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文檔簡介
214-半導體的導電性能講解第一頁,共45頁。h價帶導帶Eg自由電子空穴半導體中電子和空穴總是成對出現(xiàn)的一半導體中的載流子2第二頁,共45頁??昭ㄏ旅婺芗壣系碾娮涌梢攒S遷到空穴上來,這相當于空穴向下躍遷。滿帶上帶正電的空穴向下躍遷也是形成電流,這稱為空穴導電。導帶價帶Eg在外電場作用下導帶的自由電子在電場力的作用下會產(chǎn)生定向運動,形成電流,這稱為電子導電。3第三頁,共45頁。半導體的導電導帶的電子導電和價帶的空穴導電共同作用的結(jié)果載流子:電荷的定向移動形成電流,電荷的自由粒子稱為載流子。自由電子—帶負電半導體中有兩種導電的載流子空穴—帶正電4第四頁,共45頁。本征半導體——化學成分純凈的半導體。制造半導體器件的半導體材料的純度要達到99.9999999%,常稱為“九個9”。它在物理結(jié)構(gòu)上呈單晶體形態(tài)。(沒有雜質(zhì)和缺陷的半導體)。二.本征半導體5第五頁,共45頁。本征晶體中各原子之間靠得很近,如硅晶中,面心立方結(jié)構(gòu),每個原子分別與周圍的四個原子形成四面體,原子之間的價電子形成共價鍵。共價鍵中的價電子為這些原子所共有,并為它們所束縛,在空間形成排列有序的晶體。面心立方
硅晶體的空間排列共價鍵結(jié)構(gòu)平面示意圖6第六頁,共45頁。共價鍵性質(zhì)共價鍵上的兩個電子同時受兩個原子的約束,如果沒有足夠的能量,不易脫離軌道,沒有自由電子,不導電。
當溫度升高或受到光的照射時,有些電子獲得足夠的能量,從價帶躍遷到導帶,成為導帶的自由電子,同時價帶出現(xiàn)等數(shù)量的空穴,這種激發(fā)為本征激發(fā),載流子主要來源于本征激發(fā)的半導體成為本征半導體。7第七頁,共45頁。
一分為二載流子的產(chǎn)生
復合
合二為一溫度一定時,動態(tài)平衡狀態(tài)本征半導體平衡時半導體內(nèi)部的載流子成為——平衡載流子自由電子和空穴成對地產(chǎn)生的同時,又不斷復合。在一定溫度下,載流子的產(chǎn)生和復合達到動態(tài)平衡,半導體中載流子便維持一定的數(shù)目。8第八頁,共45頁。本征半導體自由電子和空穴的數(shù)目是相等的單位體積的電子數(shù)——電子濃度n0單位體積的空穴數(shù)——空穴濃度p0n0=p0本征半導體電導率:
σ=n0qμn+n0qμp=n0q(μn+μp)μn——電子遷移率μp——空穴遷移率9第九頁,共45頁。對于導帶:溫度T時,導帶內(nèi)會有多少電子導帶中的電子數(shù)單位能量內(nèi)的量子態(tài)數(shù)(狀態(tài)密度)溫度T時,能量為E的量子態(tài)被一個電子占據(jù)的幾率價帶導帶ECEvEgEC:導帶底,導帶電子最低能量Ev:價帶頂,價帶電子最高能量Eg:禁帶寬度10第十頁,共45頁。如果:EC-EF》k0T電子的波爾茲曼分布函數(shù)電子費米分布函數(shù)溫度T時,能量為E的量子態(tài)被一個電子占據(jù)的幾率空穴費米分布函數(shù)溫度T時,能量為E的量子態(tài)不被一個電子占據(jù)的幾率,(被空占據(jù)的幾率)空穴的波爾茲曼分布函數(shù)11第十一頁,共45頁。實際半導體中:價帶導帶ECEvEFEEF101/2
導帶底附近:
E-EF》k0T——電子服從波爾茲曼分布(1)導帶中,所有量子態(tài)被電子占據(jù)的幾率f(E)《1
(2)隨著E增加,fB(E)下降,所以導帶中的電子分布在導帶底附近
價帶頂附近:EF-E》k0T——空穴服從波爾茲曼分布
(1)價帶中,所有量子態(tài)被空穴占據(jù)的幾率1-f(E)《1
