住宅區(qū)和5ac-住宅建筑內(nèi)光纖到戶通信設(shè)施工程建材及裝5ac-飾材料經(jīng)營場館建筑設(shè)計筑設(shè)計精品文檔2025版潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境靜電控制技術(shù)要求前言1范圍2規(guī)范性引用文件3術(shù)語和定義4靜電來源和危害5技術(shù)要求附錄A(資料性)靜電來源與控制要素附錄B(資料性)技術(shù)措施附錄C(資料性)防靜電地面類型附錄D(資料性)EPA分級或分類附錄E(資料性)防靜電設(shè)備和工具性能參考文獻(xiàn)住宅區(qū)和5ac-住宅建筑內(nèi)光纖到戶通信設(shè)施工程建材及裝5ac-飾材料經(jīng)營場館建筑設(shè)計筑設(shè)計精品文檔GB/T33555-2025潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境靜電控制技術(shù)要求2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可GB/T25915.3潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第3部分：檢測方法GB/T25915.4潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第4部分：設(shè)計、建造、啟動GB/T25915.13潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第13部分：達(dá)到粒子和化GB/T25915.14潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第14部分：按粒子濃度評GB/T25915.15潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第15部分：按氣態(tài)化學(xué)物住宅區(qū)和5ac-住宅建筑內(nèi)光纖到戶通信設(shè)施工程建材及裝5ac-飾材料經(jīng)營場館建筑設(shè)計筑設(shè)計精品文檔具有不同靜電電位的物體之間，由于直接接觸或靜電場感應(yīng)引3.5防靜電工作區(qū)electrostaticdischargeProtected注1:此術(shù)語僅在潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境內(nèi)操作靜電放電敏感注2:靜電放電敏感產(chǎn)品指易被靜電場或靜電放電損壞的敏感器住宅區(qū)和5ac-住宅建筑內(nèi)光纖到戶通信設(shè)施工程建材及裝5ac-飾材料經(jīng)營場館建筑設(shè)計筑設(shè)計精品文檔在靜電場影響下引起導(dǎo)體上電荷重新分布，并在其表面產(chǎn)生電荷由于物體的接觸分離、靜電感應(yīng)、介質(zhì)極化和帶電微粒的附著等原因，使物體正負(fù)電荷失去平衡或電荷分布不均，在宏觀上呈現(xiàn)帶電防靜電工作區(qū)中對地絕緣的導(dǎo)體。注：對地電阻大于或等于1.0×1011Ω的導(dǎo)體。任一類型可用于進(jìn)行沒有靜電防護(hù)的靜電放電敏感工作或處理的表面。注1:包括人員操作表面和設(shè)備工作表面。注2:人員操作表面指人員在潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中處置靜電敏感物的接觸面注3:設(shè)備工作表面指設(shè)備在潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中與靜電敏感物的接觸面。