WORDWORD格式可編輯專業(yè)知識(shí)整理分享專業(yè)知識(shí)整理分享目的Purpose穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)并做為新進(jìn)人員之教育訓(xùn)練教材。管制范圍Scope本操作規(guī)范適用于特氣系統(tǒng)各操作單元之操作及故障排除指引。管職責(zé) Responsibility廠務(wù)單位最高主管協(xié)調(diào)并提供各單位因產(chǎn)品生產(chǎn)所需之廠務(wù)服務(wù)內(nèi)容。綜廠務(wù)系統(tǒng)運(yùn)轉(zhuǎn)所需資源管 ,含人員/物 /預(yù)算等。引進(jìn)創(chuàng)新之廠務(wù)系統(tǒng)或管知識(shí)。廠務(wù)單位主管執(zhí)廠務(wù)系統(tǒng)維護(hù)保養(yǎng)制及系統(tǒng)教育訓(xùn)練。維持穩(wěn)定的廠務(wù)供應(yīng)系統(tǒng)所需之人員出勤管。廠務(wù)系統(tǒng)及廠內(nèi)各類緊急事件之搶救應(yīng)變事宜。廠務(wù)系統(tǒng)異常事故追蹤查核處結(jié)果廠務(wù)系統(tǒng)工程師:負(fù)責(zé)特氣供應(yīng)系統(tǒng)之正常運(yùn)轉(zhuǎn)及改維護(hù)。Hookup廠務(wù)系統(tǒng)及廠內(nèi)各類緊急事件之搶救應(yīng)變事宜。擔(dān)任所負(fù)責(zé)系統(tǒng)之教育訓(xùn)練講師。廠務(wù)輪班工程師:負(fù)責(zé)各項(xiàng)維護(hù)廠務(wù)系統(tǒng)所需之日常巡檢及窗體記錄。執(zhí)各項(xiàng)廠務(wù)設(shè)施之日常或定期性保養(yǎng)維修作業(yè)。換廠務(wù)系統(tǒng)所提供或所需之原物及產(chǎn)生之廢棄物。廠務(wù)系統(tǒng)及廠內(nèi)各類緊急事件之搶救應(yīng)變事宜。定義DefinitionSGSpecialGas作業(yè)內(nèi)容Procedure日常記錄與報(bào)告要求定點(diǎn)現(xiàn)場(chǎng)抄表，發(fā)現(xiàn)數(shù)據(jù)異常即刻報(bào)告給系統(tǒng)工程師。統(tǒng)計(jì)氣體，每日/周/月用。統(tǒng)計(jì)氣瓶、庫(kù)存，原則上現(xiàn)場(chǎng)要有足夠 15天運(yùn)庫(kù)存。整特氣系統(tǒng)儀器儀表（ Gasdetector、PT等）的校正記錄。提供日常巡檢報(bào)告、維護(hù)報(bào)告及事故報(bào)告。日常運(yùn)轉(zhuǎn)事項(xiàng)氣體鋼瓶的換（含硅烷、氫氣站，特氣房?jī)?nèi)）。N2Yard(大宗氣體氣站特氣系統(tǒng)儀器儀表（Gasdetector、PT等）的定期校正。緊急應(yīng)變：包括Trouble-shooting，報(bào)警故障處，緊急事故反映及處。表單Form序號(hào)項(xiàng)目序號(hào)項(xiàng)目YES情況記錄NOREMARK其它1檢查設(shè)備、房間排風(fēng)是否正常？2檢查門鎖、窗鎖是否正常？3檢查設(shè)備外觀是否正常？4危險(xiǎn)標(biāo)識(shí)是否剝？5閥件編號(hào)是否有誤？6巡視管道狀況、標(biāo)簽是否脫7確認(rèn)N2吹掃盤是否正常？8確認(rèn)CDA、GN2供應(yīng)壓是否正常？檢查PIGTAIL是否被損壞或污檢查PIGTAIL是否被損壞或污9染？