(2)隨著E增加,1-f(E)增加,所以價帶中的空穴分布在價帶頂附近12第十二頁,共45頁。=NcNc:導帶的有效狀態(tài)密度,可以理解為把導帶中的所有狀態(tài)都集中在導帶底,它的狀帶密度認為是Nc。導帶中的電子數(shù):導帶中的電子濃度:13第十三頁,共45頁??昭ù蠖喾植荚趦r帶頂附近價帶中的空穴濃度:Nv:價帶的有效狀態(tài)密度,可以理解為把價帶中的所有狀態(tài)都集中在價帶電腦頂,它的狀帶密度認為是Nv。14第十四頁,共45頁。
本征半導體:n0=p0價帶導帶ECEvEF
一定的半導體材料,一定的溫度下,n0p0一定,適用于本征半導體、雜質(zhì)半導體。15第十五頁,共45頁。本征半導體電子空穴成對出現(xiàn),電子、空穴濃度相等,它們的濃度稱本征載流子濃度ni
ni=n0=p0結(jié)論:ni與Eg關(guān)系密切,Eg越大,ni越小ni與T關(guān)系密切,T越高,ni越大1/Tni16第十六頁,共45頁。在本征半導體中摻入某些微量元素作為雜質(zhì),可使半導體的導電性發(fā)生顯著變化。摻入的雜質(zhì)主要是三價或五價元素。摻入雜質(zhì)的本征半導體稱為雜質(zhì)半導體。(1)N型半導體(2)P型半導體三.非本征半導體17第十七頁,共45頁。(1)四價的本征半導體Si、Ge等,摻入少量五價的雜質(zhì)元素(如P、As等),出現(xiàn)若束縛電子。(2)量子力學表明,這種摻雜后多余的電子的能級在禁帶中緊靠導帶處,極容易被激發(fā)到導帶中,形成電子導電。這種激發(fā)后能給導帶提供電子的雜質(zhì)稱施主雜質(zhì)。該能級稱為施主能級,EDSiSiSiSiSiSiSiP
n型半導體18第十八頁,共45頁。(3)摻施主的半導體的導帶電子數(shù)主要有施主數(shù)決定,半導體導電的載流子主要是電子。導帶價帶施主能級EDEgECEV19第十九頁,共45頁。N型半導體特征:(1)從價帶躍遷到導帶的電子數(shù)相對于從施主能級激發(fā)到導帶的電子數(shù)項小得多,可忽略。
電子——多數(shù)載流子空穴——少數(shù)載流子(2)n》p
σ=nqμn20第二十頁,共45頁。(1)四價的本征半導體Si、Ge等,摻入少量三價的雜質(zhì)元素(如B、Ga、In等)。在摻雜原子周圍,就缺一個電子,可以看作微弱結(jié)合的空穴。(2)量子力學表明,這種摻雜后多余的空穴的能級在禁帶中緊靠價帶處,很容易接受從價帶激發(fā)來的電子,從而在價帶留下一個空穴,產(chǎn)生空穴導電。這種雜質(zhì)稱受主雜質(zhì),該能級稱為受主能級,EA。
p型半導體SiSiSiSiSiSiSi+B21第二十一頁,共45頁。p型半導體中空穴……多數(shù)載流子電子……少數(shù)載流子導帶EA價帶受主能級EgECEV(3)摻受主的半導體的空穴數(shù)主要有受主數(shù)決定,半導體導電的載流子主要是空穴。p》nσ=pqμp22第二十二頁,共45頁。非本征半導體的載流子濃度
導帶價帶施主能級EDEgECEV導帶EA價帶受主能級EgECEVn型半導體p型半導體電子(空穴)被正電核(負電核)吸引,要真正電離進入導帶,需克服正電核所施的束縛能——電離能23第二十三頁,共45頁?;卮穑翰荒苣軒У哪芗壞苋菁{自旋方向相反的兩個電子施主能級所束縛的電子是任一自旋方向(半導體物理)電子占據(jù)雜質(zhì)能級的幾率是否服從費米分布函數(shù)?n型半導體電子占據(jù)施主能級的幾率:P型半導體空穴占據(jù)受主能級的幾率:24第二十四頁,共45頁。
引入:ND——施主雜質(zhì)濃度
NA——受主雜質(zhì)濃度(1)施主能級的電子濃度nD——沒有電離的施主濃度