3.10潔凈室適用性cleanroomsuitability對目標(biāo)潔凈室(區(qū)),維持關(guān)鍵受控參數(shù)或工況的能力。注：本定義是指設(shè)備和材料的使用。[來源：GB/T25915.15—2022,3.7,有修改]住宅區(qū)和5ac-住宅建筑內(nèi)光纖到戶通信設(shè)施工程建材及裝5ac-飾材料經(jīng)營場館建筑設(shè)計筑設(shè)計精品文檔以框架為支撐的內(nèi)裝部分的總稱。注：包括吊頂、墻體、地面、門窗及其相關(guān)裝置、各種接口及3.12離子化靜電消除器ionizingelectrostatic將空氣電離進(jìn)而產(chǎn)生正、負(fù)離子，以中和帶電物體表面靜電荷的注：包括離子風(fēng)機(jī)、離子風(fēng)槍、離子棒、離子風(fēng)嘴、空間離子棒、除靜電風(fēng)機(jī)過濾單元、光離子型靜電消除器等。3.13靜電耗散材料electrostaticdissiPative點(diǎn)對點(diǎn)電阻在1.0×104Q~1.0×1011Ω的范圍的材料。3.14等電位聯(lián)結(jié)equiPotentialbonding為了達(dá)到等電位，多個可導(dǎo)電部分間的電連接。4靜電來源和危害4.1來源4.1.1潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中靜電起電的主要方式如摩擦起電：不同物體或介質(zhì)接觸后因出現(xiàn)相對位移產(chǎn)生靜電；感應(yīng)起電：在靜電場作用下，導(dǎo)體內(nèi)電荷重新分布產(chǎn)生帶電現(xiàn)住宅區(qū)和5ac-住宅建筑內(nèi)光纖到戶通信設(shè)施工程建材及裝5ac-飾材料經(jīng)營場館建筑設(shè)計筑設(shè)計精品文檔4.1.2潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中常見的靜電來源與靜電控制要素見附表1影響靜電控制的環(huán)境要素影響影響靜電起電(ESC)的電壓，同等條件下相對濕度越低ESC電壓越高粒子懸浮粒子和表面粒子會造成摩擦起電和傳導(dǎo)起電，也是吸附帶電的載體氣體流速會影響摩擦起電的起電量和帶電微粒的移動速度電磁輻射和電離輻射電磁感應(yīng)和電離效應(yīng)會造成感應(yīng)起電4.2危害4.2.1潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中的靜電危害主要由靜電吸引(ESA)、靜電放電(ESD)和靜電感應(yīng)(住宅區(qū)和5ac-住宅建筑內(nèi)光纖到戶通信設(shè)施工程建材及裝5ac-飾材料經(jīng)營場館建筑設(shè)計筑設(shè)計精品文檔度或靜電放電敏感(ESDS)產(chǎn)品、材料、設(shè)備和人員時會造成靜電危·帶電器件放電。帶電器件接近具有不同靜電電位的物體時產(chǎn)產(chǎn)生ESD。住宅區(qū)和5ac-住宅建筑內(nèi)光纖到戶通信設(shè)施工程建材及裝5ac-飾材料經(jīng)營場館建筑設(shè)計筑設(shè)計精品文檔·使用不符合潔凈室適用性要求和工藝要求的防靜電材料或設(shè)備、設(shè)施；·離子化靜電消除器選型、安裝位置或屏蔽措施不當(dāng)；5技術(shù)要求5.1一般要求5.1.1潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中的電氣裝置安全防護(hù)應(yīng)符合GB/T16895.10中的相關(guān)要求。5.1.2潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中的接地系統(tǒng)要求如下所述?！