10檢查加熱系統(tǒng)是否正常LocalScrubber檢查、保養(yǎng)項(xiàng)目檢查保養(yǎng)計(jì)劃表檢查、保養(yǎng)頻每天 每周 雙周 每月每季每檢查主電源(Mainpower)電壓○檢查加熱器#1,#2的溫○檢查氮?dú)?、○檢查注入、排氣壓△確認(rèn)錯(cuò)誤(Error)狀態(tài)△檢查傳感器High，Low狀態(tài)○檢查指示燈工作狀態(tài)○檢查各導(dǎo)管有無(wú)粉塵堆積△壓計(jì)是否需換☆檢查是否需換傳感器、控制器☆檢查是否需換繼電器、風(fēng)扇☆檢查、保養(yǎng)項(xiàng)目檢查、保養(yǎng)頻備注： “○：值班技術(shù)人員可以單獨(dú)進(jìn)維護(hù)操作“△：值班技術(shù)人員在系統(tǒng)工程師指導(dǎo)下進(jìn)檢查和維護(hù)“☆：值班技術(shù)人員在部門主管及系統(tǒng)工程師指導(dǎo)下檢查和檢查、保養(yǎng)項(xiàng)目檢查、保養(yǎng)頻備注： “○：值班技術(shù)人員可以單獨(dú)進(jìn)維護(hù)操作“△：值班技術(shù)人員在系統(tǒng)工程師指導(dǎo)下進(jìn)檢查和維護(hù)“☆：值班技術(shù)人員在部門主管及系統(tǒng)工程師指導(dǎo)下檢查和護(hù)每每每天 每周 雙周 每月 半 每通過(guò)監(jiān)視屏幕觀察Sensor的狀態(tài)○換 Sensor△檢查吸氣泵是否故障☆檢查熱解模塊是否故障☆檢查模/數(shù)轉(zhuǎn)換模塊是否故障☆備注： “○：值班技術(shù)人員可以單獨(dú)進(jìn)維護(hù)操作“△：值班技術(shù)人員在系統(tǒng)工程師指導(dǎo)下進(jìn)檢查和維護(hù)護(hù)檢查、保養(yǎng)頻檢查、保養(yǎng)項(xiàng)目檢查、保養(yǎng)頻檢查、保養(yǎng)項(xiàng)目每每天 每周 雙周 每月 半 每檢查氣瓶的壓、重○檢查設(shè)備、房間排風(fēng)是否正常○檢查門鎖、窗鎖是否正?！饳z查外觀是否正常危險(xiǎn)標(biāo)識(shí)是否剝?cè)O(shè)備標(biāo)識(shí)是否剝○○○閥件編號(hào)是否有誤巡視管道狀況、標(biāo)簽是否脫確認(rèn)所有氣動(dòng)閥、手動(dòng)閥、調(diào)壓閥○○是否正?！畲_認(rèn)CDA、GN2供應(yīng)壓是否正?！畲_認(rèn)N2吹掃盤是否正?！顗簜鞲衅骱驼婵諅鞲衅餍Ｕ畈炜碢IGTAIL是否被損壞或污染☆核檢故障報(bào)警裝置是否正?！詈藱z關(guān)機(jī)報(bào)警裝置是否正常☆檢查加熱系統(tǒng)是否正?！詈藱z左右供氣自動(dòng)換裝置是否正?！顑x表校正☆檢查、保養(yǎng)頻檢查、保養(yǎng)項(xiàng)目每檢查、保養(yǎng)頻檢查、保養(yǎng)項(xiàng)目每每天 每周 雙周 每月 每半備注： “○：值班技術(shù)人員可以單獨(dú)進(jìn)維護(hù)操作“△：值班技術(shù)人員在系統(tǒng)工程師指導(dǎo)下進(jìn)檢查和維護(hù)“☆：值班技術(shù)人員在部門主管及系統(tǒng)工程師指導(dǎo)下檢查和護(hù)檢查設(shè)備排風(fēng)是否正常檢查外觀是否正常危險(xiǎn)標(biāo)識(shí)是否剝○○○○設(shè)備標(biāo)識(shí)是否剝○閥件編號(hào)是否有誤○巡視管道狀況、標(biāo)簽是否脫○確認(rèn)所有氣動(dòng)閥、手動(dòng)閥、調(diào)壓閥是否正常☆確認(rèn)CDA、GN2供應(yīng)壓是否正?！