Ss立昂FAB-D二次配管工程主要工作界面和安裝規(guī)范二次配管工程由以下幾個子項(xiàng)目組成：電力系統(tǒng)，氣體系統(tǒng)，水和排液系統(tǒng)，排風(fēng)系統(tǒng)，PumpLine系統(tǒng)。承包商對附件一《FAB-D二次配清單》中的所有設(shè)備進(jìn)行二次配管工作。電力系統(tǒng)工作界面：承包商負(fù)責(zé)從一樓配電柜內(nèi)部空開出口至工藝設(shè)備電源進(jìn)線端的電纜連接工作，包括電纜橋架的鋪設(shè)。承包商負(fù)責(zé)從一樓配電柜內(nèi)部空開出口至二樓地面插座端的電纜連接工作，包括插座的購買和安裝。技術(shù)要求：電纜橋架采用鋁合金橋架加蓋。如動力矩陣表無特殊說明，電纜兩端均采用銅鼻子連接。電力電纜應(yīng)滿足以下電壓降限制的要求：一樓配電柜空開出口端和工藝設(shè)備電源進(jìn)線端的電壓降<3%。插座采用符合國標(biāo)的五孔插座，除非圖紙上有特別要求，插座安裝在鍍鋅槽盒上，槽盒安裝在高架地板上。二次配采用專用電纜橋架，電纜沿專用電纜橋架敷設(shè)，出橋架后穿鍍鋅鋼管敷設(shè)至設(shè)備。電纜兩端及設(shè)備進(jìn)線附近均需要有電氣編號標(biāo)簽。氣體系統(tǒng)2.1工作界面：2.1.1承包商負(fù)責(zé)從大宗氣體一次配開關(guān)閥出口至工藝設(shè)備氣體進(jìn)口端的氣體管道連接工作，包括固定支架的鋪設(shè)。2.1.2承包商負(fù)責(zé)從特氣VMB或VMP出口至工藝設(shè)備氣體進(jìn)口端的氣體管道連接工作，包括固定支架的鋪設(shè)以及氣體加熱系統(tǒng)。2.1.3承包商負(fù)責(zé)氣體系統(tǒng)的驗(yàn)收測試（保壓，氦檢，水，氧含量，顆粒）。2.2技術(shù)要求：2.2.1氣體系統(tǒng)材料如下：CDA采用SUS304BA管，GN2管道采用SUS316BA管，真空管道采用SUS304AP管，其他氣體管道均采用SUS316LEP管，雙套管內(nèi)管采用SUS316LEP，外管采用SUS304AP管。固定支架采用鍍鋅C型鋼，鍍鋅拉桿和螺母。2.2.2二次配的每路分支必須安裝開關(guān)閥。2.2.3GN2，PN2，O2和CDA二次配管路必須安裝調(diào)壓閥。調(diào)壓閥上不裝高壓表，只裝低壓表。2.2.4真空和其他已有VMB或VMP的氣體系統(tǒng)的二次配管道，不需要安裝調(diào)壓閥，直接連到工藝設(shè)備。2.2.5二次配管上不需要安裝過濾器。2.2.6真空泵用GN2在離使用端1米處由硬管轉(zhuǎn)接為尼龍軟管，接入到泵端。2.2.7對于特氣伴熱系統(tǒng)要求如下：1、每一根二次配管獨(dú)立伴熱2、二次配管道長度＜50m，采用并聯(lián)硅橡膠加熱帶，二次配管道長度＞50m，采用F46四氟加熱帶。3、管道加熱帶外側(cè)采用PTFE保溫帶進(jìn)行保溫處理。4、每一根二次配管配置獨(dú)立溫度探測器、加熱通道和溫控儀，溫控顯示精度0.1度。5、加熱控制箱具備的功能有控制溫度、高低溫報警。2.2.8高純氣體的施工必須按照國家規(guī)范GB50724-2011《大宗氣體純化及輸送系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范》中的11.3條來施工。2.2.9氣體系統(tǒng)的驗(yàn)收參考附件三《FAB-D氣體系統(tǒng)驗(yàn)收規(guī)范》。水和排液系統(tǒng)3.1工作界面3.1.1承包商負(fù)責(zé)從純水，冷卻水，自來水一次配管開關(guān)閥出口到工藝設(shè)備進(jìn)口段的管路連接，包括固定支架的鋪設(shè)。