)分式光柵式位移傳感檢測系統(tǒng)，當(dāng)用4個(gè)光電元件接收莫爾條紋的移動信號時(shí)，分辨力為0.004/mm脈沖，則光柵的柵距為（）（模擬一）用四倍細(xì)分，則分辨力是光柵柵距的1/4，則光柵柵距