電池片制程

工藝流程宣講人：某某時(shí)間：XXXX年XX日太陽電池的工作原理

——光生伏特效應(yīng)吸收光子，產(chǎn)生電子空穴對(duì)。電子空穴對(duì)被自建電場(chǎng)分離，在PN結(jié)兩端產(chǎn)生電勢(shì)。將PN結(jié)用導(dǎo)線連接，形成電流。在太陽電池兩端連接負(fù)載，實(shí)現(xiàn)了將光能向電能的轉(zhuǎn)換。目錄太陽能電池工藝基本流程各項(xiàng)注意事項(xiàng)燒結(jié)分選太陽能電池工藝

基本流程

solarcellchnologbasIcprocedure第一章Chapterone前清洗（制絨）去除硅片表面油漬、金屬雜質(zhì)及損傷層，生成絨面，減少光反射，增加光吸收擴(kuò)散形成PN結(jié)后清洗（刻邊/去PSG）刻蝕邊沿N型硅并去除因擴(kuò)散生成的PSGPECVDSiNx減少反射，鈍化界面

絲網(wǎng)印刷/燒結(jié)/測(cè)試形成電極太陽能電池工藝基本流程前清洗(制絨)的目的：形成絨面，減少光的反射，增加硅片對(duì)太陽光的吸收,最終提高電池的光電轉(zhuǎn)換效率去除硅片表面的機(jī)械損傷層清除表面油污和金屬雜質(zhì)6絨面陷光原理圖去除機(jī)械損傷層太陽能電池工藝基本流程7前清洗制絨后的絨面多晶酸制絨后wafer表面形貌蜂窩狀單晶堿制絨后wafer表面形貌金字塔狀太陽能電池工藝基本流程8前清洗工序步驟和作用（酸制絨）1234567Etchbath(HF/HNO3/DIwater)去除硅片表面的機(jī)械損傷層;形成無規(guī)則絨面Rinse1Alkalinerinse(KOH/DIwater)

中和硅片表面的酸；去除表面生成多孔硅Acidicrinse(HF/HCl/DIwater)去氧化層,成疏水性;去除表面金屬雜質(zhì);中和表面殘留的堿Rinse1Rinse1Dryer干燥硅片表面太陽能電池工藝基本流程9前清洗腐蝕深度（1）工序步驟：

制絨→堿洗→酸洗→吹干（2）用到化學(xué)品：硝酸HNO3，氫氟酸HF，氫氧化鉀KOH，鹽酸HCL（3）單面腐蝕深度：

3.2-4.2微米（4）滾輪速度范圍：0.5~1.5m/min(注:前清洗速度最好不要超1.2m/min，速度過快，時(shí)碎片會(huì)堵住噴淋口，清洗后出現(xiàn)臟片)一方面硅片清洗或吹不干凈，擴(kuò)散容易出現(xiàn)藍(lán)黑點(diǎn)片；另一方面碎片高，有(注:前清洗速度最好不要超過1.2m/min，速度過快，一方面硅片清洗或吹不干凈，

擴(kuò)散容易出現(xiàn)藍(lán)黑點(diǎn)片；另一方面碎片高，有時(shí)碎片會(huì)堵住噴淋口，清洗后出現(xiàn)臟片)太陽能電池工藝基本流程10制絨工序控制及注意事項(xiàng)片子表面5S控制

不容許用手摸片子的表片，要勤換手套，避免擴(kuò)散后出現(xiàn)臟片。工序產(chǎn)品單面腐蝕深度控制在3.7±0.5μm范圍之內(nèi),范圍以外的必須通知當(dāng)班工藝技術(shù)員或工程師來做出調(diào)整。前清洗到擴(kuò)散的產(chǎn)品時(shí)間:

最長不能超過3小時(shí),時(shí)間過長硅片會(huì)污染氧化，到擴(kuò)散污染爐管,從而影響后面的電性能及效率，如超過3小時(shí)要進(jìn)行酸洗返工。太陽能電池工藝基本流程11

