RENA操作培訓(xùn)Rena設(shè)備2制絨（RENAInTex）工藝步驟：制絨→堿洗→酸洗→吹干EtchbathRinse1AlkalineRinseRinse2AcidicRinseRinse3Dryer2RENAInTex前清洗設(shè)備的主體分為以下七個(gè)槽，此外還有滾輪、排風(fēng)系統(tǒng)、自動(dòng)及手動(dòng)補(bǔ)液系統(tǒng)、循環(huán)系統(tǒng)和溫度控制系統(tǒng)等。設(shè)備構(gòu)造3主操作界面45詳細(xì)說明程序內(nèi)的日期和時(shí)間模式、與PLC的連接情況及登陸的用戶名燈塔狀態(tài)機(jī)器名稱廠家名稱報(bào)警的詳細(xì)信息登陸按扭6詳細(xì)說明一號(hào)傳動(dòng)的狀態(tài)及設(shè)定速度二號(hào)傳動(dòng)的狀態(tài)及設(shè)定速度傳動(dòng)速度補(bǔ)償及刻蝕槽溫度補(bǔ)償三號(hào)傳動(dòng)的狀態(tài)及設(shè)定速度機(jī)器的三種報(bào)警:嚴(yán)重的問題、機(jī)器本身的問題和一般的警報(bào)7詳細(xì)說明進(jìn)口處統(tǒng)計(jì)歸零準(zhǔn)備上料（自動(dòng)模式下才會(huì)出現(xiàn)）出口處統(tǒng)計(jì)歸零進(jìn)口處硅片統(tǒng)計(jì)出口處硅片統(tǒng)計(jì)刻蝕槽溫度三個(gè)電機(jī)分別控制三段滾軸堿槽溫度門狀態(tài)(綠色為關(guān)閉灰色為開啟)8詳細(xì)說明登陸筐,可輸入登陸名密碼后登陸(不同的登陸名有不同的權(quán)限)記事本鎖定窗戶正在使用的工藝文件機(jī)器自動(dòng)運(yùn)行時(shí)的開始和停止燈塔測(cè)試(點(diǎn)擊后燈塔全部亮)9詳細(xì)說明進(jìn)入報(bào)警信息界面關(guān)閉模式手動(dòng)模式服務(wù)模式(權(quán)限最高)自動(dòng)模式切換到初始界面按扭進(jìn)入服務(wù)模式按扭進(jìn)入手動(dòng)模式按扭工藝文件進(jìn)入手動(dòng)添加界面曲線圖取消蜂命取消報(bào)警10詳細(xì)說明各添加桶狀態(tài)冷水機(jī)狀態(tài)儲(chǔ)液箱狀態(tài)儲(chǔ)液箱進(jìn)口溫度儲(chǔ)液箱設(shè)定溫度儲(chǔ)液箱實(shí)際溫度冷水機(jī)內(nèi)自來水的電導(dǎo)率集中供液是否READY機(jī)器內(nèi)化學(xué)品排放是否READY11Manual界面12手動(dòng)模式詳解13刻蝕槽功能MODEMAN&MODEAUTO----自動(dòng)運(yùn)行時(shí)單個(gè)槽的自動(dòng)手動(dòng)切換PTFILLINGDI----儲(chǔ)液槽加純水PTFILLINGCHEMIE----儲(chǔ)液槽加化學(xué)藥品SYSTERMRINSING----整個(gè)系統(tǒng)(包括外槽內(nèi)槽儲(chǔ)液槽)用純水清洗SYSTERMDRAINING----整個(gè)系統(tǒng)排液BATHCHANGE----刻蝕槽的液排進(jìn)儲(chǔ)液槽,再重新往刻蝕槽加液STARTMAINFUNCTION----在手動(dòng)模式下單個(gè)槽運(yùn)行工藝RINSEBATHSTART----開始用純水不斷清洗(只有在槽內(nèi)加滿純水后次按鍵才有作用)RINSEBATHSTOP----純水清洗結(jié)束FILLBATH----給刻蝕槽加化學(xué)藥品(如果儲(chǔ)液槽內(nèi)是純水則加的是純水)DRAINBATH----刻蝕槽排液14刻蝕槽功能第一次配槽的設(shè)定體積實(shí)際加入的體積未加入的體積(點(diǎn)擊上圖的RESTREMAINVOL.