2022/12/2材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹2022/12/1材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹11、Introduction1.Signalsgeneratedintheinteractionbetweentheincidenthighenergyelectronbeamandthethincrystallinespecimen2.Howtoformaprobe3.RelationshipbetweenTEM,SEMandAEM3.1TEMImagemodeDiffractionmode3.2SEMImagemode:SE,BSE,X-RayMappingMicroanalysis:WDS,EDS3.3AEMImagingmode:TEM,STEM,SEM,Mapping(X-Ray+EELS)Diffractionmode:ScanningprobeStationarydiffractionpatternMicroanalysis:EDS,EELS,micro-diffraction,convergentbeamdiffraction

1、Introduction1.Signalsgenera2材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件3材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件4材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件5Howtoformaprobe?Howtoformaprobe?6材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件7材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件8材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件9DetectorsneededforanAEMDetectorsneededforanAEM10材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件11材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件12材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件13材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件14材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件15材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件163.RelationshipbetweenTEM,SEMandAEM

3.1TEMImagemodeDiffractionmode3.2SEMImagemode:SE,BSE,X-RayMappingMicroanalysis:WDS,EDS3.3AEMImagingmode:TEM,STEM,SEM,Mapping(X-Ray+EELS)Diffractionmode:ScanningprobeStationarydiffractionpatternMicroanalysis:EDS,EELS,micro-diffraction,convergentbeamdiffraction3.RelationshipbetweenTEM,SE17材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件183.2SEMImagemode:SE,BSE,X-RayMappingMicroanalysis:WDS,EDS3.2SEM19材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件20材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件21材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件22材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件23材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件24材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件25材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件263.3AEMImagingmode:TEM,STEM,SEM,Mapping(X-Ray+EELS)Diffractionmode:ScanningprobeStationarydiffractionpatternMicroanalysis:EDS,EELS,Micro-diffraction,Convergentbeamdiffraction3.3AEM27材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件28材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件29材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件30材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件31材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件322、ImaginginAEM2.1.TEM2.2.STEM-Scanningtransmissionelectronmicroscopy2.3.STEM/SEMimaging2.4.Signalmixing-Hybridimaging2.5.X-RayandEELSmapping

2、ImaginginAEM2.1.TEM33材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件34材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件35材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件36材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件37材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件38材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件39材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件40材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件41材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件42材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件43材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件44材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件45材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件46材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件47材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件483、MicroanalysisinAEM3.1X-Rayquantitativemicroanalysis3.1.1X-RaysignalgenerationinTEMthinfoilspecimens3.2.2Identificationandeliminationofspurioussignals3.2.3OptimizationoftheAEMformicroanalysis3.2.4X-Raymicroanalysis3.2.5Microanalysislimit3.2EELS-ElectronEnergyLossSpectroscopy3.2.1energylossprocessinthinfoilTEMspecimens3.2.2Wheretofindtheenergylosselectrons?3.2.3Electronenergylossspectrometer3.2.4ComparisonofthesignalgeneratingprocessforEDSandEELS3.2.5Theenergylossspectrum3.2.6EELSMicroanalysisandthelimitofanalysis3.2.7Conclusionremarks3.3ComparisonbetweenEDSandEELS

3、MicroanalysisinAEM3.1X-Ra49材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件50X-RaysignalgenerationinTEMthinfoilspecimensFluorescenceyield(w):w=0forZ～5(Boronkshellionization)Z～27(CobaltLshell)Z～57(lathanlumMshell)X-RaysignalgenerationinTEM51材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件52材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件53材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件54材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件55材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件56材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件57材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件583.2.3OptimizationoftheAEMformicroanalysis3.2.4X-Raymicroanalysis3.2.3OptimizationoftheAEM59材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件60材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件61CliffandLorimer:CA+CB=100%CliffandLorimer:CA+CB=100%62材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件63LimitformicroanalysisbyEDS1.Absoluteaccuracy

2Minimumdetectablemass:MDM10-20g3Minimummassfraction:MMF0.1wt%4Spatialresolution:10～20nm5LowZlimit6Practicallimitations:(1)contamination(2)Embeddedparticales

LimitformicroanalysisbyEDS64材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件65材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件66材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件67材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件68材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件693.2EELS-ElectronEnergyLossSpectroscopy3.2.1energylossprocessinthinfoilTEMspecimens3.2.2Wheretofindtheenergylosselectrons?3.2.3Electronenergylossspectrometer3.2.4ComparisonofthesignalgeneratingprocessforEDSandEELS3.2.5Theenergylossspectrum3.2.6EELSMicroanalysisandthelimitofanalysis3.2.7Conclusionremarks