PN結(jié)的形成如果把一塊本征半導(dǎo)體的兩邊摻入不同的元素，使一邊為P型，另一邊為N型，則在兩部分的接觸面就會(huì)形成一個(gè)特殊的薄層，稱為PN結(jié)。PN結(jié)是構(gòu)成二極管、三極管及可控硅等許多半導(dǎo)體器件的基礎(chǔ)。擴(kuò)散的目的：形成PN結(jié)二.擴(kuò)散太陽能電池工藝基本流程12主要化學(xué)品：三氯氧磷POCl3（劇毒品），熱分解的反應(yīng)式為：POCl3分解產(chǎn)生的P2O5淀積在硅片表面，P2O5與硅反應(yīng)生成SiO2和磷原子，并在硅片表面形成一層磷-硅玻璃，然后磷原子再向硅中進(jìn)行擴(kuò)散POCl3液態(tài)源擴(kuò)散方法具有生產(chǎn)效率較高，得到PN結(jié)均勻、平整和擴(kuò)散層表面良好等優(yōu)點(diǎn)，這對(duì)于制作具有大面積結(jié)的太陽電池是非常重要的擴(kuò)散化學(xué)反應(yīng)原理太陽能電池工藝基本流程13在太陽電池?cái)U(kuò)散工藝中，擴(kuò)散層薄層電阻（方塊電阻）是反映擴(kuò)散層質(zhì)量是否符合設(shè)計(jì)要求的重要工藝指標(biāo)之一。目前生產(chǎn)中，測(cè)量擴(kuò)散層薄層電阻采用四探針法。擴(kuò)散方塊電阻控制在68±10Ω/□之間。擴(kuò)散工藝中的方塊電阻太陽能電池工藝基本流程四探針測(cè)試儀14擴(kuò)散間的環(huán)境溫度要保持在23±3℃，濕度在50%以下。如果環(huán)境條件不符合要求，及時(shí)通知外圍！整個(gè)生產(chǎn)過程中必須配戴雙層手套(棉布手套和PVC手套)，必須帶口罩,嚴(yán)禁不戴手套接觸硅片,嚴(yán)禁用手(包括戴手套)直接接觸硅片絨面。卸片時(shí)絨面不能相互摩擦。各個(gè)爐管內(nèi)的石英舟不可以接觸除石英桌面外的任何地方,任何金屬物品不許放在石英桌面上,避免沾污。方塊電阻平均值如不在68±10Ω/□范圍內(nèi)，需將信息反饋給工藝人員做調(diào)整。（安排返工）擴(kuò)散工序控制及注意事項(xiàng)太陽能電池工藝基本流程15PSG濕法刻蝕目的:

利用HNO3和HF的混合液體對(duì)硅片表面進(jìn)行腐蝕,去除邊緣的N型硅,使得硅片的上下表面相互絕緣刻蝕前n+Si刻蝕后去除磷硅玻璃的目的：磷硅玻璃的存在使得硅片在空氣中表面容易受潮，導(dǎo)致電流的降低和功率的衰減死層的存在大大增加了發(fā)射區(qū)電子的復(fù)合，導(dǎo)致少子壽命降低，進(jìn)而降低了Voc和Isc三.后清洗太陽能電池工藝基本流程16后清洗工序步驟和作用太陽能電池工藝基本流程1234567Etchbath(HF/HNO3/H2SO4/DIwater)邊刻蝕Rinse1Alkalinerinse(KOH/DIwater)

中和硅片表面的酸HFbath(HF/DIwater)去PSGRinse1Rinse1Dryer干燥硅片表面17硅片各邊的絕緣電阻>1000歐姆滾輪速度范圍0.5~1.5m/min (注:后清洗速度最好不要超過1.35m/min，速度過快，一方

面硅片清洗或吹不干凈，PECVD容易出現(xiàn)白點(diǎn)片；另一方面碎片高，有時(shí)碎片會(huì)堵住噴淋口，清洗后出現(xiàn)臟片)刻蝕厚度：0.5-1.5um去磷硅玻璃主要反應(yīng)方程式SiO2+6HF=H2SiF6+2H2O后清洗刻蝕厚度太陽能電池工藝基本流程18后清洗出來的片子，不允許用手摸片子的表面。收片員工只允許接觸片子的邊緣進(jìn)行裝片。并且要勤換手套，避免PECVD后出現(xiàn)臟片！工序產(chǎn)品單面腐蝕深度控制在0.5～1.5μm范圍之內(nèi),且硅片表面刻蝕寬度不超過2mm,范圍以外的必須通知當(dāng)班工藝人員來做出調(diào)整。同時(shí)需要保證刻蝕邊緣絕緣電阻大于1K歐姆。刻蝕槽液面的注意事項(xiàng)：正常情況下液面均處于綠色，如果一旦在流片過程中顏色改變，立即通知工藝人員。后清洗到PECVD的產(chǎn)品時(shí)間最長不能超過4小時(shí),時(shí)間過長硅片會(huì)污染氧化，從而影響產(chǎn)品的電性能及效率。后清洗工序控制及注意事項(xiàng)太陽能電池工藝基本流程19PECVD原理四.PECVDSiNx薄膜PlasmaEnhanceChemicalVapourDeposition

