白光干涉測量的2種方法光程補償法波長掃描法白光干涉測量的2種方法光程補償法1第八章光纖白光干涉測量術課件2第八章光纖白光干涉測量術課件3第八章光纖白光干涉測量術課件4第八章光纖白光干涉測量術課件5第八章光纖白光干涉測量術課件6第八章光纖白光干涉測量術課件7第八章光纖白光干涉測量術課件8第八章光纖白光干涉測量術課件9光程補償法總結：2個干涉儀，一個傳感，一個工作在掃描狀態(tài)，在2干涉儀的光程差相同時，獲得最大干涉條紋?；蛘邟呙韪缮鎯x的一個臂，在兩臂光程差相同時得到最大條紋。缺點：只能實驗室使用光程補償法總結：2個干涉儀，一個傳感，一個工作在掃描狀態(tài)，在10波長掃描法寬帶光源注入干涉儀，測量光譜中的周期波長間隔波長掃描法寬帶光源注入干涉儀，11波長測量法中，用光譜儀獲得的光譜波長測量法中，用光譜儀獲得的光譜12波長掃描白光干涉測量中的問題：一、光譜儀昂貴，且不便于儀器化。一般有2種解決方案： 1、基于CCD陣列的光譜儀結合Fizeo干涉儀，或玻璃衍射光柵。但CCD在>1um無響應，與光纖系統(tǒng)的發(fā)展趨勢不吻合 2、用可調(diào)諧F-P濾波器，或基于此的光纖激光器進行掃描，獲得白光光譜，更適合儀器化和工程化二、白光光譜呈正弦分布，不能準確的測量出峰值處的波長波長掃描白光干涉測量中的問題：一、光譜儀昂貴，且不便于儀器化13波長掃描白光干涉光譜獲取技術波長掃描白光干涉光譜獲取技術14光譜儀和可調(diào)諧濾波器采集光譜比較（M-Z干涉儀）光譜儀和可調(diào)諧濾波器采集光譜比較（M-Z干涉儀）15傳統(tǒng)的OPD測量方法1.2.3.OPD與某一個峰的波長變換傳統(tǒng)的OPD測量方法1.OPD與某一個峰的波長變換16傅里葉變換頻率法傅里葉變換頻率法17北京理工大學：

OPD測量中的相位測量技術白光干涉相位測量術原理北京理工大學：

18目前已經(jīng)研究的基于相位解調(diào)的

白光干涉測量術傅里葉變換白光干涉測量術傅里葉變換白光干涉相對測量術波長掃描白光干涉測量術相移白光干涉測量術白光干涉正交測量術目前已經(jīng)研究的基于相位解調(diào)的

白光干涉測量術傅里葉變換白光干191.傅立葉變換白光干涉測量1.傅立葉變換白光干涉測量20實驗結果實驗結果21傅里葉變換白光干涉測量術復用2個傳感器傅里葉變換白光干涉測量術復用2個傳感器22傅立葉變換白光干涉相對相位測量術

原理（略）傅立葉變換白光干涉相對相位測量術

原理（略）232:波長掃描白光干涉測量術2:波長掃描白光干涉測量術24解調(diào)原理解調(diào)原理25測量的相位與傅里葉變換白光干涉法的比較測量的相位與傅里葉變換白光干涉法的比較263.相移白光干涉測量術一3.相移白光干涉測量術一273.相移白光干涉測量術二3.相移白光干涉測量術二28第八章光纖白光干涉測量術課件29測量溫度測量溫度30測量應變測量應變31連續(xù)加應變時與頻率法的比較連續(xù)加應變時與頻率法的比較324.白光干涉正交測量術目的：解決短光程差的干涉儀光程測量4.白光干涉正交測量術目的：解決短光程差的干涉儀光程測量33第八章光纖白光干涉測量術課件34正交信號的李薩如圖正交解調(diào)算法正交信號的李薩如圖正交解調(diào)算法35雙譜峰追蹤法波動±170nm正交法波動為±80nm雙譜峰追蹤法波動±170nm正交法波動為±80nm36號外：北京理工大學推出