3.2EELS-ElectronEnergyLos70材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件713.2.2Wheretofindtheenergylosselectrons?3.2.2Wheretofindtheenergy72材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件73材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件743.3.3EELSSpectrometer3.3.3EELSSpectrometer753.2.4ComparisonofthesignalgeneratingandcollectionprocessforEDSandEELS

1.SignalgenerationEDS-secondaryeventHighenergyincidentelectronsexcitationofatomscharacteristicX-raysorAugerelectronsEELS-primaryevent2.CollectionefficiencyEDS-verylow!!X-Raygeneration:forcarbon:1inevery400k-shellionizationforNa,1in40Collectionefficiency:WDS:10-3-10-4EDS:～10-2Goldlayer(20nm):onlyallow67%betransmitted!TheDeadlayerbelowthegoldlayer:37%ofthe67%betransmitted!EELS:veryhigh!!75%oftheenergylosselectronswithacollectionangleof10mrad100%whencollectionangleis30mrad3.2.4Comparisonofthesignal76材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件77

3.2.5Theenergylossspectrum(1)Thezerolosspeak(2)Thelowlossregionofthespectrum

DE<50eVplasmonpeaks(3)Highenergyregionofthespectrum

DE>=50eVenergylosspeak-ionizationedgespre-edgeandpost-edgestructure3.2.5Theenergylossspectru78材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件79材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件80材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件81材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件82材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件83材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件84Microanalysisusingionizationpeaks(edges)Microanalysisusingionization85材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件86材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件87材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件88材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件89材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件90材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件91材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件92材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件933.2.5ThelimitationsinEELSanalysis1.DetectionlimitsMDM:In500?Fefoil,103atomsforLiandAl3x104atomsforO(k-edge)MDF:Cin300?steel:3at%(100atoms)Oin600?steel:6at%2.Specimenthickness3.Spatialresolution3.2.5ThelimitationsinEELS94材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件95材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件96材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件97材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件98材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件99材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件100材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件101材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件102材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件103PhaseidentificationPhaseidentification104材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件105材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件106材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件1074、MicroDiffraction4.1LimitoftheSelectedareaelectrondiffraction(SAD)4.2Microdiffraction4.2.1theRickemethod4.2.2convergentbeammicrodiffraction

4、MicroDiffraction4.1Limito1084.1LimitoftheSelectedareaelectrondiffraction(SAD)4.1LimitoftheSelectedarea109材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件110材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件111材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件112材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件113材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件114材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件1155、Convergentbeamdiffraction5.1Terminology5.2HowtogetaCBDP5.3ZOLZ-theZeroOrderLaueZone5.4ThicknessMeasurementbyCBDP5.5HOLZ-HigherOrderLaueZone5.6HOLZLines-HigherOrderLaueZoneLines5.7ZAPS-thezoneAxisPatters5.8Acquiring3-Dsymmetryinformation5.9Phaseidentification5.10summary

5、Convergentbeamdiffraction5116材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件1175.1TerminologyZOLZ-ZeroOrderLaueZoneHOLZ-HigherOrderLaueZoneFOLZ-FirstOrderLaueZoneSOLZ-SecondOrderLaueZoneKikuchiLinesHOLZLinesDynamicalEffectK-MPatternKosselPattern5.1TerminologyZOLZ-ZeroOrd118材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件119材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件120材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件1215.2HowtogetaCBDP5.2HowtogetaCBDP122材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件123材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件124材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件1255.3ZOLZ-theZeroOrderLaueZone5.3ZOLZ-theZeroOrderLaue126材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件127材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件128材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件1295.4ThicknessMeasurementbyCBDP5.4ThicknessMeasurementbyC130材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件131材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件1325.5HOLZ-HigherOrderLaueZone5.5.1HigherorderLauezone5.5.2Determinationofinterplanar