微波等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積荷電粒子被交變電場(chǎng)加速相互碰撞使氣體分子產(chǎn)生電離冷等離子體高化學(xué)活性物質(zhì)自由基離子原子太陽能電池工藝基本流程PECVD的功能20鍍減反射薄膜與絨面結(jié)合,鍍減反射膜可以有效降低光的反射，酸制絨可以將反射率從23降低到7.5左右，基本減少到原來的三分之一。表面鈍化作用薄膜中的H能夠進(jìn)入硅晶體中,鈍化硅中的缺陷,降低表面態(tài)密度,抑制電池表面復(fù)合，增加少子壽命，從而提高太陽電池Isc和Voc優(yōu)良的化學(xué)穩(wěn)定性,卓越的抗氧化和絕緣性能在表面形成一道膜,有助于在燒結(jié)中保護(hù)PN結(jié)

太陽能電池工藝基本流程薄膜質(zhì)量參數(shù)和影響因素21薄膜質(zhì)量參數(shù)薄膜厚度75-85nm（厚膜為85-93nm）折射率2.05-2.15膜厚均勻性（色差）反射率影響因素微波功率反應(yīng)室溫度和壓力傳輸速率氣體流量測(cè)量儀器：橢偏儀測(cè)量后不在范圍→通知工藝PROJECTINGLENSANGLERANGERECEIVINGLENSINDIVIDUAIANGLESOFINCIDENCELIGHTSOURCESMAINANGLEOFINCIDENCEARRAYDETECTORMILM?T,n，kFILM?T，n，kSUBSTRATEn，k太陽能電池工藝基本流程22PECVD工序控制及注意事項(xiàng)首先要時(shí)常檢查石英管(國產(chǎn)石英管)使用壽命是否達(dá)到86小時(shí),如果快達(dá)到,準(zhǔn)備更換,否則繼續(xù)使用會(huì)導(dǎo)致膜厚折射率不正常,片子發(fā)紅。使用橢偏儀測(cè)試膜厚折射率：厚度范圍是75-85nm，折射率為2.05-2.15，對(duì)應(yīng)的膜的顏色是均勻的深藍(lán)色、藍(lán)色、淡藍(lán)色，若有偏差或者顏色不均勻，通知工藝人員調(diào)整。裝片時(shí)檢驗(yàn)硅片表面是否有水珠，若有，晾干再生產(chǎn)，并且裝片時(shí)要確保擴(kuò)散面向下。為了保證鍍膜的均勻度,要保證整框各個(gè)放置位置上都有硅片,不夠的要用假片進(jìn)行補(bǔ)充。片子卸完時(shí),再次確認(rèn)掛鉤印方向必須都一致。太陽能電池工藝基本流程23絲網(wǎng)印刷原理絲網(wǎng)印刷是通過刮條擠壓絲網(wǎng)彈性形變后將漿料漏印在需要印刷的材料上的一種印刷方式，這也是目前普遍采用的一種電池工藝。

五.絲網(wǎng)/燒結(jié)/測(cè)試太陽能電池工藝基本流程1WB傳送2WB傳送3WB傳送4WB傳送5WB傳送6WB傳送7WB傳送1#絲網(wǎng)機(jī)

銀/鋁漿背電極印刷

1#烘箱

2#絲網(wǎng)機(jī)

鋁漿背電場(chǎng)印刷3#絲網(wǎng)機(jī)銀漿柵極印刷2#烘箱

電極燒結(jié)