崈羰宜诮ㄖ漓o電接地干線對地電阻抗應(yīng)小于或等于10接地網(wǎng)格、接地裝置)與接地干線之間的電阻值應(yīng)小于或等配易燃易爆介質(zhì)的工藝管道、潔凈室內(nèi)的工藝設(shè)備及其防爆柜住宅區(qū)和5ac-住宅建筑內(nèi)光纖到戶通信設(shè)施工程建材及裝5ac-飾材料經(jīng)營場館建筑設(shè)計筑設(shè)計精品文檔均應(yīng)接地，接地方式應(yīng)采用焊接或機(jī)械連接方式，其中管道法蘭應(yīng)跨接。接地系統(tǒng)各連接部位宜設(shè)置在下夾層或活動地板下方?！崈羰覂?nèi)由TN交流配電系統(tǒng)供電時應(yīng)采用TN-S或TN-C-S系統(tǒng)的接地方式，爆炸性環(huán)境配電系統(tǒng)應(yīng)采用TN-S系統(tǒng)接地方式。防靜電等電位聯(lián)結(jié)導(dǎo)體選用方式見附錄B的表B.1?！な褂没顒拥匕宓臐崈羰曳漓o電接地系統(tǒng)可利用支架系統(tǒng)構(gòu)成框架聯(lián)結(jié)網(wǎng)絡(luò)，接地連接導(dǎo)線應(yīng)選用有絕緣保護(hù)的軟銅線，截面積不應(yīng)小于2.5mm2?！崈羰抑幸兹家妆橘|(zhì)儲存容器，容易產(chǎn)生靜電的設(shè)備、儀器，以及對靜電敏感的儀器應(yīng)采取單獨(dú)接地措施。5.1.3潔凈室EPA區(qū)域內(nèi)宜避免存在孤立導(dǎo)體。無法避免時，孤立導(dǎo)體與ESDS產(chǎn)品、設(shè)備或接地點(diǎn)間的電位差應(yīng)按照工藝要求進(jìn)行控制。5.1.4ESDS產(chǎn)品300mm范圍內(nèi)存在絕緣物體時，應(yīng)按照工藝要求布置離子化靜電消除設(shè)備。同時應(yīng)制定絕緣物體管控清單，并根據(jù)工藝和風(fēng)險評估確定其靜電電壓監(jiān)控要求。5.2人員5.2.1從事處置或直接接觸ESDS物品的人員應(yīng)接受專門培訓(xùn)。住宅區(qū)和5ac-住宅建筑內(nèi)光纖到戶通信設(shè)施工程建材及裝5ac-飾材料經(jīng)營場館建筑設(shè)計筑設(shè)計精品文檔5.2.3人員在潔凈室內(nèi)活動的著裝及其他防靜電設(shè)施佩戴應(yīng)滿足各行5.2.4人員在嚴(yán)于(含)ISO5級的潔凈室內(nèi)應(yīng)穿著連體式防靜電無塵使用要求選擇防靜電無塵服。防靜電無塵服性能指標(biāo)見表B.2。~3.5×107Ω范圍。5.2.7通過防靜電無塵服、防靜電鞋(套)實(shí)現(xiàn)人員等電位聯(lián)結(jié)時，人5.3工作表面5.3.1潔凈室內(nèi)與ESDS產(chǎn)品接觸的人員操作表面和設(shè)備工作表面應(yīng)5.3.2潔凈室內(nèi)工作表面的靜電控制措施要求如下：住宅區(qū)和5ac-住宅建筑內(nèi)光纖到戶通信設(shè)施工程建材及裝5ac-飾材料經(jīng)營場館建筑設(shè)計筑設(shè)計精品文檔·工作表面應(yīng)進(jìn)行等電位聯(lián)結(jié)，工作表面對地電阻應(yīng)小于1.0×·人員操作表面的截面風(fēng)速宜小于或等于0.2m/s;子化靜電消除器，接地時設(shè)備工作表面對地電阻值應(yīng)小于1.05.4環(huán)境和區(qū)域5.4.1潔凈室內(nèi)應(yīng)控制圍護(hù)結(jié)構(gòu)、通風(fēng)凈化空調(diào)系統(tǒng)、穿過潔凈室工5.4.2潔凈室EPA圍護(hù)結(jié)構(gòu)的靜電控制要求如下所述。