畲_認(rèn)N2吹掃盤是否正常☆核檢故障報(bào)警裝置是否正?！詈藱z關(guān)機(jī)報(bào)警裝置是否正常☆備注： “○：值班技術(shù)人員可以單獨(dú)進(jìn)維護(hù)操作“△：值班技術(shù)人員在系統(tǒng)工程師指導(dǎo)下進(jìn)檢查和維護(hù)“☆：值班技術(shù)人員在部門主管及系統(tǒng)工程師指導(dǎo)下檢查和護(hù)參考文件Reference備注： “○：值班技術(shù)人員可以單獨(dú)進(jìn)維護(hù)操作“△：值班技術(shù)人員在系統(tǒng)工程師指導(dǎo)下進(jìn)檢查和維護(hù)“☆：值班技術(shù)人員在部門主管及系統(tǒng)工程師指導(dǎo)下檢查和護(hù)無(wú)作業(yè)程 FlowChartArArRack供氣程ArRack供氣程Step.Content.1先確認(rèn)HPI1或2關(guān)閉，并關(guān)閉鋼瓶閥門。2慢慢打開HPV1或2，將剩余Ar排出去，然后關(guān)閉HPV1或2。3分離舊鋼瓶，并安裝新鋼瓶。4然后打開新鋼瓶閥門，然后一點(diǎn)點(diǎn)打開關(guān)閉HPV1或2，15次吹掃。結(jié)束后關(guān)閉HPV1或2。5關(guān)閉鋼瓶閥門，等HPT1或2穩(wěn)定后，進(jìn) 2小時(shí)保壓測(cè)試。6保壓測(cè)試通過(guò)后，打開鋼瓶閥門，然后觸摸屏上，選擇standby.注注意：在供應(yīng)氣體時(shí)，兩個(gè)調(diào)壓閥之間的那個(gè)手動(dòng)閥門打開，使兩個(gè)調(diào)壓閥同時(shí)供氣，并保持調(diào)壓閥門適當(dāng)成打開，要關(guān)閉。Emergencystop時(shí)，長(zhǎng)按3秒Reset按鈕，可取消報(bào)警窗口。PN2 供氣程N(yùn)2Rack供氣程N(yùn)2Rack供氣程Step.Content.1先將全部閥門關(guān)閉，并確認(rèn)鋼瓶閥門關(guān)閉。2慢慢打開Vent閥門，將剩余N2排出去，然后關(guān)閉Vent閥門3用扳手將舊鋼瓶拆下，安裝新的鋼瓶。45打開鋼瓶閥門，然后打開關(guān)閉Vent閥門15次進(jìn)吹掃，打開時(shí)只要一點(diǎn)點(diǎn)點(diǎn)，最后關(guān)閉Vent閥門.然后打開HPI1，再關(guān)閉鋼瓶閥門，并關(guān)閉調(diào)壓閥，進(jìn)保壓測(cè)試 1小時(shí)。6保壓測(cè)試通過(guò)后，打開鋼瓶閥門，調(diào)節(jié)調(diào)壓閥到100psi.7打開LPI可供應(yīng)P-N2,打開HPI2可供應(yīng)高壓P-N2.H2H2Rack供氣程H2Rack供氣程Step.Content.1先確認(rèn)HPI1或2關(guān)閉，并關(guān)閉鋼瓶閥門。2慢慢打開HPV1或2，將剩余H2排出去，然后關(guān)閉HPV1或2。3打開PNBV,PGI1或2，然后一點(diǎn)點(diǎn)打開關(guān)閉HPV1或2，15次進(jìn)吹掃。結(jié)束后全部關(guān)閉。4分離舊鋼瓶，并安裝新鋼瓶。56然后打開PNBV,PGI1或2，然后一點(diǎn)點(diǎn)打開關(guān)閉HPV1或2，15次吹掃。結(jié)束后全部關(guān)閉。打開鋼瓶閥門，然后一點(diǎn)點(diǎn)打開HPV1或2,將殘 N2排空，然后關(guān)閉HPV1或2，7關(guān)閉鋼瓶閥門，等HPT1或2穩(wěn)定后，進(jìn) 2小時(shí)保壓測(cè)試。