可以清零）流量15RENISE1功能16RENISE1功能MODEMAN&MODEAUTO----自動(dòng)運(yùn)行時(shí)單個(gè)槽的自動(dòng)手動(dòng)切換FILLINGDI----給槽內(nèi)加純水（RENISE１的水是RENISE２槽的水溢流過來的）DRAINING----整個(gè)槽排液STARTPROCESS----在手動(dòng)模式下單個(gè)槽運(yùn)行工藝STOP----結(jié)束操作RENISE1槽的狀態(tài)17堿槽功能18堿槽功能MODEMAN&MODEAUTO----自動(dòng)運(yùn)行時(shí)單個(gè)槽的自動(dòng)手動(dòng)切換FILLINGDI----給槽內(nèi)加純水FILLINGCHEMIE----加化學(xué)藥品（初始配槽）RINSING----用純水清洗DRAINING----整個(gè)槽排液STARTCIRCULATION----開始循環(huán)（只有加滿純水或化學(xué)藥品后此功能才起作用，此步驟程序內(nèi)有時(shí)間計(jì)算，會(huì)自動(dòng)停止，是整個(gè)槽達(dá)到READY的基本條件之一）STARTETCHING----在手動(dòng)模式下單個(gè)槽運(yùn)行工藝STOP----結(jié)束操作初始配槽時(shí)KOH和水的體積19RENISE2功能20RENISE2功能MODEMAN&MODEAUTO----自動(dòng)運(yùn)行時(shí)單個(gè)槽的自動(dòng)手動(dòng)切換FILLINGDI----給槽內(nèi)加純水（RENISE2的水是RENISE3槽的水溢流過來的）DRAINING----整個(gè)槽排液STARTPROCESS----在手動(dòng)模式下單個(gè)槽運(yùn)行工藝STOP----結(jié)束操作RENISE2槽的狀態(tài)21HF槽功能22HF槽功能MODEMAN&MODEAUTO----自動(dòng)運(yùn)行時(shí)單個(gè)槽的自動(dòng)手動(dòng)切換FILLINGDI----給槽內(nèi)加純水FILLINGCHEMIE----加化學(xué)藥品（初始配槽）RINSING----用純水清洗DRAINING----整個(gè)槽排液STARTCIRCULATION----開始循環(huán)（只有加滿純水或化學(xué)藥品后此功能才起作用，此步驟程序內(nèi)有時(shí)間計(jì)算，會(huì)自動(dòng)停止，是整個(gè)槽達(dá)到READY的基本條件之一）STARTETCHING----在手動(dòng)模式下單個(gè)槽運(yùn)行工藝STOP----結(jié)束操作初始配槽時(shí)HF和水的體積23RENISE3功能24RENISE3功能MODEMAN&MODEAUTO----自動(dòng)運(yùn)行時(shí)單個(gè)槽的自動(dòng)手動(dòng)切換FILLINGDI----給槽內(nèi)加純水（RENISE2的水是RENISE3槽的水溢流過來的）DRAINING----整個(gè)槽排液STARTPROCESS----在手動(dòng)模式下單個(gè)槽運(yùn)行工藝STOP----結(jié)束操作RENISE３槽的狀態(tài)25DRYER2功能26DRYER2功能MODEMAN&MODEAUTO----自動(dòng)運(yùn)行時(shí)單個(gè)槽的自動(dòng)手動(dòng)切換AIRKNIFEON----手動(dòng)模式開啟風(fēng)刀AIRKNIFERESET----風(fēng)刀復(fù)位風(fēng)刀狀態(tài)27COOLINGUNIT功能28COOLINGUNIT功能MODEMAN&MODEAUTO----自動(dòng)運(yùn)行時(shí)單個(gè)槽的自動(dòng)手動(dòng)切換FILLING----給冷水機(jī)加自來水（冷水機(jī)上有液位顯示）DRAINING----冷水機(jī)排水（自來水）‘冷水機(jī)狀態(tài)29傳動(dòng)功能30傳動(dòng)功能傳動(dòng)狀態(tài)(3個(gè))同時(shí)控制3個(gè)傳動(dòng)31Recipe界面323334353637Replenish界面38394041RENAInOxSide工藝步驟：邊緣刻蝕→堿洗→酸洗→吹干RENAInOxSide后清洗設(shè)備的主體分為以下七個(gè)槽，此外還有滾輪、排風(fēng)系統(tǒng)、自動(dòng)及手動(dòng)補(bǔ)液系統(tǒng)、循環(huán)系統(tǒng)和溫度控制系統(tǒng)等。EtchbathRinse1AlkalineRinseRinse2HFbathRinse3Dryer2RENAInOxSide設(shè)備構(gòu)造42