潔性和GB/T25915.15評估其潔凈室適用性。·潔凈室EPA圍護(hù)結(jié)構(gòu)應(yīng)按GB/T25915.13有生物污染控制要求的潔凈室EPA圍護(hù)結(jié)構(gòu)的清潔消毒應(yīng)符住宅區(qū)和5ac-住宅建筑內(nèi)光纖到戶通信設(shè)施工程建材及裝5ac-飾材料經(jīng)營場館建筑設(shè)計筑設(shè)計精品文檔·潔凈室EPA內(nèi)防靜電地面的點(diǎn)對點(diǎn)電阻應(yīng)在1.0×105Ω~1.0×109Ω之間，吊頂、墻體、門、窗面層宜涂覆靜電耗護(hù)結(jié)構(gòu)對地電阻值應(yīng)小于1.0×109Ω。據(jù)工藝和設(shè)計要求選用通體防靜電材料或雙面涂覆靜電耗散材靜電地面類型見附錄C。5.4.3潔凈室通風(fēng)凈化空調(diào)系統(tǒng)的靜電控制要求如下：·過濾材料點(diǎn)對點(diǎn)電阻宜小于1.0×109Ω;住宅區(qū)和5ac-住宅建筑內(nèi)光纖到戶通信設(shè)施工程建材及裝5ac-飾材料經(jīng)營場館建筑設(shè)計筑設(shè)計精品文檔單元或末端裝置外殼表面宜涂覆靜電耗散材料，對地或等電位聯(lián)結(jié)電阻應(yīng)小于1.0×109Ω;5.4.4穿過潔凈室的工藝管道靜電控制要求如下：·工藝管道點(diǎn)對點(diǎn)電阻應(yīng)小于1.0×109Ω;·輸配易燃易爆介質(zhì)的工藝管道接地應(yīng)滿足5.1.1和5.1.2的5.4.5潔凈室氣流中的游離電荷控制要求如下所述。離子化靜電消除器性能指標(biāo)見表B.3,不同場景下離子化靜電消除器配置見表B.4?！蜗蛄鳚崈羰壹皾崈艄ぷ髋_、設(shè)備艙體等工藝對氣流穩(wěn)定性有要求的潔凈微環(huán)境，不應(yīng)使用離子風(fēng)機(jī)、離子風(fēng)槍等靜電消除住宅區(qū)和5ac-住宅建筑內(nèi)光纖到戶通信設(shè)施工程建材及裝5ac-飾材料經(jīng)營場館建筑設(shè)計筑設(shè)計精品文檔5.4.6潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中的EPA宜按照工藝和功能要求進(jìn)行5.5設(shè)備及工具5.5.1使用交流電的工藝設(shè)備和工具與ESDS產(chǎn)品接觸表面的接地電阻應(yīng)小于或等于10Ω,其金屬機(jī)殼應(yīng)通過線纜距離ESDS產(chǎn)品小于300mm時應(yīng)包裹具備防靜電性能的保護(hù)外5.5.2不使用交流電的工藝設(shè)備和工具，宜通過人員、工作臺面、地5.5.3離子化靜電消除器的使用和配置除應(yīng)符合5.4.5外，還應(yīng)滿5.5.4潔凈室EPA區(qū)域常見防靜電設(shè)備和工具性能指標(biāo)見附錄E。5.6ESDS產(chǎn)品包裝、轉(zhuǎn)運(yùn)和儲存住宅區(qū)和5ac-住宅建筑內(nèi)光纖到戶通信設(shè)施工程建材及裝5ac-飾材料經(jīng)營場館建筑設(shè)計筑設(shè)計精品文檔5.6.3潔凈室ESDS產(chǎn)品包裝靜電控制符合以下要求：·ESDS產(chǎn)品轉(zhuǎn)運(yùn)至非靜電防護(hù)區(qū)時，其包裝制品應(yīng)具備靜電屏蔽性能。5.6.4ESDS產(chǎn)品轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備點(diǎn)對點(diǎn)電阻應(yīng)在1.0×105Q~1.0×109Q之間，產(chǎn)品在潔凈室EPA區(qū)域內(nèi)、不同等級或類型EPA區(qū)域之間轉(zhuǎn)運(yùn)時轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備應(yīng)與地面應(yīng)處于等電位。轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備進(jìn)入潔凈度等級要求更嚴(yán)的區(qū)域時，應(yīng)進(jìn)行表面清潔處理。5.6.5ESDS產(chǎn)品存儲容器、設(shè)施宜具備靜電屏蔽性能。5.6.6使用自動化傳輸設(shè)備運(yùn)輸ESDS產(chǎn)品時，宜監(jiān)測ESDS產(chǎn)品處置過程中的靜電電壓。5.7監(jiān)測和檢測5.7.1潔凈室靜電監(jiān)測和檢測設(shè)備、設(shè)施、儀表應(yīng)符合潔凈室適用性5.7.2潔凈室靜電監(jiān)測和檢測宜按照表2和GB/T25915.3中相關(guān)規(guī)定執(zhí)行。表2潔凈室靜電監(jiān)測和檢測住宅區(qū)和5ac-住宅建筑內(nèi)光纖到戶通信設(shè)施工程建材及裝5ac-飾材料經(jīng)營場館建筑設(shè)計筑設(shè)計精品文檔每月√√電壓√佩戴腕帶情況下人體對地連接(即腕帶穿戴狀態(tài)對地電阻)√√√移動設(shè)備(手推車、搬運(yùn)車、吊車等)√專用地線接地電阻“√(連續(xù))靜電監(jiān)測儀√防靜電無塵服√防靜電屏蔽包裝表面點(diǎn)對點(diǎn)電阻、靜電放電屏蔽能量“電烙鐵對地電阻√√需要某種形式的測試標(biāo)識，如標(biāo)簽、標(biāo)牌或記錄表格等。接地線路電阻(接地體與大地間的電阻)每年測試一次。潔凈室EPA區(qū)域內(nèi)溫度，相對濕度沒有條件實(shí)現(xiàn)連續(xù)記錄的，每日定時記穿戴或使用防靜電設(shè)施時進(jìn)行監(jiān)測和檢測。每次清洗后測量，附錄A(資料性)靜電來源與控制要素潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中常見的靜電來源見表A.1。表A.1潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中常見靜電來源住宅區(qū)和5ac-住宅建筑內(nèi)光纖到戶通信設(shè)施工程建材及裝5ac-飾材料經(jīng)營場館建筑設(shè)計筑設(shè)計精品文檔吊頂、墻體、地面、門窗及其相關(guān)裝置、各種接口及密封等送風(fēng)口、回風(fēng)口、排風(fēng)口、風(fēng)管、風(fēng)機(jī)過濾單元、穿過潔凈室的工藝管道人員行走、站起、坐下等；貼片機(jī)、插裝機(jī)、光柵刻線機(jī)等設(shè)備外殼和設(shè)備工作表面，設(shè)備線纜等；塑料袋、包裝紙等；氣泡包裝，泡沫塑料等；塑料托盤，塑料包裝箱，小瓶和零件箱等；膠帶(密封，加固纏繞等)等；自動傳輸系統(tǒng)不同應(yīng)用領(lǐng)域潔凈室靜電控制要素見表A.2。表A.2不同應(yīng)用領(lǐng)域潔凈室靜電控制要素電子醫(yī)藥醫(yī)療食品人員√*√*√√√√√√√√√*√*√*★√√√√√√表A.2不同應(yīng)用領(lǐng)域潔凈室靜電控制要素(續(xù))住宅區(qū)和5ac-住宅建筑內(nèi)光纖到戶通信設(shè)施工程建材及裝5ac-飾材料經(jīng)營場館建筑設(shè)計筑設(shè)計精品文檔電子食品√√√√√吊頂、墻體、門窗等對地電阻√一一一一√√√√√√√√√√√*√*電磁騷擾特性*ESDS產(chǎn)品包裝、√√一√*√一最小截面積/mm2防靜電門，窗聯(lián)結(jié)導(dǎo)體多股銅芯導(dǎo)線或編織線防靜電工作臺聯(lián)結(jié