光纖可調(diào)諧FP濾波器（OFTF）號外：北京理工大學推出

37性能自由光譜區(qū)寬度FSR：755nm3dB線寬=0.1~0.15nm精細度F=600-700損耗Loss=3dB性能自由光譜區(qū)寬度FSR：755nm38FSR=74.6nmFSR=74.6nm393dB線寬：0.08nmFSR=74.6nm精細度：9383dB線寬：0.08nmFSR=74.6nm精細度：93840白光干涉測量的2種方法光程補償法波長掃描法白光干涉測量的2種方法光程補償法41第八章光纖白光干涉測量術課件42第八章光纖白光干涉測量術課件43第八章光纖白光干涉測量術課件44第八章光纖白光干涉測量術課件45第八章光纖白光干涉測量術課件46第八章光纖白光干涉測量術課件47第八章光纖白光干涉測量術課件48第八章光纖白光干涉測量術課件49光程補償法總結：2個干涉儀，一個傳感，一個工作在掃描狀態(tài)，在2干涉儀的光程差相同時，獲得最大干涉條紋。或者掃描干涉儀的一個臂，在兩臂光程差相同時得到最大條紋。缺點：只能實驗室使用光程補償法總結：2個干涉儀，一個傳感，一個工作在掃描狀態(tài)，在50波長掃描法寬帶光源注入干涉儀，測量光譜中的周期波長間隔波長掃描法寬帶光源注入干涉儀，51波長測量法中，用光譜儀獲得的光譜波長測量法中，用光譜儀獲得的光譜52波長掃描白光干涉測量中的問題：一、光譜儀昂貴，且不便于儀器化。一般有2種解決方案： 1、基于CCD陣列的光譜儀結合Fizeo干涉儀，或玻璃衍射光柵。但CCD在>1um無響應，與光纖系統(tǒng)的發(fā)展趨勢不吻合 2、用可調(diào)諧F-P濾波器，或基于此的光纖激光器進行掃描，獲得白光光譜，更適合儀器化和工程化二、白光光譜呈正弦分布，不能準確的測量出峰值處的波長波長掃描白光干涉測量中的問題：一、光譜儀昂貴，且不便于儀器化53波長掃描白光干涉光譜獲取技術波長掃描白光干涉光譜獲取技術54光譜儀和可調(diào)諧濾波器采集光譜比較（M-Z干涉儀）光譜儀和可調(diào)諧濾波器采集光譜比較（M-Z干涉儀）55傳統(tǒng)的OPD測量方法1.2.3.OPD與某一個峰的波長變換傳統(tǒng)的OPD測量方法1.OPD與某一個峰的波長變換56傅里葉變換頻率法傅里葉變換頻率法57北京理工大學：

OPD測量中的相位測量技術白光干涉相位測量術原理北京理工大學：

58目前已經(jīng)研究的基于相位解調(diào)的

白光干涉測量術傅里葉變換白光干涉測量術傅里葉變換白光干涉相對測量術波長掃描白光干涉測量術相移白光干涉測量術白光干涉正交測量術目前已經(jīng)研究的基于相位解調(diào)的

白光干涉測量術傅里葉變換白光干591.傅立葉變換白光干涉測量1.傅立葉變換白光干涉測量60實驗結果實驗結果61傅里葉變換白光干涉測量術復用2個傳感器傅里葉變換白光干涉測量術復用2個傳感器62傅立葉變換白光干涉相對相位測量術

原理（略）傅立葉變換白光干涉相對相位測量術

原理（略）632:波長掃描白光干涉測量術2:波長掃描白光干涉測量術64解調(diào)原理解調(diào)原理65測量的相位與傅里葉變換白光干涉法的比較測量的相位與傅里葉變換白光干涉法的比較663.相移白光干涉測量術一3.相移白光干涉測量術一673.相移白光干涉測量術二3.相移白光干涉測量術二68第八章光纖白光干涉測量術課件69測量溫度測量溫度70測量應變測量應變71連續(xù)加應變時與頻率法的比較連續(xù)加應變時與頻率法的比較724.白光干涉正交測量術目的：解決短光程差的干涉儀光程測量4.白光干涉正交測量術目的：解決短光程差的干涉儀光程測量73第八章光纖白光干涉測量術課件74正交信號的李薩如圖正交解調(diào)算法正交信號的李薩如圖正交解調(diào)算法75雙譜峰追蹤法波動±170nm正交法波動為±80nm雙譜峰追蹤法波動±170nm正交法波動為±80nm76號外：北京理工大學推出

光纖可調(diào)諧FP濾波器（OFTF）號外：北京理工大學推出

77性能自