(烘干+燒結(jié))測(cè)試

分選太陽能電池工藝基本流程絲網(wǎng)印刷各階段硅片圖形25印刷背電極后的硅片印刷背電場(chǎng)后的硅片印刷正電極后的硅片太陽能電池工藝基本流程背電極印刷和相關(guān)參數(shù)26絲網(wǎng)材質(zhì)不銹鋼目數(shù)280目絲直徑46-53μm絲網(wǎng)厚度82-90μm膜厚15μm靜態(tài)張力25N印刷速度250mm/s反料速度400mm/s絲網(wǎng)間距-1300μm刮板壓力65-85N脫離速度35mm/s刮板高度-1200μm烘箱溫區(qū)1234全程時(shí)間溫度100℃120℃150℃170℃8s銀鋁漿是由銀粉,鋁粉,無機(jī)添加物和有機(jī)載體組成使用前攪拌約45分鐘,攪拌均勻后使用有良好的歐姆接觸特性和焊接性能,附著性好在印刷圖形完好時(shí),印刷頭壓力在范圍內(nèi)盡可能的小

太陽能電池工藝基本流程背電場(chǎng)印刷和相關(guān)參數(shù)27絲網(wǎng)材質(zhì)不銹鋼目數(shù)320目絲直徑23-28μm絲網(wǎng)厚度46μm膜厚15μm膜網(wǎng)總厚60-63μm印刷速度250mm/s反料速度400mm/s絲網(wǎng)間距-1300μm刮板壓力80-85N脫離速度35mm/s刮板高度-1200μm烘箱溫區(qū)1234全程時(shí)間溫度100℃120℃140℃160℃8s鋁漿由鋁粉,無機(jī)添加物和有機(jī)載體組成。使用前先攪拌約15分鐘,均勻后使用。上述參數(shù)會(huì)根據(jù)漿料的粘稠度、網(wǎng)版性能、背面場(chǎng)印刷量做出適當(dāng)調(diào)整影響所印鋁漿的厚度因素有：絲網(wǎng)目數(shù)、網(wǎng)線直徑、開孔率、乳膠層厚度、印刷頭壓力、印刷頭硬度、印刷速度及漿料粘度。太陽能電池工藝基本流程正面柵極印刷和相關(guān)參數(shù)28絲網(wǎng)材質(zhì)不銹鋼目數(shù)280目絲直徑30μm絲網(wǎng)厚度50μm膜厚15μm靜態(tài)張力26N印刷速度180mm/s反料速度400mm/s絲網(wǎng)間距-1400μm刮板壓力80-85N脫離速度10mm/s刮板高度-1300μm正面柵極銀漿是由銀粉,無機(jī)添加物和有機(jī)載體組成的。使用前先用攪拌機(jī)攪拌約45分鐘。漿料攪拌均勻后方可使用,參數(shù)的調(diào)整以圖形完整、線條飽滿、

印刷漿料重量適當(dāng)為基準(zhǔn)。太陽能電池工藝基本流程29承載器中硅片的放置方向把硅片放入絲網(wǎng)承載器時(shí)，必須是正面（鍍膜面）向下，并需確認(rèn)PEVCD的掛鉤印方向是否在與背電極垂直的一邊上。放片時(shí)要注意避免人為造成的崩邊缺角片。更換網(wǎng)板準(zhǔn)備需要檢查網(wǎng)板中文名稱(背電極網(wǎng)板)和其膜厚(28~30um)，觀察其產(chǎn)地和類型是否與現(xiàn)用網(wǎng)板相符合。并對(duì)著燈光觀察網(wǎng)板是否正常。（觀察是否有黑點(diǎn)、漏洞、粘污等現(xiàn)象）并如實(shí)、及時(shí)填寫《網(wǎng)板更換記錄表》。太陽能電池工藝基本流程30更換刮條準(zhǔn)備更換刮條時(shí)，必須先確認(rèn)整個(gè)側(cè)面是否平整或有無缺口，用手指摸刮條棱角觀察是否平整并將刮條在平整的玻璃門上壓緊，從側(cè)面觀察刮條棱角的平整度，且要徹底清潔整個(gè)刮頭，不能有干的漿料在其表面。將更換下的刮條用小刀將使用過的一面邊角削去。