)導(dǎo)體多股銅芯導(dǎo)線或編織線6防靜電地坪、墻面、柱面等電位聯(lián)結(jié)網(wǎng)絡(luò)之間的聯(lián)結(jié)導(dǎo)體多股銅芯導(dǎo)體或編織線防靜電水泥類地面、瓷磚地面等電位聯(lián)結(jié)網(wǎng)絡(luò)之間的聯(lián)結(jié)導(dǎo)體多股銅芯導(dǎo)體或編織線(隔斷、金屬臺架、風(fēng)管、管道等)多股銅芯導(dǎo)線或編織線6防靜電接地干線端子排鍍鋅扁鋼(厚度≥4)防靜電接地匯流母排鍍鋅扁鋼(厚度≥4)銅帶(厚度≥4)住宅區(qū)和5ac-住宅建筑內(nèi)光纖到戶通信設(shè)施工程建材及裝5ac-飾材料經(jīng)營場館建筑設(shè)計筑設(shè)計精品文檔易脫落大微粒*/(個/m2)服裝點(diǎn)對點(diǎn)電阻Rmw1/Ω各項(xiàng)目檢測方法見FZ/T80014.“不涉及非織造布產(chǎn)品。僅涉及對有大微?？刂菩枨蟮念I(lǐng)域穿用的產(chǎn)僅涉及用于防止ESD造成電子元器件損傷的產(chǎn)品，不涉及潔凈室內(nèi)衣產(chǎn)品。潔凈室EPA內(nèi)使用的離子化靜電消除設(shè)備性能指標(biāo)見表B.3。表B.3離子化靜電消除器性能指標(biāo)風(fēng)量：2m3/min~5m3/min消散時間<2s(300mm)殘余電壓絕對值≤30V(AVG)消散時間≤1s(300mm,0.4MPa)消散時間<2s(300mm,0.2MPa)殘余電壓絕對值≤30V(AVG)消散時間≤1s(300mm,0.4MPa)消散時間<60s(1.60m,中心風(fēng)速0,45m/s)除靜電風(fēng)機(jī)過濾單元消散時間<60s消散時間<2s(300mm)殘余電壓，放置在電離環(huán)境中的充電板監(jiān)測儀(CPM)的絕緣充電極板上觀察到的電壓。消散時間，指充電板監(jiān)測儀測得的靜電壓(由靜電電荷引起)從1000V衰減到設(shè)定的終潔凈室EPA內(nèi)不同場景下離子化靜電消除器配置見表B.4。住宅區(qū)和5ac-住宅建筑內(nèi)光纖到戶通信設(shè)施工程建材及裝5ac-飾材料經(jīng)營場館建筑設(shè)計筑設(shè)計精品文檔表B.4不同場景下離子化靜電消除器配置消散時間區(qū)域表B.4不同場景下離子化靜電消除器配置環(huán)境靜電場強(qiáng)度E.消散時間區(qū)域一—注：離子化靜電消除器殘余電壓和消散時間的測試參考條件：溫度為(23±2)℃,相對濕度為40%尺寸為150mm×150mm,測試電路總電容為(20±2)pF,測試距離為300mm。附錄C(資料性)防靜電地面類型防靜電地面類型選用見表C.1,其他領(lǐng)域潔凈室防靜電地面類型參考表C.1防靜電地面類型選用住宅區(qū)和5ac-住宅建筑內(nèi)光纖到戶通信設(shè)施工程建材及裝5ac-飾材料經(jīng)營場館建筑設(shè)計筑設(shè)計精品文檔電子√√O√◎○√一一一一一OO√O√√○√OOO一OO√O√√○O√√√O一OOO◎○○一OOOO一一O一◎O一一一一一√注2:醫(yī)藥潔凈室A級、B級、C級、D級按空氣潔凈度等級劃分。房、元器件篩選、老化和測試、電裝、電路板調(diào)試、單機(jī)調(diào)試住宅區(qū)和5ac-住宅建筑內(nèi)光纖到戶通信設(shè)施工程建材及裝5ac-飾材料經(jīng)營場館建筑設(shè)計筑設(shè)計精品文檔將醫(yī)療場所靜電控制要求由低到高分為0類場所、1類場所和2類·0類場所，典型場所有診療室和住院病房。建議采用靜電控制措起的數(shù)據(jù)錯誤降低到可接受的水平?！?類場所，典型場所有內(nèi)窺鏡檢查室、心電圖室(ECG)、腦電圖室(EEG)和彩