RenaInOxSide的操作界面，基本的工藝要求，換藥規(guī)程等、基本都都同于RenaInTex設(shè)備，在此不再累述。

需要注意的是：后清洗刻蝕槽處的排風(fēng)很重要43產(chǎn)線上沒有充足的片源時(shí)，工藝要求:1.停機(jī)1小時(shí)以上，要將刻蝕槽的藥液排到tank，減少藥液的揮發(fā)。2.停機(jī)15分鐘以上要用水槍沖洗堿槽噴淋及風(fēng)刀，以防酸堿形成的結(jié)晶鹽堵塞噴淋口及風(fēng)刀。3.停機(jī)1h以上，要跑假片，至少一批（400片）且要在生產(chǎn)前半小時(shí)用水槍沖洗風(fēng)刀處的滾輪，杜絕制絨后的片子有滾輪印。制絨到擴(kuò)散的產(chǎn)品時(shí)間:最長不能超過4小時(shí),時(shí)間過長硅片會(huì)污染氧化，到擴(kuò)散污染爐管,從而影響后面的電性能及效率

RENA注意事項(xiàng)44五、RENA設(shè)備常見報(bào)警信息451關(guān)于waferjam（疊片）報(bào)警出現(xiàn)此類報(bào)警時(shí)，工藝人請(qǐng)?jiān)O(shè)備人員調(diào)整滾輪并取出碎片。如果是滾輪原因造成上述報(bào)警，同時(shí)上級(jí)決定暫時(shí)不能停機(jī)，可選擇不在報(bào)警道投片，待工藝換藥或設(shè)備PM時(shí)要求設(shè)備人員進(jìn)行相應(yīng)調(diào)整。此外可要求生產(chǎn)人員可適當(dāng)增大放片間距并檢查各段滾輪是否正常工作，設(shè)備中是否出現(xiàn)卡片、碎片。如果出現(xiàn)上述異常，需及時(shí)解決，減少疊片的發(fā)生。2關(guān)于temperature（溫度）報(bào)警出現(xiàn)此類報(bào)警時(shí)，工藝人員需確認(rèn)coolingunit在工作，確認(rèn)有循環(huán)流量，然后等待并觀察溫度是否降低。如果溫度沒有下降趨勢(shì)，通知設(shè)備人員進(jìn)行檢查。3關(guān)于pump（泵）報(bào)警

出現(xiàn)此類報(bào)警時(shí)，工藝人員需確認(rèn)報(bào)警槽的溶液量是否達(dá)到液位要求，循環(huán)是否正常。如有異常，補(bǔ)加藥液并手動(dòng)打開槽體循環(huán)。同時(shí)要求設(shè)備人員檢查該槽噴淋濾芯是否正常。4關(guān)于dry（風(fēng)刀）報(bào)警

出現(xiàn)此類報(bào)警時(shí)，工藝人員需檢查外圍供氣壓力是否正常，風(fēng)刀有無被堵。并及時(shí)通知外圍人員或設(shè)備人員作出相應(yīng)調(diào)整。465關(guān)于刻蝕槽flow（流量）報(bào)警出現(xiàn)此類報(bào)警時(shí)，工藝人員需檢查是否有碎片堵住藥液入口。如有碎片需取出后，將藥液打入tank混勻溶液后重新將藥液打入bath中。如果流量不穩(wěn)定報(bào)警，需要求設(shè)備人員檢查相應(yīng)傳感器6關(guān)于overfilled（溶液過滿）報(bào)警出現(xiàn)此類報(bào)警時(shí)，工藝人員需要求設(shè)備檢查液位傳感器是否正常工作。如果確實(shí)過滿，則需要手動(dòng)排掉部分藥液，直到達(dá)到生產(chǎn)液位要求。7關(guān)于tankempty（儲(chǔ)藥罐空）報(bào)警出現(xiàn)此類報(bào)警時(shí)，說明外圍相應(yīng)儲(chǔ)藥罐中的藥品已空，需及時(shí)通知外圍人員添加藥液。8關(guān)于valveblocked（閥門被堵）報(bào)警出現(xiàn)此類報(bào)警時(shí)，則有閥門被堵，必須立即通知設(shè)備人員處理。47制絨刻蝕十項(xiàng)影響效率、優(yōu)良率(或特定電參數(shù))的原因48A.片源不同

這里提到的片源差異包括多晶硅料的不同（鍋底料、邊皮料、金屬硅、復(fù)拉料、重?fù)诫s等等）以及晶體大小不同（微晶片等），對(duì)于制絨，片源不同，腐蝕量、腐蝕速率和形成的絨面結(jié)構(gòu)都會(huì)不同，短路電流將受到重大影響，其他電性能也會(huì)受到一定程度的影響?？涛g雙向切割片的線痕過大會(huì)造成過刻等。