漿料準(zhǔn)備

1號(hào)機(jī)的銀鋁漿（或PV505銀漿）,攪拌時(shí)間為10分鐘（PV505為1分鐘）,手動(dòng)攪拌。2號(hào)機(jī)、3號(hào)機(jī)漿料攪拌按照《攪拌器操作規(guī)程》進(jìn)行作業(yè)。3號(hào)機(jī)銀漿攪拌時(shí)間必須達(dá)到5小時(shí)以上，鋁漿攪拌時(shí)間在0.5-3小時(shí)之間。需要使用銀漿或鋁漿時(shí)，則取下漿料，打開瓶蓋，用干凈的刮漿板將沾在瓶蓋上的漿料刮進(jìn)瓶中（如圖11），并用刮漿板手動(dòng)將瓶中漿料攪拌5-10下后，此漿料方可于3號(hào)機(jī)和2號(hào)機(jī)分別投入正常使用。太陽能電池工藝基本流程各項(xiàng)注意事項(xiàng)

Pointsforattentlon第二章Chaptertwo32加漿料的標(biāo)準(zhǔn)：倒入漿料需要注意適量,漿料在回料的時(shí)候必須能完全覆蓋整個(gè)印刷圖形，且回漿刀到達(dá)最里端時(shí)，整個(gè)刀面必須有漿料流下。但也不允許把網(wǎng)板整面都鋪滿漿料。加漿料時(shí)采用少量多次的原則。

在各道使用的器件（如刮頭、刮條等）不允許拿到其他機(jī)臺(tái)混用。刮漿板用完需立即做清理，保持刮漿板表面無漿料，并將干凈的鏟刀懸掛在設(shè)備側(cè)面或放在干凈的無塵布上。各機(jī)臺(tái)的刮漿板不可混用：1號(hào)機(jī)為黃色，2號(hào)機(jī)為青色，3號(hào)機(jī)為黑色。各機(jī)臺(tái)之間的操作員工實(shí)行責(zé)任制，不可隨便串崗，防止?jié){料的污染。

刮漿板用完需立即做清理，保持懸掛在設(shè)備側(cè)面的鏟刀表面無漿料。取放硅片時(shí)要戴好干凈的手套，不允許直接用手接觸硅片，手套臟后必須立即更換。各項(xiàng)注意事項(xiàng)33在生產(chǎn)過程中要保持印刷機(jī)的玻璃門保持關(guān)閉狀態(tài)：1、保持印刷機(jī)中的濕度2、盡量避免印刷機(jī)中有機(jī)氣體的逸出。不良片的處理：在三號(hào)機(jī)前發(fā)現(xiàn)正面有漿料污染的片子時(shí)，要先進(jìn)行隔離，待工藝評(píng)估后進(jìn)行集中處理，防止有1、2號(hào)機(jī)的漿料污染三號(hào)機(jī)，造成銀漿的漿料污染。臺(tái)面紙只要沾有漿料必須立即做出更換。各項(xiàng)注意事項(xiàng)34各機(jī)臺(tái)網(wǎng)板一旦出現(xiàn)漏漿現(xiàn)象（無論是否印刷區(qū)域），必須立即進(jìn)行更換，并按照要求填寫網(wǎng)板更換記錄。網(wǎng)板上不允許貼膠帶，以防印刷不均勻，易造成隱裂或印刷不良或脫落。網(wǎng)板印刷片數(shù)達(dá)到作業(yè)指導(dǎo)書規(guī)定時(shí)（意即達(dá)到網(wǎng)板壽命時(shí)），必須立即進(jìn)行更換網(wǎng)板，并及時(shí)按照要求填寫網(wǎng)板更換記錄。一旦網(wǎng)板漿料無法完全刮凈或片子表面出現(xiàn)明顯印痕時(shí)（以125為例）需及時(shí)更換網(wǎng)板。各項(xiàng)注意事項(xiàng)35