8保壓測(cè)試通過(guò)后，打開鋼瓶閥門，然后觸摸屏上，選擇standby.注注意：在供應(yīng)氣體時(shí)，兩個(gè)調(diào)壓閥之間的那個(gè)手動(dòng)閥門打開，使兩個(gè)調(diào)壓閥同時(shí)供氣，并保持調(diào)壓閥門適當(dāng)成打開，要關(guān)閉。Emergencystop時(shí)，長(zhǎng)按3秒Reset按鈕，可取消報(bào)警窗口。BSGS全自動(dòng)氣柜和BSGS供氣程全自動(dòng)氣柜和BSGS供氣程Step.Content.1A瓶停止供氣后，確認(rèn)A瓶閥門關(guān)閉(有Valveshutter者，拆下Valveshutter，然后確認(rèn)），并關(guān)閉PMV1.2“Aselect進(jìn)入 A操作界面，并確認(rèn)G-N2,CDA,P-N2供應(yīng)正常。3選擇“Pre-purge，輸入密碼，“ Confirm（可能要點(diǎn)兩次），進(jìn)入1P(第一次吹掃)，-L(負(fù)壓測(cè)試)，2P(第二次吹掃)42P結(jié)束后，進(jìn)入鋼瓶換階段。確認(rèn) PIV,PGI打開，確認(rèn)新瓶日期。5分離舊瓶，并用綁帶和鎖鏈固定好新鋼瓶，然后與CGA連接。6連接好之后，“Confirm進(jìn)入“ 3P，“ +L ,“4P階段。774P結(jié)束后，按“cancel進(jìn)入下階段。按“ processGasflow，輸入密碼，8檢查HPT，LPT數(shù)值，按“Process，氣柜會(huì)自動(dòng)排空內(nèi)部氣體。如有Valveshutter,然后安裝Valveshutter，（把Valveshutter先套在鋼9瓶上，擰緊，然后插入氣管，然后調(diào)整高，使瓶閥門上）valveshutter完全套在鋼10"confirm"后，關(guān)閉調(diào)壓閥門。11然后打開鋼瓶主閥門。12然后打開調(diào)壓閥門到適當(dāng)?shù)奈恢?。（BSGS將要打開兩個(gè)調(diào)節(jié)閥門。）13PMV1打開。14“confirm之后進(jìn)入“ process或“ standby。特氣系統(tǒng)異常泄，緊急處程序WORDWORD格式可編輯氣體泄漏緊急應(yīng)變流程氣體異常泄漏描述及處理流程氣體真實(shí)泄漏1.如出現(xiàn)一段報(bào)警，值班人員通過(guò)中控室報(bào)警特氣種類SCADA曲線，初步判斷是否真實(shí)泄漏，并立即通知特氣及廠務(wù)負(fù)責(zé)人。2.聯(lián)系廠務(wù)特氣負(fù)責(zé)人員，詢問(wèn)是否在進(jìn)行特氣換鋼瓶動(dòng)作。并通過(guò)CCTV查看特氣間有無(wú)人員施工或異樣。3.如一段報(bào)警值已逐漸下降，并恢復(fù)正常。即通知特氣及廠務(wù)負(fù)責(zé)人及設(shè)施部經(jīng)理，告知為可能干擾誤動(dòng)作，并查看供氣設(shè)備是否正常供氣。4.如報(bào)警等級(jí)上升至二段，特氣人員會(huì)同搶修人員穿戴SCBA及防護(hù)用品，并攜帶便攜式偵測(cè)器趕去現(xiàn)場(chǎng)確認(rèn)偵測(cè)器是否正常工作。5.如確認(rèn)為真實(shí)泄露報(bào)警，立即通知設(shè)施部經(jīng)理，要馬上關(guān)斷氣源停止供氣，設(shè)備部馬上啟動(dòng)相應(yīng)措施，并由ERC決定是否需要通知全廠疏散。6，搶修人員