預(yù)防措施：1集中投片配合工藝對(duì)藥液的調(diào)節(jié)2每批產(chǎn)品測(cè)量腐蝕深度是否有超規(guī)范49B.藥液濃度的穩(wěn)定性

包括藥液補(bǔ)加量的準(zhǔn)確程度，藥液的揮發(fā)，工藝參數(shù)的設(shè)置等。

預(yù)防措施：1.設(shè)備帶料不生產(chǎn)時(shí)把藥液排到TANK槽中2.控制穩(wěn)定的溫度3.測(cè)量硅片反射率是否超規(guī)范4.每批產(chǎn)品測(cè)量刻蝕重量是有超規(guī)范50C.溫度的波動(dòng)

溫度直接影響片子與藥液反應(yīng)的程度，其波動(dòng)的大小和波動(dòng)的周期直接影響批內(nèi)和批次間腐蝕量和刻蝕量的不同，進(jìn)而導(dǎo)致電性能的波動(dòng)。

預(yù)防措施：1.設(shè)備定期檢查cool是否正常2.設(shè)備端進(jìn)行溫度SPC監(jiān)控3.工藝每天檢查溫度趨勢(shì)4.測(cè)量硅片反射率是否超規(guī)范5.每批產(chǎn)品測(cè)量刻蝕重量是有超規(guī)范51D.設(shè)備噴淋的異常

噴淋的異常會(huì)導(dǎo)致藥液殘留和一些反應(yīng)不能正常進(jìn)行，進(jìn)而出現(xiàn)臟片。

預(yù)防措施：1.設(shè)備每次做完P(guān)M時(shí)調(diào)整好噴淋角度，并用假片檢查硅

片是否有臟片。2.生產(chǎn)每兩小時(shí)檢查設(shè)備是否有碎片卡在滾輪中，堵住噴

淋口3.蓋擋板時(shí)須輕放，避面擋板打偏噴淋口4.對(duì)于堿槽，當(dāng)設(shè)備待料超過15分鐘時(shí)必須沖洗噴淋及風(fēng)刀52E.過刻的異常

刻蝕造成過刻，鍍膜后黑邊，且造成短路，從而影響效率及良率

預(yù)防措施：1.調(diào)節(jié)排風(fēng)或降低流量或提高速度2.設(shè)備端安裝排風(fēng)監(jiān)控表，并每天檢查3.滾輪或槽體擋板變形，需調(diào)整滾輪或擋板4.藥液濃度異常，需調(diào)節(jié)濃度53F.設(shè)備滾輪的變形異常

導(dǎo)致碎片、腐蝕不均、過刻、硅片沾不到液等，最終影響效率

預(yù)防措施：1.設(shè)備PM時(shí)定期檢查2.工藝及時(shí)反饋刻蝕狀況54G.設(shè)備PM徹底性和細(xì)化PM進(jìn)行的徹底到位可以保證生產(chǎn)的正常進(jìn)行，如濾芯的清洗，清洗不好，可能導(dǎo)致水不干凈，造成水痕臟片等；碎片清理不徹底可能導(dǎo)致碎片流入藥液管道造成藥液流量降低，滴定閥堵塞漏酸，造成臟片等。

預(yù)防措施：1.要求設(shè)備PM之前必須沖洗各個(gè)槽滾輪，且在PM后工藝端檢查是否做到位，看碎片是否清洗干凈，滾輪是否安裝好等55H.測(cè)量儀器的短缺

測(cè)量儀器的短缺會(huì)造成測(cè)量不能及時(shí)進(jìn)行，產(chǎn)品質(zhì)量不能保證，甚至導(dǎo)致生產(chǎn)大量不良片后才發(fā)現(xiàn)。至少保證每兩臺(tái)機(jī)器有一臺(tái)測(cè)量儀器（電子天平和絕緣電阻測(cè)試儀）。

預(yù)防措施：1.設(shè)備定期檢查測(cè)量儀器是否完好，準(zhǔn)確2.校正部門應(yīng)定期校正測(cè)量儀器3.應(yīng)給每臺(tái)設(shè)備配備測(cè)量儀器56I.工藝規(guī)定和要求執(zhí)行的不徹底1.主要包括新?lián)Q藥液后和待機(jī)一段時(shí)間后跑假片，假片跑不夠，就會(huì)出現(xiàn)滾輪印或刻蝕量不夠；2.片源不足時(shí)集中投放，不然制絨容易出現(xiàn)刻蝕量不均勻，刻蝕容易出現(xiàn)過刻；3.制絨后的片子放置時(shí)間控制，硅片表面氧化，影響后面效率良率；4.待料時(shí)滾