烘箱托盤上不能有碎片存在，必須做好及時(shí)清理工作。烘箱門在無特殊情況下要一直保持關(guān)閉狀態(tài)。1、2號(hào)烘箱要每隔三小時(shí)清理一次，并及時(shí)填寫《烘箱清理記錄表》。擋片必須用未經(jīng)印刷的缺角片，擋片必須嚴(yán)格將批與批之間區(qū)分開。這樣缺角片在經(jīng)過印刷時(shí)會(huì)報(bào)警，提醒員工下一批的到來，同時(shí)還可避免當(dāng)片的印刷導(dǎo)致的漿料污染。烘箱清理記錄表各項(xiàng)注意事項(xiàng)36印刷重量必須保證在PPM范圍內(nèi)（銀鋁漿：0.18±0.03g；鋁漿：1.6±0.3g；銀漿：0.21±0.03g），若超出范圍立即通知工藝人員進(jìn)行調(diào)整。稱重必須保證及時(shí)、準(zhǔn)確、真實(shí)。并及時(shí)的填寫在記錄表和流程單上，謄寫到網(wǎng)上。（每批稱重至少2片）稱重時(shí)硅片不能靠電子天平周邊，并必須將天平側(cè)門關(guān)上。各項(xiàng)注意事項(xiàng)37換下網(wǎng)板時(shí)，及時(shí)將網(wǎng)板里面的漿料收集到漿料瓶里。如果網(wǎng)板未有異常且網(wǎng)板壽命未到，則可將網(wǎng)板洗凈備用，否則,在無特殊情況下可直接將網(wǎng)板割去。瓶上加蓋的漿料每停2個(gè)小時(shí)需要重新進(jìn)行攪拌,攪拌時(shí)間為2-3分鐘。每瓶開封后最長使用時(shí)間為7天。停留在網(wǎng)板中的漿料在超過45分鐘后就需要報(bào)廢并重新更換網(wǎng)板。不允許用敲打電池片來檢驗(yàn)是否有隱裂,請(qǐng)拿起硅片目視檢查。在生產(chǎn)過程中要用干凈的無塵布（用戴著干凈的手套握住）拍打臺(tái)面，防止有細(xì)小的碎屑遺留在臺(tái)面上。塵無各項(xiàng)注意事項(xiàng)38生產(chǎn)過程中要不定時(shí)檢查印刷狀況或是否有隱裂，一旦發(fā)現(xiàn)有異常要及時(shí)向工藝或設(shè)備反饋。各個(gè)機(jī)臺(tái)要保證印刷圖形的完整、不偏移，印刷平滑，無不良狀況、無印刷缺失。三號(hào)機(jī)還易出現(xiàn)粘板、斷柵、虛印、柵線加粗等問題。生產(chǎn)過程中的印刷缺陷及不良：各項(xiàng)注意事項(xiàng)燒結(jié)

Sinter第三章ChapterThree

燒結(jié)爐的作用:

使上下電極形成歐姆接觸,提高轉(zhuǎn)換效率

歐姆接觸:半導(dǎo)體材料與金屬接觸時(shí)沒有形成整流接觸,歐姆接觸具有線形和對(duì)稱V-I特性,且接觸時(shí)的電阻遠(yuǎn)小于材料電阻的一種接觸,因此,當(dāng)電流通過時(shí)良好的歐姆接觸,不會(huì)產(chǎn)生顯著的壓降和功耗。40燒結(jié)爐的結(jié)構(gòu):上料區(qū)----烘干區(qū)----燒結(jié)區(qū)----回溫區(qū)(冷卻區(qū))---下料區(qū)燒結(jié)燒結(jié)溫度的設(shè)定41溫區(qū)Dry1Dry2Dry3Dry4FRN1FRN2FRN3FRN4FRN5FRN6帶速溫度200250270300400445570675837872230mm/min溫度可根據(jù)實(shí)際情況作出±10℃的調(diào)整，一般很少做大幅度的變動(dòng)當(dāng)工藝初始化、更換漿料型號(hào)、特殊規(guī)格的硅材料，可考慮采用差異較大的燒結(jié)溫度進(jìn)行燒結(jié)燒結(jié)燒結(jié)對(duì)電池片的影響銀漿的燒結(jié)很重要，對(duì)電池片電性能影響主要表現(xiàn)在串聯(lián)電阻和FF的影響鋁漿燒結(jié)可形成良好的歐姆接觸,局部的受熱不均和散熱不均可能會(huì)導(dǎo)致起包，嚴(yán)重的會(huì)起鋁珠背面場(chǎng)經(jīng)燒結(jié)后形成鋁硅合金，雜質(zhì)在鋁硅合金中的溶解度要遠(yuǎn)大于在硅中的溶解度，通過吸雜作用可減少金屬與硅交接處的少子復(fù)合，從而提高開路電壓和短路電流，改善對(duì)紅外線的響應(yīng)42燒結(jié)后的氮化硅表面顏色應(yīng)該均勻，無明顯的色差電極無斷線背場(chǎng)無鋁珠電池最大彎曲度不超過1mm燒結(jié)43T測(cè)試溫度

E測(cè)試光強(qiáng)

Pmpp最大輸出功率Umpp最大輸出電壓

Impp最大輸出電流Uoc