nD=NDfD(E)(2)受主能級的空穴濃度pA——沒有電離的受主濃度
pA=NAfA(E)(3)電離施主濃度——進入導帶中的電子
nD+=ND-nD
(4)電離受主濃度
pA-=NA-
pA25第二十五頁,共45頁。nD=NDfD(E)ED-EF》k0T施主雜質(zhì)全部電離nD=0nD+=ND
EF-ED》k0T施主雜質(zhì)幾乎沒電離nD=ND
nD+=0ED=EFnD=2/3ND
nD+=1/3ND
施主雜質(zhì)2/3沒電離1/3電離26第二十六頁,共45頁。n型半導體的載流子濃度:
n0=nD++p0導帶的電子濃度=電離施主濃度+價帶空穴濃度27第二十七頁,共45頁。N型半導體不同溫度下載流子的濃度變化nD+《ND(1)低溫弱電離區(qū):溫度較低,本征激發(fā)幾乎不發(fā)生,少量施主雜質(zhì)發(fā)生電離少量電子進入導帶n0=nD+施主雜質(zhì)的電離能T↑,n0指數(shù)增加28第二十八頁,共45頁。低溫弱電離區(qū)費米能級表達式:T↑,EF復雜,ND>2NC,ND↑,
EF↑價帶導帶ECEvEFEiED29第二十九頁,共45頁。(2)中間電離區(qū):T↑,ND<NC,ND↑,
EF↑n0=nD+價帶導帶ECEvEFEiED30第三十頁,共45頁。nD+
≈ND(3)強電離區(qū):溫度升高,大部分施主雜質(zhì)發(fā)生電離電子進入導帶n0=nD++p0P0很小n0
=NDn0與溫度無關(guān)31第三十一頁,共45頁。強電離區(qū)費米能級表達式:ND一定,T↑,EF靠近EiT一定,ND↑,
EF靠近Ec價帶導帶ECEvEFEi32第三十二頁,共45頁。(4)過渡區(qū):溫度升高,施主雜質(zhì)完全電離,同時本征激發(fā)不可忽視n0=ND+p0本征半導體ni=n0=p0導帶EC價帶EvEFEi33第三十三頁,共45頁。(5)高溫本征激發(fā)區(qū)溫度升高,本征激發(fā)的載流子數(shù)遠大于施主雜質(zhì)電離的n0
》NDp0
》NDn0=p0導帶EC價帶EvEFEi34第三十四頁,共45頁。非本征半導體(n型)1/Tn0本征區(qū)非本征區(qū)耗盡區(qū)低溫區(qū):
n0=nD+,相同溫度下,非本征半導體電子濃度比本征半導體大得多,但對溫度的依賴性小。中溫區(qū):
n0=ND,電子濃度基本與溫度無關(guān)。這個溫度對于非本征半導體材料來說非常重要,(半導體的使用溫度)。耗盡區(qū)的上限溫度越高表示此種半導體的使用溫度越高。35第三十五頁,共45頁。本征半導體:1/Tnin型——耗盡區(qū),因為所有的施主原子因為失去電子而離子化P型——飽和區(qū),因為所有的受主原子因為得到電子而離子化高溫區(qū):本征激發(fā)區(qū)36第三十六頁,共45頁。四半導體中載流子的運動
載流子在電場作用下的運動稱漂移運動,所形成的電流稱漂移電流。漂移與漂移電流半導體載流子沒有電場→載流子是無規(guī)則的隨機運動→不會產(chǎn)生電流加上電場→載流子定向運動→會產(chǎn)生電流
電子電流空穴電流37第三十七頁,共45頁。漂移速度:遷移率,單位電場強度作用下,載流子的平均漂移速度。表明了載流子在半導體材料中運動的難易程度。(cm2/V.S)與材料性質(zhì),摻雜濃度,載流子種類,溫度有關(guān)38第三十八頁,共45頁。ND0T一定NA0T一定隨著摻雜濃度↑,遷移率↓。因為載流子在遷移過程不僅受到晶格振動的散射還受到雜質(zhì)的散射;(2)當濃度較低時,遷移率接近常數(shù)(載流子主要受晶格振動的散射);39第三十九頁,共45頁。1
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