spacingsparalleltotheelectronbeamdirection5.5.3IndexingoftheHOLZmaximahu+kv+lw=1forFOLZmaximahu+kv+lw=2forSOLZmaxima5.5HOLZ-HigherOrderLaueZ133材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件134材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件135材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件136Forfcc:WhenU+V+WoddWhenU+V+WevenForbcc:WhenUVWalloddWhenUVWallevenForHexcrystal:Forfcc:WhenU+V+WoddWhenU+137材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件1385.6HOLZLines-HigherOrderLaueZoneLines5.6.1HOLZlines5.6.2IndexingofHOLZlines5.6.3ApplicationofHOLZlinesUnitcelldimensionCrystalsymmetryCrystaldefect5.6HOLZLines-HigherOrder139材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件140材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件141材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件142材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件143材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件144材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件145材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件1465.7ZAPS-thezoneAxisPatters5.8Acquiring3-DsymmetryinformationFromKosselpatternFromK-MpatternForSAD:32pointgroupsarereducedto11projecteddiffractiongroupsForCBED:Thereare31diffractiongroupswhichcorrespondsto32pointgroups230spacegroupscanbededucedfrompointgroupandtheelementofmicrosymmetry-screwaxisandglideplane5.7ZAPS-thezoneAxisPatte147材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件148材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件149材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件150材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件151材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件152材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件153材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件154材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件1555.9Phaseidentification5.9Phaseidentification156材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件157s-phases-phase158材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件1592022/12/2材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹2022/12/1材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹1601、Introduction1.Signalsgeneratedintheinteractionbetweentheincidenthighenergyelectronbeamandthethincrystallinespecimen2.Howtoformaprobe3.RelationshipbetweenTEM,SEMandAEM3.1TEMImagemodeDiffractionmode3.2SEMImagemode:SE,BSE,X-RayMappingMicroanalysis:WDS,EDS3.3AEMImagingmode:TEM,STEM,SEM,Mapping(X-Ray+EELS)Diffractionmode:ScanningprobeStationarydiffractionpatternMicroanalysis:EDS,EELS,micro-diffraction,convergentbeamdiffraction

1、Introduction1.Signalsgenera161材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件162材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件163材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件164Howtoformaprobe?Howtoformaprobe?165材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件166材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件167材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件168DetectorsneededforanAEMDetectorsneededforanAEM169材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件170材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件171材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件172材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件173材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件174材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件1753.RelationshipbetweenTEM,SEMandAEM

3.1TEMImagemodeDiffractionmode3.2SEMImagemode:SE,BSE,X-RayMappingMicroanalysis:WDS,EDS3.3AEMImagingmode:TEM,STEM,SEM,Mapping(X-Ray+EELS)Diffractionmode:ScanningprobeStationarydiffractionpatternMicroanalysis:EDS,EELS,micro-diffraction,convergentbeamdiffraction3.RelationshipbetweenTEM,SE176材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件1773.2SEMImagemode:SE,BSE,X-RayMappingMicroanalysis:WDS,EDS3.2SEM178材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件179材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件180材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件181材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件182材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件183材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件184材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件1853.3AEMImagingmode:TEM,STEM,SEM,Mapping(X-Ray+EELS)Diffractionmode:ScanningprobeStationarydiffractionpatternMicroanalysis:EDS,EELS,Micro-diffraction,Convergentbeamdiffraction3.3AEM186材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件187材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件188材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件189材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件190材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件1912、ImaginginAEM2.1.TEM2.2.STEM-Scanningtransmissionelectronmicroscopy2.3.STEM/SEMimaging2.4.Signalmixing-Hybridimaging2.5.X-RayandEELSmapping

2、ImaginginAEM2.1.TEM192材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件193材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件194材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件195材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件196材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件197材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件198材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件199材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件200材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件201材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件202材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件203材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件204材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件205材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件206材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件2073、MicroanalysisinAEM3.1X-Rayquantitativemicroanalysis3.1.1X-RaysignalgenerationinTEMthinfoilspecimens3.2.2Identificationandeliminationofspurioussignals3.2.3OptimizationoftheAEMformicroanalysis3.2.4X-Raymicroanalysis3.2.5Microanalysislimit3.2EELS-ElectronEnergyLossSpectroscopy3.2.1energylossprocessinthinfoilTEMspecimens3.2.2Wheretofindtheenergylosselectrons?3.2.3Electronenergylossspectrometer3.2.4ComparisonofthesignalgeneratingprocessforEDSandEELS3.2.5Theenergylossspectrum3.2.6EELSMicroanalysisandthelimitofanalysis3.2.7Conclusionremarks3.3ComparisonbetweenEDSandEELS

3、MicroanalysisinAEM3.1X-Ra208材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件209X-RaysignalgenerationinTEMthinfoilspecimensFluorescenceyield(w):w=0forZ～5(Boronkshellionization)Z～27(CobaltLshell)Z～57(lathanlumMshell)X-RaysignalgenerationinTEM210材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件211材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件212材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件213材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件214材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件215材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件216材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件2173.2.3OptimizationoftheAEMformicroanalysis3.2.4X-Raymicroanalysis3.2.3OptimizationoftheAEM218材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件219材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件220CliffandLorimer:CA+CB=100%CliffandLorimer:CA+CB=100%221材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件222LimitformicroanalysisbyEDS1.Absoluteaccuracy