3.1.2承包商負(fù)責(zé)從酸排放，氨排放，漂洗水排放（一般排液），氟排放，有機(jī)排放，含砷排放，含磷排放一次配管道到工藝設(shè)備排放段的管路連接，包括固定支架的鋪設(shè)。3.2技術(shù)要求3.2.1水系統(tǒng)材料如下：純水采用CleanPVC或特氟龍軟管，冷卻水采用SUS304AP管或尼龍軟管，自來水采用SUS304AP管或尼龍軟管。固定支架采用鍍鋅C型鋼，鍍鋅拉桿和螺母。3.2.2排液系統(tǒng)材料如下：酸排放，氨排放，氟排放，含砷排放和含磷排放采用PP管，有機(jī)排放采用SUS304管，漂洗水排放（一般排放）采用UPVC。3.2.3水系統(tǒng)二次配的每路分支必須安裝開關(guān)閥。3.2.4一樓真空泵用冷卻水在離使用端1米處由硬管轉(zhuǎn)接為尼龍軟管，接入到泵端。3.2.5純水，冷卻水和自來水二次配管處都不需要配調(diào)壓閥，壓力表和過濾器。3.2.6排液系統(tǒng)均采用管道焊接的形式來連接。3.2.7水和排液系統(tǒng)施工和驗(yàn)收要求參照附件二《FAB-D水和排液系統(tǒng)施工和驗(yàn)收要求》。排風(fēng)系統(tǒng)4.1工作界面4.1.1承包商負(fù)責(zé)從酸排風(fēng)，堿排風(fēng)，有機(jī)排風(fēng)，熱排風(fēng)（含一般排風(fēng)），潔凈室直排排風(fēng)和LocalScrubber排風(fēng)一次配管口到工藝設(shè)備排風(fēng)口的管路連接，包括固定支架的鋪設(shè)。4.2技術(shù)要求4.2.1排風(fēng)系統(tǒng)材料如下：酸排風(fēng)和堿排風(fēng)采用PP管和PVC軟管，有機(jī)排風(fēng)采用SUS304管，LocalScrubber排風(fēng)采用SUS304AP管，熱排風(fēng)，一般排風(fēng)和潔凈室直排排風(fēng)采用鍍鋅螺紋管。固定支架采用鍍鋅C型鋼，鍍鋅拉桿和螺母。4.2.2酸堿排風(fēng)采用喉箍的形式和設(shè)備連接，其他排風(fēng)采用法蘭的形式和設(shè)備連接。4.2.3排風(fēng)二次配管工藝設(shè)備端必須安裝風(fēng)閥。4.2.4排風(fēng)系統(tǒng)施工和驗(yàn)收按照暖通國家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范來進(jìn)行。PumpLine系統(tǒng)5.1工作界面5.1.1承包商負(fù)責(zé)從工藝設(shè)備腔體真空抽氣口到真空泵進(jìn)氣口的管路連接，包括固定支架的鋪設(shè)。5.1.2承包商負(fù)責(zé)從真空泵排氣口到LocalScrubber進(jìn)氣口的管路連接，包括固定支架的鋪設(shè)。5.2技術(shù)要求5.2.1真空管道系統(tǒng)材料如下：工藝真空管道和泵排氣口均采用SUS304AP管或相同材質(zhì)的波紋軟管。固定支架采用鍍鋅C型鋼，鍍鋅拉桿和螺母。5.2.2真空管道接口需采用ISO接口，泵進(jìn)氣口上端需安裝長度不少于150mm的波紋軟管。在機(jī)臺連接點(diǎn)下方和泵進(jìn)口上方均安裝一個KF25接口的檢漏點(diǎn)（含悶蓋和O-RING）。5.2.3從干泵到機(jī)臺之間的PumpingLine單根管線中彎頭不得多于六個，且90度的彎頭數(shù)量總數(shù)不的超過2個。5.2.4泵排氣口需接不長度少于500mm的波紋軟管，之后以SUS304AP管接到排風(fēng)一次配預(yù)留閥或LocalScrubber進(jìn)氣口處。其他6.1二次配管配備有表盤的，上部需配備視窗地板，位置需就近布置在設(shè)備灰區(qū)。注1：所有二次配管工程的施工工作，均需嚴(yán)格執(zhí)行國家、行業(yè)等相關(guān)規(guī)范，并遵守《立昂FAB-D工程技術(shù)規(guī)范》，若以上3者要求不一致