1.2MOS集成電路的基本制造工藝1.2MOS集成電路的基本制造工藝MOS集成電路的基本制造工藝課件CMOS工藝技術(shù)是當代VLSI工藝的主流工藝技術(shù)，它是在PMOS與NMOS工藝基礎(chǔ)上發(fā)展起來的。其特點是將NMOS器件與PMOS器件同時制作在同一硅襯底上。

CMOS工藝技術(shù)一般可分為三類，即

P阱CMOS工藝

N阱CMOS工藝雙阱CMOS工藝CMOS工藝技術(shù)是當代VLSI工藝的主流工藝技術(shù)，它是在PMP阱CMOS工藝

P阱雜質(zhì)濃度的典型值要比N型襯底中的高5~10倍才能保證器件性能。然而P阱的過度摻雜會對N溝道晶體管產(chǎn)生有害的影響，如提高了背柵偏置的靈敏度，增加了源極和漏極對P阱的電容等。P阱CMOS工藝P阱雜質(zhì)濃度的典型值要P阱CMOS工藝

電連接時，P阱接最負電位，N襯底接最正電位，通過反向偏置的PN結(jié)實現(xiàn)PMOS器件和NMOS器件之間的相互隔離。P阱CMOS芯片剖面示意圖見下圖。P阱CMOS工藝電連接時，P阱接最負電位，N襯底接最N阱CMOS工藝

N阱CMOS正好和P阱CMOS工藝相反，它是在P型襯底上形成N阱。因為N溝道器件是在P型襯底上制成的，這種方法與標準的N溝道MOS(NMOS)的工藝是兼容的。在這種情況下，N阱中和了P型襯底，P溝道晶體管會受到過渡摻雜的影響。N阱CMOS工藝N阱CMOS正好和P阱N阱CMOS工藝

早期的CMOS工藝的N阱工藝和P阱工藝兩者并存發(fā)展。但由于N阱CMOS中NMOS管直接在P型硅襯底上制作，有利于發(fā)揮NMOS器件高速的特點，因此成為常用工藝。N阱CMOS工藝早期的CMOS工藝的N阱工N阱CMOS芯片剖面示意圖N阱CMOS芯片剖面示意圖見下圖。N阱CMOS芯片剖面示意圖N阱CMOS芯片剖面示意圖見下圖。雙阱CMOS工藝

隨著工藝的不斷進步，集成電路的線條尺寸不斷縮小，傳統(tǒng)的單阱工藝有時已不滿足要求，雙阱工藝應(yīng)運而生。雙阱CMOS工藝隨著工藝的不斷進步，集成電路的線條尺寸不斷雙阱CMOS工藝通常雙阱CMOS工藝采用的原始材料是在N+或P+襯底上外延一層輕摻雜的外延層，然后用離子注入的方法同時制作N阱和P阱。雙阱CMOS工藝通常雙阱CMOS工藝采用的原始材料是在N+或雙阱CMOS工藝使用雙阱工藝不但可以提高器件密度，還可以有效的控制寄生晶體管的影響，抑制閂鎖現(xiàn)象。雙阱CMOS工藝使用雙阱工藝不但可以提高器件密度，還可以有效雙阱CMOS工藝主要步驟

雙阱CMOS工藝主要步驟如下：（1）襯底準備：襯底氧化，生長Si3N4。（2）光刻P阱，形成阱版，在P阱區(qū)腐蝕Si3N4，

P阱注入。（3）去光刻膠，P阱擴散并生長SiO2。（4）腐蝕Si3N4，N阱注入并擴散。（5）有源區(qū)襯底氧化，生長Si3N4，有源區(qū)光刻和腐蝕，形成有源區(qū)版。（6）

N管場注入光刻，N管場注入。雙阱CMOS工藝主要步驟雙阱CMOS工藝主要步驟如下：雙阱CMOS工藝主要步驟（7）場區(qū)氧化，有源區(qū)Si3N4和SiO2腐蝕，柵氧化，溝道摻雜（閾值電壓調(diào)節(jié)注入）。（8）多晶硅淀積、摻雜、光刻和腐蝕，形成多晶硅版。（9）

NMOS管光刻和注入硼，形成N+版。（10）

PMOS管光刻和注入磷，形成P+版。（11）硅片表面生長SiO2薄膜。（12）接觸孔光刻，接觸孔腐蝕。（13）淀積鋁，反刻鋁，形成鋁連線。雙阱CMOS工藝主要步驟（7）場區(qū)氧化，有源區(qū)Si3N4和SMOS工藝的自對準結(jié)構(gòu)自對準是一種在圓晶片上用單個掩模形成不同區(qū)域的多層結(jié)構(gòu)的技術(shù)，它消除了用多片掩模所引起的對準誤差。在電路尺寸縮小時，這種有力的方法用得越來越多。有許多應(yīng)用這種技術(shù)的例子，例子之一是在多晶硅柵MOS工藝中，利用多晶硅柵極對柵氧化層的掩蔽作用，可以實現(xiàn)自對準的源極和漏極的離子注入，如圖所示。MOS工藝的自對準結(jié)構(gòu)自對準是一種在圓晶片上用單個掩模形成不自對準工藝示意圖自對準工藝示意圖自對準工藝上圖中可見形成了圖形的多晶硅條用作離子注入工序中的掩模，用自己的“身體”擋住離子向柵極下結(jié)構(gòu)（氧化層和半導體）的注入，同時使離子對半導體的注入正好發(fā)生在它的兩側(cè)，從而實現(xiàn)了自對準。而且原來呈半絕緣的多晶硅本身在大量注入后變成低電阻率的導電體。可見多晶硅的應(yīng)用實現(xiàn)“一箭三雕”之功效。自對準工藝上圖中可見形成了圖形的多晶硅條用作離子注入工序中的MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件

無定形硅無定形硅MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件銻離子銻離子MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件氬氬MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件炭化硅炭化硅MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造工藝課件MOS集成電路的基本制造