2Minimumdetectablemass:MDM10-20g3Minimummassfraction:MMF0.1wt%4Spatialresolution:10～20nm5LowZlimit6Practicallimitations:(1)contamination(2)Embeddedparticales

LimitformicroanalysisbyEDS223材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件224材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件225材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件226材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件227材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件2283.2EELS-ElectronEnergyLossSpectroscopy3.2.1energylossprocessinthinfoilTEMspecimens3.2.2Wheretofindtheenergylosselectrons?3.2.3Electronenergylossspectrometer3.2.4ComparisonofthesignalgeneratingprocessforEDSandEELS3.2.5Theenergylossspectrum3.2.6EELSMicroanalysisandthelimitofanalysis3.2.7Conclusionremarks

3.2EELS-ElectronEnergyLos229材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件2303.2.2Wheretofindtheenergylosselectrons?3.2.2Wheretofindtheenergy231材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件232材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件2333.3.3EELSSpectrometer3.3.3EELSSpectrometer2343.2.4ComparisonofthesignalgeneratingandcollectionprocessforEDSandEELS

1.SignalgenerationEDS-secondaryeventHighenergyincidentelectronsexcitationofatomscharacteristicX-raysorAugerelectronsEELS-primaryevent2.CollectionefficiencyEDS-verylow!!X-Raygeneration:forcarbon:1inevery400k-shellionizationforNa,1in40Collectionefficiency:WDS:10-3-10-4EDS:～10-2Goldlayer(20nm):onlyallow67%betransmitted!TheDeadlayerbelowthegoldlayer:37%ofthe67%betransmitted!EELS:veryhigh!!75%oftheenergylosselectronswithacollectionangleof10mrad100%whencollectionangleis30mrad3.2.4Comparisonofthesignal235材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件236

3.2.5Theenergylossspectrum(1)Thezerolosspeak(2)Thelowlossregionofthespectrum

DE<50eVplasmonpeaks(3)Highenergyregionofthespectrum

DE>=50eVenergylosspeak-ionizationedgespre-edgeandpost-edgestructure3.2.5Theenergylossspectru237材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件238材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件239材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件240材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件241材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件242材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件243Microanalysisusingionizationpeaks(edges)Microanalysisusingionization244材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件245材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件246材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件247材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件248材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件249材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件250材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件251材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件2523.2.5ThelimitationsinEELSanalysis1.DetectionlimitsMDM:In500?Fefoil,103atomsforLiandAl3x104atomsforO(k-edge)MDF:Cin300?steel:3at%(100atoms)Oin600?steel:6at%2.Specimenthickness3.Spatialresolution3.2.5ThelimitationsinEELS253材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件254材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件255材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件256材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件257材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件258材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件259材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件260材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件261材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件262PhaseidentificationPhaseidentification263材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件264材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件265材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件2664、MicroDiffraction4.1LimitoftheSelectedareaelectrondiffraction(SAD)4.2Microdiffraction4.2.1theRickemethod4.2.2convergentbeammicrodiffraction

4、MicroDiffraction4.1Limito2674.1LimitoftheSelectedareaelectrondiffraction(SAD)4.1LimitoftheSelectedarea268材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件269材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件270材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件271材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件272材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件273材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件2745、Convergentbeamdiffraction5.1Terminology5.2HowtogetaCBDP5.3ZOLZ-theZeroOrderLaueZone5.4ThicknessMeasurementbyCBDP5.5HOLZ-HigherOrderLaueZone5.6HOLZLines-HigherOrderLaueZoneLines5.7ZAPS-thezoneAxisPatters5.8Acquiring3-Dsymmetryinformation5.9Phaseidentification5.10summary

5、Convergentbeamdiffraction5275材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件2765.1TerminologyZOLZ-ZeroOrderLaueZoneHOLZ-HigherOrderLaueZoneFOLZ-FirstOrderLaueZoneSOLZ-SecondOrderLaueZoneKikuchiLinesHOLZLinesDynamicalEffectK-MPatternKosselPattern5.1TerminologyZOLZ-ZeroOrd277材料科學中電子顯微鏡的各種技術介紹課件278材料科學中電子顯微鏡的