廣東省真空學(xué)會團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)

《半導(dǎo)體裝備用電容薄膜真空計對比法測試標(biāo)準(zhǔn)》（征求意見稿）

編制說明

一、工作簡況

1.任務(wù)來源

本團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)《廣東省真空學(xué)會<廣東省真空學(xué)會團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)管理辦法>的通

知》要求進(jìn)行制定。起草單位有季華實驗室半導(dǎo)體技術(shù)研究部、暨南大學(xué)、佛山

市佛欣真空技術(shù)有限公司、中山共享光電真空技術(shù)有限公司?！栋雽?dǎo)體裝備用電

容薄膜真空計對比法測試標(biāo)準(zhǔn)》團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)由廣東省真空學(xué)會歸口。

2.主要工作過程

提案、立項階段：2021年1月，廣東省真空學(xué)會發(fā)布了關(guān)于《廣東省真

空學(xué)會<廣東省真空學(xué)會團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)管理辦法>的通知》。2021年11月，季華實驗

室半導(dǎo)體技術(shù)研究部向廣東省真空學(xué)會提出了制定《半導(dǎo)體裝備用電容薄膜真空

計對比法測試標(biāo)準(zhǔn)》團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)的申請，獲得了廣東省真空學(xué)會的批準(zhǔn)和立項。

起草（草案、論證）階段：2021年11月，由季華實驗室半導(dǎo)體技術(shù)研究

部、暨南大學(xué)、佛山市佛欣真空技術(shù)有限公司、中山共享光電真空技術(shù)有限公司

聯(lián)合成立了標(biāo)準(zhǔn)工作組，并開始對標(biāo)準(zhǔn)的范圍、術(shù)語與定義，及各章節(jié)內(nèi)容進(jìn)行

了細(xì)致討論。結(jié)合企業(yè)實際情況，對標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容進(jìn)行了制定，形成了標(biāo)準(zhǔn)征求意見

稿。

3.征求意見

2021年12月，學(xué)會向各相關(guān)單位及專家發(fā)送標(biāo)準(zhǔn)征求意見的函，將開展

為期30日的廣泛意見征集工作。征集相關(guān)單位對標(biāo)準(zhǔn)范圍、可操作性、語言表

述等方面的意見建議。

二、標(biāo)準(zhǔn)的編制原則

本標(biāo)準(zhǔn)在起草過程中，主要遵從了以下原則：

1.遵從會員企業(yè)實際原則

標(biāo)準(zhǔn)起草過程中，標(biāo)準(zhǔn)化工作組成員廣泛查閱相關(guān)文獻(xiàn)資料，并對電容薄膜

真空計制造商、關(guān)鍵部件供應(yīng)商、真空計應(yīng)用的相關(guān)設(shè)備廠商方進(jìn)行調(diào)研，充分

聽取這些領(lǐng)域會員企業(yè)的意見。在標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容上認(rèn)真研究企業(yè)實際應(yīng)用，在滿足半

導(dǎo)體裝備用電容薄膜真空計基本功能的前提下，充分反映會員企業(yè)實際，做到標(biāo)

準(zhǔn)為團(tuán)體企業(yè)服務(wù)、為團(tuán)體企業(yè)產(chǎn)品質(zhì)量提升提供技術(shù)支撐。

2.鼓勵技術(shù)進(jìn)步和規(guī)范行業(yè)發(fā)展原則

半導(dǎo)體裝備用電容薄膜真空計主要以國外產(chǎn)品為主，國內(nèi)產(chǎn)品種類少，技術(shù)

水平相對較低，難以滿足國內(nèi)半導(dǎo)體裝備的使用需求。為鼓勵國內(nèi)半導(dǎo)體裝備用

電容薄膜真空計技術(shù)發(fā)展，標(biāo)準(zhǔn)在條款上盡量只陳述原則和要求，對個性化的產(chǎn)

品特征不做限制，鼓勵技術(shù)創(chuàng)新。同時積極參考國內(nèi)外最新的技術(shù)要求，保證了

標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容的先進(jìn)性。

3.與其它標(biāo)準(zhǔn)的協(xié)調(diào)一致原則

標(biāo)準(zhǔn)起草過程中，細(xì)致研究國內(nèi)目前現(xiàn)有真空計相關(guān)的國家標(biāo)準(zhǔn)、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、

地方標(biāo)準(zhǔn)以及企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，結(jié)合JJF1503-2015《電容薄膜真空計校準(zhǔn)規(guī)范》、

ISO/TS3567：2011（E）《真空計-與標(biāo)準(zhǔn)真空計直接比對的標(biāo)準(zhǔn)》（Vacuum

gauge-Calibrationbydirectcomparisonwithareferencegauge）等已有標(biāo)準(zhǔn)，在內(nèi)

容、術(shù)語、試驗方法上盡量與其他標(biāo)準(zhǔn)保持協(xié)調(diào)一致。

三、標(biāo)準(zhǔn)主要內(nèi)容

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體裝備用電容薄膜真空計的范圍、術(shù)語和定義、技術(shù)要求、

測試裝置、測試方法、數(shù)據(jù)處理、復(fù)測時間。

（一）范圍

本標(biāo)準(zhǔn)適用于極限壓力在0.1Pa-100KPa范圍的絕壓式電容薄膜真空計。

（二）術(shù)語和定義

在JJF1503-2015《電容薄膜真空計校準(zhǔn)規(guī)范》所規(guī)定的術(shù)語與定義基礎(chǔ)上，

對“校準(zhǔn)氣體”、“滿量誤差”、“原級標(biāo)準(zhǔn)”、“國家標(biāo)準(zhǔn)”等名詞進(jìn)行了補(bǔ)充和定

義。

（三）技術(shù)要求

對半導(dǎo)體裝備用電容薄膜真空計的測試項目以及測試需要滿足的條件和環(huán)

境要求進(jìn)行梳理和歸納，使該類真空計的測試要求更加清晰、完整的呈現(xiàn)。同時

也參考了最新的電容薄膜真空計技術(shù)進(jìn)展。

（四）測試裝置

對半導(dǎo)體裝備用電容薄膜真空計的測試系統(tǒng)和裝置進(jìn)行規(guī)范和要求

（五）測定方法

針對半導(dǎo)體裝備用電容薄膜真空計的測試項目，提出具體的測試方法及要求，

規(guī)范半導(dǎo)體裝備用電容薄膜真空計的測試過程。

（六）數(shù)據(jù)處理

針對半導(dǎo)體裝備用電容薄膜真空計的測試數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，如滿量程誤差、

修正因子、重復(fù)性精度等。

四、采用國際標(biāo)準(zhǔn)或國外先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)的程序及水平說明

查無相關(guān)國際標(biāo)準(zhǔn)和國外標(biāo)準(zhǔn)，因而本標(biāo)準(zhǔn)制定過程未啟用采標(biāo)程序。

五、與現(xiàn)行法律、法規(guī)和強(qiáng)制性國家標(biāo)準(zhǔn)的關(guān)系

本標(biāo)準(zhǔn)與現(xiàn)行相關(guān)法律、法規(guī)和強(qiáng)制性國家標(biāo)準(zhǔn)無沖突之處。

六、標(biāo)準(zhǔn)宣貫及實施建議

季華實驗室半導(dǎo)體技術(shù)研究部、暨南大學(xué)、佛山市佛欣真空技術(shù)有限公司、

中山共享光電真空技術(shù)有限公司是標(biāo)準(zhǔn)實施的主體，為促進(jìn)各相關(guān)企業(yè)準(zhǔn)確理解、

掌握和執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)，規(guī)范企業(yè)的操作和管理，提高半導(dǎo)體裝備用電容薄膜真空計的

設(shè)計、加工制造和應(yīng)用水平，加強(qiáng)行業(yè)自律，標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布后，后續(xù)工作將通過標(biāo)準(zhǔn)

的宣貫培訓(xùn)、座談等形式來推動標(biāo)準(zhǔn)的落地實施。

《半導(dǎo)體裝備用電容薄膜真空計對比法測試標(biāo)準(zhǔn)》團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)工作組

2021年12月

廣東省真空學(xué)會團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)

《半導(dǎo)體裝備用電容薄膜真空計對比法測試標(biāo)準(zhǔn)》（征求意見稿）

編制說明

一、工作簡況

1.任務(wù)來源

本團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)《廣東省真空學(xué)會<廣東省真空學(xué)會團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)管理辦法>的通

知》要求進(jìn)行制定。起草單位有季華實驗室半導(dǎo)體技術(shù)研究部、暨南大學(xué)、佛山

市佛欣真空技術(shù)有限公司、中山共享光電真空技術(shù)有限公司。《半導(dǎo)體裝備用電

容薄膜真空計對比法測試標(biāo)準(zhǔn)》團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)由廣東省真空學(xué)會歸口。

2.主要工作過程

提案、立項階段：2021年1月，廣東省真空學(xué)會發(fā)布了關(guān)于《廣東省真

空學(xué)會<廣東省真空學(xué)會團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)管理辦法>的通知》。2021年11月，季華實驗

室半導(dǎo)體技術(shù)研究部向廣東省真空學(xué)會提出了制定《半導(dǎo)體裝備用電容薄膜真空

計對比法測試標(biāo)準(zhǔn)》團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)的申請，獲得了廣東省真空學(xué)會的批準(zhǔn)和立項。

起草（草案、論證）階段：2021年11月，由季華實驗室半導(dǎo)體技術(shù)研究

部、暨南大學(xué)、佛山市佛欣真空技術(shù)有限公司、中山共享光電真空技術(shù)有限公司

聯(lián)合成立了標(biāo)準(zhǔn)工作組，并開始對標(biāo)準(zhǔn)的范圍、術(shù)語與定義，及各章節(jié)內(nèi)容進(jìn)行

了細(xì)致討論。結(jié)合企業(yè)實際情況，對標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容進(jìn)行了制定，形成了標(biāo)準(zhǔn)征求意見

稿。

3.征求意見

2021年12月，學(xué)會向各相關(guān)單位及專家發(fā)送標(biāo)準(zhǔn)征求意見的函，將開展

為期30日的廣泛意見征集工作。征集相關(guān)單位對標(biāo)準(zhǔn)范圍、可操作性、語言表

述等方面的意見建議。

二、標(biāo)準(zhǔn)的編制原則

本標(biāo)準(zhǔn)在起草過程中，主要遵從了以下原則：

1.遵從會員企業(yè)實際原則

標(biāo)準(zhǔn)起草過程中，標(biāo)準(zhǔn)化工作組成員廣泛查閱相關(guān)文獻(xiàn)資料，并對電容薄膜

真空計制造商、關(guān)鍵部件供應(yīng)商、真空計應(yīng)用的相關(guān)設(shè)備廠商方進(jìn)行調(diào)研，充分

聽取這些領(lǐng)域會員企業(yè)的意見。在標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容上認(rèn)真研究企業(yè)實際應(yīng)用，在滿足半

導(dǎo)體裝備用電容薄膜真空計基本功能的前提下，充分反映會員企業(yè)實際，做到標(biāo)

準(zhǔn)為團(tuán)體企業(yè)服務(wù)、為團(tuán)體企業(yè)產(chǎn)品質(zhì)量提升提供技術(shù)支撐。

2.鼓勵技術(shù)進(jìn)步和規(guī)范行業(yè)發(fā)展原則

半導(dǎo)體裝備用電容薄膜真空計主要以國外產(chǎn)品為主，國內(nèi)產(chǎn)品種類少，技術(shù)

水平相對較低，難以滿足國內(nèi)半導(dǎo)體裝備的使用需求。為鼓勵國內(nèi)半導(dǎo)體裝備用

電容薄膜真空計技術(shù)發(fā)展，標(biāo)準(zhǔn)在條款上盡量只陳述原則和要求，對個性化的產(chǎn)

品特征不做限制，鼓勵技術(shù)創(chuàng)新。同時積極參考國內(nèi)外最新的技術(shù)要求，保證了

標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容的先進(jìn)性。

3.與其它標(biāo)準(zhǔn)的協(xié)調(diào)一致原則

標(biāo)準(zhǔn)起草過程中，細(xì)致研究國內(nèi)目前現(xiàn)有真空計相關(guān)的國